SU463940A1 - A device for obtaining multiple images of an object - Google Patents
A device for obtaining multiple images of an objectInfo
- Publication number
- SU463940A1 SU463940A1 SU1975896A SU1975896A SU463940A1 SU 463940 A1 SU463940 A1 SU 463940A1 SU 1975896 A SU1975896 A SU 1975896A SU 1975896 A SU1975896 A SU 1975896A SU 463940 A1 SU463940 A1 SU 463940A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- illuminator
- multiple images
- obtaining multiple
- lens
- collimator
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
1one
Изобретение относитс к области оптического приборостроени .This invention relates to the field of optical instrumentation.
Известны устройства дл получени многократных изображений объекта, содержащие осветитель с конденсором, коллиматорным и проекционным объектами и диафрагмой, держатель объекта, коллиматорный объектив, оптический растр и светочувствительный слой.Devices are known for obtaining multiple images of an object, comprising an illuminator with a condenser, a collimator and projection objects and a diaphragm, an object holder, a collimator lens, an optical raster and a photosensitive layer.
Недостатком известного устройства вл етс взаимное перемещение светочувствительного сло и объекта.A disadvantage of the known device is the mutual movement of the photosensitive layer and the object.
Цель изобретени - устранение взаимных перемещений светочувствительного сло и объекта, что, в свою очередь, вл етс предпосылкой дл повышени качества и производительности труда при производстве интегральных схем.The purpose of the invention is to eliminate the mutual displacements of the photosensitive layer and the object, which, in turn, is a prerequisite for improving the quality and productivity of labor in the manufacture of integrated circuits.
Это достигаетс тем, что в предлагаемом устройстве при неподвижных объектах и светочувствительном слое между коллиматорным и проекционным объектами осветител устаповлена призменна система Порро второго рода с возможностью перемещени совместно с проекционным объективом осветител вдоль одной координатной оси объекта , причем одна из призм системы тесно св зана с проекционным объективом осветител и установлена с возможностью перемещени This is achieved by the fact that in the proposed device with fixed objects and the photosensitive layer between the collimator and projection objects of the illuminator, a Porro second type prism system is installed with the ability to move together with the projection lens of the illuminator along one coordinate axis of the object, and one of the system prisms is closely connected lens illuminator and mounted to move
относительно второй призмы системы вдоль другой координатной оси объекта.relative to the second prism of the system along the other coordinate axis of the object.
На чертеже изображена аксонометри принципиальной оптической системы предлагаемого устройства.The drawing shows a perspective view of the principal optical system of the proposed device.
Устройство включает в себ источник 1 света, конденсор 2, круглую диафрагму 3, коллиматорпый объектив 4 осветител , пр моугольные призмы 5 и 6 полного внутреннего отражени , представл ющие систему Норро второго рода, проекционный объектив 7 осветител , размножаемый объект 8, объектив 9 коллиматора, оптический растр 10 и светочувствительный слой 11.The device includes a light source 1, a condenser 2, a circular diaphragm 3, a collimator lens 4 illuminator, rectangular prisms 5 and 6 of total internal reflection, representing the second kind of Norro system, a projection lens 7 illuminator, a multiplicanding object 8, a collimator lens 9, optical raster 10 and the photosensitive layer 11.
Предлагаемое устройство работает следующим образом.The proposed device works as follows.
Изображение зоны разр да источника 1 света передаетс двухлинзовым конденсоромThe image of the discharge zone of the light source 1 is transmitted by a two-lens condenser
2 в плоскость круглой диафрагмы 3, перекрыва апертуру последней. Кругла диафрагма 3 находитс в передней фокальной плоскости коллиматорного объектива 4 осветител . .2 into the plane of the circular diaphragm 3, overlapping the aperture of the latter. The circular aperture 3 is located in the front focal plane of the collimator objective 4 illuminator. .
Таким образом, гомоцентрический, световой поток, пройд диафрагму 3, выходит из коллиматорпого объектива 4 параллельным пучком и, пройд призменную систему 5 и 6 Порро второго рода и проекционный объектив 7 осветител , формирует в плоскостиThus, the homocentric, light flux, traversing the diaphragm 3, emerges from the collimator lens 4 by a parallel beam and, after passing the prism system 5 and 6 Porro of the second kind and the projection lens 7 of the illuminator, forms in the plane
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1975896A SU463940A1 (en) | 1973-11-15 | 1973-11-15 | A device for obtaining multiple images of an object |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1975896A SU463940A1 (en) | 1973-11-15 | 1973-11-15 | A device for obtaining multiple images of an object |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU463940A1 true SU463940A1 (en) | 1975-03-15 |
Family
ID=20569378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1975896A SU463940A1 (en) | 1973-11-15 | 1973-11-15 | A device for obtaining multiple images of an object |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU463940A1 (en) |
-
1973
- 1973-11-15 SU SU1975896A patent/SU463940A1/en active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3682071A (en) | Automatic focusing device for cameras | |
| JPS6318166B2 (en) | ||
| US1873302A (en) | Color photographic machine | |
| SU463940A1 (en) | A device for obtaining multiple images of an object | |
| US2348410A (en) | Apparatus for taking stereoscopic or three-dimensional moving pictures | |
| US2165402A (en) | Photographic camera | |
| US1334480A (en) | Cinematographic stereoscope | |
| SU380946A1 (en) | INTERFEROMETER FOR QUALITY CONTROL OF THE FLAT OPTICAL SURFACE DETAILS | |
| SU669320A1 (en) | Photography-projection paraxial apparatus | |
| US3100430A (en) | Photographic device | |
| SU871015A1 (en) | Device for checking optical system alignment | |
| SU386372A1 (en) | PROJECTOR | |
| SU78195A1 (en) | A device for determining the angle of inclination of a photograph during aerial photography | |
| US2801567A (en) | Device for projecting a plurality of optical images in the same focal plane | |
| SU491823A1 (en) | Profile Projector | |
| US2123465A (en) | Range finder | |
| US1383543A (en) | Photographic apparatus | |
| GB618376A (en) | Improvements in or relating to collimators | |
| SU424012A1 (en) | DEVICE FOR RECORDING ANGULAR VIBRATIONS | |
| SU549772A1 (en) | Dual image autocollimation device | |
| SU137996A1 (en) | Photo Scanning Pupilograph | |
| SU605194A1 (en) | Device for adjusting motion picture and still-life cameras | |
| US1238474A (en) | Focusing device for cameras. | |
| SU152089A1 (en) | Photographic lens | |
| SU371551A1 (en) | PROJECTION SCANNING DEVICE |