SU1044610A1

SU1044610A1 - Method for connecting glass to metal

Info

Publication number: SU1044610A1
Application number: SU813263566A
Authority: SU
Inventors: Людмила Владимировна Кондакова; Раида Сергеевна Коршунова; Вера Александровна Михайлова; Владимир Григорьевич Ипатов
Original assignee: Предприятие П/Я А-3726
Priority date: 1981-03-19
Filing date: 1981-03-19
Publication date: 1983-09-30

Abstract

СПОСОБ СОЕДИНЕНИЯ СТЕКЛА С МЕТАЛЛОМ путем изготовлени стекл нной заготовки по порошковой технологии , нагрева и последующего охлаждени металлостекл нной сборки, отличающийс тем, что, с целью повышени качества одновременного Сла стекла со сталью и коваром, стекл нную заготовку изготавливают из стекла молибденовой группы с коэффициентом термического расширени () 10 1-/град., нагрев осуществл ют до температуры 1000-1020 с в течение 1,5-2 ч, выдерживают при этой температуре 5-15 мин, после чего охлаждают со скоростью 2-3&deg;С/мин до 200-250 С, а затем с выключенной печью.METHOD OF CONNECTING GLASS WITH METAL by making glass preforms by powder technology, heating and subsequent cooling of metal glass assemblies, characterized in that, in order to improve the quality of simultaneous glass with steel and covar, the glass preform is made of molybdenum glass with a thermal coefficient extensions () 10 1- / deg., heating is carried out to a temperature of 1000-1020 s for 1.5-2 hours, kept at this temperature for 5-15 minutes, then cooled at a rate of 2-3 ° C / min to 200-250 ° C and then with the oven turned off.

Description

{{

4four

35 Изобретение отниситс к полупроводниковой технике, конкретно к способам получени спаев между стеклом и различными материалами, в частност сталью и коваром. Известен способ изготовлени узло из стекла и ковара, включающий никел рование ковара на участках, не подле жащих спаиванию со стеклом, на толщи ну 18-2 мкм, обезгаживающий отжиг и спаивание ковара со стеклом, приче спаивание ведут в защитной среде при 9 0-1000°С в течение 5-10 мин, а охлаждение до 650-700 С осуществл ют в защитной среде, после чего в среде водорода l . Данный способ трудоемок, так как имеет место предварительна металлизаци , а дл осуществлени способа используют защитную среду и среду водорода„ Наиболее близким к предлагаемому вл етс способ соединени металла со стеклом, включающий изготовление стекл нной заготовки по порошковой технологии, нагрев и последующее охлаждение сборки 2. Известный способ предназначен дл соединени стекла с одинаковыми по КТР металлами. Цель изобретени - повышение качества одновременного спа стекла со сталью и коваром. Поставленна цель достигаетс тем что согласно способу соединени стек ла с металлом путем изготовлени сте л нной заготовки по порошковой технологии , нагрева и последующего охлажде ни металлостекл нной сборки, стекл нную заготовку изготавливают из стекла молибденовой группы с коэффициентом термического расширени (8-52) /10 1/град.,нагрев осуществл ют до температуры 1000-1020 0 в течение 1,5-2 ч, выдерживают при этой температуре 5-15 мин, после чего охлаждают со скоростью 2-3С/мин до 200-250 0, а затем с выключенной печью. На чертеже представлена схема, по сн юща предлагаемый способ. Пример 1. Собранный и установленный в графитовую касСету узел, содержащий стеклотаблетку 1 из стекла марки С k8-2 (ост 11027.010-75), обечайку 2 из стали и гермоввод 3 из ковара, помещают в холодную герметичную печь сопротивлени . Нагрев ведут до 1000 С в течение 1,5 ч. Делают еыдержку при этой температуре в течение 15 мин, далее снижают температуру до 200 С со скоростью 2 С/мин, а затем ведут охлаждение вместе с выключенной печью. Пример 2. Подготовительные операции те же, что и в примере 1. Нагрев осуществл етс до 1020С в течение 2 ч, далее следует выдержка при этой температуре в течение 5 мин, затем заваренный узел охлаждают до со скоростью 3 С/мин, а далее вместе с выключенной печью. Полученные спаи обладают следующими свойствами: Термостойкость спа , С 200 Вакуумна плотность 10-10 спа , торр Механические испытани : вибропрочность Все спаи в диапазоне сохранили частот 10-2000 Гц герметичи ускорение 15 g ность в течение 5 ч термоциклирование То же от +100 до - 60°С (5 циклов) Использование предлагаемого способа позволит упростить технологию изготовлени полупроводниковых приборов , повысить их-термостойкость и герметичность.35 The invention is related to semiconductor technology, specifically to methods for producing junctions between glass and various materials, in particular steel and covort. A known method of manufacturing a glass and Kovar assembly, comprising nickeling Kovar in areas not subject to soldering with glass to a thickness of 18–2 µm, degassing annealing and soldering of Kovar with glass, and soldering is carried out in a protective medium at 9 0-1000 ° C for 5-10 minutes, and cooling to 650-700 ° C is carried out in a protective environment, and then in a hydrogen environment l. This method is laborious, since pre-metallization takes place, and a protective medium and hydrogen medium are used to implement the method. The closest to the present method is the method of joining metal with glass, including the manufacture of a glass blank using powder technology, heating and subsequent cooling of the assembly 2. The known method is intended to connect glass with metals of the same CTE. The purpose of the invention is to improve the quality of a simultaneous glass spa with steel and covari. This goal is achieved by the fact that according to the method of joining glass with metal by making a glass blank using powder technology, heating and subsequent cooling of a metalglass assembly, the glass blank is made of molybdenum glass with a thermal expansion coefficient (8-52) / 10 1 / deg., Heating is carried out to a temperature of 1000-1020 0 for 1.5-2 hours, kept at this temperature for 5-15 minutes, then cooled at a rate of 2-3 ° C / min to 200-250 0 and then with the oven turned off. The drawing shows a diagram explaining the proposed method. Example 1. An assembly assembled and installed in a graphite cassette containing a glass tablet 1 made of glass grade k8-2 (opt 11027.010-75), a shell 2 made of steel and a pressure seal 3 made of covar are placed in a cold hermetic resistance furnace. Heating is carried out to 1000 ° C for 1.5 hours. The maintenance is done at this temperature for 15 minutes, then the temperature is reduced to 200 ° C at a speed of 2 C / min, and then cooled with the furnace turned off. Example 2. The preparatory operations are the same as in example 1. The heating is carried out up to 1020С for 2 hours, followed by aging at this temperature for 5 minutes, then the brewed unit is cooled to 3 C / min, and then together with the oven turned off. The resulting junctions have the following properties: Thermal stability of the spa, C 200 Vacuum density 10-10 Spa, torr Mechanical tests: vibration strength All junctions in the range saved frequencies 10-2000 Hz sealant acceleration 15 g Thermal cycling for 5 hours The same from +100 to - 60 ° C (5 cycles) The use of the proposed method will simplify the technology of manufacturing semiconductor devices, improve their heat resistance and tightness.

Claims

. METHOD FOR JOINTING GLASS WITH METAL by manufacturing a glass billet according to powder technology, heating and subsequent cooling of a glass-metal assembly, characterized in that, in order to improve the quality of the simultaneous Junction of glass with steel and cunning, the glass billet is made of glass of molybdenum group with a coefficient of thermal expansion ( 48-52) · 10-7 1- / _G rad ,, heating is carried out to a temperature of 1000-1020 ° C for 1.5 "2 hours, kept at this temperature for 5" 15 minutes, then _{0 is} cooled at a speed of 2- 3 ° C / min to 200-250 C, and then with the oven turned off.