SU121232A1 - Двухслойное просветление поверхностей оптических деталей - Google Patents

Description

Двухслойное просветление новерхностей оптических деталей осуществл ют путем катодного распылени  металла в кислороде с получением в качестве нервого сло  с большим показателем преломлени  - п тиокиси ниоби , а в качестве второго сло  с малым показателем преломлени  - устойчивой окиси.

Предлагаемое покрытие отличаетс  от известных покрытий тем, что в качестве второго сло  в нем используетс  окись кремни . Применение такой комбинации слоев позвол ет создать прочное и химически стойкое просветл ющее покрытие, прозрачное в широкой области спектра . Так как окислы, используемые дл  создани  просветл ющего покрыти , чрезвычайно тугоплавки и при возгонке в высоком вакууме частично диссоциируют с выделением свободного металла, то их необходимо наносить на оптические детали методом катодного распылени  соответствующего металла в кислороде (в режиме аномального тлеющего разр да)Предмет изобретени 

Двухслойное просветление поверхностей оптических деталей путем катодного распылени  металла в кислороде с получением в качестве первого сло  с большим показателем преломлени  - п тиокиси ниоби , а в качестве второго сло  с малым показателем преломлени  - устойчивой окиси, отличающеес  тем, что, с целью создани  прозрачных слоев в широкой области спектра, механически прочных и химически стойких, на первый слой нанос т слой двуокиси кремни .