Claims (1)
(pi/г. 2 ff J :r: Jjfjfj. 4Изобретение относитс к области приборостроени , а именно к предметным столикам, и может быть использовано в измерительных приборах, напри мер микроскопах, дл контрол параметров полупроводниковых пластин. Целью изобретени вл етс повьше ние, оперативности установки контроли руемых образцов в рабочее положение На фиг. 1 схематично изображен двухпозиционный предметный столик; на фиг. 2 - винт поперечной подачи, разрез; на фиг. 3 - каретка продольной подачи, разрез по механизму фиксации . Двухпозиционный предметный столик состоит из верхней каретки 1, на которой установлены два контролируемых образца, например полупроводниковые пластины 2, нижней каретки 3, основани 4, которое с помощью кронштейна 5 крепитс к основанию микроскопа . Каретка 3 перемещаетс в попереч ном направлении относительно основани 4 на шариковых направл ющих 6. На таких же направл юш;их в продольном направлении каретка 1 перемещает с относительно каретки 3. Верхн каретка 1 может перемещатьс плавно относительно каретки 3 с помощью механизма перемещени , выполненного в виде винта 7 и гайки 8, и ступенчато - за счет фиксатора, состо щего из шарика 9 и пружины 10. Каретки 1 и 3 с малым коэффициентом трени перемещаютс относительно основани 4, причем крайнее положение кареток устанавливаетс с помощью переставл емых упоров, состо щих из корпуСа 1 и микрометрического винта 12. В край нем положении каретки удерживаютс с помощью магнитов 13, закрепленных на стержне 14, жестко соединенном с кареткой 3, при этом винт 12 упирает с в выступ 15. Усилие, с которым стержень 14, а следовательно, и каретка 3 прит гиваютс к микрометрическому винту 12, регулируетс за счет выбора зазора А между магнитами и кольцом 16, закрепленным на винте 12. Двухпозиционный предметный столи работает следующим образом. При подготовке к работе предметны столик устанавливают на микроскопе. В гнезде верхней каретки 1 устанавли вают контролируемые образцы 2, сори75 ентированные по базовому срезу. С помощью механизмов фокусировки объектив микроскопа устанавливают на резкость изображени одной из пластин. Нижнюю каретку 3 устанавливают в одном из крайних положений, на которое настраивают микрометрический винт 12. С помощью магнита 13 выступ 15 прижимаетс к микрометрическому винту 12. За счет того, что стержень 14 жестко св зан с кареткой 3, она фиксируетс в нужном положении. Враща винт 12 и переставл при необходимости корпус 11, а также перемеща каретку 1 и враща винт 7, совмещают изображение контролируемой точки на образце с точкой, выбранной в поле зрени окул ра. Передвигают каретку 3 в другое крайнее положение , .и с помощью другого винта 12 выбирают аналогичную точку на втором образце. При работе с измерительным, устройством во врем , когда производитс измерение параметров одного образца 2, установленного в одном гнезде, в другое гнездо устанавливаетс новый образец, который после окончани операции измерени первым перемещаетс на измерительную позицию. Каретка фиксируетс в этом положении. Аналогичные операции провод тс с другим образцом. Совмещение по времени операций измерени и установки - съема контролируемых образцов и фиксации их в выбранном положении позвол ет сократить врем на установку выбранной точки образца с необходимой точностью . Формула изобретени Двухпозиционный предметный столик преимущественно микроскопа, содержащий размещенную на основании нижнюю каретку, на которой установлена верхн каретка с механизмом перемещени в виде пары винт-гайка, отличающийс тем, что, с целью повышени оперативности установки контролируемых образцов в рабочее положениеJ он снабжен двум фиксаторами , выполненными в виде закрепленного на нижней каретке стержн , на одном конце которого, обращенном к верхней каретке, размещен подпружиненный шарик, взаимодействующий с пазами, выполненными на боковой ,поверхности гайки механизма переме(pi / g. 2 ff J: r: Jjfjfj. 4 The invention relates to the field of instrumentation, namely to the object tables, and can be used in measuring devices, such as microscopes, to control the parameters of semiconductor wafers. The purpose of the invention is to increase efficiency of installation of controlled samples in the working position In Fig. 1, a two-stage sample table is shown schematically, and Fig. 2 is a transverse feed screw, a section, and Fig. 3 is a longitudinal feed carriage, cut by a fixation mechanism. It consists of an upper carriage 1, on which two controlled samples are installed, for example, semiconductor plates 2, the lower carriage 3, the base 4, which is fixed to the base of the microscope with the aid of the bracket 5. The carriage 3 moves in the transverse direction relative to the base 4 on the ball guides 6. In the same direction, in the longitudinal direction, the carriage 1 moves from relative to the carriage 3. The upper carriage 1 can move smoothly relative to the carriage 3 by means of a displacement mechanism, made in the form of a screw 7 nuts 8, and in steps, by means of a retainer consisting of a ball 9 and a spring 10. The carriages 1 and 3 with a small coefficient of friction move relative to the base 4, the extreme position of the carriages being established with the help of rearranged stops consisting of a body 1 and a micrometric screw 12. At its edge, the carriage is held by means of magnets 13 mounted on a rod 14 rigidly connected to the carriage 3, while the screw 12 abuts against the protrusion 15. The force with which the rod 14, and hence the carriage 3, are attracted to micrometric Inta 12 is controlled by the choice of the gap A between the magnets and the ring 16, fixed on the screw 12. Dip object stage operates as follows. In preparation for the work of the subject table set on the microscope. In the nest of the upper carriage 1 install controlled samples 2, oriented on the base slice. Using the focusing mechanisms, the microscope lens is set to sharpen the image of one of the plates. The lower carriage 3 is installed in one of the extreme positions on which the micrometer screw 12 is adjusted. With the help of the magnet 13, the protrusion 15 is pressed against the micrometric screw 12. Due to the fact that the rod 14 is rigidly connected to the carriage 3, it is fixed in the desired position. Rotating the screw 12 and, if necessary, moving the housing 11, as well as moving the carriage 1 and rotating the screw 7, combine the image of the test point on the sample with the point selected in the field of view of the ocular. Move the carriage 3 to another extreme position. And with the help of another screw 12 select the same point on the second sample. When working with a measuring device, the device at a time when measuring the parameters of one sample 2, installed in one socket, sets a new sample into another socket, which after the end of the measurement operation is first moved to the measuring position. The carriage is locked in this position. Similar operations are performed with another sample. The combination of the measurement and installation operations — the removal of monitored samples and their fixation in the chosen position — reduces the installation time of the selected point of the sample with the required accuracy. The invention of a two-stage microscope stage, comprising a lower carriage placed on the base, on which an upper carriage is installed with a screw-nut pair movement mechanism, characterized in that, in order to increase the speed of installation of controlled samples, it is equipped with two clamps in its working position, made in the form of a rod fixed on the lower carriage, at one end of which, facing the upper carriage, there is a spring-loaded ball interacting with the groove E formed on the side, surface Move nut mechanism