SU750433A1 - Импульсное регулирующее устройство - Google Patents

Description

(54) ИМПУЛЬСНОЕ РЕГУЛИРУЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО

I

Изобретение относитс  к области автоматики , а именно к устройствам автоматического регулировани  технологических параметров и может быть использовано, например, дл  управлени  объектами, динамические характеристики которых иамеHsnoTCH в течение технологического про цесса.

Известны импульсные регулирующие устройства 1Д и 23, содержащие .рэверснБНый счетчик импульсов, исполнительное устройство, генератор импульсов.

Эти устройства предназначены дл  автсматического регулировани  технологических , параметров объектов с неизменны-. ми в течение технологического процесса динамическими характеристиками.

Недостатком известных устройств  вл етс  то, что применительно к объектам с переменными динамическими характеристиками они не могут обеспечить заданные качественные показатели регулировани  в течение технологического процесса.

Из известных устрюйств наиболее бпиэким по техн1тческой сущности 51вл етс  импульсное регулирующее устройство 3, содержащее последовательно соединенные форсирующий блок, генератор импульсов, реверсивный счетчик, исполнительный элемент , нагревательный элемент, выход которого соединен со входом объекта регулировани , выход которого св зан через датчик текгаературы со входсчм блока сравнени , соответствующий вход которого соединен с выходом задатчика, а выходыс управл ющими входами реверсивного счзтчика.

В данном устройстве частота генератог ра импульсов определ етс  требовани ми, предъ вл емыми к качественным показагтел м регулировани , и устанавливаетс  при его наладке. Кроме того, частота генератора импульсов зависит от величины отклонени  регулируемого параметра от заданного значени .

Оценка качественных показателей регулировани  наиболее часто производитс  3 по обобщенному ттегральному кри-терию , выражение которого в об7504334 щем виде запшиетс  следующим об. разом:

v2j,v, /d xd 2/cJ xd 21

Claims (3)

1. J;yi{7r)ifa(lI5-)--lfn(pr)Jdl, - переходна  погрешность регупиров ани  и ее произБОДJTuX - .-ifn - коэффициенты, значени  которых завис т от динамических характеристик объекта регулировани  и настройки генера тора импульсов при наладке. Подбира  параметры начальной настройки генератора импульсов, можно MBKHMHSH ровать значение интеграпа 3 у и тем самым добитьс  заданных качественных показателей регулировани . Недостатком этого устройства  вл етс  то, что в случае использовани  данного устройства применительно к объектам с переменными динамическт ш характерис тиками коэффициентыjfj,...Упв выражении обобщенного интегрального критери  будут измен тьс  Б течение технологического процесса, что приведет к ухудшению качественных показателей рртулировани . Следовательно, в приведенном выше случае известное устройство не обеспечит заданных качественных показателей регулировани  в течение технологического процесса. Целью изобретени   вл етс  повышени точностей устройства. Это достигаетс  тем, -что оно содер - жит датчик состо ни  нагревательного элемента и регул тор частоты, выход которого подключен к соответствующему входу генератора импульсов, вход - ко входу форсирующего блока и к выходу датчика состо ни  нагревательного элемента , вход которого соединен с соотве - ствующим выходом нагревательного элемента . На чертеже представлена структурна  импульсного регулирующего устройства дл  автсматичэского регушров ани  температуры поверхности подложки, динамические характеристики которой иамен ютс  Б течение технологического процесса . Она содержит датчик температуры 1 и задатчик 2, подключенные к входу блока сравнени  3. Блок сравнени  3 состоит из последовательно соединенных сумматора 4 и нуль-органа 5, Выходы нульоргана 5 и генератора импульсов 6 под.- ключены соответственно к управл ющим и синхронизирующему входам реБерсивного счетчика . импульсов 7. .Выход реверсив- ноге счетчика 7 подключен к последовательно соединенным исполнительному элементу 8 и нагревательному элементу 9, Нагревательный элемент 9 подключен к объекту регулировани  1О и блоку коррекции частоты 11, состо щему из последовательно соединенных датчика состо ни  нагревательного элемента 12 и регул тора частоты 13. Выход датчика состо ни  нагревательного элемента 2 подключен к форсирующему блоку 14. Выходы регул тора частоты 13 и форсирующего блока 14 подключены к генератору импульсов 6, На входе сумматора 4 происходит аш-ебраическое суммирование сигналов от датчика температуры 1 и задатч эса 2. В зависимости от знака суммы сигналов нуль-орган 5 выдает сигнал Прибавить или Убавить на управл ющие входы реверсивного счетчика импульсов 7. Реверсивный счетчик импульсов 7 управл ет работой исполнительного элемента 8, 1 полнительный элемент 8 воздействует на . нагреватапьный элемент 9, а нагревательный элемент 9 - на регулируемый пара -мётр объекта регулировани  10 - тнэмпературу подложки. С.выхода генератора импульсов 6 на синхронизирующий вход реверсивного счетчика импульсов 7 поступают однопол рные импульсы. Форсирующий блок 14 предназначен дл  повышени  быстродействи  импульсного устройства регулировани  в целом , В зависимости от величины тока нагревательного элемента 9,,  вл ющегос  однозначной функцией динамических характеристик объекта регулировани  Ю, производитс  коррекци  частоты генератора им- 57 пульсов 6. Подбира  параметры бпока коррекшш частоты 11 и форсирующего блока 14 при наладке можно обеспечить заданные качественные показатели регули ровани  температуры поверхности подложки в течение всего технологического процесса . Описанное импульсное регулирующее устройство дл  автоматического регулиро вани  температуры поверхности подложки испытываетс  на аппаратах водородного восстановлени  поликристаллического крем ни . Предварительные стендовые испытани  показали, что использование данного устройства на аппаратах водородного восстановлени  позволит повысить точность регулировани  температуры поверхности подложки до i 5 С. В течение всего технологического процесса. Ожидаемый технико-экономический эффект от внедрени  устройства в существующем объ&ле производства составит 18000 руб. Формула изобретени  Импульсное регулирующее устройство, содержащее последовательно соединенные форсирующий блок, генератор импульсов, реверсивный счетчик, исполнительный эле3 мент, нагревательный элемент, выход которого соединен со входом объекта регу лировани , выход которого св зан через датчик температуры со входом блока сравнени , соответствующий вход которого соединен с выходом задатчика, а выходы с управл ющими входами реверсивного счетчика, отличающеес  теМ) что, с целью повышени  точности устройства , оно содержит датчик состо ни  .нагр ательного элемента и регул тор частоты, выход которого подключен к соответствующему входу генератора импульсов , вход - к выходу форсирующего блока и к выходу датчика состо ни  апревательного элемента, вход которого со&динен с соответствующим выходом нагревательного элемента. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 224933, кл. С- О5 В 11/14, от 01.06.67.
2. 2.Авторское свидетельство СССР № 505996, кл. О- 05 11/14 от 14.01.74.
3. 3.Авторское свидетельство СССР № 196969, кл.О-05 В 11/14 от 13.08,66 (прототип).