SU879344A1

SU879344A1 - Method of manufacturing control leak permeable element

Info

Publication number: SU879344A1
Application number: SU802871327A
Authority: SU
Inventors: Вячеслав Михайлович Мясников; Сергей Григорьевич Сажин; Анатолий Иванович Юрченко; Анатолий Иванович Лузин; Олег Николаевич Дружков; Валерий Борисович Поликарпов
Original assignee: Горьковский политехнический институт им.А.А.Жданова; Научно-Исследовательский Институт Химии При Горьковском Государственном Университете Им. Н.И.Лобачевского
Priority date: 1980-01-22
Filing date: 1980-01-22
Publication date: 1981-11-07

Description

Изобретение относится к технологии изготовления контрольных течей, которые могут применяться для калибровки течеискательной аппаратуры при испытаниях на герметичность.The invention relates to a technology for the manufacture of control leaks, which can be used to calibrate leak detection equipment during leak tests.

Известен способ изготовления проницаемого элемента контрольной течи, заключающийся в том, что на образец из пластичного материала наносят хрупкое покрытие и подвергают образец растяжению до образования трещин в покрытии [1]·A known method of manufacturing a permeable element of the control leak, which consists in the fact that a fragile coating is applied to a sample of plastic material and the sample is subjected to stretching to form cracks in the coating [1] ·

Такой способ не позволяет получать течи с заданной проводимостью,поскольку размеры трещин в покрытии за- »5 висят кроме толщины покрытия и величины растягивающего усилия от ряда неконтролируемых параметров.This method does not allow to obtain leaks with a given conductivity, since the dimensions of cracks in the coating depend on the coating thickness and the tensile force on a number of uncontrolled parameters.

Наиболее близким к изобретенйю по технической сущности является способ 20 .изготовления проницаемого элемента контрольной течи, заключающийся в том, что используют пластину с отверстием, помещают ее в вакуумируемый объем и осаждают на стенки отверстия слой металла [2].Closest to the invention in technical essence is the method 20. of the manufacture of the permeable element of the control leak, which consists in using a plate with a hole, placing it in a vacuum volume and depositing a layer of metal on the wall of the hole [2].

Этот способ не обеспечивает точного изготовления проницаемого элемента, так как пропускная способ- · 30 ность последнего не контролируется в процессе изготовления.This method does not provide accurate manufacturing of the permeable element, since the throughput capacity of the latter is not controlled during the manufacturing process.

Цель изобретения - повышение точности изготовления.The purpose of the invention is to improve the accuracy of manufacture.

Поставленная цель достигается тем,. что перед осаждением металла пластину нагревают, осаждают металл путем пропускания через отверстие пластины газообразного металлоорганического соединения, одновременно с осаждением металла пропускают через это отверстие индикаторный газ, измеряют пропускную способность отверстия по индикаторному газу и при достижении заданной величины пропускной способности прекращают осаждение металла.The goal is achieved by. that the plate is heated before the metal is deposited, the metal is deposited by passing a gaseous organometallic compound through the hole of the plate, the indicator gas is passed through this hole at the same time, the indicator gas throughput is measured, and when the specified value of the throughput is reached, the metal deposition is stopped.

На чертеже представлена схема установки, с помощью которой осуществляется предлагаемый способ.The drawing shows the installation diagram, with which the proposed method is carried out.

Установка содержит вакуумную камеру 1, в которую помещена пластина 2 с отверстием 3, дозирующее устройство 4 для подачи металлоорганического соединения, испарительную камеру 5 с нагревателем 6 для испарения метал· лоорганического соединения, трубку 7 : для подачи индикаторного газа в. камеру 1, нагреватель 8 пластины 2, датчик 9 температуры, средство 10 откачки камеры 1, последовательно срединеиные с камерой 1 вымораживающую подушку 11 и течеискатель 12.The installation comprises a vacuum chamber 1, in which a plate 2 with an opening 3 is placed, a metering device 4 for supplying the organometallic compound, an evaporation chamber 5 with a heater 6 for evaporating the organometallic compound, a tube 7: for supplying indicator gas c. chamber 1, heater 8 of plate 2, temperature sensor 9, means 10 for pumping out chamber 1, the freezing cushion 11 and leak detector 12 are sequentially central to the chamber 1.

Способ осуществляется следующим образом.The method is as follows.

Пластину 2 с отверстием 3 диаметром 0,1 мм помещают в камеру 1 и вакуумируют последнюю с помощью ' средства 10 откачки до давления 1·10“²мм рт.ст. Включают нагреваТель 8 для нагрева пластины 2 до температуры 400^σ0. После·этого подают дозирующим устройством 4 метал- 10 лоорганическое соединение, в качестве которого используют бис-этилбензолхром, в испарительную камеру 5, где оно испаряется при температуре 120°С и в газообразном состоянии 15 проходит через отверстие 3 пластиныA plate 2 with an opening 3 with a diameter of 0.1 mm is placed in chamber 1 and the latter is evacuated using a pumping means 10 to a pressure of 1 · 10 “ ² mm Hg. Heater 8 is turned on to heat plate 2 to a temperature of 400 ^σ 0. After this, a metal-10 organic compound, using bis-ethylbenzenechrome, is used as a metering device 4 into the evaporation chamber 5, where it evaporates at a temperature of 120 ° С and in gaseous state 15 passes through the hole 3 of the plate

2. При этом на нагретых стенках отверстия 3 происходит разложение металлоорганического соединения и осаждение металла, приводящее к постепен- 20 ному уменьшению размеров отверстия и соответственно его пропускной способности. Одновременно с подачей бис-этилбензохрома в камеру 1 через трубку 7 подают индикаторный газ,в _ качестве которого используют гелий> *5 и измеряют его поток, определяемый пропускной способностью отверстия .3 пластины 2, течеискателем 12. При уменьшении величины потока гелия до значения, соответствующего за- 30 данной пропускной способности отверстия , подачу металлоорганического соединения и гелия прекращают. Время, затраченное на осаждение металла на стенки отверстия для достижения за- 35 данной величины потока, равной2. In this case, on the heated walls of the hole 3, the decomposition of the organometallic compound and the deposition of metal occurs, leading to a gradual 20 reduction in the size of the hole and, accordingly, its throughput. Simultaneously with the supply of bis-ethylbenzochrom into the chamber 1, indicator gas is supplied through the tube 7, in which _ helium> * 5 is used and its flow is determined, determined by the throughput of the hole .3 of the plate 2, by the leak detector 12. When the helium flux decreases to a value corresponding to the given throughput of the hole, the supply of organometallic compounds and helium is stopped. The time spent on the deposition of metal on the walls of the hole to achieve a predetermined flow value equal to

1,7 ·· 10“·* и 2,3 · 10~^э л· мкм/с,составило соответственно 40,2 и 39,5 мин.1.7 ·· 10 “· * and 2.3 · 10 ~ ^e L · μm / s, respectively 40.2 and 39.5 minutes.

Использование изобретения позволяет получать проницаемые элементы течей в широком диапазоне требуемых проводимостей и с высокой точностью.Using the invention allows to obtain permeable elements of leaks in a wide range of required conductivities and with high accuracy.

Claims

Claim

A method of manufacturing a permeable control leak, consisting in using a plate with a hole, placing it in an evacuated volume and depositing a layer of metal on the walls of the hole, characterized in that, in order to improve manufacturing accuracy, the plate is heated before the metal is deposited passing the gaseous metal-organic compound through the plate holes, simultaneously with the deposition of the metal, the indicator gas is passed through this hole, measure the throughput of the hole to pH and gas when the capacity set value is stopped deposition of metal.