ИзоЬретение относитс к измеритель ной технике и может быть использовано дл точного измерени приращений емкости или индуктивности, а также неличин , которые могут быть представлены изменением емкости или индуктивности , например изменени зазора, толщины покрыти , износа поверхности там, где требуетс высока точность при очень высокой чувствительности (около 0,00001%), особенно там, где, нар ду с точностью и чувствительностью , требуетс большой диапазон измер емых приращений, например при измерении неш1ос1 остности или непараллельности , поверхностей. Известен преобразователь малых приращений емкости или индуктивности в напр жение, содержащий образцовый и контролируемьй злементы, подключенные через ключ к измерительному гене ратору, смеситель, гетеродин, частотный детектор, усилитель низкой частотЫл инликатор и цепь автоподстройки частоты (АПЧ, .выполненную в виде дополнительного ключа, запоминающего блока;балансного усилител , источника опорного напр жени и реактивного элемента, включенного в частотоз)здающую цепь измерительного генератора 1. Однако известное устройство обладает недостаточно высокой чувствительностью и точностью, при малрм диапазоИё измер е1 О11х приращений. Недостаток точности обусловлен тем, что не все элементы схемы охвачены цепью АПЧ и их уходынё компенсируютс , невозможностью значительного увеличени коэф фициента автоматической подстройки частоты, так как его увеличение ведет к увеличению времени подстройки частоты и уменьшению полосы схватывани , самим методом частотной подстройки , который позвол ет только уменьшить начальную расстройку до величины остаточной расстройки, а не исключить ее. Недостаток чунствитель3 ности обусловлен амплитудно-частотным методом измерени контролируемого приращени , причем чувствитель ность и диапазон измер емых приращений св заны обратно пропорциональной зависимостью. Наиболее близким по технической сущности к изобретению вл етс преобразователь малых, приращений емкости или индуктивности в код, содержащий образцовый и контролируемый элементы, подключенные через ключ к измерительному генератору, смеситель гетеродин, усилитель-ограничитель, фазовый детектор, фазосдвигающую и частотозавис щую резонансную цепь (ЧРЦ, усилитель низкой частоты, ком паратор, одновибратор и цепь фазовой автоподстройки частоты (ФАПЧ), состо щую из дополнительного ключа, интегратора и реактивного элемента, включенного в частотозадаюр по цепь измерительного генератора р2. Недостатком этого устройства вл етс очень узкий диапазон измер емых приращений. Цель изобретени - расширение диа пазона измер емых приращений емкости или индуктивности.. Поставленна цель достигаетс тем что в устройство дл измерени приращений емкости или индуктивности, содержащее образцовый элемент, выход которого соединен с одним из входов ключа, другой вход которого соединен с зажимами дл подключени контр лируемого элемента, а выход - с перч вым входом генератора, второй вход последнего соединен через реактивный элемент с интегратором, а выход - с одним из входов смесител , другой вход которого соединен с выходом гетеродина , а выход - со входом усилител -ограничител , вьвсод которого со динен с первым входом фазового детек тора непосредственно, а со вторым входом - через последовательно соединенные фазосдвигающую и частотоэав симую резонансную цепи, выход фазового детектора подключен ко входу усилител низко й частота, выход кото рого соединен с одним из входов компаратора , второй вход которого соеди нен с общей шиной и дополнительный юпрч, введены коммутатор, блок настройки , компенсирукщнй реактивный эле мент н индикатор, причем вход коммутатора подключен к выходу усилител низкой частоты, а выходы - к входам 5 интегратора и блока настройки, выход последнего подключен к индикатору и ко входу компенсирующего реактивного элемента, выход которого через дополнительный ключ соединен с частотозависимой резонансной цепью, управл ющий вход коммутатора соединен с выходом компаратора, а коммутирующий выход с управл ющими входами ключа и дойолнительного ключа. На чертеже представлена структурна электрическа схема устройства дл измерени приращений емкости или индуктивности. Устройство содержит образцовый элемент 1 и контролируемьй элемент 2, подключенные через ключ 3 ко входу генератора 4, к другому входу которого подключен реактивный элемент 5. Выход генератора 4 подключен к первому входу смесител 6, ко второму входу которого подключен гетеродин 7. Выход смесител 6 подключен ко входу усилител -ограничител 8, выход которого соединен с первым входом фазового детектора (ФД) 9 н через фазосдвигающую цепь 10 - с ЧРЦ 11. Выход последней соединен со вторым входом ФД 9. Выход ФД 9 посоединен ко входу усилител 12 низкой частоты, выход которого соединен со входом коммутатора 13 и первым входом компаратора 14, второй вход которого соединен с общей щиной. Выход компаратора 14 соединен с управл ющим входом коммутатора 13. Первый выход коммутатора 13 через интегратор 15 соединен со входом реактивного элемента 5. Второй выход коммутатора 13 соединен с блоком 16 настройки. Выход блока 16 настройки подключен к индикатору 17 и компенсирующему реактивному элементу 18, выход которого подключен ко входу дополнительного ключа 19. Выход дополнительного ключа 19 подключен к ЧРЦ 11. Коммутирукйций выход коммутатора 13 соединен с управл ющими входами ключа 3 и дополнительного ключа 19. Процесс измерени приращений емкости или индуктивности складываетс из двух тактов. В первом такте через ключ 3 к частотозадан цей цепи генератора 4 подключаетс образцовый элемент 1 и производитс компенсаци уходов всех элементов схемы устройства. При этом с помощью цепи обратной св зи, состо щей из интегратора 15 и реактив5 ного элемента 5, восстанавливаетс така частота генератора А, при которой на выходе усилител 12 низкой частоты устанавливаетс напр жение, равное нулю. Это происходит следуишшм образом Вьзходное напр жение фазового детектора 9 усиливаетс в усилителе 12 низкой частоты и суммируетс в интеграторе 15. Выходное напр жение последнего,- воздейству на реактивный элемент 5, восстанавливает необходимую частоту генератора 4. ЧРЦ 11 рассчитываетс совместно с образцовым элементом 1 так, чтобы в первоначальный момент времени вьшести реактивный элемент 5 на середину его характеристики. Как только компенсируетс температурно-временной дрейф параметров элементов устройства, т.е. ЧРЦ 11 будет настроена в резонанс, на выход усилител 12 низкой частоты установи с напр жение, равное нулю, срабатьш ет компаратор 14. На этом заканчиваетс первый такт. Сигнал с выхода компаратора 14 поступает на управл ющий вход коммутатора 13, который 9Тклзочаёт цепь обратной св зи и пЬд лючает компенсируюгцую цепь. При это интегратор 15 запоминаез: величину необходимого воздействи на врем действи второго такта. Компенсиру юща (измерительна ) цепь состоит и блока 16 настройки, компенсщ укщего реактивного элемента18 дополнител ного ключа 19 и индикатора 17. Во втором такте ключ 3, управл емый коммутатором 13, подключает к частотозадающей цепи генератора 4 кон тролируемый элемент 2. Одновременна коммутатор 13 подключает выход усилител 12 низкой частоты к блоку 16 настройки и компенсируюр ий реактивный элемент 18 через допохшите ьный ключ 19 к ЧРЦ 11. Сигнал от генератора 4 с частотой, соответствующей величине контролируемой емкости или индуктивности, подаетс на первый вход смесител 6, на второй его вход подаетс сигнал гетеродина 7. Частота , равна разности этих частот, уси ливаетс в усилителе 8 и подаетс на первый вход ФД 9 и через фазосдвигающую цепь 10 на вход ЧРЦ 11. Комплексный коэффициент передачи ЧРЦ 11 мен етс в соответствии с изменением частоты, поступающей на ее вход относительно частоты ее резонанса . С выхода ЧАЦ 1 1 сигнал поступает на второй вход ФД 9. На выходе ФД 9 присутствует сигнал, равный произведению сигналов, поступающих на его входы с учетом сдвига фаз между ними. Мгновенное напр жение на выходе усилител 12 низкой частоты при условии, что фазосдвигающа цепь 10 обеспечивает предварительный сдвиг фазы на 90% определ етс по формуле ), где К - коэффициент передачи усилител ниэкой частоты, U()( наибольшее значение модул . ФД 9; - мгновенна разность фаз на входах ФД 9.. Сигнал с выхода ФД 9 усиливаетс в усилителе 12 низкой частоты и поступает на вход блока 16 настройки. Блок 16 настройки перестраивает компенсирующий реактивный элемент 18j подключенный к ЧРЦ 11 до тех пор, пока ЧРЦ 11не будет настроена в резонанс, т.;е. на частотуи1(рц-|-р -lS) этом выходное напр жение ФД 9 и усилител 12низкой частоты становитс равным нулю и снова срабатывает компаратор 14. Коммутатор 13 отключает вход блока 16 настройки от выхода усилител 12 низкой частоты и компенсирук ций реактивный элемент 18 от ЧРЦ 11. На этом заканчиваетс второй такт и начинаетс снова первый. При этом индикатор 17 показывает величину контролируемого приращени емкости или индуктивности. В качестве блока 16 настройки 1югут быть использованы, например, интегратор или серводвигатель, а в качестве компенсирующего реактивного элемента - варикан или переменна емкость f В качестве индикатора 17 Morjrr быть использованы стрелочный или цифровой вольтметры или шкала, расположенна на оси компенсирующего -реактивного элемента 18. При необходимости соосно с компенсирующим реактивным элементом можно установить высокоточный переменный резистор. Питание этого резистора необходимо осуществл ть от высокостабильного источникао При этом выходное напр жение , снимаемое со средней точки это- . го резистора, пропорционально измер