[go: up one dir, main page]

SU1023241A1 - Piezoelectric acceleration meter - Google Patents

Piezoelectric acceleration meter Download PDF

Info

Publication number
SU1023241A1
SU1023241A1 SU802920378A SU2920378A SU1023241A1 SU 1023241 A1 SU1023241 A1 SU 1023241A1 SU 802920378 A SU802920378 A SU 802920378A SU 2920378 A SU2920378 A SU 2920378A SU 1023241 A1 SU1023241 A1 SU 1023241A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
housing
support
piezoelectric
mass
sensing element
Prior art date
Application number
SU802920378A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Владимир Васильевич Смирнов
Original Assignee
Предприятие П/Я Г-4665
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Г-4665 filed Critical Предприятие П/Я Г-4665
Priority to SU802920378A priority Critical patent/SU1023241A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1023241A1 publication Critical patent/SU1023241A1/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01VGEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V1/00Seismology; Seismic or acoustic prospecting or detecting
    • G01V1/16Receiving elements for seismic signals; Arrangements or adaptations of receiving elements
    • G01V1/18Receiving elements, e.g. seismometer, geophone or torque detectors, for localised single point measurements
    • G01V1/181Geophones

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Geology (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Geophysics (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

ПЬЕЗОЭЛИСГРИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕ РОМЕТР,-содержа110 1 установленный в корпусе на опоре чувствительньв( элемент в виде, пьезе эпектрического щшищц с массой чуас±вктепьного элемента внутрт, о тли ч а ю щ и и с   тем, что, с целью упров|енн  технологии изготовлени  акселероме, опсфа выпойнеин В корпусе в виде кошмеской поверхности с углом при вершине конуса о ивход щзкмс  в пределах 90° о 180. поверхности , ; пьезоэлектрического цилиндра корпуса н мдсш чувствительного элемента сопр жены без зазора/PIEZOELISGRICHSKY ACCELE ROMETER, -containing110 1 installed in a housing on a support is sensitive (an element in the form, a piezoelectric shear with a mass of chuas ± vtpepnyh element inside, about the same, and with the fact that, in order to improve the production technology In the case of a nightmare surface with an angle at the apex of the cone about the entrance of the schzksms within 90 ° C 180. surface,; the piezoelectric cylinder of the case on the sensing element matched without a gap /

Description

10 Изобретение относитс , к измерению парамет ров движени , в частности к пьезоэлектрическим акселерометрам ударных ускорений с коль цевым чувствительным пьезоэлементом. Известные пьезоакселерометры обладают относительно низкой собственной чистотой, а их миниатюризаци  .затруднена в с-гази со значительным усложнением технологии изготовлени  1. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемым результатам  вл етс  устройство, содержащее установленный в корпусе на опоре чувствительный элемент в виде пьезоэлектрическопу цилиндра с массой чувствительного элемента внутри 2)i Недостатком этюго устройства  вл етс  относительно сложна  технологи  изготовленю при малой электрической емкости при значительных габаритах и массе. Цель изоб1 тени  упрощение технологии изготовлени  акселерометра. , Дл  достижени  этой цели опора выполнена в корпусе в виде конической поверхности с утлом при верцгане конуса а, наход щимс  в пределах а 180°, а поверхности пьезо. электрического цилиндра, корпуса и массы чувствительного элемента сопр жены без зазора. На чертеже представлена упрощенна  конструкци  пьезоэлектрического акселерометра. Чувствительный элемент 1 выполнен в вид ,Q тонкостенного кольца внутри которого разме1 щена инерционна  масса 2. В корпусе 3 выполнена опора 4 в виде конуса. Чувствительный элемент закреплен в корпусе по наружно цилиндрической поверхности и опираетс  наружной кромкой ла,опору. Кроме юго, устройство содержит токовыводы 5. Сопр жение чувствительного злемеита, массы и корпуса вьшолнено без зазора. Акселерометр работает следующим образом. При наличии ускорени  вдоль оси прибора ч)пвствительный элемент I испытывает деформа цию сдвига и на его цилиндрических поверхност х по вл ютс  электрические зар ды,съем которых осуществл етс  При помощи токовыво дов 5. Чувствительный элемент пол ризован вдоль оси акселерометра. Нижний предел угла а (90°) обусловлен обеспечением незаклини вани  чувствительного элемента в коническом отверстии, а верхний предел а (180°) обеспечением отсутстви  электрического контакта между внутренней н виещией поверхностью чувствительного элемента через корпус. Конструкци  акселерометра позвол ет упростить технологию изготовлени  прибора в целом при ее миниатюрном варианте исполнени  за счет упрощени  технологии выполнени  опоры (опора может быть выполнена, например, сверлением за одну операцию). Кроме того, возможно снижение толщины стенок пьезоэлемента. следствием которой  вл етс  увеличение электрической емкости, снижение габаритов и массы.10 The invention relates to the measurement of motion parameters, in particular, piezoelectric accelerometers of shock accelerations with a ring sensitive piezoelectric element. Known piezoaccelerometers have relatively low intrinsic purity, and their miniaturization is complicated in c-gas with a significant complication of manufacturing technology 1. The closest to the proposed technical essence and the achieved results is a device containing a piezoelectric cylinder mounted in a housing on a support with a mass of sensitive element inside 2) i The disadvantage of this device is relatively complex technology made with a small electrical capacity with significant dimensions and weight. The purpose of the image shade is to simplify the technology of manufacturing an accelerometer. To achieve this goal, the support is made in the housing in the form of a conical surface with a flare when the cone a is vertical and is within 180 ° and the surface is piezo. electric cylinder, housing and the mass of the sensitive element matched without a gap. The drawing shows a simplified construction of a piezoelectric accelerometer. The sensing element 1 is made in the form, Q of a thin-walled ring inside which the inertia mass 2 is spaced. The sensing element is fixed in the housing on the external cylindrical surface and is supported by the outer edge of the support. In addition to the south, the device contains current terminals 5. The junction of the sensitive earth element, mass and the body is complete without a gap. The accelerometer works as follows. If there is acceleration along the axis of the instrument, the solvent element I undergoes a shear deformation and electric charges appear on its cylindrical surfaces, which are removed using current leads 5. The sensing element is polarized along the accelerometer axis. The lower limit of the angle a (90 °) is due to the non-wedging of the sensing element in the conical hole, and the upper limit a (180 °) ensuring the absence of electrical contact between the inner surface of the sensing element through the housing. The design of the accelerometer makes it possible to simplify the manufacturing technology of the device as a whole with its miniature version by simplifying the technology of the support (the support can be made, for example, by drilling in one operation). In addition, it is possible to reduce the thickness of the walls of the piezoelectric element. the consequence of which is an increase in electrical capacitance, a decrease in size and weight.

Claims (1)

ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕЙ РОМЕТР, содержаний! установленный в корпусе на опоре чувствительный элемент в виде, пьезо* электрического цилиндра с массой чувствительного элемента внутри, о тли ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения технологии изготовления акселерометра, опора выполнена в корпусе в виде конической поверхности с углом при вершине конуса о* находящимся в пределах 90° < а к 180е, а поверхности ί пьезоэлектрического цилиндра, корпуса и массы чувствительного элемента сопряжены без зазора.;PIEZO ELECTRIC ACCELIUM ROMETER, contents! a sensitive element mounted in a housing on a support in the form of a piezo * electric cylinder with the mass of the sensitive element inside, in that, in order to simplify the technology of manufacturing the accelerometer, the support is made in the housing in the form of a conical surface with angle at the apex of the cone o * within 90 ° <a to 180 e , and the surface ί of the piezoelectric cylinder, the housing and the mass of the sensing element are conjugated without a gap .;
SU802920378A 1980-05-05 1980-05-05 Piezoelectric acceleration meter SU1023241A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802920378A SU1023241A1 (en) 1980-05-05 1980-05-05 Piezoelectric acceleration meter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802920378A SU1023241A1 (en) 1980-05-05 1980-05-05 Piezoelectric acceleration meter

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1023241A1 true SU1023241A1 (en) 1983-06-15

Family

ID=20894032

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU802920378A SU1023241A1 (en) 1980-05-05 1980-05-05 Piezoelectric acceleration meter

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1023241A1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1991006012A1 (en) * 1989-10-23 1991-05-02 Vsesojuznoe Khozraschetnoe Vneshneekonomicheskoe Obiedinenie 'tekhsnabexport' Piezoelectric accelerometer
RU2663091C2 (en) * 2014-03-14 2018-08-01 Бп Эксплорейшн Оперейтинг Компани Лимитед Seismic sensor

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1, Патент Великобреташи № 1393312, кл. G 01 Р 15/08, 07,05Л5. 2. Ъ ауеъ Г. С. щ. Инженерные методы исследовани ударШ) процессов, М., Маиганостроение, 1977, с, 215, рис. 129 (прототип). 54) *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1991006012A1 (en) * 1989-10-23 1991-05-02 Vsesojuznoe Khozraschetnoe Vneshneekonomicheskoe Obiedinenie 'tekhsnabexport' Piezoelectric accelerometer
RU2663091C2 (en) * 2014-03-14 2018-08-01 Бп Эксплорейшн Оперейтинг Компани Лимитед Seismic sensor
US10139506B2 (en) 2014-03-14 2018-11-27 Bp Exploration Operating Company Limited Seismic sensor
US11016207B2 (en) 2014-03-14 2021-05-25 Bp Exploration Operating Company Limited Seismic sensor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100737708B1 (en) Micromechanical rotary acceleration sensor
US6854330B2 (en) Accelerometer and methods thereof
US10209269B2 (en) Z-axis microelectromechanical detection structure with reduced drifts
US5313835A (en) Integrated monolithic gyroscopes/accelerometers with logic circuits
US20070113653A1 (en) Multiple axis accelerometer
JPH05249138A (en) Triaxial accelerometer
US20160238630A1 (en) Mems tilt sensor
CN112213520A (en) MEMS acceleration sensor with high accuracy and low sensitivity to temperature and aging
SU1023241A1 (en) Piezoelectric acceleration meter
US4201898A (en) Inertia switches
GB1536017A (en) Device for measuring gravitational and inertial forces
JP3055935B2 (en) Magnetohydrodynamic effect angular velocity sensor for measuring large angular velocities
RU202246U1 (en) PIEZOELECTRIC ACCELEROMETER
RU55148U1 (en) MICROMECHANICAL AXIAL ACCELEROMETER
SU410473A1 (en)
Atsumi et al. Pillar-shaped electrodes for 3-axis gold-proof-mass MEMS capacitive accelerometers
CN86209155U (en) Acceleration sensor of polyvinylidene fluoride piezoelectric film
RU65653U1 (en) MICROMECHANICAL INERTIAL MEASURING MODULE
RU143487U1 (en) PIEZO-ELECTRIC MOVING ACCELEROMETER SENSOR
US20240151741A1 (en) Mems device having improved detection performances
SU421934A1 (en)
JPH0510966A (en) Acceleration sensor
SU527665A1 (en) Piezoelectric accelerometer
EP4425189A1 (en) Capacitive mems device
SU1245892A1 (en) Vibration threshold sensor