[go: up one dir, main page]

SU1452471A3 - Способ гравировани электронным лучом растровых чеек различных размеров на поверхности печатной формы и устройство дл его осуществлени - Google Patents

Способ гравировани электронным лучом растровых чеек различных размеров на поверхности печатной формы и устройство дл его осуществлени Download PDF

Info

Publication number
SU1452471A3
SU1452471A3 SU823496070A SU3496070A SU1452471A3 SU 1452471 A3 SU1452471 A3 SU 1452471A3 SU 823496070 A SU823496070 A SU 823496070A SU 3496070 A SU3496070 A SU 3496070A SU 1452471 A3 SU1452471 A3 SU 1452471A3
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
electron beam
engraving
raster cells
source
cells
Prior art date
Application number
SU823496070A
Other languages
English (en)
Inventor
Байсвенгер Зигфрид
Original Assignee
Др-Инж. Рудольф Хелль Гмбх (Фирма)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Др-Инж. Рудольф Хелль Гмбх (Фирма) filed Critical Др-Инж. Рудольф Хелль Гмбх (Фирма)
Application granted granted Critical
Publication of SU1452471A3 publication Critical patent/SU1452471A3/ru

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41CPROCESSES FOR THE MANUFACTURE OR REPRODUCTION OF PRINTING SURFACES
    • B41C1/00Forme preparation
    • B41C1/02Engraving; Heads therefor
    • B41C1/04Engraving; Heads therefor using heads controlled by an electric information signal
    • B41C1/05Heat-generating engraving heads, e.g. laser beam, electron beam
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K15/00Electron-beam welding or cutting
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K15/00Electron-beam welding or cutting
    • B23K15/0013Positioning or observing workpieces, e.g. with respect to the impact; Aligning, aiming or focusing electronbeams
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/302Controlling tubes by external information, e.g. programme control
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/305Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching
    • H01J37/3053Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching for evaporating or etching
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/305Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching
    • H01J37/3053Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching for evaporating or etching
    • H01J37/3056Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching for evaporating or etching for microworking, e. g. etching of gratings or trimming of electrical components

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Radiation-Therapy Devices (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Viewfinders (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к полиграфическому оборудованию дл  гравировани  печатных форм и может быть использовано в других област х техники дл  сварки, сверлени , гравировани  и нагрева электронным лучом. Целью изобретени   вл етс  обеспечение стабильности гравировани . Одновременно с фокусировкой электронного луча в зоне поверхности печатной формы регулируют масштаб изображени  источника зар женных частиц на поверхности печатной формы в зависимости от заданной тоновой градации. Размер изображени  исто тика зар дов устанавливают пропорционально размеру растровой  чейки. Электронный луч диафрагмируют до получени  практически пр моугольного распределени  плотности мощности луча на поверхности. Устройство содержит три длиннофокусные линзы, две динамические линзы, размещенные в первой и третьей длиннофокусных линзах, и апертурную диафрагму . 2 с. и 1 з.п. ф-лы, 5 ил. i О) С

Description

ел
ю
см
Изобретение относитс  к полиграфическому оборудованию дл  гравировани  печатных форм и может быть использовано в других област х техники дл  сварки, сверлени , гравировани  и нагрева электронным лучом.
Цель изобретени  - обеспечение , стабильности гравировани .
На фиг. 1 представлена схема устройства дл  осуществлени  способа; на фиг. 2 и 3 - схема гравировани  и график распределени  плотности луч при гравировании больших растровьгх  чеек; на,фиг. 4 и 5 - то же, при гравировании малых растровых  чеек.
. Устройство дл  гравировани  электронным лучом растровых  чеек различных размеров на поверхности печатной формы содержит (фиг. 1) длиннофокус- ные линзы I, 2 и 3 и апертурную диафрагму 4, размещенные по ходу электроного луча между источником 5 электронов и печатной формой 6. В линзах 1 и 3 размещены динамические линзы 7 и 8.
Способ реализуют следующим образо При возбуждении линзы 7 измен етс  на незначительную величину рассто ние изображени  от первой длинно- фокусной линзы 1. Масштаб изображени комбинации линз 1 и 7 при этом также измен етс  на незначительную величину . Так как изображение источника 5 электронов с помощью комбинации линз 1 и 7 представл ет объект второй ко- роткофокусной линзы 2, то незначительное осевое смещение первого промежуточного изображени  ведет к большому изменению масштаба изображени  линзы 2. Масштаб изображени  комбинации линз 3 и 8 измен етс  из-за смещени  второго промежуточного изобра- жени  на небольшую величину. Возни- кающа  из-за этого ошибка в положении фокуса на поверхности печатной формы 6 может компенсироватьс  путем регулировки динамической линзы 8. . Пример. Если линза 1 уменьшает в три.раза и линза 7 не возбуждаетс , то втора  короткофокусна  линза 2 может быть отрегулирована так, что она образует масштаб изображени , равный 1. Если линза 3 затем образует масштаб изображени , равный 4, то общее уменьшение равно 12. На фиг. I получающийс  ход луча изображен сплошными лини ми. Если возбудить теперь размещенную в линзе
0
1 линзу 7, то первое промежуточное изображение становитс  ближе к комбинации линз 1 и 7. Одновременно становитс  больше рассто ние второй короткофокусной линзы 2 от объекта. Это означает, что короткофокусна  линза 2 имеет теперь при неизменном возбуждении масштаб изображени , например, равный 3. Общий масштаб уменьшени  устройства изменилс  в результате до 36. Получающийс  ход луча изображен на фиг. 1 пунктирной линией.
Если за короткофокусной линзой 2 размещаетс  апертурна  диафрагма 4, то дополнительно осуществл етс  модул ци  масштаба изображени , а также модул ци  энергии излучени . Благодар  этому можно гравировать с почти одинаковой плотностью мощности как малые, так и большие-  чейки.
Услови  фокусировки в точке воздействи  луча показаны дл  больших  чеек на фиг. 2 и 3, дл  малых  чеек - на фиг. 4 и 5.
На фиг. 3 и 5 обозначены: L - плотность мощности излучени ; г - радиус в точке воздействи .На фиг.2- 5 даны размеры в качестве примерных данных.
Изобретение обеспечивает очень быстрое изменение масштаба изображени . Врем  регулировки при переходе от сильного к слабому уменьшению и наоборот составл ет приблизительно 1 МКС.
Форму
ла изобретени 
. эп д
50
5
1. Способ гравировани  электронным лучом растровьк  чеек различных размеров на поверхности печатной формы, заключающийс  в том, что растровые  чейки изготавливают путем воздействи  посто нно направленного на поверхность дефокусируемого электронного луча, фо1 усируют его в зоне поверхности и регулируют длительность его воздействи , отличающийс  тем, что, с целью обеспечени  стабильности гравировани , одновременно с фокусированием регулируют масштаб изображени  источника зар женных частиц на поверхности печатной формы в зависимости от заданной тоновой градации, причем размер изображени  источника зар женШ /////////////// / Фие.1
//777,
М
Фив. 2
Л
Фиг. 5
///////)(// ///,
Фие.Н

Claims (3)

  1. Формула изобретения
    1. Способ гравирования электронным лучом растровых ячеек различных размеров на поверхности печатной формы, заключающийся в том, что растровые ячейки изготавливают путем воздействия постоянно направленного на поверхность дефокусируемого электронного луча, фокусируют его в зоне поверхности и регулируют длительность его воздействия, отличающийся тем, что, с целью обеспечения стабильности гравирования, одновременно с фокусированием регулируют масштаб изображения источника заряженных частиц на поверхности печатной формы в зависимости от заданной тоновой градации, причем размер изображения источника заряжен3 пых частиц устанавливают пропорционально размеру растровой ячейки.
  2. 2. Способ по π. 1, отличающийся тем, что удаленные от оси лучи диафрагмируют до получения почти прямоугольного распределения плотности мощности как для больших, так и для малых растровых ячеек.
  3. 3. Устройство для гравирования электронным лучом растровых ячеек различных размеров на поверхности печатной формы, содержащее источник электронов и размещенную по направле нию электронного луча основную систе му линз, отличающееся 5 тем, что, с целью обеспечения стабильности гравирования, оно снабжено по меньшей мере двумя дополнительными системами линз и апертурной диафрагмой, при этом дополнительные сис10 темы линз и апертурная диафрагма размещены последовательно по направлению электронного луча между источником электронов и основной системой линз. .
    Фиг.1
    I
    Фие. У
SU823496070A 1981-10-10 1982-09-28 Способ гравировани электронным лучом растровых чеек различных размеров на поверхности печатной формы и устройство дл его осуществлени SU1452471A3 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP81108156A EP0076868B1 (de) 1981-10-10 1981-10-10 Elektronenstrahl-Gravierverfahren und Einrichtung zu seiner Durchführung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1452471A3 true SU1452471A3 (ru) 1989-01-15

Family

ID=8187949

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU823496070A SU1452471A3 (ru) 1981-10-10 1982-09-28 Способ гравировани электронным лучом растровых чеек различных размеров на поверхности печатной формы и устройство дл его осуществлени

Country Status (8)

Country Link
US (1) US4471205A (ru)
EP (1) EP0076868B1 (ru)
JP (1) JPS5872450A (ru)
AT (1) ATE24985T1 (ru)
DD (1) DD204180A5 (ru)
DE (1) DE3175839D1 (ru)
DK (1) DK444082A (ru)
SU (1) SU1452471A3 (ru)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4102983A1 (de) * 1990-09-28 1992-04-02 Linotype Ag Oberflaechenstruktur einer walze sowie verfahren und vorrichtung zur erzeugung der oberflaechenstruktur
DE4031547A1 (de) * 1990-10-05 1992-04-09 Hell Rudolf Dr Ing Gmbh Verfahren und vorrichtung zur herstellung von texturwalzen
DE4039105C2 (de) * 1990-12-07 1994-12-08 Roland Man Druckmasch Vorrichtung zur bildmäßigen Beschreibung einer Druckform
DE19624131A1 (de) * 1996-06-17 1997-12-18 Giesecke & Devrient Gmbh Verfahren zur Herstellung von Prägeplatten
US20060249491A1 (en) * 1999-09-01 2006-11-09 Hell Gravure Systems Gmbh Laser radiation source
DE10058990C2 (de) * 2000-11-28 2003-03-06 Heidelberger Druckmasch Ag Vorrichtung zur Bestrahlung eines Objektes für eine Aufzeichnung eines visuellen Produktes
DE102004023021B4 (de) * 2004-05-06 2009-11-12 Pro-Beam Ag & Co. Kgaa Verfahren zur ablativen Bearbeitung von Oberflächenbereichen

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL268860A (ru) * 1959-04-17
DE2111628A1 (de) * 1971-03-11 1972-09-14 Gruner & Jahr Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Druckformen,insbesondere Tiefdruckformen
DE2458370C2 (de) * 1974-12-10 1984-05-10 Dr.-Ing. Rudolf Hell Gmbh, 2300 Kiel Energiestrahl-Gravierverfahren und Einrichtung zu seiner Durchführung
JPS5283177A (en) * 1975-12-31 1977-07-11 Fujitsu Ltd Electron beam exposure device
DE2752598C3 (de) * 1977-11-25 1981-10-15 Dr.-Ing. Rudolf Hell Gmbh, 2300 Kiel Verfahren zum Betrieb einer elektromagnetischen fokussierenden elektronen-optischen Linsenanordnung und Linsenanordnung hierfür
US4243866A (en) * 1979-01-11 1981-01-06 International Business Machines Corporation Method and apparatus for forming a variable size electron beam
DE3008176C2 (de) * 1979-03-07 1986-02-20 Crosfield Electronics Ltd., London Gravieren von Druckzylindern
DE2947444C2 (de) * 1979-11-24 1983-12-08 Dr.-Ing. Rudolf Hell Gmbh, 2300 Kiel Elektronenstrahl-Gravierverfahren

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент DE № 2458370, кл. В 41 С 1/04, 1984. *

Also Published As

Publication number Publication date
DK444082A (da) 1983-04-11
DE3175839D1 (en) 1987-02-19
EP0076868B1 (de) 1987-01-14
JPS5872450A (ja) 1983-04-30
JPS6255987B2 (ru) 1987-11-24
ATE24985T1 (de) 1987-01-15
EP0076868A1 (de) 1983-04-20
US4471205A (en) 1984-09-11
DD204180A5 (de) 1983-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0527607B1 (en) Electron beam exposure process for writing a pattern on an object by an electron beam with a compensation of the proximity effect
MY118961A (en) Beam irradiation apparatus, optical apparatus having beam irradiation apparatus for information recording medium, method for manufacturing original disk for information recording medium, and method for manufacturing information recording medium
SU1452471A3 (ru) Способ гравировани электронным лучом растровых чеек различных размеров на поверхности печатной формы и устройство дл его осуществлени
US4710639A (en) Ion beam lithography system
US4225224A (en) Process and apparatus for laser illumination of printing plates
CN211219155U (zh) 一种可调光斑大小的二氧化碳聚焦镜
JPS57105715A (en) Uniform scanning lens having high resolving power
JPS5727551A (en) Electron microscope
US4031391A (en) Electron microscope including improved means for determining and correcting image drift
US4218621A (en) Electron beam exposure apparatus
JPS5760648A (en) Electron microscope
JPS5533716A (en) Electron microscope focusing lens system
JPS57111936A (en) Astigmatism correcting device for electron microscope
JPS60184241A (ja) 複写機
JPS6115572Y2 (ru)
JPH0234750Y2 (ru)
JPH0587014B2 (ru)
RU2041828C1 (ru) Лазерная гравировальная машина
JPS54106206A (en) Optical recorder
JPS6476655A (en) Radiation quantity stabilizing device for electron microscope
JPS5919622B2 (ja) 電子顕微鏡
JPS6030034A (ja) カラ−ブラウン管の露光装置
JPS56152145A (en) Electron microscope
SU901984A1 (ru) Устройство дл фотопечатани
JPH0691001B2 (ja) 荷電ビ−ム制御方法