SU1610169A1

SU1610169A1 - High-vacuum valve

Info

Publication number: SU1610169A1
Application number: SU874304182A
Authority: SU
Inventors: Валерий Васильевич Ломовой; Владимир Владимирович Строцкий; Галина Яковлевна Марошек
Original assignee: Предприятие П/Я Ю-9087
Priority date: 1987-09-07
Filing date: 1987-09-07
Publication date: 1990-11-30

Abstract

Изобретение позвол ет повысить надежность клапана за счет обеспечени самоустановки и произвольного поворота запорного диска вокруг собственной оси после каждого цикла нагружени . Внутри корпуса с проходным каналом расположен запорный диск 3, выполненный с кольцевыми ножевыми выступами 5 на торцовых поверхност х 4. Диск 3 снабжен механизмом поджати к торцовой поверхности канала и кинематически св зан с механизмом привода. Св зь выполнена в виде охватывающего диск 3 кольца 9, жестко св занного с механизмом, и шариков, размещенных в кольцевых канавках 11, 12. Канавки 11, 12 выполнены на сопр гаемых цилиндрических поверхност х 13, 14 диска 3 и кольца 9. В кольце 9 выполнено резьбовое отверстие 15 и в нем установлена погружающа шарики пружина 16 с резьбовой заглушкой 17. Радиус канавки 11 равен радиусу шарика, радиус канавки 12 больше радиуса шарика. 4 ил.The invention makes it possible to increase the reliability of the valve by providing self-installation and an arbitrary rotation of the locking disc around its own axis after each loading cycle. Inside the housing with a bore, there is a locking disc 3, provided with annular blade lugs 5 on the end surfaces 4. The disc 3 is provided with a pressing mechanism against the end surface of the channel and is kinematically connected with the drive mechanism. The connection is made in the form of a ring 9 enclosing the disk 3, rigidly connected with the mechanism, and balls placed in the annular grooves 11, 12. The grooves 11, 12 are made on the mating cylindrical surfaces 13, 14 of the disk 3 and the ring 9. In the ring 9, a threaded hole 15 is made, and a spring 16 is inserted into the plunging balls with a threaded plug 17. The radius of the groove 11 is equal to the radius of the ball, the radius of the groove 12 is larger than the radius of the ball. 4 il.

Description

-4-four

О5O5

соwith

Изобретение относитс к арматуро- строению, в частности к вакуумной технике, и может быть использовано в конструкции установок молекул рно- лучевой эпитаксии.The invention relates to reinforcement, in particular to vacuum technology, and can be used in the construction of installations of rh-beam epitaxy molecules.

Цель изобретени - повышение надежности работы клапана за счет обеспечени самоустановки и произвольного поворота запорного диска вокруг соб- JQ ственной оси после каждого цикла наг- ружени .The purpose of the invention is to improve the reliability of the valve by providing self-installation and random turning of the locking disk around its own axis after each loading cycle.

На фиг. 1 изображен высоковакуумный клапан, общий вид; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - г запорный диск с кольцом в сборе; на фиг. 4 - разрез Б-Б на фиг. 3.FIG. 1 shows a high-vacuum valve, a general view; in fig. 2 shows section A-A in FIG. one; in fig. 3 - g locking disc with a ring assembly; in fig. 4 shows a section BB in FIG. 3

Высоковакуумный клапан содержит , корпус- 1 с проходным каналом 2. Внутри корпуса 1 расположен запорный диск п 3, на торцовых поверхност х 4 которого вьлолнены кольцевые ножевые выступы 5. Запорный диск 3 снабжен механизмом 6 поджати к торцовой поверхности 7 проходного канала 2 и кине- 25 матически св зан с механизмом 8 привода .The high-vacuum valve contains a housing 1 with a passageway 2. Inside the housing 1 there is a locking disk p 3, on the end surfaces 4 of which annular blade lugs 5 are made. The locking disk 3 is equipped with a mechanism 6 that is pressed to the end surface 7 of the passage 2 and 25 is mathematically associated with the drive mechanism 8.

Кинематическа св зь запорного диска 3 с механизмом 8 привода выполнена в виде охватьшающего запорньй диск 3 кольца 9, жестко св занного с механизмом В привода, и шариков 10, размещенных в кольцевых канавках 11 и 12, выполненных на сопр гаемых цилиндрических поверхност х 13 и 14 соответственно диска 3 и коль- ца 9.The kinematic connection of the locking disc 3 with the drive mechanism 8 is made in the form of a covering lockable disc 3 of the ring 9, rigidly connected with the drive mechanism B, and balls 10 placed in the annular grooves 11 and 12, formed on the mating cylindrical surfaces 13 and 14 disk 3 and ring 9, respectively.

В кольце 9 вьиолнено резьбовое отверстие 15, расположенное в радиальном направлении. В резьбовом от- 40 верстки 15 установлена нагружающа шарики 10 пружина 16 с резьбовой заглушкой 17. Радиус кольцевой канавки I 1 , выполненной на цилиндрической поверхности 13 запорного диска 3, 45 равен радиусу шарика 10. Радиус кольцевой канавки 12, выполненной на цилиндрической поверхности 14 кольца 9, больше радиуса шарика 10.In the ring 9 there is a threaded hole 15 located in the radial direction. In the threaded recess 15 of the layout 15, a loading ball 10 of spring 16 is installed with a threaded plug 17. The radius of the annular groove I 1 formed on the cylindrical surface 13 of the locking disk 3, 45 is equal to the radius of the ball 10. The radius of the annular groove 12 formed on the cylindrical surface 14 of the ring 9, more than the radius of the ball 10.

Сборка запорного диска 3 с коль- 50 цом 9 осуществл етс следующим образом .The assembly of the locking disk 3 with the ring 50 is carried out as follows.

В центральное отверстие кольца 9 помещаетс запорный диск 3. Через резьбовое отверстие 15 кольца 9 коль- 55 цевые канавки 11 и 12 соответственно кольца 9 и запорного диска 3 заполн -. те шариками 10. Пружина 16, распооженна под заглушкой 17, через дополнительный шарик 18 создает определенное усилие пдгаеима шариков 10. Регулировка усили прижима производитс резьбовой заглушкой 17.A locking disk 3 is placed in the central opening of the ring 9. Through the threaded hole 15 of the ring 9 there are annular grooves 11 and 12, respectively, the rings 9 and the locking disk 3 filled in. balls 10. A spring 16, located under the plug 17, through an additional ball 18 creates a certain force of the balls 10. The adjustment of the pressing force is performed by a screw plug 17.

Высоковакуумный клапан работает, следующим образом.The high vacuum valve operates as follows.

Механизм привода 8 поворачивает запорный диск 3 с кольцом 9 в корпусе I и устанавливает его в рабочее положение. После этого механизм 6 поджати прижимает запорный диск 3 кольцевыми ножевыми выступами 5 с одной стороны к торцовой поверхности 7 проходного канала 2 корпуса 1, а с другой стороны к торцевой поверхности 19 механизма 6 поджати . Так как запорньй диск 3 и кольцо 9 св заны шариками, то при закрытом положении запорньй диск 3 устанавливаетс так, что обеспечивает прилегание его кольцевых ножевых выступов 5 всеми точками по торцовым поверхност м 7 и 19 проходного канала 2 и механизма 6 поджати . При этом запорньй диск 3 может находитьс под небольшим углом по отношению к жестт ко св занному с механизмом В привода кольцу 9.The drive mechanism 8 rotates the locking disk 3 with the ring 9 in the housing I and sets it to the working position. After that, the pressing mechanism 6 presses the locking disc 3 with annular blade lugs 5 on one side against the end surface 7 of the passageway 2 of the housing 1, and on the other side against the end surface 19 of the mechanism 6. Since the locking disc 3 and the ring 9 are connected by balls, in the closed position the locking disc 3 is set so as to ensure that its annular knife lips 5 fit all points on the end surfaces 7 and 19 of the passage channel 2 and the mechanism 6 is pressed. In this case, the locking disc 3 may be at a small angle with respect to the ring 9 rigidly associated with the drive mechanism B.

Наличие шариков между кольцом 9 и запорным диском 3 позвол ет запорному диску самоустанавливатьс , т.е придает ему определенную подвижност и обеспечшзает плотность прилегани к торцовым поверхност м 7 и 19 независимо от точности изготовлени . вход щих в-сборку деталей клапана.The presence of balls between the ring 9 and the locking disc 3 allows the locking disc to self-align, i.e. it gives it a certain mobility and ensures a tight fit to the end surfaces 7 and 19, regardless of the accuracy of manufacture. in-valve assembly parts.

Claims

Invention Formula

A high-vacuum valve, comprising a housing with a flow channel and a lock disk located inside the housing, is made with annular but new ends on the end surfaces, equipped with a pressing mechanism to the end surface of the passage channel and kinematically connected to the drive mechanism, characterized by that, in order to increase reliability, the kinematic connection of the locking disk with the drive mechanism is made in the form of a ring that is rigidly connected to the locking disk, rigidly connected with the drive mechanism, and balls placed in the ring Moreover, the grooves made on the mating cylindrical surfaces of the locking disc and the ring, in addition, a threaded hole is made in the ring and a spring loading ball is installed with a threaded plug, and the radius of the annular groove on the cylindrical surface of the closure plate is equal to

the radius of the ball, and the radius of the annular groove on the cylindrical surface of the ring is larger than the radius of the ball.

Fig

A- A

A 1

FIG. 2

Editor I. Casarda

Compiled by A. Biryukova

Tehred M. Khodanich Proofreader M. Pojo

Order 3724

Circulation 562

VNSHSHI of the State Committee for Inventions and Discoveries at the State Committee on Science and Technology of the USSR 113035, Moscow, F - 35, 4/5 Raushsk nab.

Fig.Z

Subscription