SU425986A1 - Устройство для нанесения покрытий в вакууме - Google Patents
Устройство для нанесения покрытий в вакуумеInfo
- Publication number
- SU425986A1 SU425986A1 SU1706192A SU1706192A SU425986A1 SU 425986 A1 SU425986 A1 SU 425986A1 SU 1706192 A SU1706192 A SU 1706192A SU 1706192 A SU1706192 A SU 1706192A SU 425986 A1 SU425986 A1 SU 425986A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- vacuum
- cassettes
- axes
- chamber
- applying coatings
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
I
Изобретение относитс к области нанесени покрытий в вакууме и может быть использаваио дл двусторонней .металлизации изделий.
Известно устройство дл нанесени покрытий в вакууме, содержащее камеру, внутри которой укреплены иопар.ители и вращающийс барабан, .на котором наподвижно смонтированы «ассеты дл обрабатываемых .изделий , образующие многогранлик.
Одна.ко .коэффициент использовани объема вакуумлой камеры лри этом недостаточло
BbllCOiK.
Цель изобретени - повыщение производительности устройства И получение двустороннего 1покрыти .
Дл этого предлагаемое устройство снабжено дополнительными кассетами, смо.нтированными на ос х в верщинах многогранника . с возможностью разворота относительно осей.
Предлагаемое устройство дл нанесени покрытий в важууме показано на чертеже.
Устройство состоит из камеры /, внутрл которой укреплены испар.ители 2, 3 « вращающ .ийс б арабан 4, на котором } гподвнжно смонтировалы кассеты 5 дл обрабатываемых изделий, образующие многогранник, и дополнительные кас1сеты 6, смонтированные на ос х 7 в верщинах многогранника с вэзможностью разворота относительно этих осей.
Работает устройство следующим образом.
По достижении рабочего важуума в камере / включаютс приво.д барабана 4 с .кассетам.и (5 и 5 и испарители 2 и 3. При этом происходит нанесение .покрыти на поверхности изделий , обращенные к .испарител м. После окончани напылен.и на одну сторону из.делий , закрепленных в неподвижных кассетах
. 5, испаритель 3 выключаетс . Одновременно включаетс привод кассет 6, выполненпый, наиример, в виде мальтийского механиз.ма. Та.кое выполнение привода Обеспечивает поочере|дное разворачивание .кассет 6 относительно осей 7 за один оборот барабана 4 и после дних к смежным гран м барабана 4 с помощью, .например, авто.матических фиксаторов. При этом лерекрываютс стороны кассет 6, об|)ащенные к испарителю 2, с уже нанесенльш покрытием и вместе с тем открываютс необработанные стороны изделий .
Разворот подвижных кассет 6 осуществл етс вне зоны испарени во врем работы Испар.ител 2.
По достижении необходимой толщины покрыти на подложках (вращение барабана 4 прекращаетс и камера / разгерметизируетс . 30 Готовые издели вылимаютс из кассет.
Предмет изобретени
Устройство дл .налесени поюрытий в вакууме , содержащее камеру, -внутри которой укреплеиы испарители и барабаи, иа котором неподвижно омонтированы Кассеты дл обрабатываемых издеЛИЙ, обра:зующие миогогранНИ1К , отличающеес тем, что, с целью получени двустороннего покрыти и повышени проивво/дительности, оно снабжено дополнительными кассетами, смонтированными на ос х в вершинах многогранника с возможностью разворота относительно этих осей.
3 /
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1706192A SU425986A1 (ru) | 1971-10-15 | 1971-10-15 | Устройство для нанесения покрытий в вакууме |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1706192A SU425986A1 (ru) | 1971-10-15 | 1971-10-15 | Устройство для нанесения покрытий в вакууме |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU425986A1 true SU425986A1 (ru) | 1974-04-30 |
Family
ID=20490544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1706192A SU425986A1 (ru) | 1971-10-15 | 1971-10-15 | Устройство для нанесения покрытий в вакууме |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU425986A1 (ru) |
-
1971
- 1971-10-15 SU SU1706192A patent/SU425986A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB1562822A (en) | Vacuum deposition | |
| IE800421L (en) | Applying a metal layer to a non-conductor | |
| SU425986A1 (ru) | Устройство для нанесения покрытий в вакууме | |
| Serratosa | Infrared study of benzonitrile (C6H5-CN)-MONT-The Morillonite complexes | |
| GB1314690A (en) | Process for coating generally flat surfaces | |
| GB1391842A (en) | Apparatus for coating substrates by cathode sputtering and for cleaning by ion bombardment in the same vacuum vessel | |
| JPS5349955A (en) | Spin coating method | |
| GB1108414A (en) | Cryotrons | |
| JPS5730581A (en) | Coating of cylindrical body | |
| JPS5717852A (en) | Ion selective electrode, its production and ion selective electrode integrating plate | |
| GB1529418A (en) | Coating substrates | |
| GB1420214A (en) | Apparatus for and a method of applying a coating to a tapelike substrate | |
| CN216192688U (zh) | 多回转中心自转镀膜转架 | |
| JPS54141391A (en) | Manufacture of metallized film | |
| SU512249A1 (ru) | Вакуумна установка дл нанесени покрытий на подложки с рельефной поверхностью | |
| JPS5641527A (en) | Magnetic recording medium and its preparation | |
| JPS5462984A (en) | Masking deposition method | |
| SU437815A1 (ru) | Устройство дл напылени пр моугольных интерференционных клиньев | |
| SU899283A1 (ru) | Устройство дл получени металлических порошков | |
| JPS5799372A (en) | Formation of thin magnetic film | |
| US1480561A (en) | Claude p | |
| SU467641A1 (ru) | Вакуумна установка дл нанесени покрытий | |
| JPS6130026B2 (ru) | ||
| GB592655A (en) | Improvements in apparatus for coating articles | |
| JPH0373630B2 (ru) |