SU1596217A1

SU1596217A1 - Method of checking hermetic sealing of articles

Info

Publication number: SU1596217A1
Application number: SU884484695A
Authority: SU
Inventors: Юлий Иванович Казаков; Юрий Ильич Гнетов; Владимир Николаевич Коробихин; Владимир Сергеевич Морозов; Байдар Гарифович Валиев
Original assignee: Предприятие П/Я В-8597
Priority date: 1988-08-04
Filing date: 1988-08-04
Publication date: 1990-09-30

Abstract

Изобретение относитс к области испытаний на герметичность и позвол ет повысить надежность контрол изделий с течами от 1 до 1.10 -5 л мкм рт.ст./с путем подбора в процессе контрол давлени пробного газа в полости издели , при котором его утечка максимальна. Изделие помещают в герметичную камеру, вакуумируют полость камеры и издели . Повышают давление пробного газа в полости издели от 0 до 10 кгс/см 2. Повышение давлени ведут ступенчато с шагом 0,2-1,2 кгс/см 2. После каждого повышени давлени провод т измерение утечки пробного газа в герметичную камеру. Степень герметичности издели определ ют при давлении, обеспечивающем максимальную утечку через микродефект.The invention relates to the field of tightness testing and allows to increase the reliability of control of products with leaks from 1 to 1.10 -5 l µm Hg / s by selecting in the process of control the pressure of the test gas in the cavity of the product at which its leakage is maximum. The product is placed in a sealed chamber, vacuum chamber cavity and the product. Increase the pressure of the test gas in the product cavity from 0 to 10 kgf / cm2. The pressure is increased stepwise with a step of 0.2-1.2 kgf / cm2. After each pressure increase, the leakage of the test gas into the hermetic chamber is measured. The degree of tightness of the product is determined at a pressure that provides maximum leakage through the microdefect.

Description

Изобретение относитс к испытани м на герметичность и может быть использовано при вы влении течей в диапазоне 1 - 1.,мкм рт.ст./с.The invention relates to leak tests and can be used in the detection of leaks in the range of 1 - 1. microns Hg / s.

Цель изобретени - повышение надежности контрол изделий с течами в диапазоне 1 - 1-10 л.мкм рт.сТо/с путем подбора в процессе контрол давлени пробного газа, при котором микродефект восстанавливает пропускную способность по пробному газу.The purpose of the invention is to increase the reliability of monitoring products with leaks in the range of 1 - 1-10 l.mkm HgTo / s by selecting a test gas in the process of controlling the pressure, at which the micro defect will restore the throughput of the sample gas.

Способ контрол герметичности изделий осуществл ют следующим образом. The method of controlling the tightness of the products is carried out as follows.

Изделие, полость которого соединена с источником пробного газа, помещают в герметичную камеру. Вакуумируют камеру и внутреннюю полость издели , после чего повышают давление пробного газа в полости издели от О до 10 кгс/см. Повышение давлени , провод т ступенчато с шагом 0,2 1 ,2 кгс/см о При этом, чем выше Тгребовани , предъ вл емые к герметичности изделий, тем больша величина шага при повышении давлени . После каждого повышени давлени провод т измерение утечки пробного газа в герметичную камеру. Поскольку реальные микродефекты имеют самую разную геометрию и структуру, зависимость пропускной способности по пробному газу от его давлени , особенно при наличии в полости микродефекта сконденсировавшейс влаги, также имеет различный характер Поэтому степень герметичности определ ют при давлении , обеспечивающем максимальную утечку пробного газа через микродефект.The product, the cavity of which is connected to a source of test gas, is placed in a sealed chamber. The chamber and the internal cavity of the product are evacuated, after which the pressure of the test gas in the cavity of the product is increased from 0 to 10 kgf / cm. The increase in pressure is carried out in steps of 0.2 1, 2 kgf / cm o step. In this case, the higher the pressure required for leaktightness of products, the greater the step size with increasing pressure. After each increase in pressure, a test gas leakage measurement into the sealed chamber is carried out. Since real microdefects have very different geometries and structures, the dependence of the throughput capacity of the test gas on its pressure, especially when condensed moisture is present in the microdefect cavity, also has a different character. Therefore, the degree of tightness is determined at a pressure that ensures the maximum leakage of the test gas through the microdefect.

Таким образом, использование предлагаемого способа позвол ет повысить надежность контрол изделий с течами в диапазоне 1 - 1 ,мкм рт.ст ./с,Thus, the use of the proposed method makes it possible to increase the reliability of control of products with leaks in the range of 1–1 µm Hg / s,

315962174315962174

путем подбора такого давлени проб-ного газа через микродефект и опредекого газа в полости издели , котороелени по ней степени герметичности,by selecting such a pressure of the test gas through a microdefect and a specific gas in the cavity of the product, which is her degree of tightness,

обеспечивает максимальную утечку проб-о т л-и чаю щ и и с тем, что, сprovides the maximum leakage of prob-about t l-and tea u and with the fact that, with

ного газа. целью повьшени надежности контрод foot gas. aim to increase reliability

Claims

The formula of the invention is xy l, mkm of mercury, st./s, an increase in the pressure by means of a method for monitoring tightness, and a sample gas is carried out from 0

products by placing products up to 10 kgf / cm stepwise with a step

sealed chamber, evacuation of JQ0.2-1.2 kgf / cm, and the degree of hermetic chamber and product, filling the cavity is determined at pressure, spaced with test gas, so as to press the maximum leakage of the test

laziness in it, registration of sample gas test through a microdefect.

at . - products with leaks in the range of 1 - If,