SU1315799A1 - Устройство дл измерени линейных перемещений - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может использоватьс  в оптическом приборостроении дп  огфеделени  кривизны поверхности оптических деталей. Целью изобретени   вл етс  измерение устройством также радиуса кривизны оптических поверхностей . Излучение источника 1, например лазера, с помощью телескопи00 ел VI со со

Description

13

ческой системы 2 и светоделител  5 направл ют на кoriтpoлиpye fyю поверхность объекта 16, установленную на опорной площадке 7 столика 6, котора  имеет возможность перемещени  в плоскости , перпендикул рной оптической оси интерферометра, с помоп;ью механизма 8 перемещени . Излучение,отраженное от контролируемой поверхности, направл ют оптической проекционной системой 9 в двухлучевой интерферометр 13, пройд  который, оно проект- тируетс  в оптически сопр женную с опорной площадкой плоскость регист1

Изобретение относитс  к измерительной технике и может использоватьс  в оптическом приборостроении дл  определени  кривизны поверхности оптических деталей.

Цель изобретени  - измерение также радиуса кривизны контролируемой оптической поверхности за счет бокового сдвига пучков в интерферометре

На чертеже приведена схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит источник 1 излучени , например лазер, телескопическую систему 2, включающую два компонента 3 и 4, первый светоделитель 5, столик 6 с опорной площадкой 7 и механизмом 8 перемещени  ее, проекционную оптическую систему 9, второй светоделитель 10, два уголковых отражател  11 и 12, которые совместно с вторым светоделителем 10 образуют интерферометр 13, щелевую диафрагму 14, фотоприемник 15 и электронный блок обработки (не показан).

Устройство работает следующим образом .

Предварительно осуществл ют настройку и калибровку устройства.

Устанавливают на опорную площадку 7 столика 6 объект 16 с контролируемой поверхностью.

Направл ют излучение источника 1, например лазера, через телескопическую систему 2 и светоделитель 5 на контролируемый объект 16. Отраженное кoнтpoJшpyeмoй поверхностью объекта

799

рации, в которой установлена щелева  диафрагма 14. В двухлучевом интерферометре осуществл ют боковой сдвиг разделенных пучков на величину d. При перемещении объекта в плоскости, перпендикул рной оптической оси интерферометра , на величину д регистрируют движение интерференционных полос в плоскости регистрации. Регистрацию осуществл ют с помощью фотоприемника 13 и блока обработки. По количеству зарегистрированных полос , прошед111их щелевую диафрагму 14, вычисл ют радиус поверхности. 1 ил.

16 излучение перехватывают проекционной оптической системой 9 и направл ют в интерферометр 13, где излучение дел т вторым светоделителем 10 попо- лам, смещают разделенные пучки один относительно другого и световозвра- щают их уголковыми отражател ми 11 и 12.

Оптическа  проекционна  система 9 осуществл ет оптическую св зь опорной площадки 7 с плоскостью изображени , в которой размещена диафрагма 14, Излучение, прощедшее интерферометр 13, формирует на щелевой диафрагме 14 два световых п тна, смещенных один относительно другого вдоль пр мой, перпендикул рной щели диафрагмы , смещение между которыми равно

I d-p ,

где d - величина бокового сдвига в интерферометре между свето- возвращенными пучками; Р - линейное увеличение оптической сопр гающей системы.

В поле переналажени  световых пучков наблюдают интерференционные полосы , ориентированные перпендикул рно направлению бокового сдвига пучков в интерферометре.

Перемещают опорную площадку 7 с контролируемой поверхностью (объект 16) перпендикул рно оптической оси интерферометра на величину д, отраженный пучок претерпевает в данном случае поворот на угол ip , равный

fi - Lf .

313

2A/R, где R - радиус кривизны контролируемой поверхности, при этом световые пучки в плоскости регистрации поворачиваютс  на угол

.fa 1 Ч а привод  к изменению разj9hI

нести оптических путей $ этих пучков в плоскости регистрапии на величину

2du г - -р- .

Изменение разности оптических путей между пучками в плоскости регистрации на щели диафрагмы приводит к перемещению интерференционной картины . Наблюда  интерференционную картину , определ ют количество N интерференционных полос, прошедрщх через щель диафрагмы.

По количеству интерференционных полос вычисл ют радиус кривизны R контролируемой поверхности по зависимости

R

где - длина волны источника излучени ;

Д - величина перемещени  опорной площадки с контролируемой поверхностью в плоскости, перпендикул рной оптической оси.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Устройство дл  измерени  линейных перемещений, содержащее последовательно установленные источник излучени , телескопическую систему, выполненную из двух компонентов, и светоРедактор Л. Козориз Заказ 2344/42

   Составитель Н. Солоухин Техред М.Ходанич

   Тираж 677 ВНИИПИ Государственного комитета СССР

   по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5

   Производственно-полиграфическое предпри тие, г, Ужгород, ул. Проектна , 4

   94

   делитель и устанавливаемые в обратном ходе излучени  от объекта интерферометр , выполненный в виде светоделител  и двух уголковых отражателей, каждый из которых установлен в потоке излучени  от соответствующего свето- депител , диафрагму, фотоприемник и электронный блок обработки, отличающее с  тем, что, с целью

   измерени  также радиуса кривизны поверхности контролируемого объекта, оно снабжено проекционно-оптической системой, расположенной между светоделителем и интерферометром, столиком , опорна  площадка которого предназначена дл  размещени  на ней контролируемой поверхности объекта, и механизмом перемещени  опорной площадки в направлении, перпендикул рном

   оптической оси интерферометра, диафрагма вьтолнена в виде щели, установлена в плоскости регистрации изображени  и ориентирована так, что щель перпендикул рна главному сечению

   интерферометра, столик ориентирован так, что его опорна  площадка перпендикул рна оптической оси интерферометра и расположена в плоскости, оптически сопр женной с плоскостью регистрации изображени , один из компонентов телескопической системы ус- тановлен с возможностью перемещени  вдоль направлени  излучени , а один из уголковых отражателей интерферометра смещен по отношению к другому в плоскости, перпендикул рной щели диафрагмы.

   Корректор Г. Решетник Подписное