RU2800771C1 - Проводящий электрод, способ его изготовления и электронное устройство - Google Patents

Abstract

Изобретение относится к области техники проводящих электродов и электронных устройств. Технический результат заключается в увеличении силы сцепления между адгезионным промежуточным слоем и прозрачной проводящей пленкой, повышении прочности и надежности конструкции. Технический результат достигается тем, что в проводящем электроде, содержащем прозрачную проводящую пленку, расположенную на подложке, адгезионный промежуточный слой, расположенный на прозрачной проводящей пленке, и металлический слой, расположенный на адгезионном промежуточном слое, содержится также защитный слой, расположенный на краю адгезионного промежуточного слоя, или защитный слой, расположенный на краях как адгезионного промежуточного слоя, так и металлического слоя. 3 н. и 19 з.п. ф-лы, 10 ил.

Description

[0001] Эта заявка претендует на приоритет по заявке на патент Китая №.201911329101.2, поданной в Национальное управление интеллектуальной собственности Китая 20 декабря 2019 г. и озаглавленной «ПРОВОДЯЩИЙ ЭЛЕКТРОД, СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ЭЛЕКТРОННОЕ УСТРОЙСТВО», которая полностью включена в настоящий документ посредством ссылки.

ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ

[0002] Настоящая заявка относится к области техники проводящих электродов и электронных устройств и, в частности, к проводящему электроду, способу его изготовления и электронному устройству.

УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ

[0003] В последние годы электронные устройства, такие как мобильные телефоны, планшетные компьютеры и другая бытовая электроника, стали незаменимыми инструментами в повседневной жизни людей. Такие электронные продукты не только удовлетворяют обычные потребности людей в общении, но также должны соответствовать требованиям к развлечениям, фотографированию, платежам и т.п. Поэтому при механической обработке и производстве электронных изделий для мобильных телефонов повышаются требования к миниатюризации (портативности), высокой степени интеграции (уменьшение объема и толщины), высокой сложности (интеграция множества различных функциональных модулей), высокой надежности (длительный срок эксплуатации) и тому подобное. В качестве важного модуля для обновления функций мобильного телефона проектор также интегрирован в мобильный телефон. Его прозрачный проводящий электрод (например, электрод из оксида индия и олова, сокращенно электрод ITO) имеет небольшие размеры (обычно 0,1-0,2 мм²) и должен иметь высокую надежность (точка электрического соединения должна выдерживать высокую температуру и высокую влажность, высокоскоростной удар и другие характеристики).

[0004] Некоторые обычные прозрачные оксидные пленки, такие как пленки оксида индия-олова (оксид индия-олова, ITO), могут дополнительно блокировать электронное излучение, ультрафиолетовые лучи и дальние инфракрасные лучи, вредные для человеческого организма, благодаря их хорошим характеристикам прозрачности и проводимости. Поэтому эти прозрачные оксидные пленки обычно напыляются на стекло, пластик и электронные дисплеи для использования в качестве прозрачных проводящих пленок и для уменьшения вредного для человеческого организма излучения, а также повреждения от ультрафиолетовых и инфракрасных ламп. Когда эти прозрачные оксидные пленки наносятся на различные электронные компоненты, такие как электронные дисплеи и проекторы, в качестве прозрачных проводящих слоев с использованием проводящих свойств этих прозрачных оксидных пленок, необходимо электрически соединить прозрачные оксидные пленки с внешними цепями через эффективное и надежное соединение электродов. Однако традиционные решения для электрического соединения не могут удовлетворить требования из-за ограничений надежности или размера рабочего пространства.

[0005] В настоящее время прозрачные проводящие пленки соединяются с внешними цепями в основном путем обжатия и склеивания. Например, прозрачная проводящая пленка электрически соединена с контактной площадкой печатной платы (PCB pad) с помощью анизотропной проводящей пленки (anisotropic conductive film, ACF). Тем не менее, ACF имеет низкую экологическую надежность и подвержена расслаиванию и растрескиванию поверхности, а также к другим недостаткам при циклическом изменении температуры, а также в условиях высокой температуры и высокой влажности.

[0006] Следовательно, необходимо разработать более надежный способ соединения прозрачного проводящего электрода к внешней цепи, чтобы обеспечить электрическую связь, а также надежность соединения. Для решения указанных задач предлагается данная заявка.

СУЩНОСТЬ ИЗОБРЕТЕНИЯ

[0007] Цель этой заявки состоит в том, чтобы предоставить проводящий электрод, способ его изготовления и электронное устройство для улучшения прочности соединения между прозрачным проводящим электродом и внешней цепью и удовлетворения требований к надежности электрической связи и соединения, чтобы разрешить проблемы уровня техники или, по меньшей мере, частичное решение вышеуказанных технических проблем.

[0008] В соответствии с первым аспектом этой заявки предоставляется проводящий электрод, включающий в себя:

прозрачную проводящую пленку, расположенную на подложке;

адгезионный промежуточный слой, расположенный на прозрачной проводящей пленке; а также

металлический слой, расположенный на адгезионном промежуточном слое, где металлический слой в основном образован драгоценным металлом и выполнен с возможностью сцепления с внешней цепью.

[0009] Адгезионный промежуточный слой и особенно металлический слой, в основном образованный драгоценным металлом, расположены на прозрачной проводящей пленке, что может улучшить свойства прозрачной проводящей пленки, не влияя на проводящие характеристики прозрачной проводящей пленки, повысить прочность сцепления между проводящим электродом и внешней цепью, тем самым удовлетворяя требованиям по электрическому соединению и надежности.

[0010] В возможной реализации драгоценный металл включает в себя, помимо прочего, по меньшей мере одно из Au (золото), Ag (серебро), Pd (палладий), Pt (платина), Rh (родий) или Ru (рутений);

предпочтительно драгоценный металл включает в себя по меньшей мере один из Au, Pd или Pt; а также

более предпочтительно драгоценный металл представляет собой Au.

[0011] Вышеупомянутый драгоценный металл характеризуется стабильными характеристиками, высокой стойкостью к окислению, невосприимчивостью к окислению, высокой чистотой поверхности и т.п., а также хорошей проводимостью и отличными характеристиками, а прочность сцепления между проводящим электродом и внешней цепью может быть значительно улучшена за счет сцепления между металлическим слоем и внешней цепью. В реальном применении предпочтительно использовать распространенный драгоценный металл, такой как Au, Pd или Pt, который имеет широкий спектр источников, хорошие эффекты применения, высокую адаптируемость и т.п.

[0012] В возможной реализации адгезионный промежуточный слой в основном образован, по меньшей мере, одним из Cr (хром), Ti (титан) или нержавеющей стали; а также

предпочтительно адгезионный промежуточный слой в основном образован Cr или Ti.

[0013] Адгезионный промежуточный слой также может называться промежуточным сцепляющим слоем, который может улучшить адгезию металлического слоя и улучшить прочность соединения. Металлический слой трудно зафиксировать непосредственно на поверхности прозрачной проводящей пленки, а промежуточный слой может улучшить адгезию металлического слоя и сделать так, чтобы металлический слой не легко отваливался. Это может не только повысить прочность сцепления между проводящим электродом и внешней цепью и удовлетворить требования к электрическому соединению и надежности, но также сделать конструкцию стабильной, сделать соединение прочным и надежным и добиться лучшего эффекта применения. В частности, выбор любого одного или нескольких материалов из Cr, Ti или нержавеющей стали (SUS) для формирования адгезионного промежуточного слоя имеет лучшие практические эффекты применения и прост в реализации, а выбранный один или несколько материалов имеют значительную силу сцепления прозрачной проводящей пленки с металлическим слоем.

[0014] В возможной реализации адгезионный промежуточный слой включает в себя по меньшей мере первый адгезионный промежуточный слой и второй адгезионный промежуточный слой; а также

предпочтительно первый адгезионный промежуточный слой и второй адгезионный промежуточный слой выполнены из одного и того же материала.

[0015] Следует понимать, что может быть один, два или более адгезионных промежуточных слоя. Предпочтительно обеспечены два адгезионных промежуточных слоя. Например, первый слой представляет собой первый адгезионный промежуточный слой, а второй слой представляет собой второй адгезионный промежуточный слой. Первый адгезионный промежуточный слой и второй адгезионный промежуточный слой могут быть изготовлены из одного и того же материала или из разных материалов. Предпочтительно первый адгезионный промежуточный слой и второй адгезионный промежуточный слой изготовлены из одного и того же материала, например оба являются слоями Cr или слоями Ti. Первый адгезионный промежуточный слой находится в непосредственном контакте с поверхностью прозрачной проводящей пленки.

[0016] Два адгезионных промежуточных слоя в основном используются для использования защитного слоя для защиты первого адгезионного промежуточного слоя, тем самым увеличивая силу сцепления между первым адгезионным промежуточным слоем и прозрачной проводящей пленкой и улучшая прочность и надежность конструкции.

[0017] В возможной реализации проводящий электрод дополнительно включает в себя защитный слой, и защитный слой расположен на краю адгезионного промежуточного слоя, или защитный слой расположен на краях как адгезионного промежуточного слоя, так и металлического слоя.

[0018] В возможном варианте осуществления край первого адгезионного промежуточного слоя обеспечен защитным слоем.

[0019] Понятно, что проводящий электрод включает в себя прозрачную проводящую пленку и адгезионный промежуточный слой, защитный слой и металлический слой, которые расположены на прозрачной проводящей пленке. Защитный слой может быть расположен на краю адгезионного промежуточного слоя или расположен на краях как адгезионного промежуточного слоя, так и металлического слоя, для увеличения силы сцепления между адгезионным промежуточным слоем и прозрачной проводящей пленкой и повышения прочности и надежности конструкции. Адгезионный промежуточный слой предпочтительно включает в себя первый адгезионный промежуточный слой и второй адгезионный промежуточный слой; и край первого адгезионного промежуточного слоя обеспечен защитным слоем. Защитный слой используется для защиты первого адгезионного промежуточного слоя, тем самым увеличивая силу сцепления между первым адгезионным промежуточным слоем и прозрачной проводящей пленкой.

[0020] В возможной реализации защитный слой в основном образован по меньшей мере одним из кремнийсодержащего вещества, алюминийсодержащего вещества или магнийсодержащего вещества;

предпочтительно защитный слой в основном образован SiO₂ (диоксид кремния_), SiN (нитрид кремния) или Al₂O₃ (оксид алюминия); и

предпочтительно защитный слой в основном образован SiO₂.

[0021] Понятно, что защитный слой может быть образован любым одним или несколькими различными кремнийсодержащими веществами, алюминийсодержащими веществами или магнийсодержащими веществами и может усиливать силу сцепления между пленкой и адгезионным промежуточным слоем и улучшать структурное соединение или характеристики сцепления. Предпочтительно, поскольку исходный материал SiO₂ может использоваться в процессе изготовления проводящего электрода, SiO₂ используется для формирования защитного слоя, который характеризуется лучшим содействие захвату материала, экономичностью и практичностью, а также хорошими эффектами применения.

[0022] В возможном варианте осуществления толщина защитного слоя больше, чем толщина адгезионного промежуточного слоя;

предпочтительно, чтобы толщина защитного слоя была больше, чем сумма толщины адгезионного промежуточного слоя и толщины металлического слоя, и

предпочтительно толщина защитного слоя больше или равна 1,0 мкм, предпочтительно больше или равна 1,5 мкм и более предпочтительно примерно 2 мкм. Защитный слой большей толщины лучше защищает адгезионный промежуточный слой и улучшает силу сцепления между прозрачной проводящей пленкой и адгезионным промежуточным слоем.

[0023] В возможной реализации толщина адгезионного промежуточного слоя составляет 50-100 нм. Предпочтительно адгезионный промежуточный слой включает в себя первый адгезионный промежуточный слой и второй адгезионный промежуточный слой, и первый адгезионный промежуточный слой и второй адгезионный промежуточный слой каждый независимо имеют толщину 50-100 нм.

[0024] В возможной реализации толщина металлического слоя составляет 75-300 нм.

[0025] Адгезионный промежуточный слой и металлический слой в указанном выше диапазоне толщин обладают лучшими общими характеристиками и лучшими практическими эффектами применения.

[0026] В возможном осуществлении способ формирования адгезионного промежуточного слоя включает в себя осаждение;

и/или способ формирования металлического слоя включает в себя осаждение;

предпочтительно осаждение включает в себя физическое осаждение из паровой фазы (physical vapor deposition, PVD) или химическое осаждение из паровой фазы (chemical vapor deposition, CVD); а также

предпочтительно физическое осаждение из паровой фазы включает в себя способ магнетронного напыления.

[0027] Следует понимать, что существует множество способов формирования упомянутого выше адгезионного промежуточного слоя или металлического слоя. Например, способ осаждения может использоваться для формирования адгезионного промежуточного слоя на поверхности прозрачной проводящей пленки, а способ осаждения может использоваться для формирования металлического слоя на поверхности адгезионного промежуточного слоя. Могут быть применены различные способы осаждения. Например, могут быть использованы различные способы PVD или различные способы CVD. Предпочтительно адгезионный промежуточный слой и металлический слой изготавливают с использованием способа магнетронного напыления, который характеризуется хорошей однородностью покрытия, простотой контроля толщины пленки, высокой производительностью, высокой эффективностью производства и т.п.

[0028] В возможной реализации прозрачная проводящая пленка включает в себя, но не ограничивается этим, по меньшей мере одну пленку из оксида индия-олова (indium tin oxide, ITO), пленку оксида индия-цинка (indium zinc oxide, IZO), пленку из оксида индия-цинка-олова (indium zinc tin oxide, IZTO), пленку из оксида индия-алюминия-цинка (indium aluminum zinc oxide, IAZO), пленка из оксида индия-галлия-цинка (indium gallium zinc oxide, IGZO) или пленку из оксида индия-галлия-олова (indium gallium tin oxid, IGTO); и

предпочтительно прозрачная проводящая пленка представляет собой пленку ITO.

[0029] В возможном варианте осуществления подложка включает в себя стекло; и стекло может быть прозрачным стеклом, например стеклом ITO.

[0030] В возможной реализации внешняя цепь имеет внешний электрод, а проводящий электрод сцеплен с внешним электродом с помощью проводящего адгезионного материала.

[0031] Проводящий адгезионный материал предпочтительно включает в себя проводящий серебряный адгезионный материал.

[0032] Следует понимать, что эта заявка в основном направлена на устранение таких проблем, в которых при техническом решении сцепления обычного прозрачного проводящего электрода с внешним электродом с использованием проводящего адгезионного материала, прочность сцепления низка, и легко происходит отслоение поверхности сцепления, и обеспечивает новый проводящий электрод, который увеличивает силу сцепления между проводящим электродом и проводящим адгезионным материалом, повышает надежность сцепления и делает соединение более прочным и надежным.

[0033] Проводящий адгезионный материал может представлять собой различные обычные проводящие клеи, такие как проводящий серебряный адгезионный материал, и, в более общем смысле, проводящий адгезионный материал альтернативно может быть любым другим адгезионным материалом, который может быть применен в данной области техники.

[0034] В возможной реализации проводящий электрод сцеплен с боковой стороной внешнего электрода с помощью проводящего адгезионного материала.

[0035] В возможной реализации проводящий электрод сцеплен с нижней поверхностью внешнего электрода с помощью проводящего адгезионного материала.

[0036] В возможной реализации проводящий электрод сцеплен с внешним электродом с помощью проводящего адгезионного материала и проволоки.

[0037] В сценариях, в которых проводящий адгезионный материал используется для осуществления взаимного соединения между проводящим адгезионным материалом и внешним электродом, характеристики применения могут в основном относиться к трем типам: первый тип заключается в том, что боковая сторона внешнего электрода сцепляется для взаимного соединения, т. е. проводящий адгезионный материал используется для сцепления проводящего адгезионного материала с боковой стороной внешнего электрода для взаимного соединения; второй тип заключается в том, что внешний электрод сцеплен вертикально для взаимного соединения, то есть проводящий адгезионный материал используется для сцепления проводящего адгезионного материала с нижней поверхностью внешнего электрода для взаимного соединения; и третий тип заключается в том, что внешний электрод сцеплен посредством проволоки для взаимного соединения, то есть проводящий адгезионный материал и проволока используются для осуществления взаимного соединения между проводящим адгезионным материалом и внешним электродом.

[0038] Проводящий электрод в соответствии с этой заявкой может увеличить прочность сцепления проводящего адгезионного материала с проводящим электродом, и по сравнению с известным уровнем техники прочность сцепления проводящего адгезионного материала на проводящем электроде можно увеличить примерно в 1,5 раза.

[0039] В соответствии со вторым аспектом этой заявки также обеспечен способ изготовления проводящего электрода, включающий в себя следующие этапы:

формирование прозрачной проводящей пленки на поверхности подложки;

формирование адгезионного промежуточного слоя на поверхности прозрачной проводящей пленки; и

формирование металлического слоя на поверхности адгезионного промежуточного слоя, где металлический слой в основном образован драгоценным металлом и выполнен с возможностью соединения с внешней цепью.

[0040] Проводящий электрод, полученный с использованием способа, может улучшить свойства прозрачной проводящей пленки, не влияя на проводящие характеристики прозрачной проводящей пленки, повысить прочность соединения между проводящим электродом и внешней цепью, тем самым удовлетворяя требованиям к электрическому соединению и надежности.

[0041] Следует понимать, что способ изготовления представляет собой способ изготовления проводящего электрода, описанный выше, то есть первый аспект этой заявки соответствует второму ее аспекту. Для уменьшения объема этого документа повторяющаяся часть подробно не описывается.

[0042] В возможной реализации используется способ осаждения для нанесения адгезионного промежуточного слоя на поверхность прозрачной проводящей пленки;

и/или используется способ осаждения для нанесения металлического слоя на поверхность адгезионного промежуточного слоя;

предпочтительно осаждение включает в себя физическое осаждение из паровой фазы или химическое осаждение из паровой фазы;

предпочтительно физическое осаждение из паровой фазы включает в себя способ магнетронного напыления;

предпочтительно толщина адгезионного промежуточного слоя 50-100 нм; и

предпочтительно толщина металлического слоя 75-300 нм.

[0043] В возможной реализации способ осаждения используется для того, чтобы сначала нанести первый адгезионный промежуточный слой на поверхность прозрачной проводящей пленки, а затем нанести второй адгезионный промежуточный слой на поверхность первого адгезионного промежуточного слоя; а также

предпочтительно первый адгезионный промежуточный слой и второй адгезионный промежуточный слой выполнены из одного и того же материала.

[0044] В возможной реализации используется способ осаждения, при котором сначала наносят первый адгезионный промежуточный слой на поверхность прозрачной проводящей пленки, затем покрывают край первого адгезионного промежуточного слоя защитным слоем, наносят второй адгезионный промежуточный слой на поверхность первого адгезионного промежуточного слоя, а затем наносят металлический слой на поверхность второго адгезионного промежуточного слоя;

предпочтительно защитный слой в основном образован по меньшей мере одним из кремнийсодержащего вещества, алюминийсодержащего вещества или магнийсодержащего вещества; предпочтительно защитный слой в основном образован по меньшей мере одним из SiO₂, SiN или Al₂O₃; предпочтительно защитный слой в основном образован SiO₂; и

предпочтительно толщина защитного слоя больше или равна 1,0 мкм.

[0045] В возможной реализации способ включает в себя многократные этапы покрытия фоторезистом, экспонирования, проявления и очистки.

[0046] Следует отметить, что в приведенных выше операциях конкретные операции покрытия фоторезистом, экспонирования, проявления и очистки конкретно не ограничены в данной заявке, и специалист в данной области техники может узнать, обратившись к известному уровню техники, что операции могут выполняться методом, хорошо известным в данной области техники, и может надлежащим образом контролироваться специалистом в данной области техники на основании реальной ситуации.

[0047] В возможной реализации на поверхность подложки наносят прозрачную проводящую пленку, а затем последовательно выполняют очистку, покрытие фоторезистом, экспонирование, проявление и шаблонное травление цепи для получения основного проводящего электрода; а также

адгезионный промежуточный слой и металлический слой наносят на поверхность основного проводящего электрода последовательно для получения проводящего электрода.

[0048] В возможной реализации, после получения основного проводящего электрода сначала осуществляют очистку, покрытие фоторезистом, экспонирование и проявление на прозрачной проводящей пленке, а на поверхность основного проводящего электрода наносят адгезионный средний слой;

затем снова проводят очистку, покрытие фоторезистом, экспонирование и проявление, и на поверхность адгезионного среднего слоя наносят слой металла;

предпочтительно после получения основного проводящего электрода очистку, покрытие фоторезистом, экспонирование и проявление сначала выполняют на прозрачной проводящей пленке, а на поверхность основного проводящего электрода наносят первый адгезионный средний слой;

затем снова осуществляют очистку, покрытие фоторезистом, экспонирование и проявление, а также покрывают краевую поверхность первого адгезионного среднего слоя защитным слоем; а также

затем снова выполняют очистку, покрытие фоторезистом, экспонирование и проявление, на поверхность первого адгезионного среднего слоя наносят второй адгезионный средний слой, а на поверхность второго адгезионного среднего слоя наносят металлический слой.

[0049] В возможной реализации обнаружение выполняется после каждой очистки. После каждого процесса очистки необходимо строго проверять, очищен ли электрод, чтобы убедиться в отсутствии остатков фоторезиста. Например, для полной проверки каждого электрода можно использовать оптический микроскоп со 100-кратным увеличением.

[0050] Предпочтительно каждый раз проводить очистку в течение примерно 7 часов; и таким образом можно очистить электрод.

[0051] В возможной реализации драгоценный металл включает в себя по меньшей мере один из Au, Ag, Pd, Pt, Rh или Ru; предпочтительно драгоценный металл включает по меньшей мере один из Au, Pd или Pt; и предпочтительно драгоценный металл представляет собой Au.

[0052] В возможном варианте осуществления адгезионный промежуточный слой в основном образован, по меньшей мере, одним материалом из Cr, Ti или нержавеющей стали; и предпочтительно адгезионный промежуточный слой в основном образован Cr или Ti.

[0053] В возможной реализации прозрачная проводящая пленка включает в себя по меньшей мере одно из следующего: пленку из оксида индия-олова, пленку из оксида индия-цинка, пленку из оксида цинка-индия-олова, пленку оксида из индия-цинка-алюминия, пленку из оксида цинка-индия-галлия или пленку оксида галлия-индия-олова; предпочтительно прозрачная проводящая пленка представляет собой пленку из оксида индия-олова; а также

предпочтительно подложка включает в себя стекло.

[0054] В возможной реализации изготовленный проводящий электрод сцепляют с боковой стороной внешнего электрода с помощью проводящего адгезионного материала;

или изготовленный проводящий электрод сцепляют с нижней поверхностью внешнего электрода с помощью проводящего адгезионного материала;

или изготовленный проводящий электрод сцепляют с внешним электродом с помощью проводящего адгезионного материала и проволоки.

[0055] В соответствии со вторым аспектом этой заявки дополнительно обеспечено электронное устройство, включающее в себя внешнюю цепь (внешний электрод) и дополнительно включающее в себя проводящий электрод, описанный выше, или проводящий электрод, полученный с использованием вышеизложенного способа. Металлический слой соединен с внешней цепью посредством сцепления.

[0056] В возможной реализации электронное устройство включает в себя проектор, проектор включает в себя внешнюю цепь, и металлический слой в проводящем электроде соединен с внешней цепью посредством сцепления.

[0057] В возможной реализации электронное устройство включает в себя съемочное устройство с камерой, устройство съемки с камерой включает в себя внешнюю цепь, и металлический слой в проводящем электроде соединяется с внешней схемой посредством сцепления.

[0058] Вышеупомянутый проводящий электрод может применяться в различных электронных дисплеях, проекторах и других электронных компонентах в виде прозрачного проводящего слоя. Проводящий электрод может быть включен в электронное устройство. Электронное устройство может включать в себя съемочное устройство камеры. Съемочное устройство камеры может включать в себя проектор. Проектор включает в себя упомянутый выше прозрачный проводящий электрод и внешний электрод. Проводящий адгезионный материал используется для осуществления эффективного и надежного электрического взаимного соединения между вышеупомянутым прозрачным проводящим электродом и внешним электродом.

[0059] Техническое решение по данной заявке позволяет добиться следующих полезных эффектов:

[0060] В проводящем электроде и способе его изготовления адгезионный промежуточный слой и особенно металлический слой, в основном образованный драгоценным металлом, расположены на прозрачной проводящей пленке, что может улучшить свойства прозрачной проводящей пленки, не влияя на проводящие характеристики прозрачной проводящей пленки, повысить прочность сцепления между проводящим электродом и внешней цепью, тем самым удовлетворяя требованиям к электрическому соединению и надежности, а также реализуя эффективное и надежное электрическое взаимное соединение между проводящим электродом и внешней цепью. Кроме того, адгезионный промежуточный слой может улучшить адгезию металлического слоя и повысить устойчивость и надежность всей конструкции.

[0061] Электронное устройство в соответствии с этой заявкой включает в себя вышеупомянутый проводящий электрод и, следовательно, имеет, по меньшей мере, те же преимущества, что и вышеупомянутый проводящий электрод. Повторно подробности не описаны в данном документе.

[0062] Следует понимать, что приведенное выше общее описание и последующее подробное описание являются только примерными и не могут ограничивать это применение.

КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ

[0063] Чтобы более четко описать технические решения вариантов осуществления этой заявки, нижеследующее кратко описывает сопроводительные чертежи, необходимые в вариантах осуществления этой заявки. Специалист в данной области техники может по-прежнему получать другие сопровождающие чертежи из этих сопровождающих чертежей без творческих усилий.

[0064] Фиг. 1 представляет собой структурную схему соединения между проводящим электродом и внешним электродом в уровне техники;

[0065] Фиг. 2 представляет собой принципиальную структурную схему проводящего электрода согласно примерному варианту осуществления данной заявки;

[0066] Фиг. 3 представляет собой принципиальную структурную схему проводящего электрода согласно другому примеру осуществления данной заявки;

[0067] Фиг. 4 представляет собой принципиальную структурную схему проводящего электрода согласно еще одному примеру осуществления данной заявки;

[0068] Фиг. 5 представляет собой принципиальную структурную схему проводящего электрода согласно еще одному примеру осуществления этой заявки;

[0069] Фиг. 6 представляет собой структурную схему способа соединения проводящего электрода с внешним электродом согласно примерному примеру осуществления данной заявки;

[0070] Фиг. 7 представляет собой структурную схему способа соединения проводящего электрода с внешним электродом в соответствии с другим примером осуществления данной заявки;

[0071] Фиг. 8 представляет собой принципиальную блок-схему последовательности операций способа соединения проводящего электрода с внешним электродом в соответствии с еще одним примером осуществления данной заявки;

[0072] Фиг. 9 представляет собой блок-схему последовательности операций способа изготовления проводящего электрода в соответствии с примером осуществления данной заявки; и

[0073] Фиг. 10 представляет собой структурную схему прочности сцепления проводящего электрода в соответствии с примером осуществления данной заявки.

[0074] Описание ссылочных позиций выглядит следующим образом:

1: проводящий электрод;

100: стеклянная подложка; 101: пленка ИТО; 102: адгезионный промежуточный слой; 1021: первый адгезионный промежуточный слой; 1022: второй адгезионный промежуточный слой; 103: защитный слой; 104: металлический слой; 110: линия ИТО;

2: внешний электрод;

3: проводящий адгезионный материал;

4: проволока.

[0075] Прилагаемые здесь чертежи включены в описание и составляют его часть, показывают варианты осуществления, соответствующие данной заявке, и используются вместе с описанием для пояснения принципа данной заявки.

Описание вариантов осуществления

[0076] Чтобы лучше понять технические решения этой заявки, варианты осуществления этой заявки подробно описаны ниже со ссылкой на прилагаемые чертежи.

[0077] Должно быть ясно, что описанные варианты осуществления представляют собой лишь некоторые, а не все варианты осуществления этой заявки. Основываясь на вариантах осуществления этой заявки, все другие варианты осуществления, полученные специалистом в данной области техники без творческих усилий, подпадают под объем защиты этой заявки.

[0078] Следует отметить, что используемый здесь термин «и/или» используется только для описания отношения ассоциации между ассоциированными объектами и указывает, что могут существовать три отношения. Например, A и/или B могут означать следующее: Существует только A, существуют как A, так и B, и существует только B.

[0079] Если не определено или не проиллюстрировано иное, используемые здесь профессиональные и научные термины имеют то же значение, что и термины, известные специалисту в данной области.

[0080] Специалисту в данной области техники должно быть понятно, что, как описано в уровне техники, традиционные решения для электрического соединения прозрачного проводящего электрода не могут соответствовать требованиям из-за ограничения надежности или размера рабочего пространства. На примере электрода ITO подробно описан способ соединения обычного прозрачного проводящего электрода с внешней цепью. Следует понимать, что другие родственные прозрачные проводящие электроды также имеют такие же или подобные проблемы.

[0081] Во-первых, к решению жидкокристаллического дисплея применяется традиционная технология использования ACF для осуществления взаимного соединения ITO-электрода с внешним электродом посредством обжатия. ACF предварительно изготавливается между электродом ITO и внешним электродом, и к ACF прикладывается некоторое давление, чтобы заставлять проводящие ионы в ACF контактировать с верхним и нижним электродами, тем самым реализуя взаимное соединение между электродом ITO и внешней цепью. Однако в этом решении: (1) Во время использования ACF необходимо прикладывать некоторое давление, чтобы гарантировать, что проводящие частицы в ACF контактируют с электродом ITO и внешним электродом. Наличие давления вызывает коробление подложки (>50 мкм), что влияет на точность сборки; прикладываемое давление должно быть равномерным, поэтому при сборке крупногабаритных устройств существует некоторая технологическая сложность. (2) Наличие смолы в ACF приводит к большому контактному сопротивлению в точке соединения, которое не выдерживает высокого напряжения и большого тока. При относительно небольшом расстоянии и приложенном высоком напряжении легко происходит пробой ACF . (3) ACF склонен к расслаиванию, растрескиванию и другим сбоям в испытаниях на надежность в условиях окружающей среды, таких как высокая температура и высокая влажность, а также в условиях циклического изменения температуры, что приводит к сбою электрического соединения.

[0082] Во-вторых, обеспечено традиционное техническое решение сварки проводящей наружной проволоки для соединения. В этой технологии способом трафаретной печати на электрод из ITO (электрод ITO) наносят серебряную пасту, затем образец помещают в муфельную печь и выдерживают при температуре 360-400°C в течение 5-10 минут для достижения металлизации на электрод ITO, и электрический паяльник и проволока для припоя используются для припайки проволоки к слою спеченного серебра, чтобы реализовать взаимное соединение между электродом ITO и внешней цепью. В этом решении паяное соединение находится в омическом контакте, а контактное сопротивление мало; и поскольку для соединения используется проволока, надежность соединения хорошая. Однако в этом решении: (1) Сырье, необходимое для приготовления стеклянного порошка и серебряной пасты, содержит оксид свинца, борат свинца и другие свинецсодержащие неорганические вещества, не отвечающие экологическим требованиям к бытовой электронике. (2) Спекание серебряной пасты необходимо проводить при высокой температуре 360-400°С, а высокотемпературный отжиг вызывает дальнейшее окисление пленки ITO, тем самым влияя на электрические свойства пленки ITO. (3) Ручная сварка наружной проволоки не облегчает операции и занимает относительно большую пространственную конструкцию, что не способствует миниатюризации устройства.

[0083] В-третьих, обеспечено обычное техническое решение сцепления с использованием проводящего адгезионного материала (такого как проводящий серебряный адгезионный материал). Проводящий адгезионный материал используется для прямого сцепления. Сначала используется инструмент или конструктивная часть для фиксации и выравнивания электрода ITO с внешним электродом, а затем используется дозатор для непосредственного нанесения проводящего серебряного адгезионного материала в зазор между электродом ITO и внешним электродом, и проводящий серебряный адгезионный материал нагревается для отверждения. Частицы серебра в проводящем серебряном адгезионном материале образуют сетчатую сеть в серебряном адгезионном материале, чтобы реализовать электрическое взаимное соединение между электродом ITO и внешним электродом. Однако в этом решении, как показано на фиг. 1, если проводящий серебряный адгезионный материал используется непосредственно на электроде ITO для взаимного соединения, испытание на надежность показывает, что расслоение, растрескивание и другие недостатки возникают из-за недостаточной прочности сцепления. Если на электрод ITO сначала наплавить серебряную пасту для образования выпуклостей, а затем припаять проволоку для взаимного соединения, то такие операции выполнить затруднительно, так как электрод ITO имеет меньшую площадь. Проволочная пайка также занимает больше пространства сборки. Кроме того, ITO дополнительно окисляется во время спекания для изменения структуры, что влияет на электрические свойства следа ITO.

[0084] Специалисту в данной области техники понятно, что если проводящий серебряный адгезионный материал используется для непосредственного сцепления пленки ITO с внешним электродом-проводником, благодаря особой поверхности материала пленки ITO поверхность является гладкой, удельная поверхностная энергия выше (контактный угол между пленкой ITO и каплей воды больше 35°), прочность сцепления с серебряным адгезионным материалом ниже (около 8-12 МПа). После испытаний на термическую усталость и механическую надежность поверхность сцепления склонна к расслаиванию (см. фиг. 1). Кроме того, поскольку коэффициент теплового расширения проводящего серебряного адгезионного материала (50-70 частей на миллион) сильно отличается от коэффициента теплового расширения стекла (3-7 частей на миллион), легко возникает расслоение и растрескивание поверхности сцепления под действием термического удара или переменных температур, что приводит к сбою электрического соединения. Кроме того, из-за более высокой конкретной поверхностной энергии поверхности ITO, поверхность легко адсорбирует частицы пыли, что приводит к пылевому загрязнению поверхности ITO.

[0085] Следовательно, чтобы преодолеть недостатки известного уровня техники, технические решения вариантов осуществления этой заявки обеспечивают проводящий электрод, способ его изготовления и электронное устройство. Адгезионный промежуточный слой и металл, в основном образованный драгоценным металлом, изготавливаются на прозрачной проводящей пленке, что изменяет поверхностные свойства прозрачной проводящей пленки, предотвращает расслоение, возникающее на поверхности сцепления, увеличивает силу сцепления между проводящим электродом и проводящим адгезионным материалом, повышает надежность сцепления и может дополнительно уменьшить или предотвратить загрязнение поверхности пылью.

[0086] В конкретной реализации это приложение дополнительно подробно описано ниже на основе конкретных вариантов осуществления со ссылкой на прилагаемые чертежи.

[0087] Ссылаясь на фиг. 2 - фиг. 10, вариант осуществления данной заявки обеспечивает электронное устройство. Электронное устройство в соответствии с вариантом осуществления данной заявки может быть электронным устройством с функцией формирования изображения и, например, может быть мобильным телефоном, планшетным компьютером, ноутбуком, устройством отображения, записывающим устройством или устройством отображения информации.

[0088] В некоторых реализациях электронное устройство включает в себя камеру, камера включает в себя внешний электрод 2 и проводящий электрод 1, а проводящий электрод 1 соединен с внешним электродом 2 с помощью проводящего адгезионного материала 3.

[0089] В некоторых реализациях электронное устройство включает в себя проектор, проектор включает в себя внешний электрод 2 и проводящий электрод 1, а проводящий электрод 1 соединен с внешним электродом 2 с помощью проводящего адгезионного материала 3.

[0090] В частности, проектор включает в себя раму, рама снабжена внешним электродом 2, а проводящий электрод 1 соединен с рамой.

[0091] Базовая технология взаимного соединения между прозрачным проводящим электродом и внешним электродом с использованием проводящего серебряного адгезионного материала согласно техническому решению настоящего варианта осуществления может быть использована для сборки электронных компонентов, таких как электронный дисплей (например, жидкокристаллический дисплей или электролюминесцентный дисплей), модуль проектора, микроволновый щит и защитные очки.

[0092] Как показано на фиг. 2 - фиг. 10, вариант осуществления данной заявки обеспечивает проводящий электрод. Проводящий электрод 1 может включать в себя стеклянную подложку 100, прозрачную проводящую пленку, расположенную на поверхности стеклянной подложки 100, адгезионный промежуточный слой 102, расположенный на поверхности прозрачной проводящей пленки, и металлический слой 104, расположенный на поверхности адгезионного промежуточного слоя 102. Металлический слой 104 в основном образован драгоценным металлом и выполнен с возможностью соединения с внешней цепью.

[0093] Стеклянная подложка 100 может быть прозрачным стеклом. В частности, стеклянная подложка 100 может быть стеклом ITO. В более общем случае стеклянная подложка 100 альтернативно может быть любым другим прозрачным стеклом. Вариант осуществления этой заявки в основном использует стекло ITO в качестве подложки в качестве примера для дальнейшего подробного описания проводящего электрода.

[0094] Прозрачная проводящая пленка может представлять собой пленку из оксида индия-олова (пленка ITO), пленку из оксида индия-цинка (пленка IZO), пленка из оксида цинка-индия-олова (пленка IZTO), пленка из оксида индия-цинка-алюминия (пленка IAZO), пленка оксида цинка-индия-галлия (пленка IGZO) или пленка оксида галлия-индия-олова (пленка IGTO). В более общем случае прозрачная проводящая пленка может альтернативно представлять собой другую подобную оксидную пленку. Пленка ITO обладает хорошей прозрачностью и проводимостью, может блокировать электронное излучение, ультрафиолетовые лучи и дальние инфракрасные лучи, вредные для человеческого организма, обладает отличными фотоэлектрическими свойствами и свойствами обработки электродов, а также имеет лучший практический эффект применения.

[0095] Для простоты вариант осуществления этой заявки в основном использует пленку 101 ITO в качестве прозрачной проводящей пленки в качестве примера для подробного описания проводящего электрода и способа его изготовления. Следовательно, проводящий электрод 1 также может называться электродом ITO.

[0096] В некоторых конкретных реализациях внешняя цепь имеет внешний электрод 2, а проводящий электрод 1 соединен с внешним электродом 2 с помощью проводящего адгезионного материала 3. Проводящий адгезионный материал 3 может представлять собой различные обычные проводящие адгезионные материалы, такие как проводящий серебряный адгезионный материал, и, в более общем смысле, проводящий адгезионный материал альтернативно может быть любым другим адгезионным материалом, который можно применять в данной области техники.

[0097] В некоторых реализациях проводящий адгезионный материал 3 представляет собой проводящий серебряный адгезионный материал.

[0098] Специалисту в данной области техники должно быть понятно, что для устранения проблем, связанных с техническим решением соединения обычного прозрачного проводящего электрода с внешним электродом с помощью проводящего адгезионного материала, прочность соединения низкая и легко происходит отслоение поверхности соединения, предусмотрен проводящий электрод в соответствии с этой заявкой, который может увеличить силу соединения между проводящим электродом и проводящим адгезионным материалом, повысить надежность соединения и сделать соединение между проводящим электродом и внешним электродом более прочным и надежным.

[0099] В частности, как показано на фиг. 6 - фиг. 8, в вариантах, в которых проводящий адгезионный материал 3 используется для взаимного соединения вышеупомянутого проводящего адгезионного материала 1 и внешнего электрода 2, характеристики применения могут в основном относиться к трем типам:

первый тип состоит в том, что, как показано на фиг. 6, боковая сторона внешнего электрода 2 сцеплена для взаимного соединения, то есть проводящий адгезионный материал 3 используется для сцепления проводящего адгезионного материала 1 с боковой стороной внешнего электрода 2 для взаимного соединения;

второй тип состоит в том, что, как показано на фиг. 7 внешний электрод 2 сцеплен вертикально для взаимного соединения, то есть проводящий адгезионный материал 3 используется для сцепления проводящего адгезионного материала 1 с нижней поверхностью внешнего электрода 2 для взаимного соединения; а также

третий тип состоит в том, что, как показано на фиг. 8 внешний электрод 2 сцеплен проволокой для взаимного соединения, то есть проводящий адгезионный материал 3 и проволока 4 используются для осуществления взаимного соединения между проводящим адгезионным материалом 1 и внешним электродом 2.

[00100] В реальном приложении любой один или несколько из вышеупомянутых способов соединения могут быть выбраны на основе архитектуры конкретного продукта электронного устройства.

[00101] В некоторых конкретных вариантах осуществления драгоценный металл включает в себя, но не ограничивается этим, по меньшей мере один из Au, Ag, Pd, Pt, Rh или Ru. Например, драгоценным металлом может быть Au, Ag, Pd, Pt, Rh, Ru и т.п. В некоторых вариантах осуществления драгоценный металл может представлять собой Au, Pd или Pt. Металлический слой, образованный этими драгоценными металлами, не только обладает хорошей электропроводностью, но также обладает стабильными химическими свойствами и высокой противоокислительной устойчивостью, не склонен к окислению, имеет высокую чистоту поверхности, может предотвратить загрязнение пылью и может значительно улучшить прочность сцепления с проводящим серебряным адгезионным материалом и повысить надежность сцепления.

[00102] Например, в некоторых реализациях металлический слой 104 представляет собой слой Au и может обладать проводящим эффектом и адгезионными свойствами материала Au. Можно понять, что металлический слой в соответствии с вариантом осуществления этой заявки может быть слоем Au, который характеризуется широким спектром источников, простотой получения, отличной противоокислительной устойчивостью, хорошей проводимостью, простотой поверхностного сцепления, лучшими практическими эффектами применения, сильной адаптируемостью, и тому подобное.

[00103] В качестве другого примера, в варианте осуществления металлический слой 104 представляет собой слой Pt и может обладать проводящим эффектом и адгезионными свойствами материала Pt. Можно понять, что металлический слой в соответствии с вариантом осуществления данной заявки может быть слоем Pt и характеризуется стабильными характеристиками, сильной противоокислительной устойчивостью, высокой чистотой поверхности, хорошей проводимостью, простотой поверхностного сцепления и т.п.

[00104] Например, в некоторых реализациях металлический слой 104 представляет собой слой Au и может иметь проводящий эффект и адгезионные свойства материала Pd. Можно понять, что металлический слой в соответствии с вариантом осуществления данной заявки может быть слоем Pd и характеризуется стабильными характеристиками, высокой противоокислительной устойчивостью, высокой чистотой поверхности, хорошей проводимостью, простотой поверхностного сцепления и т.п.

[00105] В некоторых случаях трудно зафиксировать металлический слой 104 непосредственно на поверхности пленки 101 ITO, промежуточный слой может улучшить адгезию металлического слоя и затруднить отслоение металлического слоя. Это не только может повысить прочность соединения между проводящим электродом и внешней цепью и удовлетворить требованиям к электрическому соединению и надежности, но также делает конструкцию стабильной и надежной и повышает надежность проводящего электрода.

[00106] В некоторых конкретных вариантах осуществления адгезионный промежуточный слой 102 в основном образован, по меньшей мере, одним материалом из Cr, Ti или нержавеющей стали (SUS). Например, адгезионный промежуточный слой 102 может быть слоем Cr, или слоем Ti, или слоем нержавеющей стали (SUS), или подобным. Адгезионный промежуточный слой 102, расположенный между пленкой 101 ITO и металлическим слоем 104, может улучшить адгезию между пленкой 101 ITO и металлическим слоем 104.

[00107] Например, в некоторых реализациях адгезионный промежуточный слой 102 представляет собой слой хрома (Cr) и может иметь эффект соединения или характеристики адгезии материала Cr.

[00108] Например, в реализации адгезионный промежуточный слой 102 представляет собой слой титана (Ti) и может иметь эффект соединения или характеристики адгезии материала Ti.

[00109] Специалисту в данной области техники должно быть понятно, что как Cr, так и Ti обычно используются в качестве металлов сцепляющего слоя в полупроводниковой технологии, ресурсы легко получать, и металлы обладают превосходными характеристиками сцепления с Si или керамическим материалом.

[00110] В некоторых конкретных реализациях адгезионный промежуточный слой 102 включает в себя первый адгезионный промежуточный слой 1021 и второй адгезионный промежуточный слой 1022, то есть могут быть обеспечены два адгезионных промежуточных слоя. Первый адгезионный промежуточный слой 1021 наносится на поверхность пленки 101 ITO, а второй адгезионный промежуточный слой 1022 наносится на поверхность первого адгезионного промежуточного слоя 1021.

[00111] Два адгезионных промежуточных слоя в основном используются для использования защитного слоя для защиты первого адгезионного промежуточного слоя, тем самым увеличивая силу сцепления между первым адгезионным промежуточным слоем и прозрачной проводящей пленкой и улучшая прочность и надежность конструкции.

[00112] В частности, первый адгезионный промежуточный слой 1021 и второй адгезионный промежуточный слой 1022 могут быть изготовлены из одного и того же металлического материала или из разных металлических материалов. В некоторых реализациях первый адгезионный промежуточный слой 1021 и второй адгезионный промежуточный слой 1022 могут быть изготовлены из одного и того же материала. Например, первый адгезионный промежуточный слой 1021 может быть слоем Cr1, второй адгезионный промежуточный слой 1022 может быть слоем Cr2, или первый адгезионный промежуточный слой 1021 может быть слоем Ti1, а второй адгезионный промежуточный слой 1022 может быть Слой Ti2.

[00113] В некоторых конкретных реализациях проводящий электрод 1 дополнительно включает в себя защитный слой 103, и защитный слой 103 расположен на краю адгезионного промежуточного слоя 102, или защитный слой 103 расположен на краях как адгезионного промежуточного слоя 102, так и металлического слоя 104.

[00114] Проводящий электрод 1 включает в себя пленку 101 ITO и адгезионный промежуточный слой 102, защитный слой 103 и металлический слой 104, которые расположены на пленке 101 ITO. Защитный слой 103 может быть расположен на краю адгезионного промежуточного слоя 102 или может быть расположен на краях как адгезионного промежуточного слоя 102, так и металлического слоя 104, для увеличения силы сцепления между адгезионным промежуточным слоем и прозрачной проводящей пленкой и повысить прочность и надежность конструкции.

[00115] Следует понимать, что поверхность первого адгезионного промежуточного слоя 1021 покрыта защитным слоем 103, особенно периферийная кромка (периферийная часть) первого адгезионного промежуточного слоя 1021 покрыта защитным слоем 103, а толщина защитного слоя 103 может быть выше. Таким образом, сила сцепления между первым адгезионным промежуточным слоем 1021 и пленкой 101 ITO может быть увеличена, а конструкция становится более стабильной и надежной. Конкретная ширина или длина защитного слоя конкретно не ограничена и может быть отрегулирована специалистом в данной области техники в зависимости от реальной ситуации.

[00116] В некоторых конкретных реализациях адгезионный промежуточный слой 102 включает в себя первый адгезионный промежуточный слой 1021 и второй адгезионный промежуточный слой 1022, а край первого адгезионного промежуточного слоя 1021 снабжен защитным слоем 103. Защитный слой 103 используется для защиты первого адгезионного промежуточного слоя 1021, тем самым увеличивая силу сцепления между первым адгезионным промежуточным слоем 1021 и пленкой 101 ITO и гарантируя отсутствие расслоения между первым адгезионным промежуточным слоем 1021 и пленкой 101 ITO, особенно в краевой области.

[00117] В некоторых конкретных реализациях защитный слой 103 в основном образован по меньшей мере одним из кремнийсодержащего вещества, алюминийсодержащего вещества или магнийсодержащего вещества. Например, защитный слой 103 может быть образован кремнийсодержащим веществом, или алюминийсодержащим веществом, или магнийсодержащим веществом. Предпочтительно защитный слой 103 образован кремнийсодержащим веществом или алюминийсодержащим веществом. Кремнийсодержащим веществом может быть, например, SiO₂ или SiN. Магнийсодержащее вещество может представлять собой Al₂O₃ или подобное_. Использование вышеуказанного вещества в качестве защитного слоя может эффективно защитить первый адгезионный промежуточный слой и повысить силу сцепления между первым адгезионным промежуточным слоем и пленкой ITO.

[00118] В некоторых реализациях защитный слой 103 в основном образован SiO₂. Поскольку исходный материал SiO₂ может использоваться в процессе изготовления проводящего электрода (стеклянной подложки), SiO₂ используется для формирования защитного слоя, который характеризуется более легким захватом материала, экономичностью и практичностью, а также хорошими эффектами применения.

[00119] В частности, как показано на фиг. 4, в реализации проводящий электрод 1 включает в себя стеклянную подложку 100, пленку 101 ITO, расположенную на поверхности стеклянной подложки 100, слой Cr1 (первый адгезионный промежуточный слой 1021), расположенный на поверхности пленки 101 ITO, защитный слой 103 SiO₂, расположенный на краю слоя Cr1, слой Cr2 (второй адгезионный промежуточный слой 1022), расположенный на поверхности слоя Cr1, и слой Au (металлический слой 104), расположенный на поверхности слоя Cr2.

[00120] В частности, со ссылкой на фиг. 4, в реализации проводящий электрод 1 включает в себя стеклянную подложку 100, пленку 101 ITO, расположенную на поверхности стеклянной подложки 100, слой Ti1, расположенный на поверхности пленки 101 ITO_, защитный слой SiO₂, расположенный на краю слоя Ti1, слой Ti2, расположенный на поверхности слоя Ti1, и слой Au, расположенный на поверхности слоя Ti2.

[00121] В частности, как показано на фиг. 4, в реализации проводящий электрод 1 включает в себя стеклянную подложку 100, пленку 101 ITO, расположенную на поверхности стеклянной подложки 100, слой Cr1, расположенный на поверхности пленки 101 ITO_, защитный слой SiO₂, расположенный на краю слоя Cr1, слой Cr2, расположенный на поверхности слоя Cr1, и слой Pt, расположенный на поверхности слоя Cr2.

[00122] Специалисту в данной области техники должно быть понятно, что защитный слой SiO₂ 103 может быть расположен на краевой поверхности слоя Cr1, а слой Cr2 может быть расположен на поверхности слоя Cr1, отличной от краевой поверхности слоя Cr1.

[00123] В некоторых конкретных реализациях толщина защитного слоя 103 больше, чем толщина адгезионного промежуточного слоя 102. В некоторых реализациях толщина защитного слоя 103 больше, чем сумма толщины адгезионного промежуточного слоя 102 и толщины металлического слоя 104.

[00124] Толщина защитного слоя 103 может быть, например, больше или равна 1,0 мкм, предпочтительно больше или равна 1,5 мкм, более предпочтительно примерно 2 мкм и обычно, но не ограничиваясь, например, 1,5 мкм, 1,8 мкм. мкм, 2,0 мкм, 2,2 мкм или 2,5 мкм.

[00125] В некоторых конкретных реализациях толщина адгезионного промежуточного слоя 102 составляет 50-100 нм. Кроме того, адгезионный промежуточный слой 102 включает в себя первый адгезионный промежуточный слой 1021 и второй адгезионный промежуточный слой 1022, причем первый адгезионный промежуточный слой 1021 и второй адгезионный промежуточный слой 1022 независимо друг от друга имеют толщину 50-100 нм, то есть толщина первого адгезионного промежуточного слоя 1021 и второго адгезионного промежуточного слоя 1022 регулируются на уровне 50-100 нм.

[00126] В некоторых конкретных реализациях толщина металлического слоя 104 составляет 75-300 нм.

[00127] Основываясь на всестороннем рассмотрении надежности применения и затрат на обработку, выбирают защитный слой, металлический слой или адгезионный промежуточный слой в пределах вышеуказанного диапазона толщины. Например, при толщине адгезионного промежуточного слоя 102 менее 50 нм его компактность недостаточна, что влияет на адгезию покрытия, тем самым сказываясь на надежности; когда толщина слишком велика, это влияет на эффективность покрытия и она является чрезмерно низкой, а стоимость изготовления увеличивается. Адгезионный промежуточный слой и металлический слой в вышеприведенном диапазоне толщины могут иметь лучшие общие характеристики и лучшие практические эффекты применения.

[00128] В некоторых конкретных реализациях способ формирования адгезионного промежуточного слоя 102 включает в себя осаждение;

и/или способ формирования металлического слоя 104 включает в себя осаждение;

в некоторых реализациях осаждение включает физическое осаждение из паровой фазы (PVD) или химическое осаждение из паровой фазы (CVD); а также

в некоторых реализациях физическое осаждение из паровой фазы включает в себя способ магнетронного напыления.

[00129] Следует понимать, что существует множество способов формирования упомянутого выше адгезионного промежуточного слоя или металлического слоя. Например, способ осаждения может использоваться для формирования адгезионного промежуточного слоя на поверхности прозрачной проводящей пленки, и способ осаждения может использоваться для формирования металлического слоя на поверхности адгезионного промежуточного слоя. Могут быть различные способы осаждения. Например, могут быть использованы различные способы PVD или различные способы CVD. В некоторых реализациях адгезионный промежуточный слой и металлический слой изготавливают с использованием способа магнетронного напыления, который характеризуется хорошей однородностью покрытия, простотой контроля толщины пленки, высокой производительностью, высокой эффективностью производства и т.п.

[00130] Фиг. 9 представляет собой блок-схему последовательности этапов способа изготовления проводящего электрода согласно примерному варианту реализации данной заявки.

[00131] Как показано на фиг. 9, способ изготовления проводящего электрода 1 может включать в себя:

изготовление пленки 101 ITO на поверхности стеклянной подложки 100;

изготовление адгезионного промежуточного слоя 102 на поверхности пленки 101 ITO; а также

изготовление металлического слоя 104, в основном образованного драгоценным металлом, на поверхности адгезионного промежуточного слоя 102.

[00132] Вышеупомянутый способ изготовления пленки 101 ITO, адгезионного промежуточного слоя 102 и металлического слоя 104 предпочтительно представляет собой способ магнетронного напыления. Адгезионный промежуточный слой 102 и металлический слой 104 изготавливаются на пленке 101 ITO с использованием способа магнетронного напыления, который улучшает поверхностные свойства ITO, увеличивает силу сцепления (прочность сцепления) между электродом ITO и проводящим адгезионным материалом, и повышает надежность сцепления между проводящим электродом и внешним электродом.

[00133] В некоторых реализациях способ магнетронного напыления используется для того, чтобы сначала нанести первый адгезионный промежуточный слой 1021 на поверхность пленки 101 ITO, а затем нанести второй адгезионный промежуточный слой 1022 на поверхность первого адгезионного промежуточного слоя 1021. В некоторых реализациях первый адгезионный промежуточный слой 1021 и второй адгезионный промежуточный слой 1022 изготовлены из одного и того же материала.

[00134] В некоторых реализациях способ магнетронного напыления используется для того, чтобы сначала нанести первый адгезионный промежуточный слой 1021 на поверхность пленки 101 ITO, затем покрыть край первого адгезионного промежуточного слоя 1021 защитным слоем 103, нанести второй адгезионный промежуточный слой 1022 на поверхность первого адгезионного промежуточного слоя 1021, а затем нанести металлический слой 104 на поверхность второго адгезионного промежуточного слоя 1022.

[00135] В некоторых реализациях способ включает в себя многократные этапы нанесения фоторезиста, экспонирования, проявления и очистки.

[00136] Следует отметить, что в приведенных выше операциях конкретные операции покрытия фоторезистом, экспонирования, проявления и очистки конкретно не ограничены в данной заявке, и специалист в данной области техники может узнать, обратившись к известному уровню техники, что операции могут выполняться способом, хорошо известным в данной области техники, и может надлежащим образом контролироваться специалистом в данной области техники на основании реальной ситуации.

[00137] В некоторых реализациях способ включает в себя: нанесение пленки 101 ITO на поверхность стеклянной подложки 100, а затем последовательное выполнение очистки, покрытия фоторезистом, экспонирования, проявления и шаблонного травления цепи для получения основного проводящего электрода; а также

нанесение адгезионного промежуточного слоя 102 и металлического слоя 104 на поверхность основного проводящего электрода последовательно для получения проводящего электрода 1.

[00138] В некоторых реализациях после получения основного проводящего электрода сначала выполняется очистка, покрытие фоторезистом, экспозиция и проявление на пленке 101 ITO, а адгезионный средний слой 102 наносят на поверхность основного проводящего электрода; а также

затем снова осуществляют очистку, покрытие фоторезистом, экспонирование и проявление, и на поверхность адгезионного среднего слоя 102 наносят металлический слой 104.

[00139] В некоторых реализациях после получения основного проводящего электрода сначала выполняется очистка, покрытие фоторезистом, экспонирование и проявление на пленке 101 ITO, а на поверхность основного проводящего электрода наносят первый адгезионный средний слой 1021;

затем снова осуществляют очистку, покрытие фоторезистом, экспонирование и проявление, а на краевую поверхность первого адгезионного среднего слоя 1021 наносят защитный слой 103; а также

затем снова выполняют очистку, покрытие фоторезистом, экспонирование и проявление, на поверхность первого адгезионного среднего слоя 1021 наносят второй адгезионный средний слой 1022, а на поверхность второго адгезионного среднего слоя 1022 наносят металлический слой 104.

[00140] В некоторых реализациях обнаружение выполняется после каждой очистки. После каждого процесса очистки необходимо строго проверять, очищен ли электрод, чтобы убедиться в отсутствии остатков фоторезиста. Например, для полного осмотра каждого электрода можно использовать оптический микроскоп со 100-кратным увеличением.

[00141] В некоторых реализациях очистка каждый раз выполняется около 7 часов; и таким образом можно очистить электрод.

[00142] В частности, как показано на фиг. 4, фиг. 5 и фиг. 9, проводящий электрод 1 включает в себя стеклянную подложку 100, пленку 101 ITO, расположенную на поверхности стеклянной подложки 100, слой Cr1, расположенный на поверхности пленки 101 ITO, защитный слой SiO₂, расположенный на краю слоя Cr1, слой Cr2, расположенный на поверхности слоя Cr1, и слой Au, расположенный на поверхности слоя Cr2, взяты в качестве примера для подробного описания конкретного процесса получения покрытия Cr/Au способом магнетронного напыления.

[00143] Способ включает в себя: напыление пленки 101 ITO на поверхность стеклянной подложки 100, а затем выполнение очистки, покрытия фоторезистом, экспонирования, проявления и травления с требуемой цепью ITO (травление по шаблону цепи с требуемой линией ITO 110) чтобы получить основной токопроводящий электрод;

после получения основного проводящего электрода сначала выполняют очистку, покрытие фоторезистом, экспонирование и проявление на пленке 101 ITO и нанесение слоя Cr1 на поверхность основного проводящего электрода;

затем выполняют очистку, покрытие фоторезистом, снова экспонирование и проявление и покрытие краевой поверхности слоя Cr1 защитным слоем SiO₂ 103; а также

затем выполняют очистку, покрытие фоторезистом, экспозицию и снова проявляют, нанесение слоя Cr2 на поверхность слоя Cr1 и нанесение металлического слоя 104 на поверхность слоя Cr2.

[00144] Процесс покрытия фоторезистом, экспонирование, проявка и очистка выполняется многократно при изготовлении слоя Cr/Au, и после каждой очистки требуется детектирование. После каждого процесса очистки необходимо строго проверять, очищен ли электрод, чтобы убедиться в отсутствии остатков фоторезиста. Например, для полного осмотра каждого электрода можно использовать оптический микроскоп со 100-кратным увеличением.

[00145] Принят двухслойный процесс покрытия Cr, а край первого слоя Cr1 покрыт защитным слоем SiO₂, что может гарантировать отсутствие расслоения между слоем Cr1 и пленкой ITO, особенно в краевой области.

[00146] Специалисту в данной области техники должно быть понятно, что когда первый адгезионный промежуточный слой 1021 и второй адгезионный промежуточный слой 1022 представляют собой слой Ti1 и слой Ti2 соответственно, или металлический слой 104 представляет собой слой Pt или слой Pd, или другие адгезионные промежуточные слои или металлические слои принимаются, все они могут быть изготовлены с использованием процесса.

[00147] Используется процесс покрытия двойными адгезионными промежуточными слоями. Край первого адгезионного промежуточного слоя 1021 покрыт защитным слоем 103, который может гарантировать, что между первым адгезионным промежуточным слоем 1021 и пленкой 101 ITO не произойдет расслаивание. Два адгезионных промежуточных слоя предназначены главным образом для использования защитного слоя для защиты первого адгезионного промежуточного слоя, чтобы увеличить силу сцепления между первым адгезионным промежуточным слоем и пленкой ITO, особенно в краевой области.

[00148] Адгезионный промежуточный слой и металлический слой изготавливаются с использованием способа магнетронного напыления, который отличается хорошей однородностью покрытия, простотой регулирования толщины пленки, высокой производительностью и т.п. Путем магнетронного напыления целевых исходных материалов и настройки программы партия материалов может быть покрыта слоем Cr/Au за один раз, что еще больше улучшит UPH.

[00149] После того, как покрытие завершено, из-за значительной разницы в цвете между поверхностью Au и поверхностью Cr и другими загрязненными поверхностями может быть реализована автоматическая полная проверка устройства CCD, чтобы полностью гарантировать качество продуктов с покрытием Au.

[00150] Из фиг. 10 видно, что проводящий электрод в соответствии с этой заявкой может увеличить прочность сцепления проводящего адгезионного материала с проводящим электродом, и по сравнению с предшествующим уровнем техники проводящий электрод в соответствии с данной заявкой может увеличить прочность сцепления проводящего адгезионного материала с проводящим электродом примерно в 1,5 раза.

[00151] Следует понимать, что содержимое, не описанное подробно в описании электронного устройства после описанного выше способа изготовления проводящего электрода, представляет собой обычные конструкции или рабочие параметры, которые легко понять специалисту в данной области техники, такие как конкретные операции покрытия фоторезистом, экспонирования, проявки и т.п., и может быть скорректировано со ссылкой на предшествующий уровень техники или специалистом в данной области техники на основании реальной ситуации, так что его подробное описание может быть опущено.

[00152] Следует отметить, что часть документа заявки на патент включает в себя содержание, защищенное авторским правом. В дополнение к копированию содержимого патентных документов или зарегистрированных патентных документов Китайской национальной администрации интеллектуальной собственности владелец авторских прав сохраняет за собой авторские права.

Claims (38)

1. Проводящий электрод, содержащий:

прозрачную проводящую пленку, расположенную на подложке;

адгезионный промежуточный слой, расположенный на прозрачной проводящей пленке; и

металлический слой, расположенный на адгезионном промежуточном слое, причем металлический слой в основном образован драгоценным металлом и выполнен с возможностью соединения с внешней цепью;

при этом проводящий электрод также содержит защитный слой, и защитный слой расположен на краю адгезионного промежуточного слоя, или защитный слой расположен на краях как адгезионного промежуточного слоя, так и металлического слоя.

2. Проводящий электрод по п. 1, в котором драгоценный металл содержит по меньшей мере один из Au, Ag, Pd, Pt, Rh или Ru.

3. Проводящий электрод по п. 1, в котором адгезионный промежуточный слой в основном образован, по меньшей мере, одним материалом из Cr, Ti или нержавеющей стали.

4. Проводящий электрод по п. 1, в котором адгезионный промежуточный слой содержит по меньшей мере первый адгезионный промежуточный слой и второй адгезионный промежуточный слой.

5. Проводящий электрод по п. 4, в котором край первого адгезионного промежуточного слоя снабжен защитным слоем.

6. Проводящий электрод по любому из пп. 1-5, в котором защитный слой в основном образован по меньшей мере одним из кремнийсодержащего вещества, алюминийсодержащего вещества или магнийсодержащего вещества, и предпочтительно в основном образован по меньшей мере одним из SiO₂, SiN или Al₂O₃.

7. Проводящий электрод по любому из пп. 1-5, в котором толщина защитного слоя больше толщины адгезионного промежуточного слоя;

или толщина защитного слоя больше, чем сумма толщины адгезионного промежуточного слоя и толщины металлического слоя.

8. Проводящий электрод по п. 1, в котором толщина адгезионного промежуточного слоя составляет 50-100 нм.

9. Проводящий электрод по п. 1, в котором толщина металлического слоя составляет 75-300 нм.

10. Проводящий электрод по п. 1, в котором метод формирования адгезионного промежуточного слоя содержит осаждение и предпочтительно представляет собой метод магнетронного напыления;

и/или способ формирования металлического слоя содержит осаждение и предпочтительно представляет собой метод магнетронного напыления.

11. Проводящий электрод по п. 1, в котором прозрачная проводящая пленка содержит по меньшей мере одно из следующего: пленку из оксида индия-олова, пленку из оксида индия-цинка, пленку из оксида индия-цинка-олова, пленку из оксида индия-алюминия-цинка, пленку из оксида индия-галлия-цинка, или пленку из оксида индия-галлия-олова.

12. Проводящий электрод по п. 1, в котором внешняя цепь имеет внешний электрод, и проводящий электрод соединен с внешним электродом с помощью проводящего адгезионного материала.

13. Проводящий электрод по п. 12, в котором проводящий электрод соединен с боковой стороной внешнего электрода с помощью проводящего адгезионного материала;

или токопроводящий электрод соединен с нижней поверхностью внешнего электрода с помощью токопроводящего адгезионного материала;

или проводящий электрод соединен с внешним электродом с помощью проводящего адгезионного материала и проволоки.

14. Способ изготовления проводящего электрода, содержащий этапы, на которых:

формируют прозрачную проводящую пленку на поверхности подложки;

формируют адгезионный промежуточный слой на поверхности прозрачной проводящей пленки;

формируют металлический слой на поверхности адгезионного промежуточного слоя, причем металлический слой в основном образован драгоценным металлом и выполнен с возможностью соединения с внешней цепью; и

формируют защитный слой на краю адгезионного промежуточного слоя.

15. Способ изготовления проводящего электрода по п. 14, в котором для нанесения адгезионного промежуточного слоя на поверхность прозрачной проводящей пленки используется метод осаждения, и предпочтительно способ осаждения содержит магнетронное напыление;

и/или для нанесения металлического слоя на поверхность адгезионного промежуточного слоя используется метод осаждения, и предпочтительно метод осаждения содержит магнетронное напыление.

16. Способ изготовления проводящего электрода по п. 14, в котором метод осаждения используют для нанесения первого адгезионного промежуточного слоя на поверхность прозрачной проводящей пленки; и

второй адгезионный промежуточный слой наносят на поверхность первого адгезионного промежуточного слоя.

17. Способ изготовления проводящего электрода по п. 14, в котором метод осаждения используют для того, чтобы сначала нанести первый адгезионный промежуточный слой на поверхность прозрачной проводящей пленки, затем покрыть край первого адгезионного промежуточного слоя защитным слоем, нанести второй адгезионный промежуточный слой на поверхность первого адгезионного промежуточного слоя, а затем нанести металлический слой на поверхность второго адгезионного промежуточного слоя.

18. Способ изготовления проводящего электрода по п. 14, который включает в себя многократные стадии покрытия фоторезистом, экспонирования, проявления и очистки.

19. Способ изготовления проводящего электрода по любому из пп. 14-18, в котором драгоценный металл содержит по меньшей мере один из Au, Ag, Pd, Pt, Rh или Ru.

20. Способ изготовления проводящего электрода по любому из пп. 14-18, в котором адгезионный промежуточный слой в основном образован по меньшей мере одним материалом из Cr, Ti или нержавеющей стали.

21. Способ изготовления проводящего электрода по любому из пп. 14-18, в котором изготовленный проводящий электрод соединяют с боковой стороной внешнего электрода с помощью проводящего адгезионного материала;

или изготовленный проводящий электрод соединяют с нижней поверхностью внешнего электрода с помощью проводящего адгезионного материала;

или изготовленный проводящий электрод соединяют с внешним электродом с помощью проводящего адгезионного материала и проволоки.

22. Электронное устройство, содержащее внешнюю цепь, при этом электронное устройство содержит проводящий электрод по любому из пп. 1-13 или проводящий электрод, полученный с использованием способа изготовления по любому из пп. 14-21, и металлический слой соединен с внешней цепью посредством сцепления.