SU1578457A1 - Интерферометр дл измерени линейных перемещений - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике, конкретно к интерферометрам дл  измерени  малых (0,5 мкм) перемещений. Цель изобретени  - уменьшение габаритов и повышение точности измерени  за счет размещени  компонентов интерферометра по оси светового пучка и возможности доводки измерительных импульсов до максимального значени . Световой пучок, формируемый источником 1 света, делитс  полупрозрачным зеркалом 2 на опорный пучок, прошедший через его полупрозрачную поверхность, и измерительный пучок, отраженный от нее. Измерительный пучок отражаетс  от отражател  5 и соедин етс  с опорным на полупрозрачной поверхности зеркала 3. При перемещении отражател  5 по оси Y в зоне приемника 6 света формируетс  интерференционна  картина в виде чередующихс  темных и светлых полос. Приемник 6 света вырабатывает импульсы, число которых пропорционально величине перемещени  отражател  5. Источник 1 света, зеркала 2 и 3 и приемник 6 света расположен на одной оси, а плоскопараллельна  пластина 4 установлена с возможностью поворота относительно этой оси. 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике, конкретнее к интерферометрам дл  измерени  малых (0,5 мкм) перемещений.

Цель изобретени  - уменьшение габаритов и повышение точности изменени  за счет размещени  компонентов интерферометра по оси светового пучка и за счет возможности доводки измерительных импульсов до максимального значени .

На чертеже изображена принципиальна  схима интерферометра дл  измерени  линейных перемещений.

Интерферометр содержит оптически св занные источник 1 света,- полупрозрачные зеркала 2 и 3, оптически прозрачную плоскопараллельную пластину 4, уголковый отражатель 5, который может состо ть как из двух, так и из трех отражающих поверхностей , и приемник 6 света.

Интерферометр работает следующим образом.

Световой пучок, формируемый источ пиком 1 света, делитс  полупрозрачным зеркалом 2 на опорный, прошедший через его полупрозрачную поверхность , и на измерительный, отражен- ный от нее. Измерительный пучок отражаетс  от отражател  5 и соедин етс  с опорным на полупрозрачной поверхности зеркала 3. При перемещении отражател  5 по оси У в зоне приемника 6 света формируетс  интер- вференционна  картина в виде чередующихс  темных и светлых полос (п тен) Приемник 6 света вырабатывает импульсы , число которых пропорциональ- но величине перемещени  отражател  5

Claims (1)

1. Плоскопараллельна  пластина 4 необходима дл  финишного совмещени  опорного и отраженного лучей на. приемнике 6 света, тек как юстир овочна  подвижка зеркал 2 и 3 и уголкового отражател  5 приводит одновременно как к смещению опорного и измерительного лучей параллельно друг другу, так и к изменению угла между ними. Плоскопараллельна  пластина 4 перемещаетс  при юстировке, разворачива сь относительно оптической оси интерферометра. Описанна  схема позвол ет более качественно отъюстировать интерферометр, а также проводить оперативную лодъюстировку с целью компенсации, например, температурных деформаций в процессе работы . В результате амплитуду измерительных импульсов удаетс  довести до максимального значени  и, соответственно , повысить точность измерени . Формула изобретени 

   Интерферометр дл  измерени  ли- . нейных перемещений, содержащий оптически св занные источник света, два полупрозрачных зеркала, расположенные во взаимно перпендикул рных плоскост х, и приемник света, отличающийс  тем, что, с целью уменьшени  габаритов и повышени  точности измерени , он снабжен плоскопараллельной пластиной, расположенной между зеркалами, источник света, зеркала и приемник света расположены на одной оси, а плоско- параллельна  пластина установлена с возможностью поворота относительно . этой оси.