Изобретение относитс к измерител ной Технике, а именно к устройствам использующим комбинацию методов Кель вина и вибрирующего электрода дл оп ределени поверхностного электрического потенциала и его распределени на поверхности зар женных тел. Известно устройство дл измерени электрического потенциала зар женной поверхности, содержащее зонд, снабженный заземленным конусным экраном с отверстием в его вершине, в котором с возможностью выхода из отверсти экрана расположен измерительный электрод, и дополнительный электрод концентрически расположенный относителйно измерительного электрода ClJ Недостатком данного устрсгйства в л етс низка точность измерени электрического потенциала, обусловленна вли нием экрана на распределение пол между измерительным элек тродом и образцом и краевых эффектов , возникающих из-за рассе нных электрических полей вблизи измерительного электрода и отклонений электродной системы от плоско-парал лельной геометрии. Кроме того, данное устройство обладает сложной конструкцией магнитоэлектрической системы, привод щей в движение зонд Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности вл етс устройство дл измерени электрического потенциала зар женной повер ности, содержащее измерительный и охранный электроды, расположенные в одной плоскости, при этом охранный электрод выполнен в виде кольца (металлического корпуса), окружающе го измерительный электрод, керзьмическую трубку, юстировочные винты, втулку, стальной шарик, плоскую пластину и сигнальный провод 2. Недостатками известного устройства вл ютс низка точность измерений и сложность конструкции, что обусловлено, необходимостью применени специальных юстировочных механи мов дл регулировани зазора между измерительным и охранным электродам и приближени их к плоско-параллель ной геометрии, а также необходимост совместной шлифовки электродов посл сборки устройства. Цель изобретени - повышение точно ти измерений и упрощение конструкции о Поставленна цель достигаетс те что в устройстве дл измерени элек трического потенциала зар женной по верхности, содержащем измерительный и охранный электроды, расположенные в одной плоскости, и измерительный блок, соединенный с измерительным и охранным электродами, при этом ох ранный электрод выполнен в виде кол ца, окружающего измерительный электрод , измерительный и охранный электроды выполнены в виде металлизированйых провод щих слоев, размещенных на диэлектрической подложке. На фиг. 1 изображены электроды, продольный разрез; на фиг. 2 - электрическа схема устройства дл измерени электрического потенциала зар женной поверхности. Устройство состоит из измерительного электрода 1 (диаметром, например , пор дка 300 мкм), охранного электрода 2, выполненного в виде кольца, концентрически расположенного относительно измерительного электрода 1, диэлектрической подложки 3, на которой размещены электроды 1 и 2, выполненные в,-виде металлизированных провод щих слоев, нанесенных на диэлектрическую подложку и электрически соединенных с измерительным блоком 4 . Диэлектрическа подложка 3 с электродам 1 и 2 крепитс на диэлектрической шайбе 5. Измерительный блок 4 состоит из источника 6 компенсирующего напр жени , электрометрического усилител 7 и регистрирующего блока 8. На фиг. 2 показаны также исследуемый образец 9, сопротивление 10 и конденсатор 11. Устройство приводитс в движение по нормали к плоскости исследуемого образца 9 с частотой- (например, 500 Гц), при этом напр жение с источника б компенсирующего напр жени подаетс на охранный электрод 2, выполн ющий также роль экрана, и через сопротивление 10 на измерительный электрод 1. При отличии напр жени на образце от значени компенсирующего напр жени на измерительном электроде 1 наводитс переменный сигнал с частотой f, который через ко денсатор 11 поступает на вход электрометрического усилител 7, Сопротивление 10 не позвол ет проникнуть паразитному сигналу с охранного электрода 2 на вход электрометрического усилител 7. Сопротивление 10 должно быть достаточно большим (пор дка 1 ГОм). С выхода электрометрического усилител 7 сигнал поступает на регистрирующий блок 8. При равенстве напр жени образца и компенсирующего напр жени потенциал зар женной поверхности образца равен потенциалу измерительного электорада 1, переменный сигнал отсутствует, что контролируетс по показани м регистрирующего блока 8. Измерительный прибор (не показан), подключенный .к источнику 6 компенсирующего напр жени , показывает потенциал зар женной поверхности . Упрощение конструкции предлагаемого устройства по сравнению с известными , обусловленное отсутствием юстировочных механизмов и расположени (вм измерительного и охранного электродов на единой диэлектрической подложке , позвол ет существенно улучшить энергетические и массо-габаритные характеристики устройства и повысить точность измер.ений в широком диапазоне измер емых величин.
. срие2