Claims (6)
1. Устройство для обработки материалов лазерным излучением, состоящее из последовательно расположенных вдоль оптической оси импульсного лазера, средства доставки лазерного излучения к материалу, включающего оптическое волокно с фокусирующими системами на входе и выходе, акустического приемника, блока управления, выходы которого соединены с входом блока питания лазера и входом блока юстировки, а выходы блока юстировки с соответствующим входом лазера и средства доставки лазерного излучения, отличающееся тем, что в устройство введен измеритель лазерной энергии и акустический приемник, при этом они представляют собой датчики проходного типа, выполненные в виде тонкопленочных приемников, размещенные хотя бы на одном из упомянутых элементов средства доставки лазерного излучения, а выходы тонкопленочных приемников соединены со входами блока управления.1. Device for processing materials by laser radiation, consisting of a pulse laser arranged in series along the optical axis, means for delivering laser radiation to a material, including an optical fiber with focusing systems at the input and output, an acoustic receiver, a control unit, the outputs of which are connected to the input of the power supply laser and the input of the alignment unit, and the outputs of the alignment unit with the corresponding input of the laser and the means of delivery of laser radiation, characterized in that a laser energy meter and an acoustic receiver, while they are pass-through sensors made in the form of thin-film receivers placed on at least one of the mentioned elements of the laser radiation delivery means, and the outputs of the thin-film receivers are connected to the inputs of the control unit.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что тонкопленочный измеритель лазерной энергии размещен на оптическом волокне вблизи входного торца, а тонкопленочный акустический приемник - на расстоянии между геометрическими центрами обоих приемников, большем чем среднее арифметическое длин приемников и меньшем, чем длина оптического волокна за вычетом половины суммы длин обоих приемников, а выходы тонкопленочных приемников соединены со входами блока управления. 2. The device according to claim 1, characterized in that the thin-film laser energy meter is placed on the optical fiber near the input end, and the thin-film acoustic receiver is located at a distance between the geometric centers of both receivers greater than the arithmetic mean of the lengths of the receivers and less than the length of the optical fiber minus half the sum of the lengths of both receivers, and the outputs of thin-film receivers are connected to the inputs of the control unit.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измеритель лазерной энергии и акустический приемник совмещены и выполнены в виде одного тонкопленочного приемника, расположенного хотя бы на одном элементе средства доставки лазерного излучения, при этом выходы приемника соединены с блоком раздельной обработки пироэлектрической и пьезоэлектрической компоненты сигнала, выходы которого соединены с входами блока управления. 3. The device according to claim 1, characterized in that the laser energy meter and the acoustic receiver are combined and made in the form of one thin-film receiver located on at least one element of the laser radiation delivery means, while the outputs of the receiver are connected to the separate processing unit of the pyroelectric and piezoelectric components of the signal whose outputs are connected to the inputs of the control unit.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что поверхность чувствительного элемента тонкопленочного приемника покрыта защитной пленкой, например из полиметилметакрилата. 4. The device according to claim 1, characterized in that the surface of the sensitive element of the thin-film receiver is covered with a protective film, for example, from polymethylmethacrylate.
5. Устройство по п.2, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит тонкопленочные измеритель лазерной энергии и акустический приемник, выполненные аналогично упомянутым и расположенные соответственно на входной и выходной фокусирующих системах средства доставки, при этом выходы измерителей лазерной энергии соединены с входами блока управления через схему сравнения. 5. The device according to claim 2, characterized in that it further comprises a thin-film laser energy meter and an acoustic receiver, made similar to those mentioned and located respectively on the input and output focusing systems of the delivery means, while the outputs of the laser energy meters are connected to the inputs of the control unit through comparison chart.
6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит хотя бы один тонкопленочный измеритель лазерной энергии, установленный на некотором расстоянии от уже существующего тонкопленочного измерителя лазерной энергии, при этом их выходы соединены со входами блока управления через схему сравнения. 6. The device according to claim 5, characterized in that it further comprises at least one thin-film laser energy meter installed at a distance from an existing thin-film laser energy meter, while their outputs are connected to the inputs of the control unit through a comparison circuit.