SU1638637A1 - Differential piezoelectric measuring transducer - Google Patents
Differential piezoelectric measuring transducer Download PDFInfo
- Publication number
- SU1638637A1 SU1638637A1 SU894639749A SU4639749A SU1638637A1 SU 1638637 A1 SU1638637 A1 SU 1638637A1 SU 894639749 A SU894639749 A SU 894639749A SU 4639749 A SU4639749 A SU 4639749A SU 1638637 A1 SU1638637 A1 SU 1638637A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- electrodes
- vibrator
- measuring transducer
- base
- differential
- Prior art date
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
СМ. 2CM. 2
,Изобретение относитс к элементам систем инерциальной навигации и автоматического управлени и предназначено дл измерени и преобразовани в электрический сигнал перемещений, усилий или ускорений,The invention relates to elements of inertial navigation and automatic control systems and is intended to measure and convert movements, forces or accelerations into an electrical signal,
Цель изобретени - повышение точности измеренийсThe purpose of the invention is to improve the measurement accuracy
На фиг с 1 представлена электроки- нематическа схема дифференциального пьезорезонансного кварцевого измерительного преобразовател ; на фигс 2 - вид А на фиг о 1 оFig. 1 shows an electro kinematic circuit of a differential piezoresonance quartz transducer; on figs 2 - view a on fig about 1 about
Дифференциальный пьезорезонансный кварцевый измерительный преобразователь содержит основание 1, в котором жестко установлен пьезокварцевый дисковый вибратор 3, размещенный в зазор между жестко св занными между собой и подвижными относительно основани 1, пластинами 2 предварительного преобразовател о На пластинах 2 и вибраторе 3, изготовленных соответственно из аморфного и кристаллического квар ца, установлены электроды 4-11, причем электроды 4, 7, 9 и 10, расположены на поверхности вибратора, а электроды 8, 11, 5 и 6 - диаметрально противоположно этим электродам на поверхности пластины 2„ Указанные электроды электрически параллельно соединены с входами автогенераторов 12 и 13 системы возбуждени так, что пара электродов 4 и 8 и пара электро- дов 7 и 11 одной группы соединены с автогенератором 12, а пара электродов 9 и 5 и пара электродов 10 и 6 другой группы - с автогенератором 13„ Выходы автогенераторов 12 и 13 соединены с входами смесител 14с При этом между поверхностью электродов 8, 11 и 5, 6 и соответствующими поверхност ми вибратора образованы зазоры h, и h2 соответственно .A differential piezoresonance quartz transducer includes a base 1, in which a piezo-quartz vibrator 3 is rigidly mounted, placed in the gap between the pre-converter plates 2 rigidly connected with each other and movable relative to the base 1, on the plates 2 and the vibrator 3, made respectively of amorphous and quartz crystal, electrodes 4–11 are installed, and electrodes 4, 7, 9, and 10 are located on the vibrator surface, and electrodes 8, 11, 5, and 6 are diametrically opposed These electrodes are electrically in parallel connected to the inputs of the oscillators 12 and 13 of the excitation system so that a pair of electrodes 4 and 8 and a pair of electrodes 7 and 11 of the same group are connected to the oscillator 12, and a pair of electrodes 9 and 5 and a pair of electrodes 10 and 6 of another group — with an autogenerator 13 ”The outputs of the autogenerators 12 and 13 are connected to the inputs of the mixer 14c. In this case, gaps h and h2 are formed between the surfaces of the electrodes 8, 11 and 5, 6 and the corresponding vibrator surfaces, respectively.
II
Дифференциальный пьезорезонансныйDifferential Piezoresonance
кварцевый измерительный преобразователь функционирует следующим образомquartz measuring transducer operates as follows
При нулевом значении измер емого параметра, например ускорени , автогенераторы 12 и 13 системы возбуждени с помощью электродов 4-11 возбуждают электромеханические колебани пьезокварцевого дискового вибратора At a zero value of the measured parameter, for example, acceleration, the oscillators 12 and 13 of the excitation system, using electrodes 4-11, excite the electromechanical oscillations of the piezoquartz disk vibrator
2525
5five
0 0
20 30 35 40 4520 30 35 40 45
50 5550 55
на двух различных модах, симметрично локализованных в материале вибратора 3. При этом зазоры между электродами 5 и 6, 8 и 11 соответствующими поверхност ми дискового вибратора 3 равны по величине, соответственно определены и частоты мод, так что сигнал с выхода смесител 14 соответствует нулевому значению измер емого параметра, в данном случае ускорению основани 1 о При наличии ускорени основани подвижные пластины 2 предварительного преобразовател , обладающие массой , совместно с установленными на них электродами смещаютс относительно вибратора, соответственно измен ютс на равные величины и зазоры h 4 и h2. Аналогично измен ютс и частоты мод колебаний пьезорезонансного кварцевого измерительного преобразовател Сигнал с выхода смесител 14, равный разности этих частот, вл етс однозначной мерой измер емого ускорени .on two different modes symmetrically localized in the material of the vibrator 3. The gaps between the electrodes 5 and 6, 8 and 11 corresponding to the surfaces of the disk vibrator 3 are equal in size, and the frequencies of the modes are determined accordingly, so that the signal from the output of the mixer 14 corresponds to zero the measured parameter, in this case, the acceleration of the base 1 o If there is an acceleration of the base, the movable plates 2 of the pre-converter, having a mass, together with the electrodes mounted on them, shift relative but the vibrator, respectively, changes by equal magnitudes and gaps h 4 and h2. Similarly, the frequency of the oscillation modes of the piezoresonance quartz transducer varies. The signal from the output of the mixer 14, equal to the difference between these frequencies, is a unique measure of the measured acceleration.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894639749A SU1638637A1 (en) | 1989-01-19 | 1989-01-19 | Differential piezoelectric measuring transducer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894639749A SU1638637A1 (en) | 1989-01-19 | 1989-01-19 | Differential piezoelectric measuring transducer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1638637A1 true SU1638637A1 (en) | 1991-03-30 |
Family
ID=21423863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894639749A SU1638637A1 (en) | 1989-01-19 | 1989-01-19 | Differential piezoelectric measuring transducer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1638637A1 (en) |
-
1989
- 1989-01-19 SU SU894639749A patent/SU1638637A1/en active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4479385A (en) | Double resonator cantilever accelerometer | |
US5728936A (en) | Rotary speed sensor | |
CA2004362C (en) | Vibrating beam force-frequency transducer and pendulous accelerator comprising application thereof | |
US4144747A (en) | Simultaneously resonated, multi-mode crystal force transducer | |
EP0161533B1 (en) | resonator temperature transducer | |
KR100328532B1 (en) | Angular velocity detector | |
EP0176539B1 (en) | Rotation rate sensor | |
JPH0520693B2 (en) | ||
CA1099947A (en) | Elastic surface wave accelerometer | |
US4264838A (en) | Force balanced piezoelectric vibratory rate sensor | |
SU1638637A1 (en) | Differential piezoelectric measuring transducer | |
JPH0314513B2 (en) | ||
KR100408507B1 (en) | An electrostatically tuning fork microgygroscope | |
SU1428905A1 (en) | Vibrator of piezoelectric resonance crystal instrument transducer | |
JPS6033057A (en) | Acceleration sensor | |
RU2761764C1 (en) | Micromechanical vibration gyroscope | |
SU779885A1 (en) | Frequency-output vibroacceleration sensor | |
RU2234679C2 (en) | Angular velocity micromechanical sensor | |
JP3129022B2 (en) | Acceleration sensor | |
RU2018133C1 (en) | Inertial primary information sensor | |
RU2348902C1 (en) | Vibrating gyroscope using superficial ultrasonic waves | |
RU2046347C1 (en) | Accelerometer | |
RU2046348C1 (en) | Accelerometer | |
SU1778573A1 (en) | Pulsating pressure pickup | |
SU917007A1 (en) | Force pickup |