(54) СПОСОБ ПЕРЕДАЧИ ИНФОРАДАЦИИ в среде 1. Таким образом, видно, что при предельном угле frfr длина этой волны равна А 2 . С возрастанием угла падени Я . длина волны уменьшаетс и, в конце концов, при плоском угле падени имеем с - J т.е. она становитс равной длине волны в более плотной первой среде, Субволны со значительно более малой длиной волны могут быть получены, например , благодар тому, что лучи пропускают через решетку, пропускающую ориентировочно волны с синусоидальной амплитудой и имеющую посто нную ci решетки, котора мала по сравнению с длиной волны и пользуемого излучени . В этом случае возн кают субволны, которые распростран ютс в плоскости рещетки и сильно затухают в направлении , перпендикул рном плоскости решетки . Длина волны этих субволн равна посто нной о(. используемой решетки. Целью изобретени вл етс расширение диапазона передаваемой информации и увели чение разрешающей способности. Цель достигаетс тем, что создают субволну путем полного отражени в тонкой среде, при этом дифракци субволны на исследуемом объекте (структуре) приводит к возникновению однородных волн, по которым оценивают информацию. Структура, раз меры которой меньше длины волны исполь- зуемого излучени ,будет обозначатьс кратко как субструктура по отношению к этому излучению. Было обнаружено, что путем ди ракции субволны на субструктуре вновь получают бегущие волны. Особенно важным 5тл етс тот факт, что в этом случае происходит трансформаци местных частот. Если, например, одноразмерна решетка (по сто нна решетка о. местна частота облучаетс субволной с длиной волны А. , ., ( ь то есть волновое число будет К 5 д-, то образуетс дифракционный спектр с местны ми частотами К mKot -К(тг) 0, ±1, ±2,.., ) Вследствие дифракции субволны, таким образом, до сих пор недоступные местные частоты К 0 в традиционном диапазоне могут быть трансформированы в частоты трад ционного диапазона при условии, что . Дл выполнени этого волновое число субволн должно быть выбрано таким образом: /тпКд-К / /К„. Система дл получени изоб ражений, работающа традиционным способом (например инза), принимает то же самое распредеение света, как и при использовании ре- етки с посто нной решетки, равной 0 и, ри вертикальном облучении волнами с длиой волны А , Дл получе1Ж изображени , одобного объекту, требуетс многократое преобразование вида где М представл ет собой увеличение. Сначала возьмем объект, основна ци о котором содержитс в спектре местных частот, полоса которых имеет ширину зоне местных частот в этом случае необходимо тотчас же задать,каким образом К - преобразуетс в К к«- . Ъ М М Таким образом, необходимо стуктуру KQ облучить субволнами; бегущие волны, испытавшие дифракцию, используютс дл получени М -кратно увеличенного изображешш; путем модул ции на несущую местную частоту -jv согласно известным методам образуетс ,в конце концов, М -кратно увеличенное изображение структуры, в котором теперь однако обнаруживаютс местные частоты Kg соответствующих деталей. Использование субволн и их дифракции несет с собой, таким образом, следующие преимущества дл увеличени разрешающей способности: Более коротка длина субволны с точки зрени разрешающей способности, которую необходимо получить, равноценна облучению волнами с более короткой длиной волны, которые в обычных услови х очень трудно получить (например, лучи ультрафиолетово., го спектра с малой длиной волны шш рентгеновские лучи), дл которых не существует системы получени изображени , удовлетворительные результаты. Однородные волны, возникающие на структуре в случае дифракции субволн, имеющие нормальную длину волны, дают возможность производить последующую обработку волн с помощью хорошо развитых средств (лвнз и так далее) традиционной оптики. На чертеже схематически изображена установка дл реализации предлагаемого способа. Лазерное излучение 1 попадает на генерирующую рещетку 2 и образует здесь субволны с волновым числом Kg, Эти су5.. волны на структуре объекта 3 с местной частотой Кдподвергаютс дифракции, и в результате возникают нормальные волны с волновым числсчу К. Линза 4 в своей фокальной плоскости 5 дает спектр Фурье с вопнсжым чиспом Кк, в плоскости изображени 6 даетМ-кратно увеличенное и искаженное изображение структуры KQB соответствии со спектром местных частот К. С помощью линзы 7 в плоскости 8 создаетс спектр местных частот, соответствующий этой увеличенной структуре, С помощью диафрагмы 9 racsiTCH лучи с нулевой дифракцией , соответствующие свету, не испытавшему дифракции, и отрицательные мес ные частоты. Через призму 10 и линзу 11 под углом Ч)/5.-г7У-- / ввод тс смещенные лучи с дифракцией нулевого пор дка 12. Дл контрол за амплитудой и фазой (этих лучей нулевого пор дка) могут использоватьс расположенные по бокам от х да лучей пластины, осуществл юише контро за поглощением и за фазой. С помощью линзы 13 в ее задней фокал ной плоскости 14 получаетс М-кратно уве личенное изображение структуры, которое получаетс при кссом освещении с помощью традиционного микроскопа, так как в этом случае, как и при получении вышеупом нуто го изображени оно создаетс за счет лучей с дифракцией нулевого и первого пор дка. Улучшение качества изображени путем использовани положительных и отрицательных степеней дифракции может быть, например , получено с помощью голографических методов. Предлагаемый способ можно примен ть на двумерных структурах. В качестве решетки , создающей субволну, примен ют пере крестные решетки. С помощью предлагаемого способа можно получать изображение с большими спект- рами местных частот и обеспечить их разрешение , например в том случае, когда спектр местных частот объекта лишь в опре деленных интервалах занимает значительную часть. Дл этого необходимо разложить этот спектр на полосы шириной из этих частот теперь может быть получено большее число частот с помощью субволн. Дл такото разложени спектра можно, например, использовать последовательно одну за другой несколько генерирующих или анализирующих решеток дл субволн с различными длинами волн. Полученные таким образом полосы местных частот объедин ютс в данном случае в результирующее общее изображение согласно известным методам. В этом случае использование голографических методов аналогичное использованию их дл соединени обоих спектров со смещенными частотами, о чем было сказано выше, вл етс особо целесообразным, так как это позвол ет производить наложение нескольких волновых частей, принимаемых последовательно во времени. При использовании одного из вариантов изобретени информаци об объекте, получаема в субволнах через объект, снача™ ла регистрируетс и в заключение передаетс на голограмму стуктуры с помощью нормальных волн, получаемых вследствие дифракции субволн. Все субструктуры могут использоватьс как в качестве амплитудных, так и в качестве фазовых структур. Вследствие того, что излучение лазера когерентно и отличаетс высокой спектральной интенсивностью в оптической области, лазер вл етс наиболее предпочтительным источником излучени . Предлагаемый способ используетс предпочтительно в области оптических длин волн (ультрафиолетовые, видимые, инфракрасные лучи). Однако этот способ может использоватьс и дл электромагнитных волн с иной длиной волны или дл излучений другого происхождени , которые могут быть представлены в виде волн (например, электроны , звуковые и ультразвуковые волны). Особый случай применени данного случа представл ет собой анализ рентгеновских структур. Формула изобретени Сцособ передачи информации путем освещени объекта когерентными волнами и регистрации изображени , отличающийс тем, что, с целью расширени диапазона передаваемой информации и увеличени разрешающей способности, создают субволну , например путем полного отражени в тон- кой среде, при этом дифракци субволны на исследуемом объекте приводит к возникновению однородных волн и оценивают информацию изогнутых однородных волн.
tc,iII