Claims (8)
1. Емкостный датчик давления и разности давлений, содержащий корпус, размещенную в корпусе силовую мембрану, элемент передачи силы, закрепленный в средней части силовой мембраны, емкостный преобразователь с подвижными и неподвижными электродами, расположенными соответственно друг против друга с зазором, отличающийся тем, что снабжен измерительной мембраной, закрепленной в корпусе таким образом, что ее плоскость расположена под углом в пределах 70 - 110o к плоскости силовой мембраны и смещена относительно центральной части силовой мембраны, причем средняя часть измерительной мембраны соединена с элементом передачи силы, а подвижные электроды, расположенные по разные стороны от оси, проходящей в плоскости измерительной мембраны через среднюю ее часть и параллельно плоскости силовой мембраны, связаны с поверхностью измерительной мембраны, и попарно с соответствующими неподвижными электродами образуют две измерительные части емкостного преобразователя.1. A capacitive pressure and differential pressure sensor, comprising a housing, a power membrane located in the housing, a force transmission element fixed in the middle part of the power membrane, a capacitive transducer with movable and fixed electrodes, respectively located opposite each other with a gap, characterized in that it is equipped with measuring membrane fixed in the housing so that its plane is at an angle in the range of 70 - 110 o to the plane of the membrane and a power offset relative to the central portion of the power membranes moreover, the middle part of the measuring membrane is connected to the force transmission element, and the movable electrodes located on different sides of the axis passing in the plane of the measuring membrane through its middle part and parallel to the plane of the power membrane are connected to the surface of the measuring membrane, and in pairs with the corresponding stationary electrodes form two measuring parts of the capacitive transducer.
2. Емкостный датчик давления и разности давлений по п.1, отличающийся тем, что подвижные и неподвижные электроды первой и второй измерительных частей емкостного преобразователя выполнены в виде не связанных между собой геометрических фигур, например, в виде эллипсов, нанесенных путем металлизации на диэлектрических подложках, причем подложка с подвижными электродами выполнена в виде тонкой диэлектрической пленки, закрепленной свободной от электродов стороной на поверхности измерительной мембраны, или является непосредственно измерительной мембраной, при этом электроды измерительных частей образуют два конденсатора, емкости которых характеризуют значения измеряемых параметров - давления и разности давлений. 2. The capacitive pressure and pressure difference sensor according to claim 1, characterized in that the movable and fixed electrodes of the first and second measuring parts of the capacitive transducer are made in the form of unconnected geometric shapes, for example, in the form of ellipses deposited by metallization on dielectric substrates moreover, the substrate with moving electrodes is made in the form of a thin dielectric film fixed by the side free of electrodes on the surface of the measuring membrane, or is directly measuring Flax membrane, wherein the measuring electrodes form parts of two capacitors, capacitance values which characterize the measured parameters - pressure and pressure difference.
3. Емкостный датчик давления и разности давлений по п.1, отличающийся тем, что подвижные электроды первой и второй измерительных частей объединены в общий электрод, который образован, например, поверхностью измерительной мембраны, изготовленной из металла, а неподвижные электроды первой и второй измерительных частей выполнены в виде не связанных между собой геометрических фигур и образуют относительно общего электрода два конденсатора, емкости которых характеризуют значения измеряемых параметров. 3. The capacitive pressure and pressure difference sensor according to claim 1, characterized in that the movable electrodes of the first and second measuring parts are combined into a common electrode, which is formed, for example, by the surface of a measuring membrane made of metal, and the stationary electrodes of the first and second measuring parts made in the form of unconnected geometric shapes and form two capacitors relative to the common electrode, the capacitances of which characterize the values of the measured parameters.
4. Емкостный датчик давления и разности давлений по п.1, отличающийся тем, что неподвижные электроды первой и второй измерительных частей объединены в общий электрод, а подвижные электроды первой и второй измерительных частей выполнены в виде не связанных между собой геометрических фигур и образуют относительно общего электрода два конденсатора, емкости которых характеризуют значения измеряемых параметров. 4. The capacitive pressure and pressure difference sensor according to claim 1, characterized in that the stationary electrodes of the first and second measuring parts are combined into a common electrode, and the movable electrodes of the first and second measuring parts are made in the form of unconnected geometric shapes and form a relatively common electrode two capacitors, the capacities of which characterize the values of the measured parameters.
5. Емкостный датчик давления и разности давлений по п.1, отличающийся тем, что измерительная мембрана изготовлена за одно целое с опорным основанием, причем опорное основание мембраны имеет профиль, образованный, по меньшей мере, двумя толстостенными цилиндрами, которые соединены между собой тонкостенным цилиндром, при этом один из толстостенных цилиндров закреплен в корпусе датчика, а другой охватывает измерительную часть мембраны. 5. The capacitive pressure and pressure difference sensor according to claim 1, characterized in that the measuring membrane is made in one piece with the supporting base, and the supporting base of the membrane has a profile formed by at least two thick-walled cylinders that are interconnected by a thin-walled cylinder while one of the thick-walled cylinders is fixed in the sensor housing, and the other covers the measuring part of the membrane.
6. Емкостный датчик давления и разности давлений по п.1, отличающийся тем, что дополнен второй силовой мембраной, закрепленной в корпусе зеркально-симметричным образом относительно первой силовой мембраны, причем элемент передачи силы дополнительно присоединен к средней части второй силовой мембраны или к связывающему эти мембраны элементу, а герметичная полость между мембранами заполнена диэлектрической жидкостью и охватывает измерительную мембрану с одной из ее сторон. 6. The capacitive pressure and pressure difference sensor according to claim 1, characterized in that it is supplemented by a second power membrane mounted in a mirror-symmetrical manner relative to the first power membrane, the force transmission element being additionally connected to the middle part of the second power membrane or to connecting these membrane to the element, and the sealed cavity between the membranes is filled with dielectric fluid and covers the measuring membrane from one of its sides.
7. Емкостный датчик давления и разности давлений по п.1, отличающийся тем, что дополнен двумя разделительными мембранами, расположенными по разные стороны от силовой мембраны и образующими две герметичные полости, причем одна из образованных этими мембранами полостей в корпусе датчика охватывает элемент передачи силы и измерительную мембрану с одной из ее сторон, при этом обе полости заполнены диэлектрической жидкостью. 7. The capacitive pressure and pressure difference sensor according to claim 1, characterized in that it is supplemented by two dividing membranes located on opposite sides of the power membrane and forming two sealed cavities, one of the cavities formed by these membranes in the sensor housing encompasses a force transmission element and a measuring membrane on one of its sides, while both cavities are filled with a dielectric fluid.
8. Емкостный датчик давления и разности давлений по п.1, отличающийся тем, что корпус датчика выполнен разборным и включает в себя узел мембранного блока, в котором закреплены силовая мембрана, элемент передачи силы, измерительная мембрана, и два фланцевых элемента с отверстиями для передачи давлений, причем фланцевые элементы охватывают мембранный блок с двух сторон. 8. The capacitive pressure and pressure difference sensor according to claim 1, characterized in that the sensor housing is collapsible and includes a membrane unit assembly in which a power membrane, a force transmission element, a measuring membrane, and two flange elements with transmission holes are fixed pressure, and flange elements cover the membrane block from two sides.