SU647535A1 - Расходомер - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано, в частности , дл  измерени  расхода жидкости.

Известны расходомеры, измер ющие расход протекающей среды по деформации чувствительного элемента, например, диафрагмы . При этом деформаци  чувствительного элемента воспринимаетс  тензорезистором 1.

Эти расходомеры имеют сравнительно невысокую чувствительность.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности  вл етс  расходомер, содержащий корпус с расположенными внутри него двум  радиально размещенными друг против друга пластинами, «а которых закреплены тензорезисторы, соединенные по мостовой схеме. Изменение сопротивлени  тензорезисторов приводит к разбалансу моста и служит мерой расхода 2.

Однако использование тензорезисторов, выполненных, например, из тонкой проволоки или образованных напылением йа гюдложку полупроводниковой пленки, приводит- к снижению чувствительности, надежности и ухудщению метрологических характеристик .

Дл  повышени  чувствительности и точности измерени  в предлагаемом р)асход()мере чувствительный элемент выполнен в виде полупроводниковой диафрагмы, состо щей из центральной части, отделенной от периферийной С-образной щелью, на перемычке между торцами которой размещены тензорезисторы.;

На фиг. I показан разрез описываемого расходомера по оси симметрии; на фиг. 2 вид расходомера сверху; на фиг. 3 - сечение чувствительного элемента.

Расходомер содержит корпус I- (например , часть трубопровода) с фланцами 2. Поперечное сечение корпуса 1 перегорожено чувствительным элементом - диском 3. Диск 3 состоит из двух частей: центральной 4 и отделенной от нее кольцевой С-образной щелью 5 периферийной части 6, зажатой при помощи колец 7 и винтов 8 в корпусе 1.

Чувствительный элемент - диск 3 выполнен в виде монокристаллической полупроводниковой диафрагмы, а в теле ее на участке наибольшей деформации, па перемычке между торцами С-образной щели размещены тензорезисторы 9, изготовленные методом ллвн&рж-ьэлииаксиалыюй технологии .. : . ::-.f v« - Дл  -првы 1ге й- гуд}:твительиости расходомера c.. стороны диска 3 под тензорезйсто)ами 9 делана пр моугольна  rfbidopka Ю (|5ир), уменыиающа  толщину диска .З., . ) «рабЛ-ает следующим обралт / 4V г;При Нротеканий потока измер емой среды через корпус перед чувствительным эле ментом - диском 3 и за ним возникает перепад давлени , обуславливающий деформацию центральной части 4 чувствительного элемента 3. Эта деформаци  воспринимаетс  тензорезисторами 9, выходной сигнал с которых может быть значительным, что позвол ет примен ть его без промежуточных усилителей по схеме измерительный мост - индикаторный прибор. Формула 11:юбретени  Расходомер, содержащий корпус, внутри которого размещен чувствительный элемент с тензорезисторами, соединенными по мостовой схеме, отличающийс  тем, что, с целью повышени  чувствительности и точности измерени , чувствительный элемент выполнен в виде полупроводниковой диафрагмы , состо щей из центральной части, отделенной от периферийной С-образной щелью , на перемычке между торцами которой размещены тензорезисторы. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе; 1.Левин В. М. Расходомеры малых расходов дл  схем промышленной автоматики. М, 1972, с. 55. 2.Патент Франции № 2194953, кл. G 01 F 1/00. 1974.

X

.J