SU879448A1 - Способ контрол качества изделий - Google Patents

Description

(54) СПОСОБКОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относитс  к неразрушающему контролю и может быть исполь зовано дл  ультразвукового контрол  качества многослойных, например, пол проводниковых структур. Известен способ контрол  качества поверхностных слоев путем возбуждени  в образце упругих поверхностных волн и измерени  их параметров,например , затухани  и скорости распространени  Cl . Недостаток данного способа контрол  качества в его низкой точност обусловленной необходимостью сравне ни  результатов контрол  с измерени ми на эталонном образце. Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигавмому результату  вл етс  способ контрол  качества изделий, заключаю щийс  в том, что в контролируемом .о разце возбуждают импульсы упругих поверхностных волн и измер ют их па раметры после прохождени  контролируемого издели  . Однако точность контрол  по известному способу сравнительно невыс ка, так как операци  отжига образца вносит большую неопределенность, в процессе изменени  параметров многослойной структуры. Целью изобретени   вл етс  повышение точности контрол . Эта цель достигаетс  за счет того, что в зоне распространени  упругой поверхностной волны возбуждают дополнительные упругие поверхностные волны, принимают сигналы электроакустического эха, образующегос  в результате взаимодействи  этих волн, и по их параметрам суд т о качестве издели , а также за счет того, что сигналы электроакустического эха принимают на частотах высших гармоник поверхностных упругих волн. Сущность изобретени  заключаетс  в использовании дл  контрол  качества многослойных структур, электроакустического эха, возникающего при взаимодействии нескольких импульсов упругих поверхностных волн. Электроакустическое эхо представл ет собой импульсы новой упругой поверхности волны. Контроль качества многослойных структур по разработанному способу производ т следующим образом. На по- верхности контролируемого издели  возбуждают импульс упругих поверх

Claims (2)

1. Формула изобретения

   Способ контроля качества изделий, заключающийся в том, что в контролируемом образце возбуждают импульсы упругих поверхностных волн и измеряют их параметры после прохождения .. контролируемого изделия, о т л и35 чающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, в зоне распространения упругой поверхностной волны возбуждают дополнительные упругие поверхностные волны, прини4Q мают сигналы электроакустического эха, образующегося в результате взаимодействия этих волн, и по их параметрам судят о качестве изделия.
2. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что сигналы принимают на частотах высших гармоник поверхностных упругих волн.