SU1315793A1 - Method and apparatus for measuring object vibrations - Google Patents
Method and apparatus for measuring object vibrations Download PDFInfo
- Publication number
- SU1315793A1 SU1315793A1 SU853953895A SU3953895A SU1315793A1 SU 1315793 A1 SU1315793 A1 SU 1315793A1 SU 853953895 A SU853953895 A SU 853953895A SU 3953895 A SU3953895 A SU 3953895A SU 1315793 A1 SU1315793 A1 SU 1315793A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- interference pattern
- mirror
- phase
- piezoelectric transducer
- piezo
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может использоватьс дл измерени амплитудно-временных параметров акустических колебаний . Цель изобретени - повышение точности измерени - достигаетс тем, что в качестве сигнала расстройки рабочей точки используетс фазовое рассогласование интерферирующих лучей с помощью второй интерференционной картины, а также тем, что устройство обеспечивает стабилизацию оптической фазы интерферометра при изменении интенсивности лазерного излуче13 НИН. Излучение проходит через светоделитель 2 и попадает на зеркала 3 и 4, закрепленные соответственно на пьезопреобразовател х 5 и 6, которые закреплены на пьезопреобразователе 7. Отраженные от зеркала 4 и объекта 13 лучи образуют первую интерференционную картину, проецируемую на фотоприемник 8. Лучи, отраженные от зеркала 3 и объекта 13, образуют вторую интерференционную картину, котора регистрируетс фотоприемником 9, подключенным к системе 11 отрицательной обратной свйзи, соединенной с пьезо- преобразователем 5 и определ ющей сигнал рассогласовани и фазы второй интерференционной картины от точки 2т1Г. Система 1 1 вырабатывает управл ющий сигнал на пьезопреобразователь 7, который стабилизирует рабочую точку интерферометра, а фаза первой интерференционной картины регулируетс напр жением источника 12. 2 с.п. ф-лы, 1 ил. ; (/ :л со САЭThe invention relates to a measurement technique and can be used to measure the amplitude-time parameters of acoustic oscillations. The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy by achieving the phase mismatch of the interfering beams as the detuning signal of the working point using the second interference pattern, and also by the device stabilizing the optical phase of the interferometer when the intensity of the laser beam is changed. The radiation passes through the beam splitter 2 and falls on the mirrors 3 and 4, fixed respectively on the piezoelectric transducer 5 and 6, which are fixed on the piezoelectric transducer 7. The rays reflected from the mirror 4 and the object 13 form the first interference pattern projected on the photodetector 8. The rays reflected from The mirrors 3 and the object 13 form the second interference pattern, which is recorded by the photodetector 9 connected to the negative feedback system 11 connected to the piezoelectric transducer 5 and determining the signal oglasovani and second phases of the interference pattern from a point 2t1G. The system 1 1 produces a control signal to the piezoelectric transducer 7, which stabilizes the operating point of the interferometer, and the phase of the first interference pattern is regulated by the voltage of the source 12. 2 s.p. f-ly, 1 ill. ; (/: l with SAE
Description
11eleven
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени амплитудно-временных параметров акустических колебаний .The invention relates to a measurement technique and can be used to measure the amplitude-time parameters of acoustic oscillations.
Цель изобретени - повышение точности измерени путем использовани в качестве сигнала расстройки рабочей точки фазовое рассогласование интер- ферируюпшх лучей с помощью второй интерференционной картины.The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy by using the phase mismatch of the interfering rays as the detuning signal of the working point using the second interference pattern.
Устройство.обеспечивает стабилизацию оптической фазы интерферометра при изменении интенсивности лазерного излучени .The device ensures the stabilization of the optical phase of the interferometer with a change in the intensity of laser radiation.
На чертеже представлена структурна схема устройства дл осуществлени предлагаемого способа.The drawing shows a block diagram of a device for carrying out the proposed method.
Устройство содержит лазер 1, расположенные последовательно по ходу излучени светоделитель 2, зеркала 3 и 4, расположенные в одной плоскости пьезопреобразователи 5 и 6, на которых закреплены соответственно зеркала 3 и 4, Пьезопреобразователи 5 и 6 закреплены на пьезопреобразователе 7 По ходу отраженного от светоделител 2 излучени расположены фотоприемники 8 и 9. Фотоприемник 8 электрически св зан с блоком 10 регистрации, а фотоприемник 9 - с системой 11 отрицательной обратной св зи, выходы которой св заны с пьезопреобразова- т ел ми 5 и 7. Источник 12 регулиру -- мого опорного напр жени электрически св зан с пьезопреобразователем 6,The device contains a laser 1, a beam splitter 2 arranged successively during radiation, mirrors 3 and 4, piezo transducers 5 and 6 arranged in the same plane, on which mirrors 3 and 4 are attached, respectively. Piezo transducers 5 and 6 are fixed to a piezo transducer 7 During the course of reflected from beam splitter 2 Photoemitters 8 and 9 are located in the radiation. The photodetector 8 is electrically connected to the registration unit 10, and the photodetector 9 is connected to the negative feedback system 11, the outputs of which are connected to the piezoelectric transducer 5 and 7. Source The nickname 12 of the adjustable reference voltage is electrically connected to the piezo transducer 6,
Устройство работает следующим образом .The device works as follows.
Расширенный до -необходимости диаметра лазерный луч направл етс на светоделитель 2, где он расщепл етс на два луча, один из которых отражаетс от объекта 13, а другой - от зеркал 3 и 4, Луч, отраженный от зеркала 4 и луч, отраженный от поверхности объекта 13, образуют первую интерференционную картину, котора проецируетс на фотоприемник 8, а лучи, отраженные от зеркала 3 и от поверхности объекта 13, образуют вторую ин- терференпионную картину, котора проецируетс на фотоприемник 9, подключенный к системе отрицательной обратной св зи, выполненный в виде экстремального регул тора и включающий генератор 14 опорной частоты. При подаче на пьезопреобразователь 5 от генератора 14 синусоидального напр жени The laser beam expanded to the necessary diameter is directed to the beam splitter 2, where it splits into two beams, one of which is reflected from object 13 and the other from mirrors 3 and 4, the beam reflected from mirror 4 and the beam reflected from the surface object 13, form the first interference pattern, which is projected onto the photodetector 8, and the rays reflected from the mirror 3 and from the surface of the object 13, form the second interference pattern, which is projected onto the photodetector 9 connected to the negative feedback system, given in the form of an extremal regulator and including a reference frequency generator 14. When applied to the piezoelectric transducer 5 from the generator 14 sinusoidal voltage
3232
с частотой UQ происходит модул ци интенсивности второй интерференционной картины и на выходе фотоприемника 9 вырабатываетс синусоидальныйthe intensity of the second interference pattern is modulated with the frequency UQ and a sinusoidal output is produced at the output of the photoreceiver 9
электрический сигнал, частота и фаза которого завис т от фазы интерференционной картины. Если фаза интерференционной картины точно равна 2in ir, то частота электрического сигналаan electrical signal whose frequency and phase depend on the phase of the interference pattern. If the phase of the interference pattern is exactly 2in ir, then the frequency of the electrical signal
фатоприемника 9 равна 2(0, если фаза не равна 2m ii , то в сигнале присутствует составл юща с частотой W, причем фаза этой составл ющей относительно фазы опорной частоты генератора 14 определ етс знаком отклонени фазы интерференционной картины от точки сро 2т П . Система 1 1 отрицательной обратной св зи выдел ет из сигнала фотоприемника 9 сигнал сof the receiver 9 is equal to 2 (0, if the phase is not equal to 2m ii, then the component has a component with frequency W, and the phase of this component relative to the phase of the reference frequency of the generator 14 is determined by the sign of the deviation of the interference pattern from the point of tp 2t P. System 1 1 negative feedback extracts the signal from the photodetector 9 signal with
частотой СО,,, сравнивает фазу этого сигнала с фазой опорного сигнала и вырабатывает управл ющий сигнал, который поступает на пьезопреобразователь 7 дл подстройки фазы в точкеfrequency CO ,,, compares the phase of this signal with the phase of the reference signal and generates a control signal that is fed to the piezoelectric transducer 7 to adjust the phase at the point
..
Таким образом, происходит жестка стабилизаци фазы второй интерференционной картины. Фаза первой интерференционной картины жестко св зана сThus, a rigid stabilization of the phase of the second interference pattern occurs. The phase of the first interference pattern is rigidly associated with
фазой второй картины, так как пьезопреобразователи 5 и 6 закреплены на пьезопреобразователе 7, и может плавно регулироватьс посто нным регулируемым напр жением от источника 12.the phase of the second picture, since the piezoelectric transducers 5 and 6 are fixed on the piezoelectric transducer 7, and can be smoothly controlled by a constant controlled voltage from the source 12.
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853953895A SU1315793A1 (en) | 1985-09-11 | 1985-09-11 | Method and apparatus for measuring object vibrations |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853953895A SU1315793A1 (en) | 1985-09-11 | 1985-09-11 | Method and apparatus for measuring object vibrations |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1315793A1 true SU1315793A1 (en) | 1987-06-07 |
Family
ID=21197493
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU853953895A SU1315793A1 (en) | 1985-09-11 | 1985-09-11 | Method and apparatus for measuring object vibrations |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1315793A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5715054A (en) * | 1993-12-24 | 1998-02-03 | Forschungzentrum Julich Gmbh | Scanning force microscope with detector probe for the atomic resolution of a surface structure |
-
1985
- 1985-09-11 SU SU853953895A patent/SU1315793A1/en active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5715054A (en) * | 1993-12-24 | 1998-02-03 | Forschungzentrum Julich Gmbh | Scanning force microscope with detector probe for the atomic resolution of a surface structure |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3715165A (en) | Investigating the topography of reflecting surfaces | |
GB1488536A (en) | Measurement of the deflection of a workpiece surface by optical interference methods | |
US5347327A (en) | Process and apparatus for measuring axial eye length | |
JPS6322258B2 (en) | ||
GB1513249A (en) | Remote movement detector | |
SU1315793A1 (en) | Method and apparatus for measuring object vibrations | |
SU1370456A1 (en) | Method of fixing position of object outlines | |
JPH06186337A (en) | Laser distance measuring equipment | |
US6490300B1 (en) | Wavelength-stabilized light source apparatus | |
JP2001292105A (en) | Optical space transmission device | |
US4685804A (en) | Method and apparatus for the measurement of the location or movement of a body | |
JPS61138191A (en) | Laser distance measuring method | |
SU1040328A1 (en) | Method of checking object oscillation amplitude and shape | |
JPS5459166A (en) | Visual sensibility measuring apparatus of interferometer | |
SU1497451A1 (en) | Interferometer for measuring linear displacement of objects | |
US5081710A (en) | Laser transmitter | |
SU1404811A1 (en) | Stabilized interferometer | |
US6064481A (en) | Method and apparatus for positioning object in space using a low-coherence laser beam which is reflected by two references to sharpen the interference fringe lines | |
SU1580156A1 (en) | Method of determining fractional part of order of interference | |
SU1696890A1 (en) | Method and apparatus for measuring oscillations amplitude | |
SU911168A1 (en) | Optical vibrometer | |
SU1415072A1 (en) | Interference method and interference apparatus for measuring weak ultrasonic signals | |
JPH026236B2 (en) | ||
SU1520334A1 (en) | Method of determining amplitude of mechanical vibrations | |
JPH01320489A (en) | Distance measurement method and device |