SU857703A1

SU857703A1 - Inductosyn pickup of displacement

Info

Publication number: SU857703A1
Application number: SU792793172A
Authority: SU
Inventors: Виктор Дмитриевич Кравченко; Самвел Григорьевич Гелецян; Эдуард Людвикович Егиазарян
Original assignee: Всесоюзный Заочный Машиностоительный Институт
Priority date: 1979-07-09
Filing date: 1979-07-09
Publication date: 1981-08-23

Description

1one

Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл измерени линейных или угловых перемещений или наложени подвижных элементов исполнительных механизмов различного вида.The invention relates to an instrumentation technique and can be used to measure linear or angular movements or superposition of moving elements of various types of actuators.

Известны индуктосинные датчики линейных или угловых перемещений, содержащие относительно подвижные элементы с размещенными на них обмотками, выполненными из электропроводного материала с использованием методов фотолитографии или интегральной технологии. Электропроводные обмотки нанос тс на изол ционные подложки или подслои, образованные нарабочих поверхност х относительно подвижных элементов индуктосинных датчиков 1 и 2.Known inductosynic sensors of linear or angular displacement, containing relatively movable elements placed on them windings made of electrically conductive material using the methods of photolithography or integrated technology. Conductive windings are applied to insulating substrates or sublayers formed on working surfaces with respect to the moving elements of the inductosyn sensors 1 and 2.

Однако при изготовлении электропроводных обмоток, например медных, методом фотолитографии, индуктосинные датчики перемещений из-за эффекта «подтравливани имеют ограниченную разрешающую способность , обусловленную ограничени ми в минимально возможной ширине радиальных или плоскик проводников обмоток, при использовании методов интегральной технологии точность изготовлени обмоток выще.However, in the manufacture of conductive windings, such as copper, by photolithography, the inductosynm displacement sensors, due to the effect of undercutting, have limited resolution due to limitations in the minimum possible radial or flat windings of the windings, using integrated technology techniques, the winding manufacturing accuracy is higher.

однако технологи изготовлени достаточно сложна и используетс , в основном, дл выполнени многослойных обмоток.However, the manufacturing technology is quite complicated and is mainly used for making multi-layer windings.

Наиболее близким техническим решением к изобретению вл етс индуктосинный датчик перемещений, содержащий относительно подвижные элементы с размещенными на них плоскими электрическими обмотками 3.The closest technical solution to the invention is an inductosyn displacement transducer containing relatively movable elements with flat electric windings 3 placed on them.

Эти обмотки изготовлены из меди методом фотолитографии, так что ширина про ,Q водников обмотки из-за эффекта «подтравливани не может быть выполнена менее 0,1 мм, что ограничивает разрешающую способность датчика. Кроме того, входное сопротивление датчика (активное сопротивление его обмотки, подключаемой к источнику питани ) достаточно мало, так как она изготовлена из меди, что снижает помехозащищеннсть датчика.These windings are made of copper by photolithography, so that the width pro, Q of the windings of the winding due to the effect of “undercutting” cannot be less than 0.1 mm, which limits the resolution of the sensor. In addition, the input resistance of the sensor (the active resistance of its winding connected to the power source) is quite small, since it is made of copper, which reduces the noise immunity of the sensor.

Цель изобретени - повышение точности датчика путем повышени его разрешающей способности и помехозащищенности.The purpose of the invention is to improve the accuracy of the sensor by increasing its resolution and noise immunity.

20 Дл достижени поставленной цели относительно подвижные элементы датчика выполнены из полупроводникового материала одного типа проводимости, а обмотки вы20 To achieve this goal, the relatively mobile elements of the sensor are made of semiconductor material of one type of conductivity, and the windings are

Claims

20 claims

Inductosyn displacement sensor comprising relatively movable elements placed on them flat electron ₂₅ and an insulating winding, characterized in that, in order to increase the accuracy, with respect to the movable elements of the sensor formed of a semiconductor material of one conductivity type, a winding formed in the surface layers of these elemen30 comrade of the same semiconductor material of a different type of conductivity.