RU2803087C1 - Method for manufacturing ceramic blanks based on silicon nitride - Google Patents
Method for manufacturing ceramic blanks based on silicon nitride Download PDFInfo
- Publication number
- RU2803087C1 RU2803087C1 RU2022130964A RU2022130964A RU2803087C1 RU 2803087 C1 RU2803087 C1 RU 2803087C1 RU 2022130964 A RU2022130964 A RU 2022130964A RU 2022130964 A RU2022130964 A RU 2022130964A RU 2803087 C1 RU2803087 C1 RU 2803087C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- silicon nitride
- molding
- isostatic pressing
- workpiece
- cold isostatic
- Prior art date
Links
Abstract
Description
Изобретение относится к области получения изделий из конструкционной керамики на основе нитрида кремния, в том числе заготовок в виде сфер для изготовления тел качения цельнокерамических и гибридных подшипников.The invention relates to the field of production of products from structural ceramics based on silicon nitride, including blanks in the form of spheres for the manufacture of rolling elements of all-ceramic and hybrid bearings.
Существует техническое решение, отраженное в патенте RU 2443659, опубл. 27.02.2012, «Способ изготовления горячим прессованием изделий из керамического материала на основе нитрида кремния», согласно которому порошок нитрида кремния перемешивается с порошками спекающих добавок оксидов металлов в планетарной центробежной мельнице, далее добавляется органический пластификатор, предварительно формуются заготовки которые подвергаются горячему прессованию в графитовых пресс-формах при температуре 1600-1700°С и давлении 25-35 МПа. Недостатком предложенного технического решения является невозможность изготовления горячим прессованием спеченных заготовок в виде сфер, а также низкая производительность процесса горячего прессования.There is a technical solution reflected in the patent RU 2443659, publ. 02/27/2012, “Method of manufacturing by hot pressing products from ceramic material based on silicon nitride”, according to which silicon nitride powder is mixed with powders of sintering additives of metal oxides in a planetary centrifugal mill, then an organic plasticizer is added, blanks are pre-formed and subjected to hot pressing in graphite molds at a temperature of 1600-1700°C and a pressure of 25-35 MPa. The disadvantage of the proposed technical solution is the impossibility of producing sintered workpieces in the form of spheres by hot pressing, as well as the low productivity of the hot pressing process.
В патенте RU 2540674 «Способ изготовления изделий из нитрида кремния», заявка опубл. 10.09.2014, приготовление шихты из порошка нитрида кремния с добавками оксидов алюминия, иттрия и магния проводят путем механоактивации в среде этанола с последующей сушкой; добавляют поливиниловый спирт, формуют заготовки холодным одноосевым прессованием с дальнейшим отжигом при температуре 600°С в засыпке из нитрида кремния и спекают в атмосфере азота при температуре 1700-1750°С. Недостатком данного способа также является невозможность изготовления заготовок в виде сфер холодным одноосевым прессованием и проблемы, связанные с обеспечением однородного распределения порошков различного химического состава в шихте.In patent RU 2540674 “Method of manufacturing products from silicon nitride”, application published. 09/10/2014, preparation of a charge from silicon nitride powder with additions of aluminum, yttrium and magnesium oxides is carried out by mechanical activation in ethanol followed by drying; polyvinyl alcohol is added, the blanks are formed by cold uniaxial pressing with further annealing at a temperature of 600°C in a silicon nitride backfill and sintered in a nitrogen atmosphere at a temperature of 1700-1750°C. The disadvantage of this method is also the impossibility of producing workpieces in the form of spheres by cold uniaxial pressing and problems associated with ensuring a uniform distribution of powders of various chemical compositions in the charge.
Известен патент CN 103951437, заявка опубл. 30.07.2014, «Шариковые подшипники из керамики из нитрида кремния со сверхнизкой пористостью и способ их изготовления», согласно которому изготовление керамического шарика состоит из следующих этапов: смешивание порошка нитрида кремния со спекающими добавками в шаровой мельнице, сушка шихты, добавление связующего, холодное изостатическое прессование в сферической форме для получения заготовки в виде шара, удаление связующего, спекание и шлифование. Недостатком данного патента является сложность достижения однородного распределения спекающих добавок в объеме шихты путем смешивания в шаровой мельнице.Known patent CN 103951437, application published. 07/30/2014, “Ceramic ball bearings made of silicon nitride with ultra-low porosity and a method for their manufacture,” according to which the manufacture of a ceramic ball consists of the following steps: mixing silicon nitride powder with sintering additives in a ball mill, drying the charge, adding a binder, cold isostatic pressing in a spherical form to obtain a ball-shaped workpiece, removing the binder, sintering and grinding. The disadvantage of this patent is the difficulty of achieving a uniform distribution of sintering additives in the volume of the charge by mixing in a ball mill.
Наиболее близким к заявленному способу является изобретение по заявке CN 112028637 (A), опубл. 04.12.2020, «Метод изготовления высоконадежного и долговечного керамического шарика из нитрида кремния для авиационного подшипника», выбранный как прототип. Данный способ состоит из следующих этапов: смешивание изопропоксида алюминия, органического растворителя, порошка нитрида кремния и водного раствора ацетата металла (иттрий) с последовательным выполнением гидролиза и первой распылительной сушки с получением смешанного порошка; прокаливания смешанного порошка с получением порошка нитрида кремния, покрытого спекающей добавкой (оксид Al+Y), измельчения порошка нитрида кремния, покрытого спекающей добавкой (оксид Al+Y), смешивания его со связующим и сушкой распылением для получения гранулированного порошка; формовки гранулированного порошка в заготовку в виде сферы холодным изостатическим прессованием с давлением 150-250 МПа; спекания при температуре 1600-1900°С в среде азота с давлением 0,3-10 МПа. Преимуществом данного технического решения является введение в порошок нитрида кремния вместо порошков спекающих добавок растворов алкоксидов металлов, что упрощает достижение высокой степени однородности шихты.The closest to the claimed method is the invention according to application CN 112028637 (A), publ. 12/04/2020, “Method for manufacturing highly reliable and durable silicon nitride ceramic ball for aircraft bearing”, selected as a prototype. This method consists of the following steps: mixing aluminum isopropoxide, an organic solvent, silicon nitride powder and an aqueous solution of metal acetate (yttrium) and sequentially performing hydrolysis and first spray drying to obtain a mixed powder; calcining the mixed powder to obtain a silicon nitride powder coated with a sintering additive (Al+Y oxide), grinding a silicon nitride powder coated with a sintering additive (Al+Y oxide), mixing it with a binder and spray drying to obtain a granular powder; molding granulated powder into a workpiece in the form of a sphere by cold isostatic pressing with a pressure of 150-250 MPa; sintering at a temperature of 1600-1900°C in a nitrogen environment with a pressure of 0.3-10 MPa. The advantage of this technical solution is the introduction of metal alkoxide solutions into silicon nitride powder instead of sintering additive powders, which simplifies the achievement of a high degree of homogeneity of the charge.
Недостатками прототипа являются применение золь-гель технологии с использованием жидких прекурсоров спекающих добавок в виде гидролизующихся соединений, имеющих ограниченную временную стабильность, длительность этого процесса; дополнительные операции гранулирования шихты с введением дополнительного связующего (углеводородного пластификатора поливинилбутираля и/или эмульсии полиакриловой кислоты).The disadvantages of the prototype are the use of sol-gel technology using liquid precursors of sintering additives in the form of hydrolyzed compounds that have limited temporary stability and the duration of this process; additional operations of granulating the charge with the introduction of an additional binder (hydrocarbon plasticizer polyvinyl butyral and/or polyacrylic acid emulsion).
В предлагаемом техническом решении в качестве прекурсора оксидной спекающей добавки используется не подверженный гидролизу раствор элементоорганического соединения (элементоксанового олигомера), в результате пиролиза которого образуется смесь оксидов металлов в заданном на стадии синтеза соединения соотношении.In the proposed technical solution, a solution of an organoelement compound (elementoxane oligomer) that is not subject to hydrolysis is used as a precursor of an oxide sintering additive, as a result of pyrolysis of which a mixture of metal oxides is formed in a ratio specified at the stage of synthesis of the compound.
Использование негидролизующегося раствора элементоорганического соединения в качестве прекурсора оксидных спекающих добавок в нитрид кремния приводит, наряду с ультрадисперсным характером и равномерностью распределения в шихте спекающих добавок оксидов металлов, к снижению длительности подготовки шихты; высокой чистоте шихты для формования заготовок и увеличению технологичности способа их изготовления из-за отсутствия в шихте специально вводимого углеводородного связующего и, соответственно, дополнительных операции связанных с введением и удалением такого связующего.The use of a non-hydrolyzing solution of an organoelement compound as a precursor of oxide sintering additives in silicon nitride leads, along with the ultradisperse nature and uniformity of distribution of metal oxide sintering additives in the charge, to a reduction in the duration of charge preparation; high purity of the charge for molding blanks and an increase in the manufacturability of the method for their manufacture due to the absence of a specially introduced hydrocarbon binder in the charge and, accordingly, additional operations associated with the introduction and removal of such a binder.
Заявляемый способ реализуется следующим образом:The inventive method is implemented as follows:
К раствору элементоорганического соединения добавляют порошок нитрида кремния, перемешивают до однородной массы в течение 2-4 ч. Полученную смесь сушат в сушильном шкафу при температуре 70-90°С до постоянной массы. Далее шихту измельчают в планетарной мельнице в течение 0,4 ч до порошкообразного состояния. Из шихты формуют зеленые заготовки, например, керамические шарики в виде сфер, методом холодного изостатического прессования в гидростате. Предпочтительное давление прессования 150-250 МПа. Отжиг для осуществления пиролиза (термического разложения) органической составляющей элементоорганического соединения в среде вакуума при температуре от 600 до 1000°С можно выполнять как перед, так и после формования из шихты зеленых заготовок. Окончательно заготовки спекают при температуре 1750-1830°С в среде азота под давлением до 8 МПа в вакуумно-компрессионной печи. Полученные заготовки имеют плотность 3,2 г/см3.Silicon nitride powder is added to the solution of the organoelement compound and stirred until smooth for 2-4 hours. The resulting mixture is dried in an oven at a temperature of 70-90°C until constant weight. Next, the mixture is ground in a planetary mill for 0.4 hours to a powder state. Green blanks, for example, ceramic balls in the form of spheres, are formed from the charge using cold isostatic pressing in a hydrostat. The preferred pressing pressure is 150-250 MPa. Annealing to carry out pyrolysis (thermal decomposition) of the organic component of an organoelement compound in a vacuum environment at a temperature of 600 to 1000°C can be performed both before and after molding green blanks from the charge. The blanks are finally sintered at a temperature of 1750-1830°C in a nitrogen environment under pressure up to 8 MPa in a vacuum compression furnace. The resulting blanks have a density of 3.2 g/cm 3 .
Примеры конкретного осуществления способа приведены ниже.Examples of specific implementations of the method are given below.
Пример 1.Example 1.
Для приготовления шихты керамических заготовок тел качения в качестве негидролизующегося раствора элементоорганического соединения использовали раствор органоиттрийоксаналюмоксана на основе этилового спирта с соотношением Al2O3 - 75.03% и Y2O3 - 24,97% в количестве 55.61 г, к которому добавляли порошок Si3N4 с размером частиц ≤1 мкм в количестве 44 г. Полученную смесь перемешивали механической мешалкой в течение 2 ч. при комнатной температуре.To prepare a batch of ceramic blanks of rolling elements, a solution of organoyttrioxanealumoxane based on ethyl alcohol with a ratio of Al 2 O 3 - 75.03% and Y 2 O 3 - 24.97% in an amount of 55.61 g was used as a non-hydrolyzing solution of an organoelement compound, to which Si 3 powder was added N 4 with a particle size of ≤1 μm in an amount of 44 g. The resulting mixture was stirred with a mechanical stirrer for 2 hours at room temperature.
Затем смесь сушили в сушильном шкафу при температуре 70°С до постоянной массы, выгружали в керамическую ступку из оксида алюминия, растирали до порошкообразного состояния. Далее шихту загружали в эластичные резиновые пресс-формы. Масса загрузки составляла 8,0 г.Then the mixture was dried in an oven at a temperature of 70°C to constant weight, unloaded into a ceramic aluminum oxide mortar, and ground to a powder state. Next, the mixture was loaded into elastic rubber molds. The load weight was 8.0 g.
Формование заготовок, в частности керамических тел качения, холодным изостатическим прессованием проводили в гидростате при давлении 200 МПа и времени выдержки 2 мин. Полученные заготовки отжигали при температуре 850°С в течение 2 ч. в среде вакуума 10-3 мм.рт.ст. Далее отожженные заготовки спекали в вакуумно-компрессионной печи по следующему режиму: температура 1820°С, давление азота 0,1-7 МПа, с выдержкой при максимальной температуре в течение 2 ч.The molding of blanks, in particular ceramic rolling elements, by cold isostatic pressing was carried out in a hydrostat at a pressure of 200 MPa and a holding time of 2 min. The resulting workpieces were annealed at a temperature of 850°C for 2 hours in a vacuum environment of 10 -3 mmHg. Next, the annealed workpieces were sintered in a vacuum-compression furnace according to the following regime: temperature 1820°C, nitrogen pressure 0.1-7 MPa, held at maximum temperature for 2 hours.
У спеченных заготовок методом гидростатического взвешивания определяли плотность и пористость. Плотность составила 3,2 г/см3, открытая пористость 0,1%.The density and porosity of the sintered workpieces was determined by hydrostatic weighing. The density was 3.2 g/cm 3 , open porosity 0.1%.
Пример 2.Example 2.
Для приготовления шихты керамических заготовок к раствору органоиттрийоксаналюмоксана на основе толуола с соотношением Al2O3 - 83,13% и Y2O3 - 16,87% в количестве 40,54 г добавляли порошок Si3N4 с размером частиц ≤1 мкм в количестве 44 г. Полученную смесь перемешивали механической мешалкой в течение 2 ч. при комнатной температуре.To prepare a batch of ceramic blanks, Si 3 N 4 powder with a particle size of ≤1 μm was added to a toluene-based organoyttrioxanalyumoxane solution with a ratio of Al 2 O 3 - 83.13% and Y 2 O 3 - 16.87% in an amount of 40.54 g in an amount of 44 g. The resulting mixture was stirred with a mechanical stirrer for 2 hours at room temperature.
Затем смесь сушили в сушильном шкафу при температуре 70°С до постоянной массы, выгружали в керамическую ступку из оксида алюминия, растирали до порошкообразного состояния. Далее шихту загружали в эластичные резиновые пресс-формы. Масса загрузки составляла 8,0 г.Then the mixture was dried in an oven at a temperature of 70°C to constant weight, unloaded into a ceramic aluminum oxide mortar, and ground to a powder state. Next, the mixture was loaded into elastic rubber molds. The load weight was 8.0 g.
Формование заготовок холодным изостатическим прессованием проводили в гидростате при давлении 180 МПа и времени выдержки 2 мин. Полученные заготовки отжигали при температуре 850°С в течение 2 ч. в среде вакуума 10-3 мм.рт.ст. Далее отожженные заготовки спекали в вакуумно-компрессионной печи при 1820°С в среде азота при 0,1-7 МПа с выдержкой при максимальной температуре в течение 2 ч.The molding of blanks by cold isostatic pressing was carried out in a hydrostat at a pressure of 180 MPa and a holding time of 2 min. The resulting workpieces were annealed at a temperature of 850°C for 2 hours in a vacuum environment of 10 -3 mm Hg. Next, the annealed workpieces were sintered in a vacuum compression furnace at 1820°C in a nitrogen environment at 0.1-7 MPa with exposure at maximum temperature for 2 hours.
У спеченных заготовок определяли плотность и пористость. Плотность спеченных заготовок, измеренная методом гидростатического взвешивания, составила 3,2 г/см3, открытая пористость 0,1%.The density and porosity of the sintered workpieces were determined. The density of the sintered billets, measured by hydrostatic weighing, was 3.2 g/cm 3 , open porosity 0.1%.
Пример 3.Example 3.
Для приготовления шихты керамических заготовок в качестве негидролизующегося раствора элементоорганического соединения использовали раствор магнийорганоксаниттрийоксаналюмоксана на основе этанола с соотношением Al2O3 - 73,15%, Y2O3 - 16,35%, MgO - 10.5% в количестве 50,32 г, к которому добавляли порошок с размером частиц ≤1 мкм в количестве 44 г. Полученную смесь перемешивали механической мешалкой в течение 2 ч. при комнатной температуре.To prepare a batch of ceramic blanks, a solution of magnesium organoxane-nitrioxane-alumoxane based on ethanol with a ratio of Al 2 O 3 - 73.15%, Y 2 O 3 - 16.35%, MgO - 10.5% in an amount of 50.32 g was used as a non-hydrolyzing solution of an organoelement compound. to which was added powder with a particle size of ≤1 μm in an amount of 44 g. The resulting mixture was stirred with a mechanical stirrer for 2 hours at room temperature.
Затем смесь сушили в сушильном шкафу при температуре 70°С до постоянной массы, выгружали в керамическую ступку из оксида алюминия, растирали до порошкообразного состояния и отжигали при температуре 850°С в течение 2 ч. в среде вакуума 10-3 мм.рт.ст. Далее шихту загружали в эластичные резиновые пресс-формы. Масса загрузки составляла 8,0 г.Then the mixture was dried in an oven at a temperature of 70°C to constant weight, unloaded into a ceramic mortar made of aluminum oxide, ground to a powder state and annealed at a temperature of 850°C for 2 hours in a vacuum environment of 10 -3 mmHg . Next, the mixture was loaded into elastic rubber molds. The load weight was 8.0 g.
Формование заготовок холодным изостатическим прессованием проводили в гидростате при давлении 220 МПа и времени выдержки 2 мин. Полученные заготовки спекали в вакуумно-компрессионной печи при 1820°С в среде азота при 0,1-7 МПа с выдержкой при максимальной температуре в течение 2 ч.The molding of blanks by cold isostatic pressing was carried out in a hydrostat at a pressure of 220 MPa and a holding time of 2 min. The resulting blanks were sintered in a vacuum compression furnace at 1820°C in a nitrogen environment at 0.1-7 MPa with exposure at maximum temperature for 2 hours.
У спеченных заготовок определяли плотность и пористость. Плотность спеченных заготовок, измеренная методом гидростатического взвешивания, составила 3,2 г/см3, открытая пористость 0,1%.The density and porosity of the sintered workpieces were determined. The density of the sintered billets, measured by hydrostatic weighing, was 3.2 g/cm 3 , open porosity 0.1%.
Claims (6)
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2803087C1 true RU2803087C1 (en) | 2023-09-06 |
Family
ID=
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2809398C1 (en) * | 2023-10-03 | 2023-12-11 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)" | Method for manufacturing ceramic melting crucibles |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69503248D1 (en) * | 1994-07-01 | 1998-08-06 | T & N Technology Ltd | SINDERED REACTION-RELATED SILICON NITRIDE COMPONENTS |
| RU2458023C1 (en) * | 2011-03-11 | 2012-08-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт структурной макрокинетики и проблем материаловедения Российской академии наук | Method of producing silicon nitride-based sintered articles |
| UA100534C2 (en) * | 2010-06-07 | 2013-01-10 | Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт" | Furnace charge and method for the productino of silicon-nitride ceramics |
| CN103951437A (en) * | 2013-10-17 | 2014-07-30 | 上海步进精密陶瓷有限公司 | Silicon nitride ceramic bearing ball with ultralow porosity and manufacture method thereof |
| RU2540674C2 (en) * | 2013-02-27 | 2015-02-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Малое инновационное предприятие "Реализация инженерно-технических целей порошковой металлургии" | Method of making articles from silicon nitride |
| RU2641358C2 (en) * | 2016-02-20 | 2018-01-17 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Белгородский государственный национальный исследовательский университет" (НИУ "БелГУ") | Method of obtaining technological trainings of ceramic articles from silicon nitride |
| CN112028637A (en) * | 2020-08-24 | 2020-12-04 | 中材高新氮化物陶瓷有限公司 | Preparation method of high-reliability long-life silicon nitride ceramic ball for aviation bearing |
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69503248D1 (en) * | 1994-07-01 | 1998-08-06 | T & N Technology Ltd | SINDERED REACTION-RELATED SILICON NITRIDE COMPONENTS |
| UA100534C2 (en) * | 2010-06-07 | 2013-01-10 | Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт" | Furnace charge and method for the productino of silicon-nitride ceramics |
| RU2458023C1 (en) * | 2011-03-11 | 2012-08-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт структурной макрокинетики и проблем материаловедения Российской академии наук | Method of producing silicon nitride-based sintered articles |
| RU2540674C2 (en) * | 2013-02-27 | 2015-02-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Малое инновационное предприятие "Реализация инженерно-технических целей порошковой металлургии" | Method of making articles from silicon nitride |
| CN103951437A (en) * | 2013-10-17 | 2014-07-30 | 上海步进精密陶瓷有限公司 | Silicon nitride ceramic bearing ball with ultralow porosity and manufacture method thereof |
| RU2641358C2 (en) * | 2016-02-20 | 2018-01-17 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Белгородский государственный национальный исследовательский университет" (НИУ "БелГУ") | Method of obtaining technological trainings of ceramic articles from silicon nitride |
| CN112028637A (en) * | 2020-08-24 | 2020-12-04 | 中材高新氮化物陶瓷有限公司 | Preparation method of high-reliability long-life silicon nitride ceramic ball for aviation bearing |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2809398C1 (en) * | 2023-10-03 | 2023-12-11 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)" | Method for manufacturing ceramic melting crucibles |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6942929B2 (en) | Slurry composition for tape casting for manufacturing silicon nitride sintered body | |
| JPS6168373A (en) | Silicon nitride sintered body and manufacture | |
| CN113105252A (en) | Sintering aid for preparing silicon nitride ceramic, application of sintering aid and preparation method of silicon nitride ceramic | |
| JPS6125677B2 (en) | ||
| CN106083068A (en) | A kind of preparation method of water base pelletize the directly silicon nitride ceramics of cold isostatic compaction | |
| RU2803087C1 (en) | Method for manufacturing ceramic blanks based on silicon nitride | |
| KR101620510B1 (en) | Pressureless sintered silicon carbide ceramics with high fracture toughness and high hardness, compositions thereof and Process for producing the Same | |
| JP2670221B2 (en) | Silicon nitride sintered body and method for producing the same | |
| CN117776739A (en) | Silicon nitride ceramic slurry, silicon nitride ceramic substrate and preparation method of silicon nitride ceramic substrate | |
| Xu et al. | α‐SiAlON Ceramics Obtained by Slip Casting and Pressureless Sintering | |
| JPH03218974A (en) | Silicon nitride sintered body and production thereof | |
| JP3124866B2 (en) | Method for producing silicon nitride based sintered body | |
| JPS61251578A (en) | Manufacturing method of silicon nitride sintered body | |
| CN118930283A (en) | A method for preparing Si3N4-Si2N2O-based wave-transmitting ceramic material by atmospheric pressure sintering | |
| JP2892244B2 (en) | Manufacturing method of silicon nitride sintered body | |
| Hassan et al. | Formation, Phase Stability, and Characterization of Unstabilized Aluminum Titanate (Al2TiO5) Ceramics | |
| JP2777051B2 (en) | Method for producing silicon nitride based sintered body | |
| JPS6121976A (en) | Manufacture of silicon nitride base sintered body | |
| CN119822851A (en) | Silicon nitride casting slurry, preparation method thereof, silicon nitride ceramic wafer and copper-clad ceramic substrate | |
| JPH082967A (en) | Production of aluminum nitride sintered compact | |
| JPS62113767A (en) | Silicon nitride base sintered body and manufacture | |
| JP2692353B2 (en) | Method for producing high-temperature high-strength silicon nitride sintered body | |
| JP2015189625A (en) | Porous ceramic-made member for heat treatment | |
| RU2233816C2 (en) | Method of production of ceramic mass | |
| JPS63112468A (en) | Manufacture of silicon nitride base sintered body |