SU100646A1 - Способ чернени металлических деталей вакуумных и газоразр дных приборов - Google Patents

Description

В вакуумных и газоразр дных приборах имеютс  метаошические детали , которые должны обладать большим коэффициентом термического излучени . Дл  этого осуществл ют чернение деталей или металла, из которого делаютс  детали, путем обработки их при высоких температурах в парах углеводородов.

Этот способ чернени  металла св зан с необходимостью применени  .летучих и вреднодействующих веществ . Поверхность деталей, почерненных этим способом, покрываетс  углеродом, который часто содержит нежелательные дл  вакуумных деталей примеси, вследствие чего удлин етс  врем  газоотделени .

Полученные таким способом почерненные детали не выдерживают перегрева более 700°, что не всегда удовлетвор ет требовани м их дальнейшей обработки.

С целью повышени  температурной стойкости наносимого на металлическую деталь покрыти  и осуществлени  одновременно с чернением очистки поверхности детали и ее обезгаживани , предлагаетс  обрабатывать детали в газовом разр де на посто нном или переменном токе в услови х катодного распылени  металла ударами ионов и последующего осаждени  распыленных частиц на

поверхность детали, нспользземой в качестве катода - при посто нном токе, или любого из электродов - при переменном токе.

При соответствующих параметрах газового разр да (давление газа или пара, плотность разр дного тока, напр жение) дл  определенного газа или пара можно создать такие услови , когда поверхность катода (при посто нном токе) и поверхность обоих электродов (при переменном токе ) покрываетс  темным слоем. Этот темный слой на металле образуетс  в результате двух процессов - катодного распылени  материала электрода под здарами ионов и последующего осаждени  распыленных частичек на поверхность детали.

Параметры разр да подбираютс  таким образом, чтобы количество возвращающихс  распыленных частиц было достаточным дл  покрыти  детали черным налетом. Врем  чернени  в разр де зависит от давлени  газа или пара, плотности разр дного тока, рода газа или пара и рода металла.

Мен   врем  чернени  в разр де, рода газа и параметры разр да, можно получить на поверхности металла черный слой различной плотности и различной толщины.

В процессе чернени  в газовом разр де металл или детали электровакуумных и газоразр дных ламн одновременно подвергаютс  новерхностной очистке и обезгаживанию.

При первоначальном воздер 1ствин разр да на поверхность металла с нее снимаютс  все загр знени  и окислы, а затем уже начинаетс  обработка самой поверхности. В газовом разр де, в результате бомбардировки ионами значительных скоростей , происходит обезгаживание деталей . При этом газ, загр зн ющий металл, удал етс  не только с поверхности последнего (это достигаетс  путем простого нагрева), но и нз глубинных слоев благодар  проникновению ионов газа в толщу металла и выбиванию оттуда загр зн ющего металл газа.

Предмет изобретени 

Способ чернени  металлических деталей вакуумных и газоразр дных приборов путем образовани  на поверхности детали сло  покрыти , отличающийс  тем, что, с целью повыщени  температурной стойкости покрыти  и осуп1,ествлени  одновременно с чернением очистки поверхности детали и ее обезгаживани , детали обрабатывают в газовом разр де на посто нном или переменном токе в услови х катодного распЫоТени  металла ударами ионов и последующего осаждени  распыленных частиц на поверхность детали, исиОоТьзуемой в качестве катода - при посто нном токе, или любого из электродов - при переменном токе.