SU1647242A1 - Non-contact optical method for surface roughness rms height measurement - Google Patents
Non-contact optical method for surface roughness rms height measurement Download PDFInfo
- Publication number
- SU1647242A1 SU1647242A1 SU884491737A SU4491737A SU1647242A1 SU 1647242 A1 SU1647242 A1 SU 1647242A1 SU 884491737 A SU884491737 A SU 884491737A SU 4491737 A SU4491737 A SU 4491737A SU 1647242 A1 SU1647242 A1 SU 1647242A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- radiation
- roughness
- height
- intensity
- component
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 title claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 17
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 3
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
1one
(21)4491737/28 (22)10.10.88 (46)07.05.91. Бюл. № 17(21) 4491737/28 (22) 10.10.88 (46) 07.05.91. Bul Number 17
(71)Ленинградский электротехнический институт им. В.И.Ленина(71) Leningrad Electrotechnical Institute. V.I. Lenin
(72)А.А.Бузников и Г.А.Лахтанов (53)531.715.27(088.8)(72) A.A.Buznikov and G.A.Lakhtanov (53) 531.715.27 (088.8)
(56)Авторское свидетельство СССР N: 1330463. кл. G01 В 11/30, 1986.(56) USSR Author's Certificate N: 1330463.cl. G01 11/30, 1986.
(54) БЕСКОНТАКТНЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СРЕДНЕКВАДРАТИЧНОЙ ВЫСОТЫ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ(54) NON-CONTACT OPTICAL METHOD FOR DETERMINING THE MEDIUM-SQUARE HEALTH OF SURFACE
(57)Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени высоты шероховатости поверхности . Цель изобретени - повышение точности определени высот шероховатости пор дка 3-4 мкм и упрощение способа при контроле поверхностей диэлектриков за счет того, что тарировочна зависимость имеет вид пр мой линии и дл построени (57) The invention relates to a measurement technique and can be used to measure the height of a surface roughness. The purpose of the invention is to improve the accuracy of determining roughness heights in the order of 3-4 microns and to simplify the method for monitoring dielectric surfaces due to the fact that the calibration dependence has the form of a straight line and for building
этой пр мой линии нужно иметь только две точки, а также за счет необходимости измерени только одной параллельно пол ризованной компоненты излучени . Освещают контролируемую поверхность потоком монохроматического излучени под зенитным углом 55° падени , измер ют в отраженном излучении параллельно пол ризованную компоненту при различных углах отражени в диапазоне от 55 до 90 , наход т величину и положение сверхзеркального максимума этой компоненты. Среднеквадратичную высоту (Т шероховатости определ ют по тарировочной заисимо- сти высоты о шероховатости от отношени двухпарэметрических отражателей способностей параллельно пол ризованного излучени , определенных в направлении сверхзеркального максимума и в зеркальном направлении. 1 ил.This straight line needs to have only two points, and also due to the need to measure only one parallel to the polarized radiation component. The monitored surface is illuminated with a monochromatic radiation flux at a zenith angle of 55 ° incidence, the polarized component is measured in reflected radiation in parallel with different angles of reflection in the range from 55 to 90, the magnitude and position of the super-mirror maximum of this component are found. RMS height (roughness T is determined by the calibration dependence of the roughness height on the ratio of two-parameter reflectors of abilities parallel to polarized radiation, defined in the direction of the super-mirror maximum and in the mirror direction. 1 Il.
VV
fefe
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано, в частности, дл измерени высоты шероховатости поверхности.The invention relates to a measurement technique and can be used, in particular, to measure the height of a surface roughness.
Цель изобретени - повышение точности определени высот шероховатости пор дка 3-4 мкм и упрощение способа при контроле поверхностей диэлектриков за счет того, что тарировочна зависимость имеет вид пр мой линии, образующей с осью абсцисс большой угол, что дл построени этой пр мой линии нужно иметь только две точки, а также за счет необходимости измерени только одной параллельно пол ризованной компоненты излучени .The purpose of the invention is to improve the accuracy of determining roughness heights of about 3-4 microns and to simplify the method for monitoring dielectric surfaces due to the fact that the calibration dependence has the form of a straight line forming a large angle with the abscissa axis, which is necessary to have only two points, and also due to the need to measure only one parallel polarized radiation component.
На чертеже изображена принципиальна схема устройства, реализующего описываемый способ.The drawing shows a schematic diagram of the device that implements the described method.
Устройство содержит источник 1 монохроматического света, пол ризационный анализатор 2 и фоторегистратор 3. Плоскость пропускани анализатора 2 совпадает с плоскостью, включающей линию визировани и перпендикул р к контролируемой поверхности 4.The device contains a source of monochromatic light, a polarization analyzer 2 and a photographic recorder 3. The transmission plane of the analyzer 2 coincides with the plane including the line of sight and perpendicular to the monitored surface 4.
На чертеже указан диапазон углов отражени 0, равный 55-90°, в котором производитс измерение интенсивности параллельно пол ризованной компонентыThe drawing shows the range of reflection angles 0, equal to 55-90 °, in which the intensity is measured parallel to the polarized component.
ONON
N XI Ю Јь ЮN XI Yu y Yu
отраженного излучени . Направление отражени , соответствующее 0, 55°, называетс направлением зеркального отражени (угол обозначен 0t). Направление отражени , соответствующее углу отражени Э 01 , когда наблюдаетс пик интенсип- ности параллельно пол ризованной компоненты отраженного излучени , называетс направлением сверхзеркальчо- го максимума (угол обозначен ©2 ).reflected radiation. The reflection direction, corresponding to 0, 55 °, is called the specular reflection direction (angle denoted by 0t). The direction of reflection, corresponding to the angle of reflection E 01, when a peak of intensity is observed parallel to the polarized component of the reflected radiation, is called the direction of the super-mirror maximum (the angle is denoted by © 2).
Способ осуществл етс следующим образом .The method is carried out as follows.
Контролируемую поверхность 4 освещают монохроматическим излучением под зенитным углом ©о 55° падени и регистрируют интенсивность отраженной под углами 0 55 -90° параллельно пол ризованной компоненты излучени . В зарегистрированном излучении выдел ют интенсивность 1i излучени , отраженного под зеркальным углом 01 55°, интенсивность 12 и угловое положение сверхзеркального максимума компоненты - угол ©2 . Наход т отношение R двухпараметрических отражательных способностей параллельно пол ризованного излучени , определенных в направлении сверхзеркального максимума и в зеркальном направлении, по формуле R l2 cos ©2 /И cos«0t, и по тарировочной зависимости определ ют среднеквадратичную высоту о шероховатости.The controlled surface 4 is illuminated with monochromatic radiation at a zenith angle of about 55 ° incidence and the intensity reflected at angles 0 55 -90 ° parallel to the polarized radiation component is recorded. In the registered radiation, the intensity 1i of the radiation reflected at a mirror angle 01 55 °, the intensity 12, and the angular position of the super-mirror maximum of the component — the angle 2 2 — are distinguished. The ratio R of two-parameter reflectivity, parallel to polarized radiation, determined in the direction of the super-mirror maximum and in the mirror direction, is found using the formula R l2 cos i 2 / cos "0t, and the root-mean-square roughness height is determined by the calibration dependence.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884491737A SU1647242A1 (en) | 1988-10-10 | 1988-10-10 | Non-contact optical method for surface roughness rms height measurement |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884491737A SU1647242A1 (en) | 1988-10-10 | 1988-10-10 | Non-contact optical method for surface roughness rms height measurement |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1647242A1 true SU1647242A1 (en) | 1991-05-07 |
Family
ID=21403183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU884491737A SU1647242A1 (en) | 1988-10-10 | 1988-10-10 | Non-contact optical method for surface roughness rms height measurement |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1647242A1 (en) |
-
1988
- 1988-10-10 SU SU884491737A patent/SU1647242A1/en active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4072422A (en) | Apparatus for interferometrically measuring the physical properties of test object | |
| GB2126338A (en) | Interferometric measurement of short distances | |
| SU1647242A1 (en) | Non-contact optical method for surface roughness rms height measurement | |
| Larichev et al. | An autocollimation null detector: development and use in dynamic goniometry | |
| SU1384218A3 (en) | Method of comparing optical properties of two specimens | |
| ES2106769T3 (en) | PROCEDURE FOR MEASURING AN ANGLE OF INCIDENCE OF A BRIGHT BEAM, MEASURING DEVICE FOR THE IMPLEMENTATION OF THE PROCEDURE AND USE OF THE DEVICE TO MEASURE DISTANCES. | |
| SU1262280A1 (en) | Method of measuring parameters of roughness of supersmooth surfaces of article | |
| RU2054620C1 (en) | Method of measuring angles of bihedral reflectors | |
| SU1330463A1 (en) | Noncontact optical method of determining the height of surface roughness | |
| RU1809373C (en) | Method of optical inspection of reflecting surface and device for its realization | |
| SU1670394A1 (en) | Reflectometer for measuring polarization parameters of liquid surfaces | |
| SU1728654A1 (en) | Method of determination of position of workpiece with hole | |
| RU1778518C (en) | Device for checking two-sided reflectors | |
| SU1320658A1 (en) | Method of measuring linear dimensions of objects with reflecting surface | |
| SU1504505A1 (en) | Method of determining roughness parameters of surface of articles | |
| SU1272108A1 (en) | Reflectometric method for measuring parameter of roughness of metal body anisotropic surfaces | |
| SU1370455A1 (en) | Device for measuring deviation angle of object | |
| SU1185071A1 (en) | Interference method of checking aspherical surfaces | |
| SU1298529A1 (en) | Variable-sensitivity interferometer for monitoring deviation of a surface from planarity | |
| SU1566206A1 (en) | Apparatus for remote measuring of object angular deviations | |
| SU1283573A1 (en) | Method of determining dynamic characteristics of automatic collimator | |
| SU1578599A1 (en) | Method of determining refrigeration index of optical glass | |
| SU1308829A1 (en) | Method of measuring thickness of crystal wafer | |
| SU1762115A1 (en) | Displacement meter | |
| SU1643973A1 (en) | Method for testing disalignment of optical surfaces and device thereof |