SU672525A1 - Pressure pickup - Google Patents

Pressure pickup

Info

Publication number: SU672525A1
Authority: SU; USSR - Soviet Union
Prior art keywords: pressure; sensor; membrane; pressure pickup; sensing part
Prior art date: 1977-06-17

Application number

SU772497514A

Other languages

Russian (ru)

Inventor

Юрий Иванович Будыко

Юрий Михайлович Волокобинский

Юрий Васильевич Духнин

Валентин Эйзерович Коганер

Юрий Владимирович Кабзев

Кирилл Владимирович Смирнов

Евгений Федорович Тифанюк

Original Assignee

Центральный Научно-Исследовательский И Конструкторский Институт Топливной Аппаратуры Автотракторных И Стационарных Двигателей

Ленинградский электротехнический институт им. В.И.Ульянова (Ленина)

Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)

1977-06-17

Filing date

1977-06-17

Publication date

1979-07-05

1977-06-17 Application filed by Центральный Научно-Исследовательский И Конструкторский Институт Топливной Аппаратуры Автотракторных И Стационарных Двигателей, Ленинградский электротехнический институт им. В.И.Ульянова (Ленина) filed Critical Центральный Научно-Исследовательский И Конструкторский Институт Топливной Аппаратуры Автотракторных И Стационарных Двигателей

1977-06-17 Priority to SU772497514A priority Critical patent/SU672525A1/en

1979-07-05 Application granted granted Critical

1979-07-05 Publication of SU672525A1 publication Critical patent/SU672525A1/en

Landscapes

Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

(54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ(54) PRESSURE SENSOR

1one

Изобретение относитс к измерительной технике, может быть использовано при измерении давлени быстроизмен ющихс процессов .The invention relates to a measurement technique, can be used in measuring the pressure of rapidly changing processes.

Известен датчик давлени с кремниевой мембраной 1.A pressure sensor with a silicon membrane 1 is known.

Этот датчик имеет довольно сложное компенсирующее схемное устройство дл устранени температурного дрейфа прибора.This sensor has a rather complicated compensating circuit device for eliminating the temperature drift of the device.

Наиболее близок к предлагаемому датчик абсолютного давлени , содержащий мембрану с тензорезисторами на воспринимающей давление части, соединенными в измерительную схему, полости измерительного и опорного давлений, разделенные воспринимающей давление частью мембраны, и компенсирующие тензорезисторы, расположенные на не воспринимающей давление части мембраныКЛ,Closest to the proposed absolute pressure sensor, which contains a membrane with strain gauges on the pressure-sensing part, connected to the measuring circuit, measurement and reference pressure cavities, separated by a pressure-sensing part of the membrane, and compensating strain gauges located on the pressure-non-sensing part of the membrane

Однако схема, примененна в этом датчике , сложна в изготовлении и настройке и принципиально не может полностью компенсировать температурного изменени тевзочувствительности .However, the circuit applied in this sensor is difficult to manufacture and configure and, in principle, cannot completely compensate for the temperature variation of physical sensitivity.

Цель изобретени - повышение температурной стабильности выходного сигналаThe purpose of the invention is to increase the temperature stability of the output signal

измерительной схемы датчика при одновременном упрощении конструкции и технологии изготовлени .measuring circuit of the sensor while simplifying the design and manufacturing technology.

Указанна цель достигаетс тем, что в известном датчике давлени , содержащем мембрану с тензорезисторами на воспринимающей давление части, соединенными в измерительную схему, полости измер емого и опорншо давлений, разделенные воспринимающей давление частью мембраны, и компенсирующие тензорезисторы, расположенные на не воспринимающей давление части мембраны, невоснринимающа часть мембраны жестко зафиксирована в дефор: ированном состо нии.This goal is achieved by the fact that in a known pressure sensor containing a membrane with strain gauges on the pressure-sensing part connected to a measuring circuit, the cavity to be measured and supporting pressure separated by the pressure-sensing part of the membrane, and compensating strain gauges located on the non-sensory pressure part The unresponsive part of the membrane is rigidly fixed in the deformed state.

Терм око мпенсирующие тензорезисторыTherm oko microsensors strain gages

наход тс в одном и том же жестко зафиксированном деформированном положении, что позвол ет получить в чистом виде сигнал термокомпенсации по изменению тензочувствительности компенсационной схемы. На фиг. 1 представлен общий вид датчика давлени в разрезе, на фиг. 2 - электрическа схема датчика.they are in the same rigidly fixed deformed position, which makes it possible to obtain in its pure form the temperature compensation signal by changing the strain sensitivity of the compensation circuit. FIG. 1 is a general view of the pressure sensor in section; FIG. 2 - electrical circuit of the sensor.

Датчик содержит мембрану из монокристаллического кремни с воспринимающей давление частью 1 и не воспринимающейThe sensor contains a monocrystalline silicon membrane with pressure sensing part 1 and not sensing

SU772497514A 1977-06-17 1977-06-17 Pressure pickup SU672525A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number	Priority Date	Filing Date	Title
SU772497514A SU672525A1 (en)	1977-06-17	1977-06-17	Pressure pickup

Applications Claiming Priority (1)

Application Number	Priority Date	Filing Date	Title
SU772497514A SU672525A1 (en)	1977-06-17	1977-06-17	Pressure pickup

Publications (1)

Publication Number	Publication Date
SU672525A1 true SU672525A1 (en)	1979-07-05

Family

ID=20713801

Family Applications (1)

Application Number	Title	Priority Date	Filing Date
SU772497514A SU672525A1 (en)	1977-06-17	1977-06-17	Pressure pickup

Country Status (1)

Country	Link
SU (1)	SU672525A1 (en)

1977
- 1977-06-17 SU SU772497514A patent/SU672525A1/en active

Publication	Publication Date	Title
US3517999A (en)	1970-06-30	Optical strain gauge
SU672525A1 (en)	1979-07-05	Pressure pickup
SU960559A2 (en)	1982-09-23	Pressure pickup
SU1536196A1 (en)	1990-01-15	Piezooptical meter of object deformations
SU815488A1 (en)	1981-03-23	Integrated optical strain gauge
SU460463A1 (en)	1975-02-15	Calibration method of membrane capacitance manometer
SU945634A1 (en)	1982-07-23	Deformation pickup
SU1000804A1 (en)	1983-02-28	Thermocompensated integrated pressure pickup (its versions)
SU781633A1 (en)	1980-11-23	Barometer
SU652475A1 (en)	1979-03-15	Tension meter
SU983437A1 (en)	1982-12-23	Strain gauge
SU1081448A1 (en)	1984-03-23	Absolute pressure pickup
SU802821A1 (en)	1981-02-07	Pressure measuring device
SU1464057A1 (en)	1989-03-07	Microbarometer
SU417699A1 (en)	1974-02-28
SU403980A1 (en)	1973-10-26	DIFFERENTIAL MANOMETER
SU732705A1 (en)	1980-05-05	Pressure difference transducer
SU1545115A1 (en)	1990-02-23	Pressure pickup
SU459699A1 (en)	1975-02-05	Strain gage pressure difference transducer
SU546803A1 (en)	1977-02-15	Pressure ratio sensor
SU1247693A1 (en)	1986-07-30	Semiconductor measuring device
SU714181A1 (en)	1980-02-05	Force measuring device
SU866427A1 (en)	1981-09-23	Barometer
SU985719A1 (en)	1982-12-30	Semiconductor pressure pickup
SU1379652A2 (en)	1988-03-07	Barometer