SU532053A1 - Пневматический бесконтактный конечный выключатель - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  « области пневмоавтоматики и может быть попользовано в качестве датчика положени  плоских деталей, вапример фотошаблона и полупроводниковых кристаллов, при производстве интегральных схем.

Известны пневматические бесконтактные конечные выключатели, состо щие из icoocHO раоположениых и натравленных «а-встречу один к другому питающего и приемного сопел 1.

Недостатками их  вл ютс  низка  чувствительность , а также возможность засорени .

Наиболее близким к данному техническому решению  вл етс  пневматический бесконтактный конечный выключатель, содержащий канал литани  с установленным в ием зжектором , выходное СОПло которого  вл етс  питающим соплом конечного выключател , при емное сопло, расположенное соосно с питаюш ,им сонлом, выходной канал, соединенный с межсооловой камерой эжектора 2.

Одн.ако эти пневматические бесконтактные конечные выключатели имеют также .малую чувствительность, то есть большую разность координат Между точками «нулевого и «единичного сигнала при входе и выходе детали в паз и не обеспечивают возможности регулировани  величины выходного сигнала в процессе работы вообще.

С целью повышени  чувствительности устройства в нем .между приемным сонлом и

межсопловой камерой эжектора установлен переменный дроссель.

На чертеже изображен предлагаемый пневматический бесконтактный конечный выключатель .

Выключатель состоит из корпуса 1 с каналом 2 подвода питани , эжектором 3, образованным входным соплом 4 и выходным соплом 5,  вл ющимс  одновременно нитающим сонлом конечного выключател , нриемного

сонла 6, которое через переменный дроссель 7, уплотненный уплотнением 8, соединено коммутационными каналами 9, 10, И с межсопловой камерой эжектора 3 и выходным каналом 12, коммутационных каналов 9 и 11, загерметизированных пробками 13, и флалска 14.

Ра.ботает пневматический бесконтактный конечный выключатель следующим образом. При нодаче питани  в канал 2 воздух через

эжектор 3 попадает в приемное сопло 6, проходит переменный дроссель 7, комм тапионные каналы 9-И и поступает в выходной канал 12 и межсопловую камеру эжектора 3.

В заБнсимости от положени  перомешюго дроссел  7 в выходном :каНале 12 обеспечиваетс  избыточное давление или вакуум. Это значение соответствует сигналу «О нневматического бесконта:ктного конеч«ого выключател .

В момент, когда флажок 14 перекрывает струю, поступающую в лриемиый «анал 6, величина вакуума в выходном канале 12 увеличиваетс , что соответствует сигналу «1.

Дл  работы переменный дроссель 7 выставл ют образом, что сигнал «О соответствует избыточному давлению в выходном канале 12, а сигнал «1 - в.акууму.

ТеХНико-экономичеокий эффект от данного предложени  заключаетс  в получении большей чувствительности (до 0,05 мм), большего диапазона изменени  величины выходного сигнала, а та-кже в получении возможности регулировки величины выходного сигнала устройства в процессе работы, причем плавно и без его разборки.

Claims (2)

1.Сб. «Пневмоавтоматика, Наука, 1974 г., стр. 272. Стать  Э. И. Чаплыгина и др. «Некоторые вопросы надежности струйных систем

управлени .

2.Авторское свидетельство СССР N° 381072, М. Кл.2 G 06D 1/02, за вленное 28.12.72г.