SU1626138A1 - Устройство дл измерени параметров материалов - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к контрольно- измерительной СВЧ-технике и может быть использовано в технологических процессах электронной промышленности при контроле электрофизических параметров цилиндрических образцов (ЦО) из полупроводниковых , диэлектрических материалов или их структур. Цель изобретени  - повышение локальности измерений ЦО. Устр-во содержит отрезок 1 пр моугольного волновода , в котором расположены источник 2 СВЧ-колебаний, детектор 3 СВЧ-колебаний, два соосных металлических стержн  4 и 5, выполненных с возможностью перемещени  вдоль своей оси, с отверсти ми 6 и 7 дл  размещени  ЦО, а также регистрирующий прибор 10. Дл  повышени  локальности измерений используетс  подвижный ко- роткозамыкающий поршень 8 с пазом 9. Выполнение его с возможностью перемещени  на рассто ние от стержней 4 и 5 обеспечивает эффективное взаимодействие СВЧ-пол  в отрезке 1 преимущественно с частью ЦО в достаточно малом зазоре, а не с част ми стержней 4 и 5. Следствием этого  вл етс  сильна  зависимость амплитуды сто чей волны и, следовательно, показаний прибора 10 от параметров ЦО. 4 ил.

Description

Фиг. 2

& /&}

/-Г77 /

Фиг.З

Риг. t

Claims (1)

1. Формула изобретения

   Устройство для измерения параметров материалов, содержащее датчик, выполненный в виде отрезка прямоугольного волновода, один конец которого соединен с выходом источника СВЧ-колебаний, регистрирующий прибор, связанный с отрезком прямоугольного волновода, на противоположных широких стенках которого расположены два соосных металлических стержня, отличающееся тем, что, с целью повышения локальности измерений цилиндрических образцов, вдоль оси металлических стержней выполнено отверстие для размещения цилиндрического образца, на расстоянии I от металлических стержней на другом конце отрезка прямоугольного волновода установлен введенный короткозамыкающий поршень, в котором выполнен паз в виде части поверхности цилиндра, ось которого параллельна оси металлических стержней и расположена на расстоянии Ι-r от них, высота р^вна расстоянию между металлическими стержнями, а радиус R и расстояние I выбираются из соотношений ⁵ где а. b - размеры широкой и узкой стенок отрезка прямоугольного волновода;

   Ю г - радиус металлических стержней.

   ось Волн обода

   Ж] ^у й I , ^***

   6 Ф2г г*—*· у ¹

   L2ZZZZZZpZZZZZZZZZ2^^S^^S

   1 1

   Ф2 г

   I *— в центр лаза

   Фиг. 2

   Фиг.З

   Фиг. 4