SU397139A1 - Устройство дл возбуждени электромагнитных волн в плазме - Google Patents
Устройство дл возбуждени электромагнитных волн в плазмеInfo
- Publication number
- SU397139A1 SU397139A1 SU1612253A SU1612253A SU397139A1 SU 397139 A1 SU397139 A1 SU 397139A1 SU 1612253 A SU1612253 A SU 1612253A SU 1612253 A SU1612253 A SU 1612253A SU 397139 A1 SU397139 A1 SU 397139A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- plasma
- resonator
- electromagnetic waves
- exciting electromagnetic
- exciting
- Prior art date
Links
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
Description
1
Изобретение касаетс термо дерных исследований и может использоватьс дл нагрева плазмы с помощью электромагнитных волн. Известно устройство дл возбуждени низкочастотных электромагнитных волн в плазме, содержащее катущку с аксиально периодическим распределением тока. При использовании этого устройства дл нагрева плазмы в больших объемах и с большой плотностью его эффективность невелика, а электрическа прочность недостаточна.
Цель изобретени - увеличение эффективности передачи высокочастотной энергии в плазму и уменьшение габаритов устройства. Цель достигаетс тем, что в предлагаемом устройстве возбуждающий элемент выполнен в виде диэлектрического резонатора и расположен на внутренней поверхности вакуумной камеры.
Резонатор может быть выполнен в виде трубы , или сегмента трубы, или отдельных колец. Во всех случа х резонатор располагают между вакуумной камерой и плазменным шнуром. В качестве материала дл резонатора используют диэлектрик с высоким значени-ём диэлектрической проницаемости (). Это позвол ет использовать резонатор с малой толщиной стенки и увеличить эффективность передачи высокочастотной энергии в плотную плазму.
На фиг. 1 схематически показано предлагаемое устройство в двух проекци х; на фиг. 2 - аналогичное устройство с резонатором, выполненным в виде набора колец; на фиг. 3
приведен общий вид резонатора, выполненного в виде сегмента трубы.
Резонатор запитывают от источника 1 высокочастотной энергии через коаксиальные кабели 2 и систему вибраторов 3. Число вибраторов выбирают из услови согласовани входных импедансов коаксиальных кабелей. Вибраторы представл ют собой отрезки проводников , расположенные в теле резонатора по его периметру.
В случае выполнепи резонатора в виде набора колец (фиг. 2) зазоры между кольцами выбирают из услови обеспечени необходимого аксиального периода собственных колебаний резонатора.
В предлагаемом устройстве при соответствующем выборе величины диэлектрической проницаемости резонатора можно достичь удовлетворительного согласовани показателей преломлени .
Использу различные моды собственных колебаний резонатора, можно в одном и том же резонаторе возбуждать колебани с различными аксиальными волновыми числами, что весьма существенно при экспериментальных
исследовани х. Возможно также одновременное возбуждение волн на двух различных частотах , например дл одновременного нагрева ионной и электронной компонент плазмы. Использование предлагаемого устройства целесообразно дл осуществлени нагрева плазмы в плазменных ловушках. Предмет изобретени 1. Устройство дл возбуждени электромагиз источнинитных волн в плазме, состо щее ка высокочастотной энергии, возбуждающего элемента и вакуумной камеры, отличающеес тем, что, с целью новыщени эффективности передачи энергии в плазму, возбуждающий элемент выполнен в виде диэлектрического резонатора, расположенного на внутренней поверхности вакуумной камеры. 2. Устройство по п. 1, отличающеес тем, что резонатор снабжен системой вибраторов .
Ч
н
Ш 883 8бг
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1612253A SU397139A1 (ru) | 1971-01-25 | 1971-01-25 | Устройство дл возбуждени электромагнитных волн в плазме |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1612253A SU397139A1 (ru) | 1971-01-25 | 1971-01-25 | Устройство дл возбуждени электромагнитных волн в плазме |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU397139A1 true SU397139A1 (ru) | 1975-03-05 |
Family
ID=20463821
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU1612253A SU397139A1 (ru) | 1971-01-25 | 1971-01-25 | Устройство дл возбуждени электромагнитных волн в плазме |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU397139A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3011807B1 (de) * | 2013-08-02 | 2017-11-15 | Eeplasma GmbH | Vorrichtung und verfahren zur behandlung von prozessgasen in einem plasma angeregt durch elektromagnetische wellen hoher frequenz |
-
1971
- 1971-01-25 SU SU1612253A patent/SU397139A1/ru active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3011807B1 (de) * | 2013-08-02 | 2017-11-15 | Eeplasma GmbH | Vorrichtung und verfahren zur behandlung von prozessgasen in einem plasma angeregt durch elektromagnetische wellen hoher frequenz |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5389153A (en) | Plasma processing system using surface wave plasma generating apparatus and method | |
US2856497A (en) | Dielectric matching devices | |
SE7605540L (sv) | Anordning for hogfrekvensuppvermning | |
US2468243A (en) | Electron discharge device | |
SU397139A1 (ru) | Устройство дл возбуждени электромагнитных волн в плазме | |
US3095880A (en) | Diathermy applicators | |
GB589911A (en) | Improvements in and relating to the electric treatment of hair | |
US3443131A (en) | Broadband exciter for electroacoustic and magnetoacoustic transducers | |
US3283113A (en) | Electronic oven for vending machine use | |
SU434891A1 (ru) | Устройство дл возбуждени электромагнитных волн в плазме | |
US2351055A (en) | Tube for producing multiple wave lengths | |
US3024182A (en) | Plasma energization | |
GB580374A (en) | Improvements in apparatus for heating by high frequency electric energy | |
US2897494A (en) | Radiator for short-wave devices | |
US3614512A (en) | Ionizing device | |
Madveika et al. | Theoretical analysis of low vacuum microwave discharge exciting and maintaining conditions in resonator type plasmatron | |
SU72718A1 (ru) | Безэлектродный разр дный прибор | |
US3290623A (en) | Apparatus for the generation of phonons by piezoelectric effects | |
SU438962A1 (ru) | Преобразователь акустических сигналов | |
RU2001671C1 (ru) | Электромагнитный излучатель В.Г.Вохм нина | |
SU586575A1 (ru) | Устройство дл нагрева токами свч деталей из непровод щего материала | |
SU648804A1 (ru) | Индукционна вибросушилка дл сыпучих материалов | |
US3544880A (en) | Microwave harmonic generator utilizing self-resonant ferrite | |
JPS6137755B2 (ru) | ||
US3368162A (en) | Microwave generator having pulsed ferrite body |