SU1118852A1 - Интерферометр дл измерени линейных перемещений - Google Patents

Abstract

ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, содержащий источник когерентного света, светоделитель и неподвижные отражатели, установленные в каждом плече интерферометра , светосоединитель, диафрагму и фотоприемник, жестко св зываемые с перемещаемым объектом, и счетчик импульсов, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности измерени , источник света и светоделитель жестко св заны со светосоединителем , а каждый из неподвижных отражателей выполнен в виде пентапризмы и зеркала . /4 (/) / , 00 00 ел ю СТ

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  линейных перемещений в системах .станков с программным .управлением. Известен интерферометр, в котором светосоединитель и фотоприемник жестко св заны с перемещаемым объектом 1. Недостаток известного интерферометра обусловлен невысокой точностью измерени  из-за изменени  контрастности интерференционных полос при перемещении объекта. Известен также интерферометр, содержащий- источник когерентного света, светоделитель , неподвижные отражатели, счетчик импульсов и жестко св занные с перемещаемым объектом светосоединитель, диафрагму и фотоприемник 2. Недостаток данного интерферометра обусловлен изменением контрастности интерференционной картины при поперечном смещении объекта. Цель изобретени  - повыщение точности измерени  линейных перемещений путем стабилизации контрастности интерференционной картины. Поставленна  цель достигаетс  тем, что в интерферометре дл  измерени  линейных перемещений, содержащем источник когерентного света, светоделитель и неподвижные отражатели, установленные в каждом плече интерферометра, светосоединитель, диафрагму-и фотоприемник, жестко св зываемые с перемещаемым объектом, и счетчик импульсов, источник света и светоделитель также жестко св заны со светосоединителем, а каждый из неподвижных отражателей выполнен в виде пентапризмы и зеркала. На чертеже дана схема предложенного интерферометра. Интерферометр содержит источник 1 когерентного света, линзы 2-4 со светоделителем 5, неподвижные пентапризмы 6, 7 и зеркала 8, 9 в каждом плече интерферометра , светосоединитель 10, диафрагму 11, фотоприемник 12, счетчик 13 импульсов. Светосоединитель 10, диафрагма 11 и фотоприемник 12 жестко св зываютс  с перемещаемым объектом 14, а источник 1 света и светоделитель 5 - со светосоединителем 10. Устройство работает следующим образом. Выход щий из источника 1 световой поток проходит линзу 2, делитс  в светоделителе 5 на два плеча, а затем проходит линзы 3 и 4. Далее в каждом плече световой поток проходит пентапризму 6 (или 7) и, отража сь от зеркала 8 (или 9), попадает на светосоединитель 10. В результате совмещени  обоих пучков светосоединителем 10 образуютс  интерференционные полосы. При продольном перемещении объекта 14 интерференционные полосы смещаютс  из-за изменени  разности оптических путей, и это смещение регистрируетс  счетчиком 13 импульсов при помощи диафрагмы 11 и фотоприемника 12. При поперечном же смещении объекта интерференционные полосы остаютс  неподвижными и их контрастность не ухудщаетс , что определ етс  жесткой св зью источника 1 света и светоделител  5 со светосоединителем 10, а также выполнением в каждом плече неподвижных отражателей в виде пентапризмы 6 (или 7) и зеркала 8 (или 9). Это позвол ет повысить точность из.мерений не менее чем в 1,5 раза.

Claims (1)

1. ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, содержащий источник когерентного света, светоделитель и неподвижные отражатели, установленные в каждом плече интерферометра, светосоединитель, диафрагму и фотоприемник, жестко связываемые с перемещаемым объектом, и счетчик импульсов, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, источник света и светоделитель жестко связаны со светосоединителем, а каждый из неподвижных отражателей выполнен в виде пентапризмы и зеркала.