SU739132A1 - Состав дл очистки деталей - Google Patents

Description

(54) СОСТАВ ДЛЯ ОЧИСТКИ ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относитс  к области химической обработки изделий, в част ности к очистке деталей от загр знений органического и неорганического характера, и может быть использовано в радио и электронной промышленности Известен состав дл  очистки деталей , содержащий серную кислоту и пер кись водорода 1. Этот состав удал ет органические вещества с полупроводниковой подложки . Однако использование этого соста ва дл  очистки деталей, прошедших предварительную обработку - шлифовку и полировку с пастой ТОЙ, не сзбеспечивает качественной очистки. Целью изобретени   вл етс  повышение эффективности очистки деталей, имеющих микроотверсти . Это достигаетс  тем, что состав Дл  очистки дополнительно содержит антистатическую добавку и хлор-фторхлорзамещенный углеводород при следующем соотношении компонентов, Серна  кислота Перекись водорода Антистатическа  0,03-0,05 добавка Хлор,-фторхлорзамеОстальное щенный углеводород При этом в качестве хлор,-фторзамещенного углеводорода используетс  трихлортрифторэтан или дифтортетрахлорэтан . В качестве антистатической добавки используетс  антистатик Фотон (ТУ6-15-983-76) . Введение хлор,-фторхлорзамещённого углеводорода (фреона-ИЗ) снижает в зкость раствора и поверхностное нат жение, в результате повы(иаетс  эффективность растворенных св зующих, пасты ГОИ. Введение в став антистатика предотвращает нал11пание посторонних частиц во врем  обработки, промывки, сушки, транспортировки и хранени  деталей. Состав готов т сливанием расчетных количеств перекиси водорода, трихлортрифторэтана или дифтортетрахлорэтана и антистатика.. Полученную смесь добавл ют к серной кислоте. В табл. 1 приведены результаты сравнительной очистки капилл рного керамического инструмента без воздействи  ультразвука при температуре . Очистка деталей может также производитьс  прииспользовании ультразвуковых колебаний. При этом врем  обработки сокращаетс  до 3-5 мин и выход годных увеличиваетс  до 96-99%,

Данные по очистке деталей с исполь эованием ультразвука приведены в табл.2 типа Очищалось Серна  кислота 70 Перекись водо15 шт, отверсти  Антистатик вскрылись Трихлортрина 1 щт фторэтан OcTaj b Очищалось Серна  -кислота 82 15 шт, Перекись водорода15 отверстие Антистатик 0,04 вскрылось на 1 шт Трихлортрифторэтан Остггльное Очищалось Серна  кислота 94 15 шт, Перекись водо- 5 отверсти  рода Антиститик 0,03 вскрылись на шт ТрихлортркфторэтанОстальОчищалось Очищалось

50 15 ш::,20 шт,

93,75

отверсти  отверсти  не

6,25 не вскры- вскрылись лись

100 Очищалось Очищалось

сос15 ш-г, :20 шт, отверсти  отверсти  . не вскры-- не вскрьшись лись

Из данных таблиц видно, что использование предлагаемого состава вдвое сокращает врем  обработки и значительно повышает качество очистки капилл рных каналов.

Таблица 1

6 ,6 65 80

6 ,6 70 90

000

О О 30

О О 50 Качество очищенных капилл рных инструментов провер лось на микроскопе БМИ по количеству проход щего света через сечение отверсти . Очищалось Очищалось 20 шт, отверс- 10 шт отверстин вскрьзшись ти  вскрылись на 20 шт, на 10 шт, 2 шт, 7 шт,отверсти  имеют частицы в сечении отверимеют прилипшие сти  частицы в сече НИИ отверсти  Очищалось Очищалось 20 шт, отверс- 10 шт, отверстие вскрылось ти  вскрыты на на 20 шт, на 10 шт, 1 шт 6 шт, отверсти  имеет прилипшие имеют прилигаииечастицы в сечастицы в сече-чении отверснии отверсти  ти  О-чищалось 10 шт,6,б 75 90 Очищалось 1 шт, имеет при20 шт, отверслипшие частицы в ти . вскрылись на 20 шт, на сечении отверс5 шт, отверсти ти  имеют прилипшие, частицы в сечении отверсти 

Серна  кислота Перекись водорода Антистатик Трихлортрифторэ тан

Серна  кислота Перекись водорода Антистатик Ти хлортрифторэ тан

Серна  кислота Перекись водорода Антистатик Трихлортрифторэ та

Серна  кислота Перекись водорода Антистатик Дифтортетрахлорэ т

Claims (2)

1. Состав дл  очистки деталей, содержащий кислоту и перекись водорода , отличающийс  тем, что с целью повышени  эффективности очистки , он .дополнительно содержит антистатическую добавку и хлор-, фторхлорзамещенный углеводород при следующем соотношении компонентов, об.%:

Серна  кислота

70-94 Перекись водорода 5-25 Антистатическа  добавка

0,03-0,05

Таблица 2

9798

96

Отверстие капилл ра чистое по Bcei сечению

9899

97

. (

I

97

9796

9899

98

Хл ор, - фто рхл орзамещенный углеОстсшьное водород

2. Раствор поп.1,отличающ и и с   тем, что он в качестве хлор,-фторхлорзамещенного углеводорода содержит трихлортрифторэтан или дифтортетрахлорэтан.

ч

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе

1. Патент Великобритании №1427482, кл. В 6 J, 1976.