[go: up one dir, main page]

SE512483C2 - Method for producing master disk unit and of a press die made therefrom and adapter ring for producing master disk unit - Google Patents

Method for producing master disk unit and of a press die made therefrom and adapter ring for producing master disk unit

Info

Publication number
SE512483C2
SE512483C2 SE9702491A SE9702491A SE512483C2 SE 512483 C2 SE512483 C2 SE 512483C2 SE 9702491 A SE9702491 A SE 9702491A SE 9702491 A SE9702491 A SE 9702491A SE 512483 C2 SE512483 C2 SE 512483C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
substrate
diameter
disk unit
master disk
flat
Prior art date
Application number
SE9702491A
Other languages
Swedish (sv)
Other versions
SE9702491L (en
SE9702491D0 (en
Inventor
Aake Billman
Original Assignee
Toolex Alpha Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toolex Alpha Ab filed Critical Toolex Alpha Ab
Priority to SE9702491A priority Critical patent/SE512483C2/en
Publication of SE9702491D0 publication Critical patent/SE9702491D0/en
Priority to EP98930022A priority patent/EP0992035A1/en
Priority to AU79503/98A priority patent/AU7950398A/en
Priority to PCT/SE1998/001215 priority patent/WO1999003100A1/en
Publication of SE9702491L publication Critical patent/SE9702491L/en
Publication of SE512483C2 publication Critical patent/SE512483C2/en

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
    • B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
    • B29D11/0074—Production of other optical elements not provided for in B29D11/00009- B29D11/0073
    • B29D11/00769—Producing diffraction gratings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
    • B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
    • B29D17/00—Producing carriers of records containing fine grooves or impressions, e.g. disc records for needle playback, cylinder records; Producing record discs from master stencils
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Ophthalmology & Optometry (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

The present invention relates to a method, starting from a micro-structured substrate disc (18) of a first diameter, of manufacturing a master disc unit intended for the manufacture of a disc-shaped matrix of a second, larger diameter for reproduction of micromechanical products, kinoforms or mirror copies of such a matrix. According to the invention, the micro-structured substrate disc (18) is placed with its structured side (24) against a flat supporting surface (26). Thereafter, a flat, annular element (10) is placed on the flat supporting surface (26) with the annular element (10) coaxially surrounding the substrate disc (18) to form an annular slot between the annular element (10) and the substrate disc (18). The substrate disc (18) and the annular element (10) are joined together by means of an adhesive (28) to form a raw master disc unit. The invention also relates to a method of manufacturing a disc-shaped matrix with the aid of the master disc unit formed. A disc-shaped press matrix can be formed against a metallized side of the master disc unit in a manner known per se by electroplating. The invention also relates to an adapter ring for manufacturing a master disc unit. This ring has flat opposite sides (12, 14), an outer diameter corresponding to or exceeding the outer diameter of the matrix to be manufactured by the master disc unit, and a hole diameter somewhat exceeding the diameter of a structured substrate disc (18) which is to be concentrically surrounded by and joined to the adapter ring (10).

Description

ll šiílå J. _ 1.-,- 10 15 20 25 30 512 483 2 pläteringsutrustxiingar och formsprutningsmaskiner arbetar man dock normalt med större diametrar (från cirka 130 mm och uppåt) hos de hållare och verktyg som fast- håller masterskivoma respektive pressmatrisema. ll šiílå J. _ 1 .-, - 10 15 20 25 30 512 483 2 plating equipment and injection molding machines, however, one normally works with larger diameters (from about 130 mm and upwards) of the holders and tools which hold the master discs and the press dies, respectively.

Ett ändamål med föreliggande uppfinning är att föreslå ett forfarande som möjliggör en enkel dimensionsanpassning av strukturerade skivsubstrat av en viss mindre dia- meter vid framställning av plana masterskivenheter med en diameter som är större än skivsubstratets diameter.An object of the present invention is to propose a method which enables a simple dimensional adjustment of structured disk substrates of a certain smaller diameter in the production of flat master disk units with a diameter which is larger than the diameter of the disk substrate.

För detta ändamål utmärker sig det inledningsvis nämnda förfarandet av att den rnikrostrulcrrrrerade substratskivan lägges med sin strukturerade sida mot'ett plant underlag, att ett plant, ringformigt element, som har ett hål med en innerdiarneter något överstigande substratskivans diameter och som har en ytterdiarneter som motsvarar eller överstiger diametern hos den pressmatris, som skall framställas av masterskivenheten, lägges på det plana underlaget med det ringfonniga elementet koaxiellt omslutande substratskivan, så att en ringformig spalt bildas mellan ring- elementet och substratskivan, att ett limmedel införes i spalten, och att limmedlet bringas att härda till en limfog mellan ringelementet och substratskivan för bildande av en rå masterskivenhet. Härigenom kan man erhålla en masterskivenhet med ett klart definierat plan och med en diameter som passar standardhållare i befintliga pläteringsutrusmingar för CD-produktion, vilket i sin tur möjliggör framställning av pressmatriser av standardforrnat, som passar i befintliga CD-forrnsprutningsmaski- ner. Detta medför stora besparingar i verktygskostnader, eftersom befintliga stan- dardutrustningar kan användas.For this purpose, the initially mentioned method is characterized in that the microencrulterated substrate sheet is laid with its structured side against a flat surface, that a flat, annular element, which has a hole with an inner diaphragm slightly exceeding the diameter of the substrate sheet and which has an outer diaphragm corresponding to or exceeds the diameter of the press die to be produced by the master disk unit, is laid on the flat substrate with the annular element coaxially enclosing the substrate disk, so that an annular gap is formed between the annular element and the substrate disk, that an adhesive is introduced into the gap, and that the adhesive is brought to cure to an adhesive joint between the ring element and the substrate board to form a raw master board unit. This makes it possible to obtain a master disk unit with a clearly defined plane and with a diameter that fits standard holders in existing plating equipment for CD production, which in turn enables the production of press dies of standard form, which fit into existing CD pre-injection machines. This entails large savings in tool costs, as existing standard equipment can be used.

Föredragna utföringsforrner och särdrag hos förfarandet enligt uppfinningen är angivna i de efterföljande osjälvständiga patentkraven 2-10.Preferred embodiments and features of the method according to the invention are set forth in the appended dependent claims 2-10.

Inom ramen för föreliggande uppfinning ligger även i förlängningen ett förfarande för att med utgångspunkt från en mikrostrukturerad substratskiva av en första diame- ter framställa en skivformig pressmatns av en andra, större diameter för reproduk- 10 15 20 25 30 512 485 3 tion av mikromekaniska alster, kinoformer eller liknande, vilket förfarande känne- tecknas av att den milaostrukturerade substratskivan lägges med sin strukturerade sida mot ett plant underlag, att ett plant, ringforrnigt element, som har ett hål med en ínnerdiameter något överstigande substratskivans diameter och som har en ytterdia- meter som motsvarar eller överstiger diametern hos den pressmatris, som skall fram- ställas, lägges på det plana underlaget med det ringformiga elementet koaxiellt om- slutande substratskivan, så att en ringformig spalt bildas mellan ringelementet och substratskivan, att ett limmedel införes i spalten, att limmedlet bringas att härda till en limfog mellan ringelementet och substratskivan för bildande av en rå masterskiv- enhet, att den strukturerade ytan hos substratskivan jämte den i plan därmed liggan- de ytan hos ringelementet och limfogen belägges med ett tunt metallskikt till bildan- de av en färdig masterskivenhet, och att mot den metalliserade sidan av masterskiv- enheten fonnas en skivformig pressmatris på i och för sig känt sätt genom elektro- plätering".Also within the scope of the present invention is in the long run a method for producing, on the basis of a microstructured substrate sheet of a first diameter, a sheet-shaped press mat of a second, larger diameter for reproduction of micromechanical articles. , cinematic forms or the like, which method is characterized in that the milaostructured substrate sheet is laid with its structured side against a flat surface, that a flat, annular element, which has a hole with an inner diameter slightly exceeding the diameter of the substrate sheet and which has an outer diameter which corresponds to or exceeds the diameter of the press matrix to be produced, is laid on the flat substrate with the annular element coaxially enclosing the substrate sheet, so that an annular gap is formed between the annular element and the substrate sheet, that an adhesive is introduced into the gap, that the adhesive caused to cure to an adhesive joint between the ring element and substrate sheet for forming a raw master disk unit, that the structured surface of the substrate disk together with the planar surface of the ring element and the adhesive joint is coated with a thin metal layer to form a finished master disk unit, and that against the metallized side of the master disk unit forms a disk-shaped press matrix in a manner known per se by electroplating ".

Uppfmningen avser vidare en adapterring för fiarnställning av en masterskivenhet, avsedd för framställning av en skivfonnig pressmatris för reproduktion av mikro- mekaniska alster, kinoformer eller liknande, vilken adapterring kännetecknas av att den har plana motstående ytor, en ytterdiameter som motsvarar eller överstiger ytterdiametem hos den pressmatris, som skall fiamställas av masterskivenheten, samt en håldiarneter som överstiger diarnetem hos en strukturerad substratskíva, som skall koncentriskt omslutas av och förbindas med adapterringen.The invention further relates to an adapter ring for manufacturing a master disk unit, intended for the production of a disk-shaped press die for reproducing micro-mechanical articles, cinema shapes or the like, which adapter ring is characterized in that it has flat opposite surfaces, an outer diameter corresponding to or exceeding the outer diameter of the invention. press matrix, which is to be ställ set by the master disk unit, and a hollow diurner that exceeds the diarnetem of a structured substrate disk, which is to be concentrically enclosed by and connected to the adapter ring.

Uppfinningen beskrives närmare nedan under hänvisning till bifogade ritning, på vilken: fig. 1 är en tvärsektionsvy genom en adapterring enligt uppñrmingen för användning vid framställning av en masterskivenhet till en pressmatris för repro- duktion av mikromekaniska alster, kinofonner eller liknande; och fig. 2 visar i förstorad skala en delsektion genom adapterringen i ñg. 1 sam- manfogad med en strukturerad substratskiva. 10 15 20 25 30 I frg. 1 och 2 betecknas generellt med 10 en adapterring, som har plana sidoytor 12 och 14 och en ytterdiameter av exempelvis 200 mm och en tjocklek av 6 mm.The invention is described in more detail below with reference to the accompanying drawing, in which: fi g. 1 is a cross-sectional view through an adapter ring according to the invention for use in manufacturing a master disk unit into a press die for reproducing micromechanical products, cinemas or the like; and fi g. 2 shows on an enlarged scale a subsection through the adapter ring in ñg. 1 joined with a structured substrate board. 10 15 20 25 30 I frg. 1 and 2 are generally indicated by an adapter ring, which has flat side surfaces 12 and 14 and an outer diameter of, for example, 200 mm and a thickness of 6 mm.

Ringen 10 har ett centralt, cylindriskt hål 16 med en innerdiarneter som med någon eller några tiondels millimeter överstiger ytterdiametern hos en strukturerad substratskiva 18 (fig. 2), som skall förenas med ringen 10. Djupet d av hålet 16 motsvarar i huvudsak tjockleken hos substratskivan 18 (exempelvis 1,5 mm). Hålet 16 mynnar uppåt i ett vidgat hålparti 20, som begränsas av en konisk hålvägg 22, som kan ha en lutning av exempelvis cirka 45° mot ringens 10 plan.The ring 10 has a central, cylindrical hole 16 with an inner diameter which exceeds by one or a few tenths of a millimeter the outer diameter of a structured substrate sheet 18 (Fig. 2), which is to be joined to the ring 10. The depth d of the hole 16 substantially corresponds to the thickness of the substrate sheet. 18 (for example 1.5 mm). The hole 16 opens upwards into a widened hole portion 20, which is limited by a conical hole wall 22, which may have an inclination of, for example, approximately 45 ° towards the plane of the ring 10.

Substratskivan 18, som kan bestå av en kiselskiva eller en med ett ljus- eller bestrål- ningskänsligt skikt belagd kvarts- eller glasskiva av standardforrnat (diameter cirka 100 mm), uppbär på sin ena sida en strukturering 24 med en konfigtiration i motsva- righet till det alster, som skall reproduceras med hjälp av en enligt uppfinningen framställd pressmatris i en formsprutningsmaskin av standardtyp för CD-skivor.The substrate plate 18, which may consist of a silicon wafer or a quartz or glass wafer coated with a light or radiation sensitive layer of standard shape (diameter about 100 mm), carries on one side a structuring 24 with a configuration corresponding to the article to be reproduced by means of a press matrix produced according to the invention in a standard injection molding machine for CDs.

Ett förfarande enligt uppfinningen för framställning av en masterskivenhet, avsedd för fiarnställning av en skivformig pressmatris för reproduktion av rnikromekaniska alster, kinoforrner eller liknande, skall nu beskrivas.A method according to the invention for producing a master disk unit, intended for producing a disk-shaped press die for reproducing micromechanical articles, cinemas or the like, will now be described.

En strukturerad substratskiva 18 lågges på ett plant underlag 26 med sin strukturera- de sidoyta 24 vänd mot underlaget 26. Underlaget 26 kan ha en yta av silikongurnmi eller bestå av annat fast material och vara belagd med exempelvis en icke visad plastfilm av exempelvis Teflon® för att erhålla lämpliga tätnings- och släppnings- egenskaper. Adapterringen 10 lägges därefter koncentriskt över substratskivan 18 så att en smal ringspalt (cirka 0, l-0,3 mm) bildas mellan ytterperiferin av substratski- van 18 och hålet 16 i ringen 10. Ringen 10 och substratskivan 18 bringas att ligga dikt an mot silikongtmurliytan 26 (eller plastñlrnen), detta för att förhindra att lim- medel 28, som i en efterföljande fas införes i ringspalten, tränger in mot undersidan 12 av ringen 10 och substratskivan 18 och vidhäftar på underlaget. Efter applice- ringen av lirnmedlet 28 härdas detta medelst exempelvis UV-ljus. När limmedlet 28 härdat klart, överföres den så bildade, "råa" masterskivenheten till en icke visad 10 15 20 25 30 512 483 5 metalliseringsstation, där man sputtrar eller ångar på ett tunt (cirka 10- 100 nm) metallskikt av exempelvis guld över den strukturerade ytan hos substratskivan och över limfogsytan och undersidan 12 av ringen 10. Härigenom erhålles en färdig masterskivenhet med en dimension som lämpar sig för elektroplätering i befintliga pläteringsutrustningar för fiarnställning av pressmatriser till CD-skivor. I de fall transporten av de ”råa” masterskivenhetema till metalliseringsstationen är lång väg- och/eller tidsmässigt, föredras ett forfarande, där en plastñlm f°ar sitta kvar över den strukturerade sidan av masterskivenheten i skyddande syfte.A structured substrate sheet 18 is laid on a flat substrate 26 with its structured side surface 24 facing the substrate 26. The substrate 26 may have a surface of silicone gum or consist of other solid material and be coated with, for example, a plastic strip (not shown) of, for example, Te to obtain suitable sealing and release properties. The adapter ring 10 is then placed concentrically over the substrate disk 18 so that a narrow annular gap (about 0.1, 0.3 mm) is formed between the outer periphery of the substrate disk 18 and the hole 16 in the ring 10. The ring 10 and the substrate disk 18 are brought close to each other. the silicone wall surface 26 (or the plastic), this to prevent adhesive 28, which in a subsequent phase is introduced into the annular gap, penetrates against the underside 12 of the ring 10 and the substrate sheet 18 and adheres to the substrate. After the application of the liner agent 28, this is cured by means of, for example, UV light. When the adhesive 28 has cured completely, the thus formed, "raw" master disk unit is transferred to a metallization station (not shown), where sputtering or steaming on a thin (about 10-100 nm) metal layer of, for example, gold is passed over it. structured surface of the substrate board and over the adhesive joint surface and the underside 12 of the ring 10. This results in a finished master board unit with a dimension suitable for electroplating in existing plating equipment for setting press dies for CDs. In cases where the transport of the "raw" master disk units to the metallization station is long in terms of road and / or time, a procedure is preferred in which a plastic film is left over the structured side of the master disk unit for protective purposes.

Efter framställningen av färdiga, metalliserade masterskivenheter kan dessa över- föras till och monteras i en elektropläteringsanläggning med standardhållare, där pressmatriser av exempelvis nickel formas mot den strukturerade sidan av master- skivenheten, varefter pressmatrisema i en efterföljande fas planas på sin baksida och förses med ett centrumhål av standardfonnat samt kantskäres vid ytterperiferin till önskad standarddiameter för formsprumingsmaskiner avsedda för CD-produktion.After the production of finished, metallized master disk units, these can be transferred to and mounted in an electroplating plant with standard holders, where press dies of, for example, nickel are formed against the structured side of the master disk unit, after which the press dies are planed on a back side and provided with a center holes of standard shape and edge cut at the outer periphery to the desired standard diameter for injection molding machines intended for CD production.

I de fall, då substratskivan uppvisar förhållandevis djupa (upp till cirka 500 um) urgröpningar i sin strukturerade yta, kan man med nuvarande pläteringsmetoder förvänta relativt stora ojämnheter på baksidan av den framställda pressmatrisen. För att vid en planbearbetning av baksidan åstadkomma nödvändigt stöd på baksidan av substratskivan 18, då hela masterskivenheten och pressmatrisen vändes upp och ned i en bearbetningsstation, kan det vara lämpligt att utfylla hela det vidgade hålpartiet 20 med limmedel, eller annan massa, upp till sidoytan 14 av ringen 10.In cases where the substrate board has relatively deep (up to about 500 μm) grooves in its structured surface, one can expect relatively large irregularities on the back of the press matrix produced with current plating methods. In a planar machining of the backing, to provide the necessary support on the backing of the substrate board 18, when the entire master disk unit and press die is turned upside down in a machining station, it may be convenient to fill the entire widened hole portion 20 with adhesive, or other mass, up to the side surface. 14 of the ring 10.

Ehuru det i de efterföljande självständiga förfarandekraven är angivet att det ringfor- miga elementet lägges på det plana underlaget för att koaxiellt omsluta substratski- van, inses det av fackmannen att denna turordning kan omkastas, d.v.s. att det ring- formiga elementet först lägges på underlaget och att därefter substratskivan placeras koaxiellt i hålet i det ringfonniga elementet. Stegen enligt a) och b) kan således om- kastas med ekvivalent resultat.Although the following independent procedural requirements state that the annular element is laid on the flat substrate to coaxially enclose the substrate disk, it will be appreciated by those skilled in the art that this rotation can be reversed, i.e. that the annular element is first laid on the substrate and that the substrate sheet is then placed coaxially in the hole in the annular element. The steps according to a) and b) can thus be reversed with equivalent results.

Claims (15)

10 15 20 25 30 5 l 2 4 8 3 6 Patentkrav10 15 20 25 30 5 l 2 4 8 3 6 Patent claims 1. l. Förfarande for att med utgångspunkt från en mikrostrukturerad substratskiva (18) av en första diameter framställa en masterskivenhet, avsedd för framställning av en skivfonnig pressmaüis av en andra, större diameter för reproduktion av mikromeka- niska alster, kinoformer eller liknande, kännetecknat av a) att den rnilcrostrulctiirerade substratskivan (18) lägges med sin strukturerade sida (24) mot ett plant underlag (26), b) att ett plant, ringforrnigt element (10), som har ett hål (16) med en innerdiarneter något överstigande substratskivans (18) diameter och som har en ytterdiarneter som motsvarar eller överstiger diarnetem hos den pressmatris, som skall framställas av masterskivenheten, lägges på det plana underlaget (26) med det ringformiga elemen- _r tet (10) koaxiellt omslutande substratskivan (18), så att en ringformig spalt bildas mellan ringelementet (10) och substratskivan (18), c) att ett limmedel (28) införes i spalten, och d) att limmedlet (28) bringas att hårda till en limfog mellan ringelementet ( 10) och substratskivan ( 18) till bildande av en rå masterskivenhet.1. A method for producing a master disk unit, starting from a microstructured substrate disk (18), for producing a disk-shaped press mouse from a second, larger diameter for reproducing micromechanical articles, cinema shapes or the like, characterized by a) the nilcrostrulctiated substrate sheet (18) being laid with its structured side (24) against a flat surface (26), b) a flat, annular element (10) having a hole (16) with an inner diurner slightly exceeding The diameter of the substrate disk (18) having an outer diaphragm corresponding to or exceeding the diaphragm of the press die to be produced by the master disk unit is laid on the flat substrate (26) with the annular element (10) coaxially enclosing the substrate disk (18), so that an annular gap is formed between the annular element (10) and the substrate sheet (18), c) that an adhesive (28) is introduced into the gap, and d) that the adhesive (28) is caused to harden an adhesive joint between the ring element (10) and the substrate disk (18) to form a raw master disk unit. 2. Förfarande enligt krav 1, kännetecknat av att substratskivan (18) och ringele- mentet (10) lägges på det plana underlaget (26) med ett mellanlägg av en tätande och skyddande plastfilm.Method according to Claim 1, characterized in that the substrate plate (18) and the ring element (10) are laid on the flat substrate (26) with a liner of a sealing and protective plastic fi ch. 3. Förfarande enligt krav 1, kännetecknat av att den strukturerade ytan (24) hos substratskivan (18) jämte den i plan därmed liggande ytan (12) hos ringelementet (10) och limfogen (28) belägges med ett tunt metallskikt till bildande av en färdig masterskivenhet.Method according to claim 1, characterized in that the structured surface (24) of the substrate sheet (18) together with the flat surface (12) of the ring element (10) and the adhesive joint (28) are coated with a thin metal layer to form a finished master disk unit. 4. Förfarande enligt lcrav 2, kännetecknat av att plastfilmen avlägsnas, varefter ett tunt metallskikt pålägges på den strukturerade ytan hos substratskivan (18) jämte på den i plan därmed liggande ytan (12) hos ringelementet (10) och limfogen (28) till bildande av en fardig masterskivenhet. 10 15 20 25 512 485Method according to claim 2, characterized in that the plastic film is removed, after which a thin metal layer is applied to the structured surface of the substrate sheet (18) as well as to the planar surface (12) of the ring element (10) and the adhesive joint (28) to form of a finished master disk unit. 10 15 20 25 512 485 5. Förfarande enligt något av kraven 1-4, kännetecknat av att limedlet (28) härdas med hjälp av UV-ljus.Method according to one of Claims 1 to 4, characterized in that the adhesive (28) is cured by means of UV light. 6. Förfarande enligt något av kraven 1-5, kännetecknat av att det plana, ringfonniga elementet (10) väljes med en tjocklek som överstiger substratskivans (18) tjocklek.Method according to one of Claims 1 to 5, characterized in that the flat, annular element (10) is chosen with a thickness which exceeds the thickness of the substrate disc (18). 7. Förfarande enligt krav 6, kännetecknat av att det spaltbildande hålet (16) i det ringfonniga elementet (10), som koncentiiskt omsluter substratskivan (18), har ett djup (d) som väsentligen motsvarar tjockleken hos substratskivan (18), varjämte ringelementet (10) uppvisar ett till det spaltbildande hålet (16) angränsande, vidgat hålpaiti (20, 22).Method according to claim 6, characterized in that the gap-forming hole (16) in the annular element (10), which concentrically encloses the substrate disc (18), has a depth (d) which substantially corresponds to the thickness of the substrate disc (18), and the ring element (10) has a widened hole paiti (20, 22) adjacent to the gap-forming hole (16). 8. Förfarande enligt krav 7, kännetecknat av att förutom infóring av limmedel (28) i spalten fylles även det vidgade hålpa1tiet(20, 22) med limmedel eller annan massa.Method according to Claim 7, characterized in that in addition to the introduction of adhesive (28) into the gap, the widened hollow section (20, 22) is also filled with adhesive or other mass. 9. Förfarande enligt något av kraven 1-8, kännetecknat av att spaltens bredd väljes till någon eller några tiondels millimeter.Method according to one of Claims 1 to 8, characterized in that the width of the gap is chosen to be one or a few tenths of a millimeter. 10. Förfarande enligt något av kraven 3-8, kännetecknat av att det tunna metall- skiktet appliceras genom sputtring eller påångning av exempelvis guld.Method according to one of Claims 3 to 8, characterized in that the thin metal layer is applied by sputtering or vapor deposition of, for example, gold. 11. Förfarande for att med utgångspunkt från en mikrostrukturerad substratskiva (18) av en första diameter framställa en skivformig pressmatris av en andra större diameter för reproduktion av mikromekaniska alster, kinoformer eller liknande, kännetecknat av a) att den rnikrostrukturerade substratskivan (18) lägges med sin strukturerade sida (24) mot ett plant underlag (26), b) att ett plant, tingforrnigt element ( 10), som har ett hål (16) med en innerdiameter något överstigande substratskivans (18) diameter och som har en ytterdiameter som motsvarar eller överstiger diametern hos den pressmauis som skall framställas, i|_.u 10 15 20 25 30 512 485 s lägges på det plana underlaget (26) med det ringformiga elementet (10) koaxiellt omslutande substratskivan (18), så att en iingfonnig spalt bildas mellan ringelemen- tet (10) och substratskivan (18), c) att ett lirnmedel (28) införes i spalten, d) att limmedlet (28) bringas att härda till en limfog mellan ringelementet ( 10) och substratskivan (18) för bildande av en rå masterskivenhet, e) att den strukturerade ytan (24) hos substratskivan (18) jäinte den i plan därmed liggande ytan (12) hos ringelementet (10) och limfogen (28) belägges med ett tunt metallskikt till bildande av en färdig masterskivenhet, och f) att mot den metalliserade sidan av masterskivenheten formas en skivfonnig press- ï matris på i och för sig känt sätt genom elektroplätering.A method for producing, on the basis of a microstructured substrate sheet (18) of a first diameter, a disc-shaped press matrix of a second larger diameter for reproduction of micromechanical articles, cinema shapes or the like, characterized in a) that the microstructured substrate sheet (18) is laid with its structured side (24) against a flat surface (26), b) that a flat, shaped element (10), which has a hole (16) with an inner diameter slightly exceeding the diameter of the substrate sheet (18) and which has an outer diameter corresponding to or exceeds the diameter of the press mouse to be produced, in lay on the flat substrate (26) with the annular element (10) coaxially enclosing the substrate sheet (18), so that a continuous gap is formed between the ring element (10) and the substrate sheet (18), c) that an adhesive (28) is introduced into the gap, d) that the adhesive (28) is caused to cure to an adhesive joint between the ring element (10) and the substrate sheet an (18) for forming a raw master disk unit, e) that the structured surface (24) of the substrate disk (18) and the planar surface (12) of the ring element (10) and the adhesive joint (28) are coated with a thin metal layer. to form a finished master disk unit, and f) that a sheet-shaped press matrix is formed against the metallized side of the master disk unit in a manner known per se by electroplating. 12. Förfarande enligt krav 11, kännetecknat av att den pläterade pressmauisen planas på sin baksida.Method according to claim 11, characterized in that the plated press mouse is planed on its back. 13. Förfarande enligt krav 11 eller 12, kännetecknat av att den pläterade press- matrisen på i och för sig känt sätt förses med ett centrumhål och kantskäres till önskad ytterdiameter.Method according to Claim 11 or 12, characterized in that the plated press die is provided with a center hole in a manner known per se and is edge-cut to the desired outer diameter. 14. Adapterring för framställning av en masterskivenhet, avsedd för framställning av en skivforrnig pressmatris for reproduktion av rnikromekaniska alster, kinoformer eller liknande, kännetecknad av att den har a) två motstående sidoytor (12, 14), varav åtminstone den ena (12) är plan och slät, b) en ytterdiarneter som motsvarar eller överstiger ytterdiametern hos den press- matris, som skall framställas av masterskivenheten, samt c) en håldiameter som något överstiger diametem hos en strukturerad substratskiva (18), som skall koncentriskt omslutas av och förbindas med adapteningen (10).Adapter ring for producing a master disk unit, intended for producing a disk-shaped press die for reproducing micromechanical articles, cinema shapes or the like, characterized in that it has a) two opposite side surfaces (12, 14), of which at least one (12) is flat and smooth, b) an outer diameter corresponding to or exceeding the outer diameter of the press die to be produced by the master disk unit, and c) a hole diameter slightly exceeding the diameter of a structured substrate disk (18) to be concentrically enclosed by and connected to adaptations (10). 15. Adaptening enligt krav 14, kännetecknad av att hålet (16) i ringen uppvisar ett vidgat hålparti (20, 22).Adaptation according to Claim 14, characterized in that the hole (16) in the ring has a widened hole portion (20, 22).
SE9702491A 1997-06-27 1997-06-27 Method for producing master disk unit and of a press die made therefrom and adapter ring for producing master disk unit SE512483C2 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9702491A SE512483C2 (en) 1997-06-27 1997-06-27 Method for producing master disk unit and of a press die made therefrom and adapter ring for producing master disk unit
EP98930022A EP0992035A1 (en) 1997-06-27 1998-06-23 Method of manufacturing a master disc unit and a matrix produced therefrom and adapter ring for manufacturing the master disc unit
AU79503/98A AU7950398A (en) 1997-06-27 1998-06-23 Method of manufacturing a master disc unit and a matrix produced therefrom and adapter ring for manufacturing the master disc unit
PCT/SE1998/001215 WO1999003100A1 (en) 1997-06-27 1998-06-23 Method of manufacturing a master disc unit and a matrix produced therefrom and adapter ring for manufacturing the master disc unit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9702491A SE512483C2 (en) 1997-06-27 1997-06-27 Method for producing master disk unit and of a press die made therefrom and adapter ring for producing master disk unit

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9702491D0 SE9702491D0 (en) 1997-06-27
SE9702491L SE9702491L (en) 1998-12-28
SE512483C2 true SE512483C2 (en) 2000-03-20

Family

ID=20407561

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9702491A SE512483C2 (en) 1997-06-27 1997-06-27 Method for producing master disk unit and of a press die made therefrom and adapter ring for producing master disk unit

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP0992035A1 (en)
AU (1) AU7950398A (en)
SE (1) SE512483C2 (en)
WO (1) WO1999003100A1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT520718B1 (en) * 2018-01-30 2019-07-15 Joanneum Res Forschungsgmbh METHOD FOR PRODUCING A FORM APPLICATION WITH (SUB) MICROSTRUCTURES AND WORKPIECE WITH (SUB) MICROSTRUCTURES

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2501823A (en) * 1947-05-16 1950-03-28 Capitol Records Record forming die
GB2065168B (en) * 1979-12-07 1983-03-23 Emi Ltd Tact with a metal or metalised cathode plate used in produelectroplating arrangement for establishing electrical conction of a disc record matrix
US4445995A (en) * 1983-02-28 1984-05-01 Rca Corporation Cathode head having improved seal means
JPS63130320A (en) * 1986-11-20 1988-06-02 Meiki Co Ltd Disk molding mold
NL8701499A (en) * 1987-06-26 1989-01-16 Philips Nv SYRINGE DEVICE FOR MANUFACTURING PLASTICS INFORMATION PLATES AND METHOD FOR MANUFACTURING SYNTHETIC PLATES WITH A SYRINGE DEVICE.
JP2636903B2 (en) * 1988-09-30 1997-08-06 株式会社リコー Mold for injection molding of optical disk substrate
US5078852A (en) * 1990-10-12 1992-01-07 Microelectronics And Computer Technology Corporation Plating rack
US5167792A (en) * 1990-12-19 1992-12-01 Canon Kabushiki Kaisha Master holder of stamper electroforming apparatus and electroforming method
US5427520A (en) * 1992-01-31 1995-06-27 Sony Corporation Mold device for fabricating disc substrate
JP3099168B2 (en) * 1994-05-25 2000-10-16 株式会社名機製作所 Disk substrate molding die

Also Published As

Publication number Publication date
EP0992035A1 (en) 2000-04-12
AU7950398A (en) 1999-02-08
WO1999003100A1 (en) 1999-01-21
SE9702491L (en) 1998-12-28
SE9702491D0 (en) 1997-06-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5543108A (en) Method of making microstructured bodies of plastic material
KR100284728B1 (en) Optical disk manufacturing method and optical disk by this manufacturing method
US20140004780A1 (en) Method of manufacturing polishing pad mold, polishing pad mold manufactured by the method, and polishing pad manufactured by the mold
SE512483C2 (en) Method for producing master disk unit and of a press die made therefrom and adapter ring for producing master disk unit
JP4293715B2 (en) Hub mounting device
KR100537722B1 (en) Method and device for ultraviolet continuous curing method for fabrication of micro patterns using drum-type stamper
US4861437A (en) Method of manfacturing a mould and providing it with a backing and mould manufactured according to the invention
JP2000158458A (en) Manufacture of fine-shape transfer product and manufacture of optical member
JP2004025647A (en) Nesting, molds and their manufacturing methods
KR20040058283A (en) Method of manufacturing a stamper, master plate, support structure and use of such a stamper
KR100986005B1 (en) Wafer Lens Manufacturing Method
US6692246B1 (en) Apparatus for uninterrupted multi-layer disc manufacturing
CN100377240C (en) Manufacturing method and apparatus for optical information medium
JPS5977645A (en) Discoid substrate
JPH08124223A (en) Production of optical disc
JPH0793737A (en) Production of thin film magnetic head slider
JPH052782A (en) Production of base body for optical recording disk and device for executing this process
JPS63105801A (en) Stamper cutting method
JPH0725627A (en) Production of mold for forming optical element
JPH11333862A (en) Resin molding die of resin junction optical element and manufacture thereof
JP3749470B2 (en) Method for manufacturing disc-shaped substrate material
JPH068282A (en) Production of injection molding insert
JPH0512723A (en) How to fix the stamper
JPS60121554A (en) Manufacture of optical information carrier disk
JP2004310937A (en) Device and method of manufacturing disk substrate, device and method of manufacturing stamper for forming disk substrate, disk substrate and its manufacturing method, and sticking type optical information recording medium and its manufacturing method

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed