SU1817659A1 - Устройство для совмещения и экспонирования - Google Patents
Устройство для совмещения и экспонированияInfo
- Publication number
- SU1817659A1 SU1817659A1 SU4914986/21A SU4914986A SU1817659A1 SU 1817659 A1 SU1817659 A1 SU 1817659A1 SU 4914986/21 A SU4914986/21 A SU 4914986/21A SU 4914986 A SU4914986 A SU 4914986A SU 1817659 A1 SU1817659 A1 SU 1817659A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- desk
- socket
- substrate
- mask
- sealed
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
Landscapes
- Multi-Conductor Connections (AREA)
Abstract
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть преимущественно использовано при изготовлении прецизионных микросхем, например фильтров на поверхностных акустических волнах, методом фотолитографии. Целью изобретения является повышение качества экспонирования за счет обеспечения более равномерного и плотного прижатия подложки к фотошаблону. В устройстве для совмещения и экспонирования после размещения подложки 9 на столике 3 и установки фотошаблона 10 между фотошаблоном и столиком образуется гермитичная полость, сообщающаяся со средством создания вакуума. В столике в месте размещения подложки выполнено гнездо 4 для размещения подложки, связанное через отверстие 3 с внешней средой и загерметизированное сверху эластичной мембраной 5, жестко закрепленной в боковых стенках по периметру гнезда 4 столика 3. Расстояние между боковыми стенками гнезда 4 столика 3 и боковой поверхностью подложки 9 составляет не менее 2t, где t - толщина эластичной мембраны 5. 2 ил.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU4914986/21A SU1817659A1 (ru) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | Устройство для совмещения и экспонирования |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU4914986/21A SU1817659A1 (ru) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | Устройство для совмещения и экспонирования |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1817659A1 true SU1817659A1 (ru) | 1996-03-27 |
Family
ID=60537108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU4914986/21A SU1817659A1 (ru) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | Устройство для совмещения и экспонирования |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1817659A1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EA014277B1 (ru) * | 2008-12-02 | 2010-10-29 | Александр Иванович Таран | Способ совмещения элементов многокристальных модулей для капиллярной сборки и установка для его реализации |
| RU2674405C1 (ru) * | 2018-01-09 | 2018-12-07 | Публичное акционерное общество "Сатурн" (ПАО "Сатурн") | Устройство для контактной фотолитографии на полупроводниковой пластине с базовым срезом |
-
1991
- 1991-02-28 SU SU4914986/21A patent/SU1817659A1/ru active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EA014277B1 (ru) * | 2008-12-02 | 2010-10-29 | Александр Иванович Таран | Способ совмещения элементов многокристальных модулей для капиллярной сборки и установка для его реализации |
| RU2674405C1 (ru) * | 2018-01-09 | 2018-12-07 | Публичное акционерное общество "Сатурн" (ПАО "Сатурн") | Устройство для контактной фотолитографии на полупроводниковой пластине с базовым срезом |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB2325939A (en) | Thermally conductive chuck for vacuum processor | |
| TW353220B (en) | Silicon nitride circuit board and semiconductor module | |
| SE8105913L (sv) | Tilledningsram for en elektretmikrofon | |
| DE59913703D1 (de) | Operationstischsystem | |
| TR28204A (tr) | Masa veya kapak plakasi. | |
| MY129779A (en) | Adjustable mounting system | |
| GB8727072D0 (en) | Moisture barrier assembly | |
| ID24274A (id) | Metoda pembuatan papan sirkuit, peralatan dan pembuatannya dan lembaran berpori yang dipergunakan didalamnya | |
| SU1817659A1 (ru) | Устройство для совмещения и экспонирования | |
| TW331600B (en) | Gap-setting apparatus. | |
| MY130365A (en) | Indicating device | |
| SE9200601L (sv) | Effekthalvledarventilanordning för utomhus placering | |
| GB9114907D0 (en) | Planar board diaphragm for electro-acoustic transducers | |
| JPS62287639A (ja) | 薄板回路基板における感圧性粘着テ−プの貼着方法 | |
| EP0408428A3 (en) | Product for thermal and acoustical isolation, fabrication procedure and utilisation | |
| JPS577931A (en) | Method for measuring gap | |
| ATE52730T1 (de) | Schichtpresse. | |
| AU1181488A (en) | Somatic musical exposure system | |
| JPS56116394A (en) | Speaker system | |
| JPS57205728A (en) | Exposure device | |
| JPS54143636A (en) | Printer | |
| JPS648619A (en) | Vacuum chuck jig for x-ray mask | |
| JPS5439624A (en) | Diaphragm for speakers | |
| JPS5242378A (en) | Etching processor | |
| WO2004010225A3 (fr) | Machine d'exposition de panneaux de circuit imprime |