Изобретение относитс к вакуумной технике и предназначено дл создани вакуума, свободного, от паров масла. Известен способ защиты вакуумного объема в высоковакуумной установке, включакнций откачку газа высоковакуумным и форвакузп ню насосами с: масл ньо4 уплотнением через сорбционную ловушку и подачу хладагента из охлаждаемой Ловушки на вход форвакуумного насоса U 3. Недостатке этого способа вл етс повышенный расход хладагента за счет откачки его форвакуумнь насосом и необходимости дополнительных к« 1му1шкацйй дл реализации способа . Кроме этого, указанный способ не исключает полностью попадание - масла в камеру высоковакуумного насоса даже при наличии охлаждаемой ловушки. Подача хладагента на вход форвакуумного насоса снижает скорост откачки. . Наиболее близким к изобретений вл етс способ защиты вакуумного объема от обратного потока паров масла путем прокачки откачиваемого механическим,насосом газа через сор ционную ло эушку с одновременным охлаждением последней. «-.:-.. В качестве сорбента используют а тивированный уголь, который после предварительной регенерации нагрева ют до 130С и поддерживают при этой . температуре в течение всего времени работы. При этом масла активно поглощаютс С2 Недостатком этого способа вл етс необходимость загрузки сорбент в ловушку, его нагрев в процессе всего Цикла работы и периодическа регенераци , т.е. процессполучени безмасл ного вакуума становитс слсжньм и дорогосто щим. Кроме того указаннь способ не позвол ет устра н ть пары воду из откачиваемого объ ма.Iо Цель изобретени - повышение эфф тивности защиты. Указанна цель достигаетс тем, что при способе защиты вакуумного о объема от обратного потока паров масла путем прокачки откачиваемого механическим насосом газа через сорбщюн ную ловушку с одновременным охлаждением последней, в .Качестве сорбента ловушки используют аммиак, который подают в нее одновременно с прокачкой газа со скоростью, составл ющей 0,01-0,02 от скорости откачки газа механическим насосом, а охлаждение ловушки производ т до Температуры, не превышающей температуру конденсации аммиака . На чертеже изображена установка, реализующа предлагаемый способ. Установка содержит объем 1, соег диненный через затвор 2 и охлаждаемую сорбционную ловушку 3 с высоковакуумныМ 4 и форвакуумным 5 механическими насосами. Откачиваемый объем 1 через натекатель 6 соединен с баллоном 7 с аммиаком. Полость ловушки 3 через натекатель 8 соединена также с баллоном 7, Способ защиты вакуумного объема от отработанного потока, парой масла заключаетс в прокачке откачиваемого механическим насосом 5 газа через сорбционную ловушку 3 с одновременным охлаждением последней. В качестве сорбента в Ловушке 3 используют аммиак , который подают в нее одновременно с прокачкой газа со скоростью составл кидей 0,01-0,02 от скорости откачки газа механическим насосом 5, а охлаждени .е ловушки 3 производ т до температуры , не превьШ1ающей температуру конденсации аммиака. Использование предлагаемого способа позвол ет отказатьс от загружаемого в ловушку сорбента, его нагрева в процессе всего цикла работы и ус- , транить пары воды в откачиваемом Ьбъеме, тем самым упрощаетс Технологи получени вакуума и удешевл етс весь процесс. Предлагаемый способ позвол ет получать безмасл ный вакуум на любых вакуумных установках с использованием только одних серийно выпускаемых диффузионных насосов с охлаждаемой ловуш кой.This invention relates to vacuum technology and is intended to create a vacuum free of oil vapor. There is a known method of protecting the vacuum volume in a high-vacuum installation, including pumping out gas with high-vacuum and forvacuzpu pumps with: oil nyo4 gasket through a sorption trap and supplying refrigerant from the cooled Trap to the inlet of the vacuum pump U 3. The disadvantage of this method is increased refrigerant consumption due to discharge forcing the pump and the need for additional to “1m1shkatyy for the implementation of the method. In addition, this method does not completely eliminate the ingress of oil into the chamber of a high-vacuum pump even in the presence of a cooled trap. Supply of refrigerant to the foreline pump inlet reduces pumping speed. . The closest to the inventions is the method of protecting the vacuum volume from the reverse flow of the oil vapor by pumping the pumped gas with a mechanical, pump through the sieve box while simultaneously cooling the latter. "-.:- .. As a sorbent, carbonated carbon is used, which, after pre-regeneration, is heated to 130 ° C and maintained at this. temperature during the whole time of work. In this case, the oils are actively absorbed by C2. The disadvantage of this method is the need to load the sorbent into the trap, its heating during the entire Cycle of operation and periodic regeneration, i.e. the process of obtaining a oil-free vacuum becomes expensive and expensive. In addition, this method does not allow water to be removed from the pumped volume. The aim of the invention is to increase the effectiveness of the protection. This goal is achieved by the method of protecting the vacuum volume against the reverse flow of oil vapor by pumping the gas pumped out by the mechanical pump through a sorbent trap while simultaneously cooling the latter, as ammonia is used as the sorbent of the trap. equal to 0.01–0.02 of the gas pumping rate by a mechanical pump, and the trap is cooled to a temperature not exceeding the dew point of ammonia. The drawing shows the installation that implements the proposed method. The installation contains a volume of 1, combined with a gate 2 and a cooled sorption trap 3 with a high vacuum 4 and a fore vacuum 5 mechanical pumps. Pumped volume 1 through the leak 6 is connected to the cylinder 7 with ammonia. The cavity of the trap 3 is also connected to the cylinder 7 through the leak valve 8. A method of protecting the vacuum volume from the waste stream, a couple of oil consists in pumping the gas pumped out by the mechanical pump 5 through the sorption trap 3 while simultaneously cooling the latter. Ammonia is used as a sorbent in Trap 3, which is fed to it simultaneously with gas pumping at a rate of 0.01-0.02 of the gas evacuation rate of the mechanical pump 5, and the cooling of the trap 3 is performed to a temperature not exceeding the temperature ammonia condensation. The use of the proposed method makes it possible to refuse the sorbent being loaded into the trap, to heat it during the entire operation cycle and to absorb water vapor in the pumped out billet, thereby simplifying the Vacuum Technology and reducing the cost of the whole process. The proposed method allows to obtain oil-free vacuum in any vacuum installations using only commercially available diffusion pumps with a cooled trap.
&&