[go: up one dir, main page]

SU869085A1 - Device for applying liquid coatings in electrostatic field - Google Patents

Device for applying liquid coatings in electrostatic field Download PDF

Info

Publication number
SU869085A1
SU869085A1 SU802873113A SU2873113A SU869085A1 SU 869085 A1 SU869085 A1 SU 869085A1 SU 802873113 A SU802873113 A SU 802873113A SU 2873113 A SU2873113 A SU 2873113A SU 869085 A1 SU869085 A1 SU 869085A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
dispenser
liquid
electrostatic field
atmosphere
tube
Prior art date
Application number
SU802873113A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Бидзина Иосифовна Ниношвили
Гиви Караманович Почхуа
Александр Давидович Слонимский
Семен Абрамович Шапиро
Original Assignee
Предприятие П/Я В-2346
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-2346 filed Critical Предприятие П/Я В-2346
Priority to SU802873113A priority Critical patent/SU869085A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU869085A1 publication Critical patent/SU869085A1/en

Links

Landscapes

  • Electrostatic Spraying Apparatus (AREA)

Description

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ЖИДКИХ ПОКРЫТИЙ В ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОМ ПОЛЕ(54) DEVICE FOR APPLYING LIQUID COATINGS IN AN ELECTROSTATIC FIELD

Изобретение относитс  к электронно технике, в частности к устройствам дл нанесени  сло  покрытий на заготовки печатных плат, на полупроводниковые пластины при производстве интегральных схем и масок тонкопленочной техники, а также при нанесении тонких изол ционных покрытий. Известно устройство дл  нанесени  эмульсий и лаков в электростатическом поле, содержащее распьшитель, соединенный посредством трубопровода с дозатором , выполненным в виде сосуда с распып емой жидкостью, внутри которого размещена трубка таким образом, что один конец ее сообщаетс  с атмосферой , а опущенный в жидкость снабжен наконечником стаканообразной формы , горизонтальное сечение которого представл ет замкнутую кривую с положительной и отрицательной кривизнами , близкими к форме кордоиды ГО В этом устройстве имеет место дозированна  подача жидкости в распыли гель , котора  вызывает гармонические колебани  жидкостив сообщающихс  сосудах с соизмеримыми поверхност ми , какими  вл етс  система распылитель-дозатор . Эти колебани  в свою очередь привод т к нарушению стабильности процесса распылени , необходимым условием которого  вл етс  поддержание посто нства уровн  жидкости и распылител . Известно также устройство дл  нанесени  эмульсий и лаков в электростатическом поле, содержащее расгшлитель , соединенный посредством трубопровода с дозатором, внутри которого размещена .трубка таким образом, что один ее конец сообщаетс  с ат мосферой, а торцова  поверхность другого конца установлена на одном уровне с необходимым уровнем жидкости в распылителе, и присоединенную к трубопроводу деьтфирующую емкость tJ3. Это техническое решение способствует демпфированию колебанийжид3 кости в распылителе, что повышает стабильность распылени , обеспечива  раэномерное тонкое, нанесение. Однако демпфирующа  емкость, присоединенна  к трубопроводу, должна иметь достаточно большую площадь зер кала жидкости. Така  емкость, занима  промежуточное положени е в системе распылитель-дозатор, значительно увеличивает габариты устройства. Кроме того, в известном, устройстве затруднено его обслуживание, так как корпус дозатора и демпфирующа  емкость  вл ютс  сосудами закрытого типа, в св зи с чем они неудобны дл  промывки. Тщательна  промывка сосудо после окончани  работы и до заливки жидкости в дозатор необходима, так как при попадании частичек подсохшего распыл емого материала в распыл емую жидкость или ее даже незначител ное загр знение вызывают изменение объемного электрического сопротивлени  жидкости, в -св зи с чем резко ухудшаетс  степень распылени  и соответственно качество покрыти  подложки . Цель изобретени  - уменьшение габаритов и упрощение обслуживани . Поставлеьна  цель достигаетс  тем что в устройстве дл  нанесени  жидки покрытий в электростатическом поле, содержащем соединенные трубопроводом распылитель, демпфирующую емкость и дозатор, внутри которого размещена , трубка, один конец которой сообщаетс  с атмосферой, а торец другого кон ца размещен на. уровне наносимой жидкости в распылителе, дозатор выполнен в виде двух стаканов, размещенны один внутри другого с зазором, соббщакнциМс  с атмосферой, причем внутренний стакан размещен днищем вверх и имеет суженную горловину, а демпфирующа  емкость образована горловиной внутреннего стакана и внутренней поверхностью внешнего стакана. На чертеже изображена схема устройстда . Устройство содержит распылитель и дозатор 2, соединенные посредством трубопровода 3, в котором установлен пробковый кран 4. Распылитель.1 соединен с источником. 5 высокого на пр жени  и над ним размещены заземленные направл ющие 6 дл  перемещени  покрываемых изделий 7. Дозатор 2 выполнен в виде внешнего стакана 8, в котором размещен 5 с зазором относительно его дна и стенок внутренний стакан 9 днищем вверх. Днище стакана 9 имеет буртик 10, которым он упираетс  на торец йнешнего стакана 8. В буртике 10 выполнены отверсти  11. Стакан 9 имеет суженную горловину, котора  образует с внутренней поверхностью дна и стенок стакана 8 демпфируницую емкость 12, сообщающуюс  с атмосферой посредством упом нутых отверстий 11 в буртике 10. В стакане 9 размещена сообщающа с  с атмосферой трубка 13, при этом ее нижний торец находитс  в полости горловины стакана 9 в плоскости , проход щей через необходимый уровень А жидкости в распылителе 1. Днище стакана 9 имеет штуцер 14 дл  заливки жидкости с крышкой, 15. Распылитель 1, размещенна  в дозаторе трубка 13 и совмещенна  с дозатором демпфирующа  емкость 2, св занные трубопроводом, представл ют собой систему сообщающихс  сосудов. Суммарный объем полости трубки I3 и полости между стенками стаканов 8 и 9 до уровн  А должен быть меньше сумьы объемов демпфирующей емкости 12, распылител  1 и соедин к цего их трубопровода 3. Устройство работ ет следующим образом . Перед началом работы закрывают кран 4 в трубопроводе 3 и заливают предназначенную дл  распылени  жидко .сть через штуцер 14 в дозатор 2. После его заполнени  герметично закрывают крышку 15 и открывают кран 4. Жидкость по трубопроводу 3 переходит в полость распылител  1, устанавлива сь на уровне А , как в распылителе 1 , так и в сообщающихс  с ним сосудах, т.е. демпфирующей емкости 12 и трубке 13, одновременно несколько понижаетс  уровень жидкости в стакане 9. При заполнении распылител  1 жидкость из него не выливаетс , так как суммарный объем полости труб-, ки I3 и полости ме щу стенками стаканов 8 и 9 до уровн  А меньще суммы объемов демпфирукнцей емкости 12, полости распылител  1 и соедин ющего их трубопровода 3. При подаче напр жени  на распылитель 1 жидкость под действием электрического пол  распыл етс  и наноситс  на изделие 7. Расход жидкости из полости распыЛйтел  1 автоматически компенсирует с  из полости дозатора 2. При этом уровень жидкости в стакане 9 опуска етс , А освободившийс  в нем объем занимает атмосферный воздух, поступ щий через трубку 13. Автоматическое поддержание посто  нного уровн  жидкости в полости ра пылител  1 обеспечиваетс  следующим образом. По мере распылени  жидкости ее уровень А в распылителе 1 и демпфирующей емкости 12 понижаетс , а.на конце трубки 13 образуетс  пузырек воздуха, поступающего из атмосферы, который, достигнув определенной величины , отрываетс  и поднимаетс  на поверхность жидкости в стакане 9. Объем пузырька занимает жидкость, возникающа  при этом выравнивающа  сила в сообщающихс  сосудах восстанавливает первоначальный уровень А в системе, причем включенна  в указанную систему демпфирующа  емкость с площадью поверхности в ней, значительно превышающей площадь рабочей поверхности распылител , преп тствует возникновению колебаний жидкости в момент дозированного ее поступлени  из полости дозатора 2. Совмещенна  с дозатором демпфирующа  емкость позвол ет значительно уменьшить габариты устройства. Кроме того, предлагаема  конструк ци  удобна в обслуживании, при очист ке и промывке достаточно сн ть ста56 кан 9, и все части дозатора станов тс  легко доступными дл  прсьвывки и очистки, которую осуществл ют после каждого цикла работы устройства. .формула изобретени  Устройство дл  нанесени  жидких покрытий в электростатическом-поле« содержащее соединенные трубопроводом распылитель, демпфирующую емкость и дозатор, внутри которого размещена трубка ч один конец которой сообщаетс  с атмосферой, а торец другого конца размещен на уровне наносимой жид кости в распылителе, отличающеес  тем, что, с целью уменьшени  габаритов и упрощени  обслуживани , дозатор выполнен в виде двух стаканов, размещенных один внутри другого с зазором, сообщаю11Ц)мс  с атмосферой , причем внутренний стакан размещен днищем вверх и имеет суженную горловину, а демпфирующа  емкость образованагорловиной внутреннего стакана и внутренней поверхностью внещнего стакана. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1,Авторское свидетельство СССР 356922, кл. Н 05 К 3/28. 2.Авторское свидетельство СССР па за вке Я 2551031/33, кл. С 03 С 17/22. 1Г :i 3 11 10 rj х8The invention relates to electronic engineering, in particular, devices for applying a layer of coatings on printed-circuit board blanks, semiconductor wafers in the manufacture of integrated circuits and masks of thin-film technology, as well as in the application of thin insulating coatings. A device for applying emulsions and varnishes in an electrostatic field is known, comprising a sprayer connected by pipeline to a dispenser in the form of a vessel with sprinkled liquid, inside of which a tube is placed so that one end of the tube communicates with the atmosphere and the tip is lowered into the liquid. a stacked shape, the horizontal section of which represents a closed curve with positive and negative curvatures close to the shape of cordoids. A bath is a liquid supply in a spray gel, which causes harmonic oscillations of liquids and connected vessels with comparable surfaces, such as a dispenser-dispenser system. These oscillations, in turn, lead to a disruption in the stability of the spraying process, the necessary condition of which is maintaining the level of the liquid and the sprayer. It is also known a device for applying emulsions and varnishes in an electrostatic field, containing an expander connected by pipeline to a dispenser, inside which is placed a tube in such a way that its one end communicates with the atmosphere and the end surface of the other end is flush with the required level liquids in the spray gun, and a removal capacity tJ3 connected to the pipeline. This technical solution contributes to the damping of the vibrations of the bone in the nebulizer, which increases the stability of the spray, providing a uniform thin coating. However, the damping tank attached to the pipeline must have a sufficiently large surface area of the liquid mirror. Such capacity, occupying an intermediate position in the dispenser dispenser system, significantly increases the size of the device. In addition, in the known device, it is difficult to maintain it, since the dispenser body and the damping tank are closed-type vessels, which makes them inconvenient for washing. Thorough rinsing of the vessel after completion of work and before pouring liquid into the dispenser is necessary, since when particles of dried sprayed material get into the sprayed liquid or even a small amount of contamination causes a change in the volume electrical resistance of the liquid, due to which the degree of spraying and, accordingly, the quality of the substrate coating. The purpose of the invention is to reduce the size and simplify maintenance. The objective is achieved by the fact that in a device for applying liquid coatings in an electrostatic field, containing a sprayer connected by pipeline, a damping tank and a dispenser, inside which is placed, a tube, one end of which is connected to the atmosphere, and the end of the other end is placed on. the level of the applied liquid in the dispenser, the dispenser is made in the form of two glasses, placed one inside the other with a gap, so that the inner cup is placed bottom up and has a narrowed neck, and the damping tank is formed by the neck of the inner cup and the inner surface of the outer cup. The drawing shows a diagram of the device. The device contains a sprayer and a dispenser 2 connected via a pipeline 3, in which a cork valve 4 is installed. The sprayer 1 is connected to a source. 5 high on the spun and above it are grounded guides 6 for moving the coated products 7. The dispenser 2 is made in the form of an external cup 8, in which 5 is placed with a gap relative to its bottom and walls, the inner cup 9 bottom up. The bottom of the glass 9 has a flange 10, with which it rests on the end of the modern glass 8. In the collar 10, holes 11 are made 11. Glass 9 has a narrowed neck, which forms a damping capacity 12 connected to the atmosphere with the inner surface of the bottom and walls of the glass 8 11 in the collar 10. In the glass 9 a tube 13 is placed in communication with the atmosphere, while its lower end is located in the cavity of the neck of the glass 9 in the plane passing through the required level A of the liquid in the sprayer 1. The bottom of the glass 9 has a fitting 1 4 for filling a liquid with a lid. 15. The atomizer 1, the tube 13 placed in the dispenser and the damping tank 2 connected to the dispenser and connected by a pipeline, are a system of communicating vessels. The total volume of the cavity of the tube I3 and the cavity between the walls of the cups 8 and 9 to the level A should be less than the sum of the volumes of the damping tank 12, the spray gun 1 and its connection to the whole pipeline 3. The device works as follows. Before starting work, the valve 4 in the pipeline 3 is closed and the liquid to be sprayed is poured through the nozzle 14 into the dispenser 2. After it is filled, the cover 15 is hermetically sealed and the valve 4 is opened. The liquid passes through the pipeline 3 into the cavity of the atomizer 1, is set at And, both in the sprayer 1 and in the vessels communicating with it, i.e. the damping tank 12 and the tube 13 at the same time slightly lower the level of the liquid in the glass 9. When filling the dispenser 1, the liquid does not pour out of it, since the total volume of the cavity of tube I and the cavity of the walls of the glasses 8 and 9 is less than the level the volume of the damper tank 12, the cavity of the spray gun 1 and the pipeline 3 connecting them. When voltage is applied to the spray gun 1, the liquid is sprayed by the action of an electric field and applied to the product 7. The flow rate of the liquid from the spray gun cavity 1 automatically compensates c from the cavity of the dispenser 2. At the same time, the level of liquid in the beaker 9 is lowered, and the volume released in it occupies the atmospheric air entering through the tube 13. Automatic maintenance of a constant level of liquid in the cavity of the heater 1 is provided as follows. As the liquid sprays, its level A in the atomizer 1 and the damping tank 12 decreases, and at the end of the tube 13 a bubble of air coming from the atmosphere is formed, which, having reached a certain size, comes off and rises to the surface of the liquid in glass 9. The volume of the bubble occupies the liquid The resulting equalizing force in the communicating vessels restores the initial level A in the system, and the damping capacity included in the specified system with a surface area in it that is much higher than ad working surface atomizer prevents occurrence of oscillations of the liquid at the time of its arrival from the dosed cavity of the dispenser 2. The dispenser combined with damping capacity allows to significantly reduce the size of the device. In addition, the proposed design is easy to maintain, during cleaning and rinsing, it is enough to remove stan56 kan 9, and all parts of the dispenser become easily accessible for cleaning and cleaning, which is carried out after each cycle of operation of the device. The inventive device for applying liquid coatings in an electrostatic-field contains a spray-connected atomizer, a damping tank and a dispenser, inside of which is placed a tube one end of which communicates with the atmosphere, and the end of the other end is placed at the level of the applied liquid in the spray gun, different that, in order to reduce the size and simplify the service, the dispenser is made in the form of two glasses placed one inside the other with a gap, informing 11C) ms with the atmosphere, with the inner glass azmeschen bottom upwards and has a constricted neck, and damping capacity obrazovanagorlovinoy inner cup and the inner cup surface vneschnego. Sources of information taken into account in the examination 1, USSR Copyright Certificate 356922, cl. H 05 K 3/28. 2. Authors certificate of the USSR in IU application 2551031/33, cl. C 03 C 17/22. 1G: i 3 11 10 rj x8

Claims (1)

.формула Изобретения.Claim Устройство для нанесения жидкнхLiquid Sprayer 10 покрытий в электростатическом-полеt содержащее соединенные трубопроводом распылитель, демпфирующую емкость и дозатор, внутри которого размещена трубкаί один конец которой сообщает15 ся с атмосферой, а торец другого конца размещен на уровне наносимой жод:кости в распылителе, отличающееся тем, что, с целью уменьшения габаритов и упрощения обслужи20 вания, дозатор выполнен в виде двух стаканов, размещенных один внутри другого с зазором, сообщающимся с атмосферой, причем внутренний стакан размещен днищем вверх и имеет сужен25 ную горловину, а демпфирующая емкость образована'горловиной внутреннего стакана и внутренней поверхностью внешнего стакана.10 coatings in an electrostatic field, t containing a nebulizer connected by a pipeline, a damping container and a dispenser, inside which a tube is placedί one end of which communicates with the atmosphere, and the end of the other end is placed at the level of the applied jade: bone in the atomizer, characterized in that, for the purpose of to reduce dimensions and simplify maintenance, the dispenser is made in the form of two glasses placed one inside the other with a gap communicating with the atmosphere, the inner glass being placed upside down and has a narrowed neck, and the damping capacity is formed by the neck of the inner cup and the inner surface of the outer cup.
SU802873113A 1980-01-09 1980-01-09 Device for applying liquid coatings in electrostatic field SU869085A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802873113A SU869085A1 (en) 1980-01-09 1980-01-09 Device for applying liquid coatings in electrostatic field

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802873113A SU869085A1 (en) 1980-01-09 1980-01-09 Device for applying liquid coatings in electrostatic field

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU869085A1 true SU869085A1 (en) 1981-09-30

Family

ID=20873699

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU802873113A SU869085A1 (en) 1980-01-09 1980-01-09 Device for applying liquid coatings in electrostatic field

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU869085A1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5186192A (en) Apparatus for cleaning silicon wafer
US5001084A (en) Method for applying a treatment liquid on a semiconductor wafer
CN105470106A (en) Substrate processing method
US4899686A (en) Coating device
US1166378A (en) Etching apparatus.
AU2002358736A1 (en) Hydrophobic surface provided with a multitude of electrodes
SU869085A1 (en) Device for applying liquid coatings in electrostatic field
US2826513A (en) Method and apparatus for electrostatic coating utilizing projection of liquid solelyby the electric field
JPS63138931A (en) Method of sterilizing cylindrical vessel
US2756168A (en) Cleaning of small articles
US6485568B1 (en) Apparatus for coating substrates with materials, particularly for lacquering si-wafers
US2832701A (en) Method of making drain-clear containers
CN109037104A (en) Semiconductor cleaning device and the method for cleaning through-hole using the equipment
CN109037105A (en) Semiconductor cleaning device and the method for utilizing the equipment cleaning scaling powder
CN107303548B (en) Derivatization apparatus and derivatization method
KR20070107874A (en) Cleaning device for chemical solution supply nozzle
CN109037103B (en) Semiconductor device and process for cleaning surface of wafer by atomization method
JP2591745Y2 (en) Dispenser for liquid ejection
US1998901A (en) Atomizer
SU780420A2 (en) Device for applying emulsion and varnishes in electrostatic field
JP2006125648A (en) Ultrasonic humidifier
JPH0660461U (en) Thin film raw material liquid atomizer
CN108906462B (en) Liquid atomization device for semiconductor wet process equipment
JP3067398B2 (en) Jet type wet etching equipment
CA2196682A1 (en) Process and device for cleaning the outside of containers