SU753373A3 - Устройство дл регулировани режима установки тлеющего разр да - Google Patents
Устройство дл регулировани режима установки тлеющего разр да Download PDFInfo
- Publication number
- SU753373A3 SU753373A3 SU772452848A SU2452848A SU753373A3 SU 753373 A3 SU753373 A3 SU 753373A3 SU 772452848 A SU772452848 A SU 772452848A SU 2452848 A SU2452848 A SU 2452848A SU 753373 A3 SU753373 A3 SU 753373A3
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- input
- output
- differential
- current
- glow discharge
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32018—Glow discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
- C21D1/34—Methods of heating
- C21D1/38—Heating by cathodic discharges
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
- G05D23/1906—Control of temperature characterised by the use of electric means using an analogue comparing device
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
- G05D23/20—Control of temperature characterised by the use of electric means with sensing elements having variation of electric or magnetic properties with change of temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32917—Plasma diagnostics
- H01J37/32935—Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
- Discharge Heating (AREA)
- Control Of Resistance Heating (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Description
можность устанавливатьс по усмотрению заданное опорное значение температуры обработки. Выход усилител 3 подключен к входу усилител 2. В качестве усилител 3 целесообразио примен ть оиерацноиный усилитель (то же самое и дл усилител 2), который ири больших разност х входного нанр жеии переходит в режим насьь щени , т. е. работает в качестве комиаратора , тогда как он нрн малых значенн х разности входного ианр 1 ени , а именно в том случае, когда температура V прибл жаетс к заданной величине гюд, выдает сигнал, стрем щийс к нулю. При , выходное напр жеиие усилител 3 равно нулю. Если же допо;п1ительно к этому проdV нзводна температуры по времени -- равdt
на нулю, то сигнал
выхода усилител также равен нулю.
Работает устройство следующим образом.
Выдавае.мое усилителем 3 заданное значенне Л V сравниваетс с ироизводиой темdV
нературы ио времени - иосредством усиdt
лител 2, иричем его выходной сигнал передаетс па блок 4 регулировани силы тока , который выполнен специальпо как пропорцноиальио-интегральный (ПИ) регул тор с длительным периодом времеии регулировани . ПИ-регул тор 4 увеличивает при наличии выходного сигиала усилител 2 медленио и иенрерывно величину силы тока е тем, чтобы вследствие внедреипых изменений снлы тока в камере не было вызвано возникновени дуговых разр дов.
К ПИ-регул тору 4 целесообразно иодводить при возникиовеннн дуговых разр дов импульсы дл С1И1жени тока, причем эти импульсы могут исходить, иапрпмср, от быстродействующего выключател , который соедннеп с доиол1И1тельным входом 5 ПИрегул тора 4. Такие импульсы могут, например , вычитатьс из образоваиного в ПИрегул торе интегрального значени , так что получаетс сокращение темиа нарастани снлы тока или даже уменьшение ее. Таким путем создаетс обратна св зь меж/ту возинкновением дугового разр да и рабочим током дл тлеющего разр да.
Выход ПИ-регул тора 4 дает требуемое значение величины рабочего тока /.,ад.
На фиг. 2 нредставлен ход иарастанн температуры V в зависимости от временн /. Сплошна крива изображает 1 0рмальиый ход процесса запуска сильноточного тлеющего разр да. Крива нодиимастс непрерывно и приближаетс автоматически к заданной температуре обработкн Кзцд.
В заштрихованной области усилнте,ль 3 работает в качестве усилител , тогда как ниже этой заштрихованиой зоны он действует в качестве компаратора, так как вследствие больщих разиостей входного напр жени между V и Узад работает в режиме насыщени . Кратковремеиные перерывы процесса запуска при режиме тлеющего разр да в результате возн11киовеии дуговых разр дов, которвш обуславливаютс вмешате. ьством быстродействуюшего выключател , не влекут за собой разрыв кривой, а ведут к соответствуюидему регулированию иарастани температуры. При более длительных нерерывах, которые могут быть обусловлены нарушени ми различного характера, как 1аиример к)атковремеинос нрекран1,ение нодачн (хлаждаюН1 ,ей воды, наири.мср, в течение нро.межутка времени от /; до /2, может нронзойтп охлаждение обрабатываемых детале, как это иредставлеио иупктнрной кривой.
Возобновление нагрева в момент времени 2 иачииаетс тогда при той температуре, которую иодлежащие обработке детали и.меют в этот момеит времени. Поднимаюн .;а с ветвь этой крнвой нроход1гг тогда в основном нараллельно с соответствуюи;ей част1ло крнвой, причем частота возиикновеии дуговых разр дов сводгггс к .миии.мум} за счет сигналов, исход щих от быстроде ствующего выключател вследствие иал 1чи обратиой св зи. Таким нутем Hejjepbiвы процесса нагревани вследствие срабатывани быстродействуюн1,его выключател остаютс незначительны.ми, так что дл осуществлени процесса пагрева обеспечнваетс М1ии1.1а.1ьиа затрата вре.чснн при оптимальиых услови х сохранности деталей .
Фор м у л а изобретен и
Claims (2)
1.Устройство дл регулировани режима ЗТтановкн тлеющего разр да, содержащее блок регулировани тока, ев заииый входом с выходом дифференциального усилител , одии из входов которого соединен с датчико.м тем ;ерату)ы, а второй -- с задатчиком те.мнературы, отличающеес тем, что, с целью иовышени безоиасиости экси;1уатацин и новышени производительности установкн, дифференциальный усилнтель вынолиен насыщающимс , а устройство снабжено дополнительным дифференциа;пэиы .м уси;1ителем н диффереинируюп;им элемеито.м, вход которого соединен с датчиком температуры, а выход - с одии.г) из входов донолннтельиого дифференциального усилнтел , второй вход которого соединен с выходом уиом иутого дифференциального усилител , а выход соединен с одним из входов регул тора тока.
2. стройство по п. 1, от л и ч а ю щ е е с тем, что блок регулироваии тока с 1абжеи донолиительиым входом дл подключе1И к блоку умеиьшенн тока, например к быстроде1 1ствующему выключателю.
Источп п к н н н фор м а цн н, н)ин тые во вннмаиие нри экспертизе 1. Патент Швейцар.чи Лг 364850, кл. 21h 16/00, 1962,
I I J
зад
i, t2
.z.
- t
Риг.г
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2606396A DE2606396C3 (de) | 1976-02-18 | 1976-02-18 | Vorrichtung zum Aufheizen und Einstellen einer vorgegebenen Behandlungstemperatur von Werkstücken mittels stromstarker Glimmentladung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU753373A3 true SU753373A3 (ru) | 1980-07-30 |
Family
ID=5970148
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU772452848A SU753373A3 (ru) | 1976-02-18 | 1977-02-18 | Устройство дл регулировани режима установки тлеющего разр да |
Country Status (13)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4130762A (ru) |
JP (1) | JPS5299936A (ru) |
BR (1) | BR7700948A (ru) |
CA (1) | CA1092954A (ru) |
CH (1) | CH611098A5 (ru) |
DD (1) | DD130089A5 (ru) |
DE (1) | DE2606396C3 (ru) |
FR (1) | FR2341892A1 (ru) |
GB (1) | GB1567838A (ru) |
IT (1) | IT1074675B (ru) |
PL (1) | PL110400B1 (ru) |
SU (1) | SU753373A3 (ru) |
ZA (1) | ZA77768B (ru) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54105342A (en) * | 1978-02-07 | 1979-08-18 | Mitsubishi Electric Corp | Glow-discharge heating device |
US4331856A (en) * | 1978-10-06 | 1982-05-25 | Wellman Thermal Systems Corporation | Control system and method of controlling ion nitriding apparatus |
US4476373A (en) * | 1978-10-06 | 1984-10-09 | Wellman Thermal Systems Corporation | Control system and method of controlling ion nitriding apparatus |
US4297190A (en) * | 1979-05-14 | 1981-10-27 | Western Electric Co., Inc. | Method for removing heat from a workpiece during processing in a vacuum chamber |
DE3110915A1 (de) * | 1981-03-20 | 1982-12-02 | Ludger 5471 Wassenach Mersmann | Therapiegeraet zur behandlung von wasser und/oder biologischen systemen mit magnetfeldern und/oder elektromagnetischen strahlungen und/oder elektrischen stroemen |
GB2100023B (en) * | 1981-06-05 | 1985-01-09 | Aizenshtein Anatoly Gdalievich | Method of control of chemico-thermal treatment of workpieces in glow discharge and a device for carrying out the same |
BG41744A1 (en) * | 1984-11-26 | 1987-08-14 | Savov | Method for control of chimico= thermic processing of work- pieces with glowing dicharge in medium of processing gas and device for implementing this method |
US4853046A (en) * | 1987-09-04 | 1989-08-01 | Surface Combustion, Inc. | Ion carburizing |
US5127967A (en) * | 1987-09-04 | 1992-07-07 | Surface Combustion, Inc. | Ion carburizing |
HUP0304104A2 (hu) * | 2003-12-22 | 2005-08-29 | László Kovács | Eljárás és vezérlő elrendezés olajsütő készülékek olajtöltés nélküli véletlen bekapcsolásának megszüntetésére |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH342980A (de) * | 1950-11-09 | 1959-12-15 | Berghaus Elektrophysik Anst | Verfahren zur Diffusionsbehandlung von Rohren aus Eisen und Stahl oder deren Legierungen |
BE569244A (ru) * | 1953-12-09 | |||
CH389797A (de) * | 1959-08-17 | 1965-03-31 | Berghaus Elektrophysik Anst | Vorrichtung zur Vermeidung von plötzlichen Änderungen des Entladungszustandes für mit stromstarken Glimmentladungen betriebene Entladungsgefässe |
FR1266098A (fr) * | 1959-08-17 | 1961-07-07 | Berghaus Elektrophysik Anst | Procédé et dispositif pour assurer la stabilité des décharges luminescentes de grande énergie en atmosphère de gaz |
CH409694A (de) * | 1962-11-06 | 1966-03-15 | Berghaus Elektrophysik Anst | Verfahren zur Behandlung von Teilen eines Kugelschreibers |
DE1275228B (de) * | 1966-11-08 | 1968-08-14 | Berghaus Elektrophysik Anst | Verfahren zur UEberwachung des elektrischen Verhaltens einer stromstarken Glimmentladung fuer metallurgische Verfahren und Einrichtung dazu |
CA825823A (en) * | 1968-02-09 | 1969-10-21 | A. Hogan James | Electronic process controller |
US3686557A (en) * | 1970-08-26 | 1972-08-22 | Fischer & Porter Co | Floating-type electronic servo-motor process controller |
FR2131484A5 (ru) * | 1972-03-15 | 1972-11-10 | Thalamas Alban | |
JPS5148778A (ja) * | 1974-09-13 | 1976-04-27 | Fuji Electric Co Ltd | Ionchitsukadengennoseigyosochi |
-
1976
- 1976-02-18 DE DE2606396A patent/DE2606396C3/de not_active Expired
-
1977
- 1977-01-25 CH CH86277A patent/CH611098A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1977-02-07 PL PL1977195856A patent/PL110400B1/pl unknown
- 1977-02-10 FR FR7703790A patent/FR2341892A1/fr active Granted
- 1977-02-10 ZA ZA00770768A patent/ZA77768B/xx unknown
- 1977-02-16 BR BR7700948A patent/BR7700948A/pt unknown
- 1977-02-16 CA CA271,944A patent/CA1092954A/en not_active Expired
- 1977-02-16 DD DD7700197422A patent/DD130089A5/xx unknown
- 1977-02-16 US US05/769,162 patent/US4130762A/en not_active Expired - Lifetime
- 1977-02-18 JP JP1706477A patent/JPS5299936A/ja active Granted
- 1977-02-18 IT IT20417/77A patent/IT1074675B/it active
- 1977-02-18 SU SU772452848A patent/SU753373A3/ru active
- 1977-02-18 GB GB6843/77A patent/GB1567838A/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5636559B2 (ru) | 1981-08-25 |
DE2606396C3 (de) | 1979-01-04 |
CA1092954A (en) | 1981-01-06 |
DD130089A5 (de) | 1978-03-01 |
DE2606396B2 (de) | 1978-05-11 |
PL110400B1 (en) | 1980-07-31 |
FR2341892A1 (fr) | 1977-09-16 |
US4130762A (en) | 1978-12-19 |
BR7700948A (pt) | 1977-10-18 |
GB1567838A (en) | 1980-05-21 |
ZA77768B (en) | 1978-01-25 |
IT1074675B (it) | 1985-04-20 |
JPS5299936A (en) | 1977-08-22 |
CH611098A5 (ru) | 1979-05-15 |
FR2341892B1 (ru) | 1982-10-22 |
DE2606396A1 (de) | 1977-08-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU753373A3 (ru) | Устройство дл регулировани режима установки тлеющего разр да | |
US4996638A (en) | Method of feedback regulating a flyback power converter | |
US4510562A (en) | Stabilizing power-supply circuit | |
US5323408A (en) | Regulation of preconduction current of a laser diode using the third derivative of the output signal | |
US4479046A (en) | Single power source arc welding apparatus | |
GB1319931A (en) | Method and apparatus for controlling gas cutting operation | |
US2232080A (en) | High frequency transmitter system | |
SU1073866A2 (ru) | Задатчик интенсивности дл быстродействующего электропривода | |
SU900389A1 (ru) | Задатчик интенсивности дл быстродействующего электропривода | |
JPS567489A (en) | System for controlling photo-output | |
SU587452A1 (ru) | Регул тор температуры | |
SU821245A1 (ru) | Способ управлени тиристорнымРЕгул ТОРОМ TOKA ВОзбуждЕНи СЕРиЕС-НОгО Т гОВОгО дВигАТЕл | |
JPS55154789A (en) | Driving circuit for semiconductor laser | |
SU1259226A1 (ru) | Устройство дл регулировани температуры | |
SU930761A1 (ru) | Устройство дл регулировани режима установки сильноточного тлеющего разр да | |
SU547956A1 (ru) | Устройство дл возбуждени синхронной машины | |
SU113954A2 (ru) | Регул тор подачи электрода-инструмента дл электроэррозионного станка | |
SU714376A1 (ru) | Импульсный стабилизатор посто нного напр жени | |
SU991369A2 (ru) | Импульсный регул тор | |
SU690240A1 (ru) | Система автоматического регулировани температуры пара на выходе парогенератора в период его пуска | |
SU936320A1 (ru) | Устройство дл управлени электроприводом посто нного тока | |
SU873480A1 (ru) | Регул тор мощности дуговой электропечи | |
SU631863A1 (ru) | След ща система | |
SU983955A1 (ru) | Система подчиненного регулировани | |
SU746422A1 (ru) | Программный релейный регул тор |