RU2772854C1

RU2772854C1 - Coated article with an ir-reflecting layer or layers and a zirconium-silicon oxynitride layer or layers

Info

Publication number: RU2772854C1
Application number: RU2021103575A
Authority: RU
Inventors: Бернд ДИСТЕЛЬДОРФ; Антон ДИТРИХ; Франсис ВЮЙОМ
Original assignee: ГАРДИАН ГЛАСС, ЭлЭлСи; ГАРДИАН ЮРОП С.а.р.л.
Priority date: 2018-07-16
Filing date: 2019-07-16
Publication date: 2022-05-26

Abstract

FIELD: layered products.

SUBSTANCE: invention relates to coated articles usable in relation to insulating glass units or in other corresponding fields of application, in particular, in solid windows, multilayer windows, or in other similar areas. Coating with a low emission coefficient includes a first and a second infrared (IR) emission-reflecting silver-containing layers. The second silver-containing layer is therein at least 10 angstrom thicker than the first one. The coating includes a lower dielectric part including a zirconium-silicon oxynitride-containing layer, and a middle dielectric part including a zinc stannate-containing layer. The configuration of the coating is designed to implement a combination of a preferred transmission coefficient in the visible spectral range, consistent low values of the emission coefficient, thermal stability during additional heat treatment, e.g., during thermal tempering, a preferred value of heat conductivity U, a preferred value of LSG selectivity for the multilayer protective glass, and achievement of preferred values of staining and (or) reflection coefficient. In particilar examples of implementation, an absorbing layer may be located between the pair of dielectric layers.

EFFECT: creation of a coated article suitable for use in windows.

30 cl, 10 dwg, 3 tbl, 14 ex

Description

[0001] Данное изобретение относится к изделию с покрытием, на которое нанесено покрытие с малым коэффициентом излучения, включающее по меньшей мере первый и второй слои, отражающие инфракрасное (ИК) излучение, из или с содержанием серебра или другого аналогичного материала. Покрытие с малым коэффициентом излучения разработано в целях реализации в покрытом изделии одного или нескольких аспектов: предпочтительного коэффициента пропускания в видимом диапазоне спектра, последовательных и низких значений коэффициента излучения, термической устойчивости при дополнительной термообработке, например, при термическом отпуске, низкого значения теплопроводности U, предпочтительного значения селективности LSG для многослойного защитного стекла и предпочтительных значений окрашивания и (или) коэффициента отражения. В определенных примерах реализации покрытие включает в себя нижнюю диэлектрическую часть, в том числе слой из или с содержанием оксинитрида цирконий-кремния, и среднюю диэлектрическую часть, в том числе слой из или с содержанием станната цинка. Было обнаружено, что совместное использование по меньшей мере нижней диэлектрической части, включая слой из или с содержанием оксинитрида цирконий-кремния, и средней диэлектрической части, включая слой из или с содержанием станната цинка, позволяет добиться сочетания предпочтительного коэффициента пропускания в видимом диапазоне спектра, последовательных и низких значений коэффициента излучения, термической устойчивости при термообработке, например, при термическом отпуске, предпочтительного значения теплопроводности U, предпочтительного значения селективности LSG и достижения предпочтительных значений окрашивания и (или) коэффициента отражения. В определенных примерах реализации может использоваться поглощающий слой, расположенный между парой диэлектрических слоев и предназначенный для регулировки коэффициента пропускания в видимом диапазоне спектра там, где предпочтительным является использование покрытия с более низким коэффициентом пропускания в видимом диапазоне спектра. Изделия с покрытием, описанные в данном документе, могут использоваться применительно к блокам изоляционных стеклопакетов или в других соответствующих областях применения, в частности, в монолитных окнах, многослойных окнах и (или) в других аналогичных сферах. [0001] The present invention relates to a coated article coated with a low emissivity coating including at least first and second infrared (IR) reflective layers of or containing silver or the like. A low emissivity coating is designed to achieve in the coated article one or more of the following: a preferred visible transmittance, consistent and low emissivity values, thermal stability with additional heat treatment, such as thermal tempering, a low thermal conductivity U value, a preferred LSG selectivity values for laminated safety glass and preferred coloration and/or reflectance values. In certain embodiments, the coating includes a lower dielectric portion, including a layer of or containing zirconium silicon oxynitride, and a middle dielectric portion, including a layer of or containing zinc stannate. It has been found that the combined use of at least a lower dielectric portion, including a layer of or containing zirconium silicon oxynitride, and a middle dielectric portion, including a layer of or containing zinc stannate, allows for a combination of preferred transmittance in the visible range of the spectrum, successive and low values of emissivity, thermal stability during heat treatment, for example, when thermal tempering, the preferred value of thermal conductivity U, the preferred value of selectivity LSG and the achievement of preferred values of coloration and/or reflectance. In certain embodiments, an absorber layer can be used between a pair of dielectric layers to adjust visible transmittance where a lower visible transmittance coating is preferred. The coated articles described herein may be used in insulating glass units or other relevant applications, such as monolithic windows, laminated windows, and/or other similar applications.

ПРЕДПОСЫЛКИ СОЗДАНИЯ И КРАТКОЕ ИЗЛОЖЕНИЕ СУЩНОСТИ ПРИМЕРОВ РЕАЛИЗАЦИИ ИЗОБРЕТЕНИЯBACKGROUND OF CREATION AND BRIEF STATEMENT OF THE ESSENCE OF EXAMPLES OF IMPLEMENTATION OF THE INVENTION

[0002] Изделия с покрытием известны на основании уровня развития техники и используются при изготовлении окон, в частности, блоков изоляционных стеклопакетов, автомобильных стекол, монолитных стекол, и (или) в других аналогичных областях. В определенных примерах реализации разработчики изделий с покрытием зачастую стремятся к получению сочетания предпочтительного коэффициента пропускания в видимом диапазоне спектра, предпочтительного цвета, низкого коэффициента излучения (излучательной способности), низкого поверхностного сопротивления слоя (Rs), предпочтительных значений селективности (LSG) и (или) предпочтительных значений теплопроводности (U) в контексте производства блоков изоляционных стеклопакетов. Предпочтительный коэффициент пропускания в видимом диапазоне спектра и предпочтительное окрашивание позволяют использовать изделия с покрытием в тех областях, где эти характеристики являются востребованными, например, при производстве блоков изоляционных стеклопакетов или автомобильных стекол, тогда как низкий коэффициент излучения и низкое поверхностное сопротивление слоя позволяют таким изделиям с покрытием блокировать значительное количество ИК-излучения для снижения степени нежелательного нагревания внутреннего пространства автомобиля или здания. [0002] Coated products are known in the art and are used in the manufacture of windows, in particular insulating glass units, automotive glass, monolithic glass, and/or other similar fields. In certain implementations, coated product designers often seek a combination of preferred visible transmittance, preferred color, low emissivity (emissivity), low layer sheet resistance (Rs), preferred selectivity values (LSG), and/or preferred values of thermal conductivity (U) in the context of the production of insulating glass units. The preferred visible transmittance and preferred coloration allow coated products to be used in applications where these characteristics are required, such as insulating glass units or automotive glass, while the low emissivity and low sheet resistance of the layer allow such products to coated block a significant amount of IR radiation to reduce the degree of unwanted heating of the interior of a car or building.

[0003] Покрытия с низким коэффициентом пропускания обычно осаждаются на стеклянную подложку путем распыления. Значения коэффициента излучения и (или) поверхностного сопротивления слоя покрытия или изделия с покрытием в значительной степени определяются ИК-отражающим слоем или слоями, которые обычно изготавливаются из серебра или аналогичного материала. Однако сложность представляло достижение низкого разброса допустимых значений в отношении значений коэффициента излучения для таких покрытий. Иными словами, проблемой с точки зрения уровня развития техники являлась сложность достижения предпочтительного низкого значения коэффициента излучения и (или) значения поверхностного сопротивления слоя в пределах заданного небольшого диапазона разброса допустимых значений. Диапазон разброса допустимых значений был больше, чем хотелось бы. [0003] Low transmittance coatings are typically deposited onto the glass substrate by sputtering. The emissivity and/or surface resistivity of a coated layer or coated article is largely determined by the IR reflective layer or layers, which are typically made of silver or a similar material. However, it has been difficult to achieve a low tolerance range for emissivity values for such coatings. In other words, the problem in terms of the state of the art has been the difficulty of achieving the preferred low value of the emissivity and/or the value of the sheet resistance of the layer within a given small range of acceptable values. The scatter range of allowable values was larger than desired.

[0004] В связи с вышеизложенным признается, что в данной области развития техники существует потребность в изделии с покрытием, в том числе с покрытием с низким коэффициентом излучения, которое разработано таким образом, чтобы обеспечивать достижение предпочтительного значения коэффициента излучения в пределах заданного небольшого диапазона разброса допустимых значений (например, допуск плюс/минус 1%). Также желательно предоставить такое покрытие, которое обеспечивает один или несколько из следующих аспектов: высокий коэффициент пропускания в видимом диапазоне спектра, низкое значение коэффициента излучения, термическую устойчивость при дополнительной термообработке, например, при термическом отпуске, низкое значение теплопроводности U и предпочтительные значения окрашивания и (или) коэффициента отражения. [0004] In view of the foregoing, it is recognized that there is a need in the art for a coated article, including a low emissivity coating, that is designed to achieve a preferred emissivity value within a given small spread range. allowable values (for example, plus/minus 1% tolerance). It is also desirable to provide a coating that provides one or more of the following: high visible transmittance, low emissivity, thermal stability with additional heat treatment such as thermal tempering, low thermal conductivity U, and preferred coloration values and ( or) reflection coefficient.

[0005] Традиционно сложность представляло достижение предпочтительных значений селективности LSG и низких значений ΔE* (например, отражающей способности на стороне стекла) в покрытиях, имеющих два ИК-отражающих слоя на основе серебра. В примерах реализации данного изобретения, к удивлению, было обнаружено, что предпочтительные значения селективности LSG и низкие значения ΔE* (например, отражающей способности на стороне стекла) в покрытиях с двумя ИК-отражающими слоями на основе серебра являются достижимыми совместно с другими оптическими характеристиками при сочетании следующих аспектов: (a) второй ИК-отражающий слой с содержанием серебра толще первого ИК-отражающего слоя с содержанием серебра, более предпочтительно, чтобы второй ИК-отражающий слой был по меньшей мере на 10 ангстремов (Å) толще (более предпочтительно по меньшей мере на 20 ангстремов толще, еще более предпочтительно по меньшей мере на 30 ангстремов толще и наиболее предпочтительно по меньшей мере на 40 ангстремов толще) первого ИК-отражающего слоя с содержанием серебра; (b) наличие нижней диэлектрической части, в том числе слоя из или с содержанием оксинитрида цирконий-кремния; (c) наличие средней диэлектрической части, в том числе слоя или слоев из или с содержанием станната цинка; (d) слой на основе оксинитрида цирконий-кремния в нижней диэлектрической части многослойного покрытия толще (предпочтительно по меньшей мере на 10 ангстремов толще, более предпочтительно по меньшей мере на 20 ангстремов толще и наиболее предпочтительно по меньшей мере на 30 ангстремов толще) слоя на основе станната цинка в нижней диэлектрической части многослойного покрытия; (e) по меньшей мере один слой на основе станната цинка в центральной диэлектрической части многослойного покрытия толще (предпочтительно по меньшей мере на 20 ангстремов толще, более предпочтительно по меньшей мере на 40 ангстремов толще и наиболее предпочтительно по меньшей мере на 60 ангстремов толще) слоя на основе оксинитрида цирконий-кремния в нижней диэлектрической части многослойного покрытия; и в качестве опции (f) поглотитель 14 в центре многослойного покрытия между парой слоев с содержанием нитрида кремния 13, 13’. [0005] Traditionally, it has been difficult to achieve the preferred LSG selectivity and low ΔE* values (eg, glass-side reflectivity) in coatings having two silver-based IR reflective layers. In embodiments of the present invention, it has surprisingly been found that the preferred LSG selectivity and low ΔE* values (e.g., glass-side reflectance) in coatings with two silver-based IR reflective layers are achievable, together with other optical characteristics, at combination of the following aspects: (a) the second IR reflective layer containing silver is thicker than the first IR reflective layer containing silver, more preferably the second IR reflective layer is at least 10 angstroms (Å) thicker (more preferably at least at least 20 angstroms thicker, even more preferably at least 30 angstroms thicker, and most preferably at least 40 angstroms thicker) of the first silver containing IR reflective layer; (b) the presence of a lower dielectric part, including a layer of or containing zirconium-silicon oxynitride; (c) the presence of a middle dielectric part, including a layer or layers of or containing zinc stannate; (d) the zirconium silicon oxynitride layer in the lower dielectric portion of the multilayer coating is thicker (preferably at least 10 angstroms thicker, more preferably at least 20 angstroms thicker, and most preferably at least 30 angstroms thicker) of the base layer. zinc stannate in the lower dielectric part of the multilayer coating; (e) at least one zinc stannate layer in the central dielectric portion of the multilayer coating is thicker (preferably at least 20 angstroms thicker, more preferably at least 40 angstroms thicker and most preferably at least 60 angstroms thicker) of the layer based on zirconium-silicon oxynitride in the lower dielectric part of the multilayer coating; and optionally (f) an absorber 14 at the center of the multilayer coating between a pair of layers containing silicon nitride 13, 13'.

[0006] В определенных примерах реализации было обнаружено, что сочетание по меньшей мере нижней диэлектрической части, включая слой из или с содержанием оксинитрида цирконий-кремния, и средней диэлектрической части (между ИК-отражающими слоями), включая слой из или с содержанием станната цинка, позволяет добиться сочетания предпочтительного коэффициента пропускания в видимом диапазоне спектра, последовательных и низких значений коэффициента излучения, термической устойчивости при термообработке, например, при термическом отпуске, предпочтительного значения теплопроводности U, предпочтительного значения селективности LSG и достижения предпочтительных значений окрашивания и (или) коэффициента отражения. В определенных примерах реализации может использоваться поглощающий слой, расположенный между парой диэлектрических слоев и предназначенный для регулировки коэффициента пропускания в видимом диапазоне спектра там, где предпочтительным является использование покрытия с более низким коэффициентом пропускания в видимом диапазоне спектра. Слой из или с содержанием оксинитрида цирконий-кремния в нижней диэлектрической части покрытия, между стеклянной подложкой и самым нижним ИК-отражающим слоем (например, из серебра или другого аналогичного материала), повышает качество ИК-отражающего слоя, тем самым позволяя изделию с покрытием демонстрировать низкие значения коэффициента излучения при низком разбросе допустимых значений. К удивлению, было обнаружено, что нанесение оксинитрида цирконий-кремния под слой из или с содержанием станната цинка и под слой из или с содержанием оксида цинка в нижней диэлектрической части покрытия улучшает качество серебра и тем самым понижает значения коэффициента излучения и предпочтительным образом понижает допустимые значения излучения. Даже если оксинитрид цирконий-кремния не находится в непосредственном контакте с ИК-отражающим слоем, он все равно повышает качество укрывающего ИК-отражающего слоя, тем самым обеспечивая возможность улучшения температурных характеристик покрытия и его изготовления более последовательным способом. Было установлено, что ИК-отражающий слой нарастает лучше и имеет более гладкое основание, что проще с точки зрения последовательного дальнейшего воспроизведения. Также было обнаружено, что использование слоя из или с содержанием оксида титана (например, TiO₂) поверх оксинитрида цирконий-кремния приводит к повышению способности изделия с покрытием пропускать свет в видимом диапазоне спектра и, при необходимости, к улучшению оптических характеристик, а также к повышению линейной скорости. [0006] In certain embodiments, it has been found that the combination of at least a lower dielectric portion, including a layer of or containing zirconium silicon oxynitride, and a middle dielectric portion (between IR reflective layers), including a layer of or containing zinc stannate , allows you to achieve a combination of preferred visible transmittance, consistent and low emissivity, thermal stability during heat treatment, for example, thermal tempering, preferred thermal conductivity U, preferred LSG selectivity and achieve preferred coloring and / or reflectance values . In certain embodiments, an absorber layer can be used between a pair of dielectric layers to adjust visible transmittance where a lower visible transmittance coating is preferred. A layer of or containing zirconium-silicon oxynitride in the lower dielectric portion of the coating, between the glass substrate and the lowest IR reflective layer (e.g. silver or similar material), improves the quality of the IR reflective layer, thereby allowing the coated product to exhibit low values of the emissivity with a low spread of allowable values. Surprisingly, it has been found that the application of zirconium silicon oxynitride under a layer of or containing zinc stannate and under a layer of or containing zinc oxide in the lower dielectric part of the coating improves the quality of the silver and thereby lowers the emissivity values and preferably lowers the allowable values. radiation. Even if the zirconium-silicon oxynitride is not in direct contact with the IR reflective layer, it still improves the quality of the IR-cloaking layer, thereby allowing the coating to be improved in temperature performance and manufactured in a more consistent manner. It has been found that the IR reflective layer builds up better and has a smoother base, which is easier to reproduce consistently. It has also been found that the use of a layer of or containing titanium oxide (eg TiO ₂ ) on top of zirconium silicon oxynitride leads to an increase in the ability of the coated article to transmit light in the visible range and, if necessary, to an improvement in optical performance, as well as to increasing line speed.

[0007] В примере реализации данного изобретения используется изделие с покрытием, включающее покрытие, основой для которого служит стеклянная подложка и которое в направлении от стеклянной подложки включает в себя: диэлектрический слой с содержанием оксинитрида цирконий-кремния; первый слой с содержанием станната цинка; первый слой с содержанием оксида цинка, расположенный поверх и в непосредственном контакте со слоем с содержанием станната цинка; первый ИК-отражающий слой с содержанием серебра, расположенный на подложке поверх и в непосредственном контакте с первым слоем с содержанием оксида цинка; и контактный слой с содержанием оксида металла, расположенный поверх и в непосредственном контакте с первым ИК-отражающим слоем с содержанием серебра; второй слой с содержанием станната цинка на стеклянной подложке поверх по меньшей мере первого ИК-отражающего слоя и контактного слоя; второй слой с содержанием оксида цинка, расположенный поверх по меньшей мере второго слоя с содержанием станната цинка; второй ИК-отражающий слой с содержанием серебра, расположенный поверх по меньшей мере первого ИК-отражающего слоя, первого и второго слоев с содержанием станната цинка и первого и второго слоев с содержанием оксида цинка; еще один диэлектрический слой поверх по меньшей мере второго ИК-отражающего слоя с содержанием серебра; при этом покрытие имеет два ИК-отражающих слоя на основе серебра; при этом второй ИК-отражающий слой с содержанием серебра по меньшей мере на 10 ангстремов (Å) толще первого ИК-отражающего слоя с содержанием серебра; при этом диэлектрический слой с содержанием оксинитрида цирконий-кремния по меньшей мере на 10 ангстремов (Å) толще первого слоя с содержанием станната цинка; при этом второй слой с содержанием станната цинка по меньшей мере на 20 ангстремов (Å) толще диэлектрического слоя с содержанием оксинитрида цирконий-кремния. [0007] In an embodiment of the present invention, a coated article is used, including a coating based on a glass substrate and which, in the direction from the glass substrate, includes: a dielectric layer containing zirconium-silicon oxynitride; the first layer containing zinc stannate; a first zinc oxide layer placed over and in direct contact with the zinc stannate layer; a first IR-reflective layer containing silver, located on the substrate on top of and in direct contact with the first layer containing zinc oxide; and a contact layer containing metal oxide located on top of and in direct contact with the first IR-reflective layer containing silver; a second layer containing zinc stannate on a glass substrate over at least the first IR reflective layer and the contact layer; a second layer containing zinc oxide, located on top of at least a second layer containing zinc stannate; a second IR reflective layer containing silver, located on top of at least the first IR reflective layer, the first and second layers containing zinc stannate and the first and second layers containing zinc oxide; another dielectric layer on top of at least the second IR-reflective layer containing silver; while the coating has two IR-reflecting layers based on silver; wherein the second IR reflective layer containing silver is at least 10 angstroms (Å) thicker than the first IR reflective layer containing silver; wherein the dielectric layer containing zirconium-silicon oxynitride is at least 10 angstroms (Å) thicker than the first layer containing zinc stannate; while the second layer containing zinc stannate is at least 20 angstroms (Å) thicker than the dielectric layer containing zirconium-silicon oxynitride.

КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

[0008] РИСУНОК 1 является видом изделия с покрытием в разрезе, который соответствует примеру реализации данного изобретения. [0008] FIGURE 1 is a sectional view of a coated article that corresponds to an embodiment of the present invention.

[0009] РИСУНОК 2 является видом изделия с покрытием в разрезе, который соответствует другому примеру реализации данного изобретения. [0009] FIGURE 2 is a sectional view of a coated article that corresponds to another embodiment of the present invention.

[0010] РИСУНОК 3 является видом изделия с покрытием в разрезе, который соответствует другому примеру реализации данного изобретения, включая многослойное покрытие для Примеров 2, 4 и 6. [0010] FIGURE 3 is a sectional view of a coated article that corresponds to another embodiment of the present invention, including the multilayer coating for Examples 2, 4, and 6.

[0011] РИСУНОК 4 является видом изделия с покрытием в разрезе, который соответствует другому примеру реализации данного изобретения, включая многослойное покрытие для Примеров 1, 3 и 5. [0011] FIGURE 4 is a sectional view of a coated article that corresponds to another embodiment of the present invention, including the multi-layer coating for Examples 1, 3, and 5.

[0012] РИСУНОК 5 является схемой, которая иллюстрирует многослойные покрытия в соответствии с разными примерами реализации данного изобретения, включая многослойные покрытия для Примеров 7-10. [0012] FIGURE 5 is a diagram that illustrates multilayer coatings in accordance with various embodiments of the present invention, including multilayer coatings for Examples 7-10.

[0013] РИСУНОК 6 является диаграммой, которая иллюстрирует оптические, температурные и эксплуатационные характеристики для Примеров 1-6. [0013] FIGURE 6 is a diagram that illustrates the optical, thermal, and performance characteristics for Examples 1-6.

[0014] РИСУНОК 7 является диаграммой, которая иллюстрирует оптические, температурные и эксплуатационные характеристики для Примеров 7-10. [0014] FIGURE 7 is a diagram that illustrates the optical, thermal, and performance characteristics for Examples 7-10.

[0015] РИСУНОК 8 является диаграммой, которая иллюстрирует оптические, температурные и эксплуатационные характеристики для Примеров 11-14. [0015] FIGURE 8 is a diagram that illustrates the optical, thermal, and performance characteristics for Examples 11-14.

[0016] РИСУНОК 9 является видом изделия с покрытием в разрезе, который соответствует другому примеру реализации данного изобретения, включая многослойное покрытие для Примеров 11 и 13. [0016] FIGURE 9 is a sectional view of a coated article that corresponds to another embodiment of the present invention, including the multilayer coating for Examples 11 and 13.

[0017] РИСУНОК 10 является видом изделия с покрытием в разрезе, который соответствует другому примеру реализации данного изобретения, включая многослойное покрытие для Примеров 12 и 14. [0017] FIGURE 10 is a sectional view of a coated article that corresponds to another embodiment of the present invention, including the multilayer coating for Examples 12 and 14.

ПОДРОБНОЕ ОПИСАНИЕ ПРИМЕРОВ РЕАЛИЗАЦИИ ДАННОГО ИЗОБРЕТЕНИЯDETAILED DESCRIPTION OF EXAMPLES OF IMPLEMENTATION OF THE INVENTION

[0018] Теперь обратимся к чертежам, на которых одинаковые номера позиций обозначают одни и те же части на нескольких видах. [0018] Referring now to the drawings, in which like reference numerals designate the same parts in several views.

[0019] Описанные здесь изделия с покрытием могут использоваться в таких областях применения, как изготовление монолитных окон, блоков изоляционных стеклопакетов, которые содержат монолитные изделия с покрытием, автомобильных стекол, и (или) в любых других соответствующих областях применения, где имеется одна или несколько подложек, например, стеклянных подложек. [0019] The coated products described herein can be used in applications such as monolithic windows, insulating glass units that contain coated monolithic products, automotive glass, and/or any other relevant application where there is one or more substrates, such as glass substrates.

[0020] Определенные примеры реализации данного изобретения относятся к изделию с покрытием с малым коэффициентом излучения, основой для которого служит стеклянная подложка 1, покрытие с малым коэффициентом излучения содержит по меньшей мере первый и второй ИК-отражающие слои из или с содержанием серебра или другого аналогичного материала. Например, см. ИК-отражающие слои 9 и 19 на Рис. 1. Покрытие с малым коэффициентом излучения разработано в целях реализации в покрытом изделии сочетания следующих аспектов: предпочтительного коэффициента пропускания в видимом диапазоне спектра, последовательных и низких значений коэффициента излучения, термической устойчивости при дополнительной термообработке, например, при термическом отпуске, низкого значения теплопроводности U, предпочтительного значения селективности LSG для многослойного защитного стекла и предпочтительных значений окрашивания и (или) коэффициента отражения. В определенных примерах реализации покрытие включает в себя нижнюю диэлектрическую часть, в том числе слой из или с содержанием оксинитрида цирконий-кремния 2, и среднюю диэлектрическую часть, в том числе слой из или с содержанием станната цинка 12 и (или) 15. Было обнаружено, что сочетание по меньшей мере нижней диэлектрической части, включая слой из или с содержанием оксинитрида цирконий-кремния 2, и средней диэлектрической части, включая слой из или с содержанием станната цинка 12 и (или) 15, позволяет добиться сочетания предпочтительного коэффициента пропускания в видимом диапазоне спектра, последовательных и низких значений коэффициента излучения, термической устойчивости при термообработке, например, при термическом отпуске, предпочтительного значения теплопроводности U, предпочтительного значения селективности LSG и достижения предпочтительных значений окрашивания и (или) коэффициента отражения. В определенных примерах реализации может использоваться поглощающий слой 14, расположенный между парой диэлектрических слоев 13, 13’ (например, из или с содержанием нитрида кремния, который может легироваться алюминием или аналогичным материалом), предназначенный для регулировки коэффициента пропускания в видимом диапазоне спектра там, где предпочтительным является использование покрытия с более низким коэффициентом пропускания в видимом диапазоне спектра. Изделия с покрытием, описанные в данном документе, могут использоваться применительно к блокам изоляционных стеклопакетов или в других соответствующих областях применения, в частности, в монолитных окнах, многослойных окнах и (или) в других аналогичных сферах. [0020] Certain embodiments of the present invention relate to a low emissivity coated article based on a glass substrate 1, the low emissivity coating comprising at least first and second IR reflective layers of or containing silver or the like. material. For example, see IR reflective layers 9 and 19 in Fig. 1. The low emissivity coating is designed to achieve a combination of the following aspects in the coated product: preferable visible transmittance, consistent and low emissivity, thermal stability with additional heat treatment, such as thermal tempering, low thermal conductivity U, the preferred LSG selectivity value for the laminated safety glass; and the preferred coloration and/or reflectance values. In certain embodiments, the coating includes a lower dielectric portion, including a layer of or containing zirconium silicon oxynitride 2, and a middle dielectric portion, including a layer of or containing 12 and/or 15 zinc stannate. that the combination of at least the lower dielectric part, including a layer of or containing zirconium-silicon oxynitride 2, and the middle dielectric part, including a layer of or containing zinc stannate 12 and (or) 15, allows you to achieve a combination of the preferred transmittance in the visible spectral range, consistent and low emissivity values, thermal stability during heat treatment, such as thermal tempering, a preferred thermal conductivity U value, a preferred LSG selectivity value, and the achievement of preferred coloration and/or reflectance values. In certain embodiments, an absorbing layer 14 may be used, located between a pair of dielectric layers 13, 13' (for example, made of or containing silicon nitride, which may be doped with aluminum or a similar material), designed to adjust the transmittance in the visible range of the spectrum where it is preferable to use a coating with a lower transmittance in the visible range of the spectrum. The coated articles described herein may be used in insulating glass units or other relevant applications, such as monolithic windows, laminated windows, and/or other similar applications.

[0021] Нанесение слоя из или с содержанием оксинитрида цирконий-кремния 2 в нижней диэлектрической части покрытия, между стеклянной подложкой 1 и самым нижним ИК-отражающим слоем (например, из серебра или другого аналогичного материала) 9, повышает качество ИК-отражающего слоя 9, тем самым позволяя изделию с покрытием демонстрировать низкие значения коэффициента излучения при низком разбросе допустимых значений. А также оказалось, что нанесение оксинитрида цирконий-кремния 2 под слой из или с содержанием станната цинка 5 и (или) под слой из или с содержанием оксида цинка 7 в нижней диэлектрической части покрытия улучшает качество серебра и тем самым предпочтительным образом улучшает (понижает) коэффициент излучения и понижает допустимые значения коэффициента излучения. Даже если оксинитрид цирконий-кремния 2 не находится в непосредственном контакте с ИК-отражающим слоем 9, к удивлению, он все равно повышает качество укрывающих ИК-отражающих слоев, тем самым обеспечивая возможность улучшения температурных характеристик покрытия и его изготовления более последовательным способом. Было установлено, что ИК-отражающие слои 9 и 19 нарастают лучше и имеют более гладкое основание, что проще с точки зрения последовательного дальнейшего воспроизведения. Также, к удивлению, было обнаружено, что использование слоя 3 из или с содержанием оксида титана (например, TiO₂) поверх оксинитрида цирконий-кремния 2 приводит к повышению способности изделия с покрытием пропускать свет в видимом диапазоне спектра и улучшению оптических характеристик, а также к повышению линейной скорости. [0021] Applying a layer of or containing zirconium-silicon oxynitride 2 in the lower dielectric part of the coating, between the glass substrate 1 and the lowest IR reflective layer (for example, of silver or other similar material) 9, improves the quality of the IR reflective layer 9 , thereby allowing the coated article to exhibit low emissivity values with a low tolerance spread. And it also turned out that the application of zirconium-silicon oxynitride 2 under a layer of or containing zinc stannate 5 and (or) under a layer of or containing zinc oxide 7 in the lower dielectric part of the coating improves the quality of silver and thus advantageously improves (lowers) emissivity and lowers the allowable emissivity values. Even if the zirconium-silicon oxynitride 2 is not in direct contact with the IR reflective layer 9, surprisingly, it still improves the quality of the covering IR reflective layers, thereby allowing the thermal performance of the coating to be improved and produced in a more consistent manner. It has been found that the IR reflective layers 9 and 19 grow better and have a smoother base, which is easier to reproduce consistently. Also, surprisingly, it has been found that the use of a layer 3 of or containing titanium oxide (eg TiO ₂ ) over zirconium silicon oxynitride 2 leads to an increase in the ability of the coated article to transmit light in the visible spectrum and improve optical performance, as well as to increase the linear speed.

[0022] Термины «термообработка» и «тепловая обработка» при использовании в настоящем документе означают нагревание изделия до температуры, достаточной для обеспечения термического отпуска, гибки с нагревом и (или) термической закалки изделия, которое содержит в себе стекло. Это определение включает в себя, например, нагревание изделия с покрытием в духовом шкафу или печи при температуре не ниже 580°C, более предпочтительное не ниже 600°C, в течение достаточного периода времени для осуществления термического отпуска, гибки с нагревом и (или) термической закалки изделия. В определенных примерах длительность термической обработки может составлять не менее 4-5 минут. Изделие с покрытием может подвергаться или не подвергаться термической обработке в различных примерах реализации настоящего изобретения. [0022] The terms "heat treating" and "heat treating" as used herein means heating an article to a temperature sufficient to provide thermal tempering, heat bending, and/or heat tempering of an article that contains glass. This definition includes, for example, heating a coated article in an oven or oven at a temperature of at least 580°C, more preferably at least 600°C, for a sufficient period of time to effect thermal tempering, heat bending and/or thermal hardening of the product. In certain examples, the duration of the heat treatment may be at least 4-5 minutes. The coated article may or may not be heat treated in various embodiments of the present invention.

[0023] Рис. 1 является видом изделия с покрытием в разрезе, который соответствует примеру реализации данного изобретения. Изделие с покрытием включает в себя стеклянную подложку 1 (например, прозрачную, зеленую, бронзовую или сине-зеленую стеклянную подложку толщиной от 1,0 до 10,0 мм, более предпочтительно толщиной от 1,0 мм до 6,0 мм, для примера берется прозрачная стеклянная подложка толщиной от 3,8 до 4,0 мм), а также многослойное покрытие с малым коэффициентом излучения (или системой слоев), которое наносится на подложку 1 непосредственно или опосредованно. Как показано на Рис. 1, покрытие с малым коэффициентом отражения включает в себя: диэлектрический слой из или с содержанием оксинитрида цирконий-кремния 2, диэлектрический слой из или с содержанием оксида титана (например, TiO₂) 3, диэлектрические слои 5, 12, 15 из или с содержанием станната цинка, диэлектрические слои 7 и 17 из или с содержанием оксида цинка, который в качестве опции может легироваться металлом (например, Sn или Al), ИК-отражающие слои 9 и 19 из или с содержанием серебра, золота или аналогичного материала, верхние контактные слои 11 и 21 из или с содержанием Ni, Cr, NiCr, NiCrMo или любого их оксида (например, оксида NiCr или NiCrMo), диэлектрический слой 22 из или с содержанием оксида металла (например, олова SnO₂), станната цинка или аналогичного материала, диэлектрический слой 23 из или с содержанием такого материала, как нитрид кремния (например, Si₃N₄) и (или) оксинитрид кремния, и в качестве опции диэлектрический покровный слой из такого материала, как оксид циркония (например, ZrO₂). В целях регулировки коэффициента пропускания покрытия в видимом диапазоне спектра до предпочтительного значения покрытие может также включать поглощающий слой 14, расположенный между парой диэлектрических слоев 13, 13’ и изготовленный из или с содержанием нитрида кремния или аналогичного материала. Поглощающий слой 14 является предпочтительно металлическим или в значительной степени металлическим (содержит 0-10% кислорода, более предпочтительно 0-5% кислорода % по относительной атомной массе) и может изготавливаться из или с содержанием NiCr, NiCrMo, NbZr или аналогичного материала. Отмечается, что «C22» представляет собой материал на основе NiCrMo, который может использоваться в поглощающем слое 14 в определенных примерах реализации. Другие слои и (или) материалы могут дополнительно использоваться в определенных примерах реализации данного изобретения, также возможно удаление или разделение конкретных слоев в определенных примерах реализации. Например, в качестве опции может предусматриваться слой из или с содержанием нитрида кремния и (или) оксинитрида кремния (не показан) между стеклянной подложкой 1 и оксинитридом цирконий-кремния 2. Более того, в некоторых примерах реализации данного изобретения в конкретных слоях могут использоваться другие материалы вместо указанных выше материалов. [0023] Fig. 1 is a sectional view of a coated article that corresponds to an embodiment of the present invention. The coated article includes a glass substrate 1 (for example, a clear, green, bronze or blue-green glass substrate 1.0 to 10.0 mm thick, more preferably 1.0 mm to 6.0 mm thick, for example a transparent glass substrate with a thickness of 3.8 to 4.0 mm is taken), as well as a multilayer coating with a low emissivity (or a system of layers), which is applied directly or indirectly to the substrate 1. As shown in Fig. 1, the low reflection coating includes: a dielectric layer of or containing zirconium-silicon oxynitride 2, a dielectric layer of or containing titanium oxide (for example, TiO ₂ ) 3, dielectric layers 5, 12, 15 of or containing zinc stannate, dielectric layers 7 and 17 made of or containing zinc oxide, which can optionally be doped with a metal (e.g. Sn or Al), IR reflective layers 9 and 19 made of or containing silver, gold or similar material, top contact layers 11 and 21 of or containing Ni, Cr, NiCr, NiCrMo or any oxide thereof (eg NiCr or NiCrMo oxide), dielectric layer 22 of or containing metal oxide (eg tin SnO ₂ ), zinc stannate or similar material , a dielectric layer 23 of or containing a material such as silicon nitride (eg Si ₃ N ₄ ) and/or silicon oxynitride, and optionally a dielectric coating layer of a material such as zirconium oxide (eg ep, ZrO ₂ ). In order to adjust the coating's visible transmittance to a preferred value, the coating may also include an absorbing layer 14 located between the pair of dielectric layers 13, 13' and made of or containing silicon nitride or a similar material. The absorbing layer 14 is preferably metallic or substantially metallic (containing 0-10% oxygen, more preferably 0-5% oxygen % by relative atomic mass) and may be made from or containing NiCr, NiCrMo, NbZr or a similar material. It is noted that "C22" is a NiCrMo-based material that can be used in the absorbent layer 14 in certain embodiments. Other layers and/or materials may additionally be used in certain embodiments of this invention, it is also possible to remove or separate specific layers in certain embodiments. For example, as an option, a layer of or containing silicon nitride and/or silicon oxynitride (not shown) can be provided between the glass substrate 1 and the zirconium-silicon oxynitride 2. materials instead of the above materials.

[0024] Рис. 2 является видом изделия с покрытием в разрезе, который соответствует другому примеру реализации данного изобретения. Рис. 2 демонстрирует, что слои 13, 13’ и 14 из примера реализации с Рис. 1 могут отсутствовать в некоторых примерах реализации данного изобретения. [0024] Fig. 2 is a sectional view of a coated article that corresponds to another embodiment of the present invention. Rice. 2 shows that layers 13, 13' and 14 of the embodiment in Fig. 1 may be missing in some embodiments of this invention.

[0025] Рис. 3-5 представляют собой виды в разрезе изделий с покрытием в соответствии с примерами реализации данного изобретения, примерная толщина (d) слоев, измеренная в нм, указывается только для справки. [0025] Fig. 3-5 are sectional views of coated articles in accordance with embodiments of the present invention, the approximate thickness (d) of the layers, measured in nm, is for reference only.

[0026] Изделие с покрытием в составе монолитных компонентов включает в себя только одну подложку, например, стеклянную подложку 1. Однако в рамках данного документа монолитные изделия с покрытием могут использоваться в таких устройствах, как, например, блоки изоляционных стеклопакетов. В стандартном случае блоки изоляционного стеклопакета могут включать в себя две отделенные друг от друга стеклянные подложки с определенным зазором между ними. Примеры блоков изоляционных стеклопакетов представлены и описаны, например, в патентах США под номерами 5 770 321, 5 800 933, 6 524 714, 6 541 084 и US 2003/0150711, раскрываемые в них сведения включены в настоящий документ посредством ссылки. Взятый для примера блок изоляционного стеклопакета может включать в себя стеклянную подложку с покрытием с любого из Рис. 1-5, соединенную с другой стеклянной подложкой через дистанционный элемент или элементы, уплотнитель или уплотнители либо другие аналогичные материалы с заданным зазором между ними. Зазор между подложками в примерах реализации в некоторых случаях может быть заполнен газом, например, аргоном (Ar) или смесью воздуха с газообразным аргоном. Взятый для примера блок изоляционного стеклопакета может включать в себя пару отделенных друг от друга, в достаточной степени прозрачных стеклянных подложек толщиной около 4 мм (например, 3,8 мм), на одну из которых нанесено покрытие, описанное здесь для некоторых примеров реализации, при этом зазор между подложками может быть от 5 до 30 мм, более предпочтительно от 10 до 20 мм и наиболее предпочтительно около 16 мм. В определенных примерах реализации покрытие может наноситься на внешнюю (наружную) сторону стеклянной подложки 1 со стороны зазора (хотя покрытие может находиться на другой подложке в некоторых альтернативных вариантах исполнения), которую часто называют поверхностью два блока изоляционного стеклопакета. [0026] The coated article in monolithic components includes only one substrate, such as glass substrate 1. However, within the scope of this document, coated monolithic articles can be used in devices such as, for example, insulating glass units. In the standard case, insulating glass units may include two glass substrates separated from each other with a certain gap between them. Examples of insulating glass units are shown and described in, for example, US Pat. Nos. 5,770,321; 5,800,933; 6,524,714; 6,541,084; An example block of insulating glass may include a coated glass substrate with any of the following. 1-5 connected to another glass substrate through a spacer or elements, a seal or seals, or other similar materials with a predetermined gap between them. The gap between the substrates in the embodiments may in some cases be filled with a gas such as argon (Ar) or a mixture of air and argon gas. An exemplary insulating glass unit may include a pair of separated, sufficiently transparent glass substrates about 4 mm thick (for example, 3.8 mm), one of which is coated as described herein for some embodiments, with In this case, the gap between the substrates may be from 5 to 30 mm, more preferably from 10 to 20 mm, and most preferably about 16 mm. In certain embodiments, the coating may be applied to the outer (outer) side of the glass substrate 1 from the gap side (although the coating may be on a different substrate in some alternative embodiments), which is often referred to as the surface of two insulating glass units.

[0027] В определенных блоках стеклопакетов, являющихся примерами реализации данного изобретения, покрытие разработано таким образом, что полученный блок изоляционного стеклопакета (например, в справочных целях, пара прозрачных стеклянных подложек толщиной 3,8 мм, которые отделены друг от друга зазором толщиной 16 мм, заполненным смесью воздуха с газообразным азотом) имеет значение теплопроводности U не выше 1,4 Вт/(м²K), более предпочтительно не выше 1,3 Вт/(м²K), иногда не выше 1,1 Вт/(м²K) и иногда не выше 1,0 Вт/(м²K). Значение теплопроводности U измеряется и указывается в соответствии со стандартом EN 410-673_2011 - Зима, сведения из которого раскрываются и включаются в настоящий документ посредством ссылки. Действительно, предпочтительно, чтобы обсуждаемые здесь оптические и термические характеристики достигались, когда покрытие включает в себя два ИК-отражающих слоя на основе серебра (например, как показано на Рис. 1-5), в противоположность наличию одинарного серебряного слоя или трехслойного серебряного покрытия. [0027] In certain insulating glass units exemplifying the present invention, the coating is designed such that the resulting insulating glass unit (e.g., for reference purposes, a pair of 3.8 mm thick transparent glass substrates that are separated from each other by a 16 mm thick gap) filled with a mixture of air and nitrogen gas) has a thermal conductivity value U not higher than 1.4 W / (m ² K), more preferably not higher than 1.3 W / (m ² K), sometimes not higher than 1.1 W / (m ² K) and sometimes not higher than 1.0 W/(m ² K). The thermal conductivity value U is measured and reported in accordance with EN 410-673_2011 - Winter, the details of which are disclosed and incorporated herein by reference. Indeed, it is preferable that the optical and thermal performance discussed here be achieved when the coating includes two silver-based IR-reflective layers (for example, as shown in Fig. 1-5), as opposed to having a single silver layer or a three-layer silver coating.

[0028] Было выявлено, что соотношение азот/кислород в слое 2 из оксинитрида цирконий-кремния является значимым в определенных примерах реализации. Слишком высокое содержание кислорода в слое 2 из оксинитрида цирконий-кремния может приводить к снижению скорости распыления, но при этом, вероятно, не способствует снижению поглощения или повышению коэффициента пропускания. Слишком высокое содержание кислорода в этом слое 2 может вызывать нежелательную мутность. Соответствующим образом, в определенных примерах реализации данного изобретения слой 2 из или с содержанием оксинитрида цирконий-кремния имеет соотношение по содержанию азота и кислорода (соотношение азот/кислород) не менее 1, более предпочтительно не менее 3, более предпочтительно не менее 4 и еще более предпочтительно не менее 5 (с использованием % по атомной массе). Таким образом, например, слой 2 может содержать по меньшей мере в три раза больше N чем O, более предпочтительно в четыре раза больше N чем O и наиболее предпочтительно в пять раз больше N чем O. В частности, в некоторых примерах реализации слой 2 осаждается распылением при помощи мишени из ZrSi с использованием от 0,4 до 2,0, более предпочтительно от 0,5 до 1,5 и наиболее предпочтительно от 0,8 до 1,0 мл/кВт газообразного O₂, а также от 4,0 до 10,0, более предпочтительно от 5,0 до 8,0 и наиболее предпочтительно от 6,0 до 7,0 мл/кВт газообразного N₂. Газообразный аргон (Ar) также может использоваться в процессе распыления. [0028] The nitrogen/oxygen ratio in the zirconium-silicon oxynitride layer 2 has been found to be significant in certain embodiments. Too much oxygen in the zirconium-silicon oxynitride layer 2 may reduce the sputtering rate, but it probably does not reduce absorption or increase transmission. Too high an oxygen content in this layer 2 can cause undesirable turbidity. Accordingly, in certain embodiments of the present invention, layer 2 of or containing zirconium-silicon oxynitride has a nitrogen to oxygen ratio (nitrogen/oxygen ratio) of at least 1, more preferably at least 3, more preferably at least 4 and even more preferably at least 5 (using % by atomic weight). Thus, for example, layer 2 may contain at least three times more N than O, more preferably four times more N than O, and most preferably five times more N than O. In particular, in some embodiments, layer 2 is deposited sputtering with a ZrSi target using from 0.4 to 2.0, more preferably from 0.5 to 1.5 and most preferably from 0.8 to 1.0 ml/kW of gaseous O ₂ and also from 4, 0 to 10.0, more preferably 5.0 to 8.0 and most preferably 6.0 to 7.0 ml/kW N ₂ gas. Argon gas (Ar) can also be used in the spray process.

[0029] Более того, было установлено, что слишком высокое содержание Zr в слое 2 из оксинитрида цирконий-кремния может привести к нежелательной ломкости материала, а слишком низкое содержание Zr может снижать гладкость серебряного слоя 9 и качество покрытия. Было выявлено, что лучшие результаты с этой точки зрения достигаются, если слой 2 содержит больше Si чем Zr (% по атомной массе). Например, соотношение Zr/Si (по атомной массе) в слое 2 (и в мишени для распыления при осаждении слоя 2) предпочтительно составляет от 0,20 до 0,60, более предпочтительно от 0,30 до 0,47 и наиболее предпочтительно от 0,35 до 0,44. Например, мишень или мишени для распыления с содержанием около 40% Zr и около 60% Si могут использоваться для осаждения распылением слоя 2. [0029] Moreover, it has been found that too much Zr in the zirconium silicon oxynitride layer 2 can lead to undesirable brittleness of the material, and too little Zr can reduce the smoothness of the silver layer 9 and the quality of the coating. It has been found that better results from this point of view are achieved if layer 2 contains more Si than Zr (% by atomic weight). For example, the Zr/Si ratio (by atomic weight) in layer 2 (and in the sputter target when depositing layer 2) is preferably from 0.20 to 0.60, more preferably from 0.30 to 0.47, and most preferably from 0.35 to 0.44. For example, a sputter target or targets containing about 40% Zr and about 60% Si can be used for layer 2 sputter deposition.

[0030] В некоторых примерах реализации данного изобретения диэлектрический слой 3 может состоять из или содержать оксид титана. Оксид титана из слоя 3 в определенных примерах реализации может быть представлен TiO_x, где x равен от 1,5 до 2,5, наиболее предпочтительно около 2,0. Оксид титана может осаждаться путем распыления или другим аналогичным способом в других примерах реализации. В определенных примерах реализации диэлектрический слой 3 может иметь коэффициент преломления (n) при 550 нм не менее 2,0, более предпочтительно не менее 2,1 и возможно от 2,3 до 2,6, если слой изготовлен из или с содержанием оксида титана. В определенных примерах реализации данного изобретения толщина слоя 3 с содержанием оксида титана контролируется, чтобы обеспечить нейтральные (т.е. близкие к нулю) и (или) предпочтительные значения цвета a* и (или) b* (например, коэффициент пропускания, отражающая способность на стороне пленки и (или) отражательная способность на стороне стекла). В определенных примерах реализации, в дополнение к оксиду титана или вместо него, могут использоваться другие материалы. В определенных альтернативных примерах реализации Ti в слое оксида 3 может быть заменен на другой материал. [0030] In some embodiments of this invention, the dielectric layer 3 may consist of or contain titanium oxide. The titanium oxide from layer 3 may, in certain embodiments, be TiO _x where x is from 1.5 to 2.5, most preferably about 2.0. Titanium oxide may be deposited by sputtering or other similar method in other embodiments. In certain embodiments, the dielectric layer 3 may have a refractive index (n) at 550 nm of at least 2.0, more preferably at least 2.1, and optionally from 2.3 to 2.6 if the layer is made of or contains titanium oxide. . In certain embodiments of the present invention, the thickness of the titanium oxide layer 3 is controlled to provide neutral (i.e., close to zero) and/or preferred a* and/or b* color values (e.g., transmittance, reflectivity on the film side and/or reflectivity on the glass side). In certain embodiments, other materials may be used in addition to or instead of titanium oxide. In certain alternative embodiments, the Ti in the oxide layer 3 may be replaced by another material.

[0031] В примерах реализации диэлектрические слои 5, 12 и (или) 15 из станната цинка (например, из ZnSnO, Zn₂SnO₄ или аналогичного материала) в качестве опции могут содержать больше Zn чем Sn по массе. В частности, в некоторых примерах реализации данного изобретения содержание металла в одном или нескольких из этих слоев на основе станната цинка может составлять около 51-90% Zn и около 10-49% Sn, более предпочтительно около 51-70% Zn и около 30-49% Sn, для образца содержание металлов составляет около 52% Zn и около 48% Sn (% по массе, в дополнение к содержанию кислорода в слое). Таким образом, в частности, слои на основе станната цинка могут осаждаться распылением с использованием металлической мишени с содержанием около 52% Zn и около 48% Sn в определенных примерах реализации данного изобретения. В качестве опции слои на основе станната цинка могут легироваться другими металлами, например, Al или аналогичными материалами. В некоторых дополнительных примерах реализации существует возможность легирования станната цинка (например, ZnSnO) другими материалами, например, Al, Zn, N или аналогичными материалами. Слои на основе станната цинка значительно или фактически полностью оксидируются в предпочтительных примерах реализации данного изобретения. [0031] In exemplary embodiments, zinc stannate dielectric layers 5, 12 and/or 15 (eg, ZnSnO, Zn ₂ SnO ₄ , or the like) may optionally contain more Zn than Sn by weight. In particular, in some embodiments of the present invention, the metal content of one or more of these zinc stannate layers may be about 51-90% Zn and about 10-49% Sn, more preferably about 51-70% Zn and about 30- 49% Sn, for the sample the metal content is about 52% Zn and about 48% Sn (% by weight, in addition to the oxygen content in the layer). Thus, in particular, zinc stannate-based layers can be sputter-deposited using a metal target containing about 52% Zn and about 48% Sn in certain embodiments of the present invention. As an option, the zinc stannate layers can be alloyed with other metals such as Al or similar materials. In some additional embodiments, it is possible to dope the zinc stannate (eg ZnSnO) with other materials such as Al, Zn, N or similar materials. Layers based on zinc stannate are significantly or virtually completely oxidized in the preferred embodiments of this invention.

[0032] В определенных примерах реализации данного изобретения слои 7 и 17 изготавливаются из или с содержанием оксида цинка (например, ZnO). Оксид цинка из этих слоев может также содержать другие материалы, в частности, Al (например, для формирования ZnAlO_x) или Sn. В частности, в некоторых примерах реализации данного изобретения один или несколько из слоев 7, 17 из оксида цинка могут легироваться 1-10% Al, более предпочтительно 1-5% Al и наиболее предпочтительно 1-4% Al. Слой или слои 7 и (или) 17 из оксида цинка в сочетании со станнатом цинка и оксинитридом цирконий-кремния 2 помогают повысить качество серебра и улучшить характеристики покрытия с точки зрения коэффициента излучения. [0032] In certain embodiments of this invention, layers 7 and 17 are made from or containing zinc oxide (eg, ZnO). The zinc oxide from these layers may also contain other materials, in particular Al (eg to form ZnAlO _x ) or Sn. In particular, in some embodiments of the present invention, one or more of the zinc oxide layers 7, 17 may be doped with 1-10% Al, more preferably 1-5% Al, and most preferably 1-4% Al. The zinc oxide layer or layers 7 and/or 17 in combination with zinc stannate and zirconium silicon oxynitride 2 help improve the quality of the silver and improve the coating performance in terms of emissivity.

[0033] В некоторых примерах реализации данного изобретения диэлектрические слои 13, 13’, 23 могут включать в себя нитрид кремния. Нитрид кремния может, среди прочего, повышать пригодность изделий с покрытием для термообработки, например, для термического отпуска или аналогичного процесса, и может содержать или не содержать кислород. В разных примерах реализации данного изобретения нитрид кремния в этих слоях может относиться к стехиометрическому типу (т.е. Si₃N₄) или, в качестве альтернативы, к типу с высоким содержанием Si. [0033] In some embodiments of this invention, the dielectric layers 13, 13', 23 may include silicon nitride. Silicon nitride may, among other things, improve the suitability of coated articles for heat treatment, for example, for thermal tempering or a similar process, and may or may not contain oxygen. In various embodiments of the present invention, the silicon nitride in these layers may be of the stoichiometric type (ie, Si ₃ N ₄ ) or, alternatively, of the high Si type.

[0034] ИК-отражающие слои 9, 19 предпочтительно являются в значительной степени или полностью металлическими и (или) проводящими и могут включать в себя или содержать достаточное количество серебра (Ag), золота или другого пригодного ИК-отражающего материала. Наличие ИК-отражающих слоев позволяет покрытию иметь малый коэффициент излучения и (или) высокие солнцезащитные характеристики. Тем не менее, в определенных примерах реализации данного изобретения ИК-отражающие слои могут слегка окисляться и в качестве опции могут подвергаться легированию другими металлами, в частности, Pd или другим аналогом. В предпочтительных примерах реализации данного изобретения покрытие предпочтительно содержит два ИК-отражающих слоя 9, 19. [0034] The IR reflective layers 9, 19 are preferably substantially or entirely metallic and/or conductive and may include or contain a sufficient amount of silver (Ag), gold, or other suitable IR reflective material. The presence of IR-reflective layers allows the coating to have a low emissivity and (or) high sun protection characteristics. However, in certain embodiments of the present invention, the IR reflective layers may oxidize slightly and optionally be doped with other metals, such as Pd or the like. In preferred embodiments of the present invention, the coating preferably comprises two IR reflective layers 9, 19.

[0035] Традиционно сложность представляло достижение предпочтительных значений селективности LSG и низких значений ΔE* (например, отражающей способности на стороне стекла) в покрытиях, имеющих два ИК-отражающих слоя на основе серебра. В примерах реализации данного изобретения, к удивлению, было обнаружено, что предпочтительные значения селективности LSG и низкие значения ΔE* (например, отражательная способность со стороны стекла) в покрытиях с двумя ИК-отражающими слоями на основе серебра достижимы в сочетании с другими востребованными оптическими характеристиками при совмещении следующих аспектов: (a) второй ИК-отражающий слой с содержанием серебра 19 толще первого ИК-отражающего слоя с содержанием серебра 9, более предпочтительно, если второй ИК-отражающий слой 19 по меньшей мере на 10 ангстремов толще (более предпочтительно по меньшей мере на 20 ангстремов толще, еще более предпочтительно по меньшей мере на 30 ангстремов толще и наиболее предпочтительно по меньшей мере на 40 ангстремов толще) первого ИК-отражающего слоя с содержанием серебра 9; (b) наличие нижней диэлектрической части, в том числе слоя из или с содержанием оксинитрида цирконий-кремния 2; (c) наличие центральной диэлектрической части, в том числе слоя или слоев из или с содержанием станната цинка 12 и (или) 15; (d) слой 2 на основе оксинитрида цирконий-кремния в нижней части многослойного покрытия толще (предпочтительно по меньшей мере на 10 ангстремов толще, более предпочтительно по меньшей мере на 20 ангстремов толще и наиболее предпочтительно по меньшей мере на 30 ангстремов толще слоя на основе станната цинка 5 в нижней части многослойного покрытия; (e) по меньшей мере один слой на основе станната цинка (например, 12) в центральной диэлектрической части многослойного покрытия толще (предпочтительно по меньшей мере на 20 ангстремов толще, более предпочтительно по меньшей мере на 40 ангстремов толще и наиболее предпочтительно по меньшей мере на 60 ангстремов толще) чем слой 2 на основе оксинитрида цирконий-кремния в нижней диэлектрической части многослойного покрытия; в качестве опции (f) наличие в центре многослойного покрытия поглотителя 14, расположенного между парой слоев 13, 13’ с содержанием нитрида кремния. [0035] Traditionally, it has been difficult to achieve the preferred LSG selectivity and low ΔE* values (eg, glass-side reflectivity) in coatings having two silver-based IR reflective layers. In embodiments of the present invention, it has surprisingly been found that the preferred LSG selectivity and low ΔE* values (e.g. glass side reflectance) in coatings with two silver-based IR reflective layers are achievable in combination with other sought-after optical properties. when the following aspects are combined: (a) the second IR reflective layer containing silver 19 is thicker than the first IR reflective layer containing silver 9, more preferably if the second IR reflective layer 19 is at least 10 angstroms thicker (more preferably at least at least 20 angstroms thicker, even more preferably at least 30 angstroms thicker, and most preferably at least 40 angstroms thicker) of the first IR reflective layer with a silver content of 9; (b) the presence of a lower dielectric part, including a layer of or containing zirconium-silicon oxynitride 2; (c) the presence of a central dielectric part, including a layer or layers of or containing zinc stannate 12 and (or) 15; (d) the zirconium silicon oxynitride layer 2 at the bottom of the multilayer coating is thicker (preferably at least 10 angstroms thicker, more preferably at least 20 angstroms thicker, and most preferably at least 30 angstroms thicker than the stannate-based layer (e) at least one zinc stannate-based layer (e.g. 12) in the central dielectric portion of the multilayer coating is thicker (preferably at least 20 angstroms thicker, more preferably at least 40 angstroms thicker and most preferably at least 60 angstroms thicker) than the zirconium silicon oxynitride layer 2 in the lower dielectric part of the multilayer coating; optionally (f) having an absorber 14 in the center of the multilayer coating located between the pair of layers 13, 13' containing silicon nitride.

[0036] В определенных примерах реализации настоящего изобретения верхние контактные слои 11, 21 могут быть из или с содержанием оксида никеля (Ni), оксида хрома (Cr) или оксида сплава никеля, например, хромоникелевого оксида (NiCrO_x), NiCrMoO_xили другого соответствующего материала или материалов, в частности, Ni, Ti или оксида Ti или NiTiO_x. Использование в этих слоях, например, NiCrO_x позволяет повышать долговечность. В определенных примерах реализации данного изобретения эти слои могут полностью оксидироваться (т.е. быть полностью стехиометрическими) или, в качестве альтернативы, могут оксидироваться только частично (т.е. образовывать субоксид). В некоторых примерах слой 11 из NiCrO_x может оксидироваться не менее чем на 50%. Описание контактных слоев с различной степенью оксидирования, которые могут использоваться в качестве опции, содержится в патенте США номер 6 576 349, сведения из которого раскрываются и включаются в настоящий документ посредством ссылки. В разных примерах реализации данного изобретения контактный слой 11 может быть или не быть непрерывным в пределах всего лежащего ниже ИК-отражающего слоя 9. [0036] In certain embodiments of the present invention, the upper contact layers 11, 21 may be of or containing nickel oxide (Ni), chromium oxide (Cr), or nickel alloy oxide, such as nickel chromium oxide (NiCrO _x ), NiCrMoO _x or other the respective material or materials, in particular Ni, Ti or Ti oxide or NiTiO _x . The use of, for example, NiCrO _x in these layers makes it possible to increase the durability. In certain embodiments of this invention, these layers may be fully oxidized (ie, be fully stoichiometric) or, alternatively, may be only partially oxidized (ie, form a suboxide). In some examples, the NiCrO _x layer 11 may be oxidized by at least 50%. A description of contact layers with various degrees of oxidation, which can be used as an option, is contained in US patent number 6,576,349, the details of which are disclosed and incorporated herein by reference. In various embodiments of the present invention, the contact layer 11 may or may not be continuous throughout the underlying IR reflective layer 9.

[0037] В некоторых примерах реализации данного изобретения прозрачный диэлектрический слой 22 может состоять из или содержать оксид олова. Однако в других примерах реализации он может легироваться конкретными другими материалами, например, Al или Zn, в определенных альтернативных примерах реализации. [0037] In some embodiments of this invention, the transparent dielectric layer 22 may consist of or contain tin oxide. However, in other embodiments, it may be doped with specific other materials, such as Al or Zn, in certain alternative embodiments.

[0038] Могут предусматриваться другие слои под или над представленным на рисунке покрытием. Таким образом, если система слоев или покрытие «находится на» или «наносится на» подложку 1 (непосредственно или опосредованно), между ними может предусматриваться другой слой или слои. Так, в частности, покрытие с Рис. 1 или Рис. 2 может считаться «находящимся на» или «нанесенным на» подложку 1, даже если между слоем 2 и подложкой 1 находится другой слой или слои. Более того, определенные слои представленного на рисунке покрытия в определенных примерах реализации могут удаляться, а другие - добавляться между другими слоями или разные слои могут разделяться другими слоями, добавленными между их частями, в других примерах реализации данного изобретения без отхода от общего смысла определенных примеров реализации данного изобретения. [0038] Other layers may be provided below or above the coating shown in the figure. Thus, if the layer system or coating is "on" or "applied to" the substrate 1 (directly or indirectly), another layer or layers can be provided between them. So, in particular, the coating with Fig. 1 or Fig. 2 may be considered to be "on" or "applied to" substrate 1 even if there is another layer or layers between layer 2 and substrate 1. Moreover, certain layers of the coating shown in the figure in certain embodiments can be removed, and others added between other layers, or different layers can be separated by other layers added between their parts, in other embodiments of this invention without departing from the general meaning of certain embodiments of this invention.

[0039] Хотя в разных примерах реализации данного изобретения может использоваться разная толщина, примерные значения толщины и материалы соответствующих слоев на стеклянной подложке 1 для примера реализации с Рис. 1 следующие, в порядке изнутри наружу от стеклянной подложки 1 (например, содержание Al в слоях оксида цинка может составлять около 1-10%, более предпочтительно около 1-3% в определенных примерах реализации): [0039] Although different thicknesses may be used in different embodiments of this invention, the approximate thicknesses and materials of the respective layers on the glass substrate 1 for the embodiment of Fig. 1 are as follows, in order from inside to outside of the glass substrate 1 (for example, the Al content of the zinc oxide layers may be about 1-10%, more preferably about 1-3% in certain embodiments):

Таблица 1 (Примерный состав материалов и значения толщины; пример реализации с Рис. 1)Table 1 (Approximate composition of materials and thicknesses; implementation example with Fig. 1) СлойLayer Предпочтительный диапазон (Å)Preferred range (Å) Более предпочтительно (Å)More preferably (Å) Пример (Å)Example (Å) ZrSiO_xN_y (слой 2)ZrSiO _x N _y (layer 2) 20-300 Å20-300Å 50-200 Å50-200Å 90-160 Å90-160Å TiO_x (слой 3)TiO _x (layer 3) 15-150 Å15-150Å 20-60 Å20-60 Å 30 Å30 Å ZnSnO (слой 5)ZnSnO (layer 5) 20-150 Å20-150Å 30-80 Å30-80 Å 45-65 Å45-65 Å ZnAlO_x (слой 7)ZnAlO _x (layer 7) 40-170 Å40-170 Å 50-100 Å50-100Å 65-90 Å65-90 Å Ag (слой 9)Ag (layer 9) 50-130 Å50-130Å 80-120 Å80-120 Å 90-110 Å90-110 Å NiCrO_x (слой 11)NiCrO _x (layer 11) 10-70 Å10-70 Å 15-35 Å15-35 Å 20-30 Å20-30 Å ZnSnO (слой 12)ZnSnO (layer 12) 170-500 Å170-500Å 210-400 Å210-400Å 230-270 Å230-270 Å Si₃N₄ (слой 13)Si ₃ N ₄ (layer 13) 50-350 Å50-350Å 100-200 Å100-200Å 120-160 Å120-160 Å Поглотитель (слой 14)Absorber (layer 14) 40-210 Å40-210 Å 60-150 Å60-150Å 80-140 Å80-140 Å Si₃N₄ (слой 13’)Si ₃ N ₄ (layer 13') 50-350 Å50-350Å 100-200 Å100-200Å 120-160 Å120-160 Å ZnSnO (слой 15)ZnSnO (layer 15) 20-300 Å20-300Å 100-200 Å100-200Å 130-170 Å130-170 Å ZnAlO_x (слой 17)ZnAlO _x (layer 17) 40-500 Å40-500Å 50-400 Å50-400Å 65-200 Å65-200Å Ag (слой 19)Ag (layer 19) 90-200 Å90-200Å 130-180 Å130-180 Å 130-150 Å130-150 Å NiCrO_x (слой 21)NiCrO _x (layer 21) 10-70 Å10-70 Å 15-35 Å15-35 Å 20-30 Å20-30 Å SnO₂(слой 22)SnO ₂ (layer 22) 50-400 Å50-400Å 100-300 Å100-300Å 130-180 Å130-180 Å Si₃N₄ (слой 23’)Si ₃ N ₄ (layer 23') 50-400 Å50-400Å 150-280 Å150-280 Å 190-240 Å190-240 Å

[0040] В определенных примерах реализации данного изобретения изделия с покрытием в соответствии с примерами реализации с Рис. 1 и (или) Рис. 2 настоящего документа могут иметь следующие характеристики, указанные в Таблице 2 при измерении в монолитном изделии или в блоке изоляционного стеклопакета, данные значения относятся к примерам реализации, предполагающим и не предполагающим термообработку. Следует принимать во внимание, что E_n является стандартным значением излучательной способности (коэффициента излучения). [0040] In certain embodiments of this invention, coated articles in accordance with the embodiments of FIG. 1 and/or Fig. 2 of this document may have the following characteristics indicated in Table 2 when measured in a monolithic product or in an insulating glass unit, these values refer to implementations with and without heat treatment. It should be taken into account that E _n is the standard value of emissivity (emissivity).

Таблица 2. Характеристики малого коэффициента излучения и солнцезащитные характеристики (с термообработкой или без) Table 2. Low emissivity characteristics and solar control characteristics (with or without heat treatment) ХарактеристикаCharacteristic Обычное значениеUsual value Более предпочтительноMore preferably Более предпочтительноMore preferably R_s (Ом/ед. площади):R _s (Ohm / unit area): <=8,0<=8.0 <=7,0<=7.0 <=5,0<=5.0 E_n:E _n : <=4%<=4% <=3%<=3% <=2,5%<=2.5%

[0041] Более того, изделия с покрытием, которое соответствует примерам реализации данного изобретения с Рис. 1 и Рис. 2, могут иметь следующие оптические характеристики, характеристики цвета и термической устойчивости (например, если покрытие или покрытия наносятся на подложку 1 из прозрачного известково-натриевого стекла толщиной от 1 до 10 мм, предпочтительно толщиной около 4 мм, например, толщиной 3,8 мм), которые указаны в Таблице 3 ниже. В Таблице 4 все параметры измеряются в монолитном изделии. Следует принимать во внимание, что «f» обозначает сторону пленки (film), а «g» - сторону стекла (glass). Таким образом, RfY - отражательная способность на стороне пленки, которая представляет собой отражательную способность в видимом диапазоне спектра, измеренную для подложки с покрытием со стороны пленки. А RgY - отражательная способность на стороне стекла, которая представляет собой отражательную способность в видимом диапазоне спектра, измеренную для подложки с покрытием со стороны стекла. Отражательная способность на стороне стекла и значения отражающего цвета на стороне стекла a*g и b*g обычно считаются наиболее важными характеристиками, если покрытие наносится на поверхность два в блоке изоляционного стеклопакета, поскольку описывают вид внешней поверхности здания. Следует принимать во внимание, что ΔE* - это значение, которое является индикатором термической устойчивости, в частности, степени изменения оптических характеристики при термообработке, например, при термическом отпуске. Чем ниже значение ΔE*, тем меньше изменяются в процессе термообработки (например, термического отпуска) соответствующие значения a*, b* и L*. Низкие значения ΔE*, характерные для описываемых в настоящем документе покрытий, демонстрируют, что варианты каждого покрытия с термообработкой и без термообработки в значительной степени соотносятся с соответствующим окрашиванием. Следует принимать во внимание, что уравнение для определения ΔE*, известно на основании уровня развития техники и описано, например, в патенте США номер 8 263 227, сведения из которого раскрываются и включаются в настоящий документ посредством ссылки. [0041] Moreover, products with a coating that corresponds to the embodiments of this invention with Fig. 1 and Fig. 2 may have the following optical characteristics, color characteristics and thermal stability (for example, if the coating or coatings are applied to the substrate 1 of transparent soda-lime glass with a thickness of 1 to 10 mm, preferably a thickness of about 4 mm, for example, a thickness of 3.8 mm ), which are listed in Table 3 below. In Table 4, all parameters are measured in a monolithic product. It should be noted that "f" indicates the side of the film (film), and "g" the side of the glass (glass). Thus, RfY is the film-side reflectance, which is the visible reflectance measured on the film-side coated substrate. And RgY is the glass side reflectance, which is the visible reflectance measured on the glass side coated substrate. Glass side reflectivity and glass side reflective color values a*g and b*g are generally considered to be the most important characteristics when coating surface two in an insulating glass unit, as they describe the appearance of the building's exterior surface. It should be appreciated that ΔE* is a value that is indicative of thermal stability, in particular the degree of change in optical property upon heat treatment, such as thermal tempering. The lower the value of ΔE*, the less the corresponding values of a*, b* and L* change during heat treatment (for example, thermal tempering). The low ΔE* values associated with the coatings described herein demonstrate that the heat-treated and non-heat-treated variations of each coating are highly correlated with the respective coloration. It will be appreciated that the equation for determining ΔE* is known in the art and is described, for example, in US Pat. No. 8,263,227, the details of which are disclosed and incorporated herein by reference.

Таблица 3. Примерные оптические характеристики (монолитное изделие, с термообработкой или без нее)Table 3. Approximate optical characteristics (monolithic product, with or without heat treatment) ХарактеристикаCharacteristic Обычное значениеUsual value Более предпочтительноMore preferably T_vis (или TY)(Ill. C, 2 градуса): T _vis (or TY) (Ill. C, 2 degrees): 40-80%40-80% 45-78%45-78% a*_t (Ill. C, 2°):a* _t (Ill. C, 2°): от -7,0 до -2,0-7.0 to -2.0 от -6,0 до -3,0-6.0 to -3.0 b*_t (Ill. C, 2°):b* _t (Ill. C, 2°): от -2,0 до +8,0-2.0 to +8.0 от 0,0 до +5,00.0 to +5.0 R_fY (Ill. C, 2 градуса):R _f Y (Ill. C, 2 degrees): <= 13%<= 13% <= 11% или <= 10%<= 11% or <= 10% a*_f (Ill. C, 2°):a* _f (Ill. C, 2°): от 11,0 до +8,0from 11.0 to +8.0 от -8,0 до +3,0-8.0 to +3.0 b*_f(Ill. C, 2°):b* _f (Ill. C, 2°): от -14,0 до +10,0-14.0 to +10.0 от -11,0 до +1,0-11.0 to +1.0 ΔE*_f:∆E* _f : <= 4,0 или <= 2,0<= 4.0 or <= 2.0 <= 1,5<= 1.5 R_gY (Ill. C, 2 градуса):R _g Y (Ill. C, 2 degrees): <= 13%<= 13% <= 11%<= 11% a*_g (Ill. C, 2°):a* _g (Ill. C, 2°): от -5,0 до +4,0-5.0 to +4.0 от -3,0 до +1,0-3.0 to +1.0 b*_g (Ill. C, 2°):b* _g (Ill. C, 2°): от -20,0 до +10,0-20.0 to +10.0 от -18,0 до -5,0-18.0 to -5.0 ΔE*_g:∆E* _g : <= 2,5 или <= 2,0<= 2.5 or <= 2.0 <= 1,5<= 1.5

ПРИМЕРЫ 1-14EXAMPLES 1-14

[0042] Примеры 1-14 представлены только в качестве образца и не устанавливают ограничения. На Рис. 3 показаны многослойные покрытия для Примеров 2, 4 и 6, а на Рис. 4 - многослойные покрытия для Примеров 1, 3 и 5. Второе многослойное покрытие на Рис. 5 является многослойным покрытием для Примеров 7 и 9, а третье многослойное покрытие на Рис. 5 - многослойным покрытием для Примеров 8 и 10. На Рис. 9 показаны многослойные покрытия для Примеров 11 и 13, а на Рис. 10 - многослойные покрытия для Примеров 12 и 14. [0042] Examples 1-14 are provided by way of example only and are not intended to be limiting. On Fig. 3 shows the multi-layer coatings for Examples 2, 4 and 6, and Fig. 4 - multi-layer coatings for Examples 1, 3 and 5. The second multi-layer coating in Fig. 5 is the multilayer coating for Examples 7 and 9, and the third multilayer coating in Fig. 5 - multilayer coating for Examples 8 and 10. In Fig. 9 shows the multilayer coatings for Examples 11 and 13, and Fig. 10 - multilayer coatings for Examples 12 and 14.

[0043] Данные для Примеров 1-14 представлены на Рис. 6-8. На Рис. 6-8 представлены данные для монолитных изделий (после нанесения покрытия - as coated, AC), а также данные по термообработке (после термообработки - heat treated, HT), в частности, по термическому отпуску. Данные, представленные в верхней трети Рис. 6-8, являются измеренными данными для монолитного изделия, а данные в центральной части Рис. 6-8 представляют собой данные изоляционного стеклопакета, в котором покрытие наносится на поверхность два в блоке изоляционного стеклопакета при толщине стеклянных подложек 3,8-4,0 мм. Осаждение слоев нитрида кремния выполнялось путем распыления с использованием кремниевой мишени (легированной примерно 8% Al) в атмосфере, содержащей газообразный аргон и азот. Рис. 6-8 демонстрируют Примеры, в которых, при условии наличия двойного серебряного покрытия, обеспечивается достижение сочетания следующих аспектов: предпочтительного коэффициента пропускания в видимом диапазоне спектра, последовательных и низких значений коэффициента излучения, термической устойчивости при дополнительной термообработке, например, при термическом отпуске, низкого значения теплопроводности U, предпочтительного значения селективности LSG для многослойного защитного стекла и предпочтительных значений окрашивания и (или) коэффициента отражения. [0043] The data for Examples 1-14 are shown in Figs. 6-8. On Fig. 6-8 shows data for monolithic products (after coating - as coated, AC), as well as data on heat treatment (after heat treatment - heat treated, HT), in particular, for thermal tempering. The data presented in the upper third of Fig. 6-8 are measured data for a monolithic product, and the data in the central part of Fig. 6-8 are data of an insulating glass unit in which a coating is applied to surface two in an insulating glass unit with a glass substrate thickness of 3.8-4.0 mm. The deposition of silicon nitride layers was performed by sputtering using a silicon target (doped with approximately 8% Al) in an atmosphere containing gaseous argon and nitrogen. Rice. 6-8 show Examples in which, assuming a double silver plating, a combination of the following aspects is achieved: preferable transmittance in the visible spectrum, consistent and low emissivity values, thermal stability with additional heat treatment, for example, thermal tempering, low thermal conductivity value U, preferred selectivity value LSG for laminated safety glass and preferred coloration and/or reflectance values.

[0044] В примере реализации данного изобретения используется изделие с покрытием, включающее покрытие, основой для которого служит стеклянная подложка и которое в направлении от стеклянной подложки включает в себя: диэлектрический слой с содержанием оксинитрида цирконий-кремния; первый слой с содержанием станната цинка; первый слой с содержанием оксида цинка, расположенный поверх и в непосредственном контакте со слоем с содержанием станната цинка; первый ИК-отражающий слой с содержанием серебра, расположенный на подложке поверх и в непосредственном контакте с первым слоем с содержанием оксида цинка; и контактный слой с содержанием оксида металла, расположенный поверх и в непосредственном контакте с первым ИК-отражающим слоем с содержанием серебра; второй слой с содержанием станната цинка на стеклянной подложке поверх по меньшей мере первого ИК-отражающего слоя и контактного слоя; второй слой с содержанием оксида цинка, расположенный поверх по меньшей мере второго слоя с содержанием станната цинка; второй ИК-отражающий слой с содержанием серебра, расположенный поверх по меньшей мере первого ИК-отражающего слоя, первого и второго слоев с содержанием станната цинка и первого и второго слоев с содержанием оксида цинка; еще один диэлектрический слой поверх по меньшей мере второго ИК-отражающего слоя с содержанием серебра; при этом покрытие имеет два ИК-отражающих слоя на основе серебра; при этом второй ИК-отражающий слой с содержанием серебра по меньшей мере на 10 ангстремов (Å) толще первого ИК-отражающего слоя с содержанием серебра; при этом диэлектрический слой с содержанием оксинитрида цирконий-кремния по меньшей мере на 10 ангстремов (Å) толще первого слоя с содержанием станната цинка; при этом второй слой с содержанием станната цинка по меньшей мере на 20 ангстремов (Å) толще диэлектрического слоя с содержанием оксинитрида цирконий-кремния. [0044] In an embodiment of the present invention, a coated article is used, including a coating based on a glass substrate and which, in the direction from the glass substrate, includes: a dielectric layer containing zirconium-silicon oxynitride; the first layer containing zinc stannate; a first zinc oxide layer placed over and in direct contact with the zinc stannate layer; a first IR-reflective layer containing silver, located on the substrate on top of and in direct contact with the first layer containing zinc oxide; and a contact layer containing metal oxide located on top of and in direct contact with the first IR-reflective layer containing silver; a second layer containing zinc stannate on a glass substrate over at least the first IR reflective layer and the contact layer; a second layer containing zinc oxide, located on top of at least a second layer containing zinc stannate; a second IR reflective layer containing silver, located on top of at least the first IR reflective layer, the first and second layers containing zinc stannate and the first and second layers containing zinc oxide; another dielectric layer on top of at least the second IR-reflective layer containing silver; while the coating has two IR-reflecting layers based on silver; wherein the second IR reflective layer containing silver is at least 10 angstroms (Å) thicker than the first IR reflective layer containing silver; wherein the dielectric layer containing zirconium-silicon oxynitride is at least 10 angstroms (Å) thicker than the first layer containing zinc stannate; while the second layer containing zinc stannate is at least 20 angstroms (Å) thicker than the dielectric layer containing zirconium-silicon oxynitride.

[0045] Изделия с покрытием из непосредственно предшествующего пункта могут также содержать поглощающий слой, расположенный между и в контакте с первым и вторым диэлектрическими слоями с содержанием нитрида кремния, между первым и вторым ИК-отражающими слоями. Поглощающий слой может изготавливаться из или с содержанием Ni и C и (или) Ni, Cr и Mo. Поглощающий слой может быть металлическим или в значительной степени металлическим. [0045] The coated articles of the immediately preceding claim may also include an absorbent layer located between and in contact with the first and second silicon nitride containing dielectric layers, between the first and second IR reflective layers. The absorption layer may be made of or containing Ni and C and/or Ni, Cr and Mo. The absorbent layer may be metallic or substantially metallic.

[0046] В изделии с покрытием из любого из двух предшествующих пунктов второй ИК-отражающий слой с содержанием серебра может быть по меньшей мере на 20 ангстремов (Å) толще первого ИК-отражающего слоя с содержанием серебра, более предпочтительно по меньшей мере на 40 ангстремов (Å) толще первого слоя с содержанием серебра. [0046] In an article coated with any of the two preceding claims, the second silver containing IR reflective layer may be at least 20 angstroms (Å) thicker than the first silver containing IR reflective layer, more preferably at least 40 angstroms (Å) thicker than the first layer containing silver.

[0047] В изделии с покрытием из любого из трех предшествующих пунктов диэлектрический слой с содержанием оксинитрида цирконий-кремния может быть по меньшей мере на 20 ангстремов (Å) толще первого слоя с содержанием станната цинка. [0047] In an article coated with any of the three preceding claims, the zirconium silicon oxynitride dielectric layer may be at least 20 angstroms (Å) thicker than the first zinc stannate layer.

[0048] В изделии с покрытием из любого из четырех предшествующих пунктов второй слой с содержанием станната цинка может быть по меньшей мере на 40 ангстремов (Å) толще диэлектрического слоя с содержанием оксинитрида цирконий-кремния, более предпочтительно по меньшей мере на 60 ангстремов (Å) толще диэлектрического слоя с содержанием оксинитрида цирконий-кремния. [0048] In an article coated with any of the four preceding claims, the second zinc stannate layer may be at least 40 angstroms (Å) thicker than the zirconium silicon oxynitride dielectric layer, more preferably at least 60 angstroms (Å ) is thicker than the dielectric layer containing zirconium-silicon oxynitride.

[0049] В изделии с покрытием из любого из пяти предшествующих пунктов слой с содержанием оксинитрида цирконий-кремния может содержать по меньшей мере в три раза больше азота, чем кислорода. [0049] In an article coated with any of the five preceding claims, the zirconium-silicon oxynitride layer may contain at least three times more nitrogen than oxygen.

[0050] В изделии с покрытием из любого из шести предшествующих пунктов соотношение Zr/Si (по атомной массе) может составлять от 0,30 до 0,47 в слое с содержанием оксинитрида цирконий-кремния, более предпочтительно от 0,35 до 0,44. [0050] In an article coated with any of the preceding six claims, the Zr/Si ratio (by atomic weight) may be from 0.30 to 0.47 in the layer containing zirconium silicon oxynitride, more preferably from 0.35 to 0, 44.

[0051] В изделии с покрытием из любого из семи предшествующих пунктов может присутствовать слой с содержанием оксида титана поверх и в непосредственном контакте со слоем с содержанием оксинитрида цирконий-кремния. [0051] In an article coated with any of the preceding seven claims, a titanium oxide layer may be present on top of and in direct contact with the zirconium silicon oxynitride layer.

[0052] В изделии с покрытием из любого из восьми предшествующих пунктов слой с содержанием оксинитрида цирконий-кремния может непосредственно контактировать со стеклянной подложкой. [0052] In an article coated with any of the eight preceding claims, the zirconium-silicon oxynitride layer may directly contact the glass substrate.

[0053] В изделии с покрытием из любого из девяти предшествующих пунктов слой с содержанием оксинитрида цирконий-кремния может иметь толщину 50-200 Å. [0053] In an article coated with any of the nine preceding claims, the zirconium-silicon oxynitride layer may have a thickness of 50-200 Å.

[0054] В изделии с покрытием из любого из десяти предшествующих пунктов измеренная в монолитном изделии с покрытием пропускная способность в видимом диапазоне спектра может составлять не менее 40%. [0054] In a coated article of any one of the ten preceding claims, the visible bandwidth measured in a coated monolithic article may be at least 40%.

[0055] В изделии с покрытием из любого из одиннадцати предшествующих пунктов контактный слой может включать в себя Ni и (или) Cr. [0055] In an article coated with any of the eleven preceding claims, the contact layer may include Ni and/or Cr.

[0056] В изделии с покрытием из любого из двенадцати предшествующих пунктов конфигурация изделия с покрытием может иметь значение коэффициента отражения на стороне стекла ΔE* не выше 2,5 в результате термообработки, достаточной для проведения термического отпуска, более предпочтительно не выше 1,5 в результате термообработки, достаточной для проведения термического отпуска. [0056] In the coated article of any one of the preceding twelve claims, the configuration of the coated article may have a glass-side reflectance value ΔE* of no more than 2.5 as a result of heat treatment sufficient to effect thermal tempering, more preferably no more than 1.5 in the result of heat treatment sufficient for thermal tempering.

[0057] Изделие с покрытием из любого из тринадцати предшествующих пунктов может также содержать: поглощающий слой, расположенный между и в контакте с первым и вторым диэлектрическими слоями с содержанием нитрида кремния, между первым и вторым ИК-отражающими слоями; третий слой с содержанием станната цинка, расположенный поверх поглощающего слоя и поверх первого и второго диэлектрического слоев с содержанием нитрида кремния; при этом третий слой с содержанием станната цинка расположен под и в непосредственном контакте со вторым слоем с содержанием оксида цинка. [0057] The article coated with any of the thirteen preceding claims may also include: an absorbing layer located between and in contact with the first and second dielectric layers containing silicon nitride, between the first and second IR reflective layers; a third layer containing zinc stannate located on top of the absorbing layer and on top of the first and second dielectric layers containing silicon nitride; while the third layer containing zinc stannate is located under and in direct contact with the second layer containing zinc oxide.

[0058] Изделие с покрытием из любого из четырнадцати предшествующих пунктов может использоваться в блоке изоляционного стеклопакета, при этом блок изоляционного стеклопакета имеет значение теплопроводности U не выше 1,1, блок изоляционного стеклопакета также содержит другую подложку, при этом покрытие может присутствовать на поверхности два в блоке изоляционного стеклопакета. [0058] An article coated with any of the fourteen preceding claims may be used in an insulating glass unit, wherein the insulating glass unit has a thermal conductivity value U of at most 1.1, the insulating glass unit also contains another substrate, and the coating may be present on the surface of two in an insulating glass unit.

[0059] Хотя изобретение было описано исходя из того, что на настоящий момент считается самым практически целесообразным и предпочтительным примером реализации, необходимо понимать, что изобретение не должно ограничиваться раскрытым примером реализации, но, напротив, призвано охватить различные модификации и аналогичные компоновки, которые по существу и объему включаются в прилагаемые пункты формулы изобретения. [0059] Although the invention has been described on the basis of what is currently considered the most practical and preferred embodiment, it should be understood that the invention should not be limited to the disclosed embodiment, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and similar arrangements that spirit and scope are included in the appended claims.

Claims

1. A coated product based on a glass substrate, and in order of distance from the glass substrate, the coating includes:

a dielectric layer containing zirconium-silicon oxynitride;

the first layer containing zinc stannate;

a first layer containing zinc oxide, located on top of and in direct contact with the layer containing zinc stannate;

a first infrared (IR) reflective layer that contains silver and is positioned on the substrate over and in direct contact with the first zinc oxide layer; and

a first metal oxide layer overlying and in direct contact with the silver IR reflective layer;

a second layer containing zinc stannate on a glass substrate over at least the first IR reflective layer and the contact layer;

a second layer containing zinc oxide, located on top of at least a second layer containing zinc stannate;

a second IR reflective layer containing silver located at least over the first IR reflective layer, the first and second layers containing zinc stannate, and the first and second layers containing zinc oxide;

another dielectric layer on top of at least the second IR-reflective layer containing silver;

while the coating contains two IR-reflective layers based on silver;

wherein the second IR reflective layer containing silver is at least 10 angstroms thicker than the first IR reflective layer containing silver;

wherein the dielectric layer containing zirconium-silicon oxynitride is at least 10 angstroms thicker than the first layer containing zinc stannate; and

while the second layer containing zinc stannate is at least 20 angstroms thicker than the dielectric layer containing zirconium-silicon oxynitride.

2. The coated article of claim 1, wherein the coating also comprises an absorbent layer located between and in contact with the first and second silicon nitride dielectric layers, between the first and second IR reflective layers.

3. The coated article according to claim 2, wherein the absorbing layer contains Ni and Cr.

4. Coated article according to claim 2, wherein the absorbent layer contains Ni, Cr and Mo.

5. Coated product according to any one of paragraphs. 2-4, where the absorbent layer is metallic or substantially metallic.

6. A coated article according to any one of the preceding claims, wherein the second silver containing IR reflective layer is at least 20 angstroms thicker than the first silver containing IR reflective layer.

7. A coated article according to any one of the preceding claims, wherein the second silver containing IR reflective layer is at least 40 angstroms thicker than the first silver containing IR reflective layer.

8. A coated article according to any one of the preceding claims, wherein the dielectric layer containing zirconium-silicon oxynitride is at least 20 angstroms thicker than the first layer containing zinc stannate.

9. A coated article according to any one of the preceding claims, wherein the second zinc stannate layer is at least 40 angstroms thicker than the zirconium silicon oxynitride dielectric layer.

10. A coated article according to any one of the preceding claims, wherein the second zinc stannate layer is at least 60 angstroms thicker than the zirconium silicon oxynitride dielectric layer.

11. A coated article according to any one of the preceding claims, wherein the zirconium-silicon oxynitride layer contains at least three times more nitrogen than oxygen.

12. A coated article according to any one of the preceding claims, wherein the Zr/Si atomic weight ratio is between 0.30 and 0.47 in the layer containing zirconium silicon oxynitride.

13. A coated article according to any one of the preceding claims, wherein the Zr/Si atomic weight ratio is between 0.35 and 0.44 in the layer containing zirconium silicon oxynitride.

14. A coated article according to any one of the preceding claims, wherein the titanium oxide layer is placed over and in direct contact with the zirconium silicon oxynitride layer.

15. A coated article according to any one of the preceding claims, wherein the zirconium silicon oxynitride layer is in direct contact with the glass substrate.

16. A coated article according to any one of the preceding claims, wherein the zirconium-silicon oxynitride layer has a thickness of 50-200 angstroms.

17. A coated article according to any one of the preceding claims, wherein the visible bandwidth measured in the monolithic coated article is at least 40%.

18. Coated article according to any one of the preceding claims, wherein the contact layer contains Ni and/or Cr.

19. A coated article according to any one of the preceding claims, wherein the coated article is configured to have a glass-side reflectance value ΔE* not greater than 2.5 as a result of a heat treatment sufficient to allow thermal tempering.

20. A coated article according to any one of the preceding claims, wherein the coated article is configured to have a glass-side reflectance value ΔE* of no more than 1.5 as a result of a heat treatment sufficient to effect thermal tempering.

21. A coated article according to any one of the preceding claims, wherein the coating also comprises:

an absorbing layer located between and in contact with the first and second dielectric layers containing silicon nitride, between the first and second IR reflective layers;

the third layer containing zinc stannate is located on top of the absorbing layer and on top of the first and second dielectric layers containing silicon nitride;

while the third layer containing zinc stannate is located under and in direct contact with the second layer containing zinc oxide.

22. An insulating glass unit including a coated article according to any of the preceding claims, wherein the insulating glass unit has a thermal conductivity value U of at most 1.1, the insulating glass unit also comprises another substrate, and the coating is on the surface of two insulating glass units.

23. Coated product, the basis for which is a glass substrate, while in order of distance from the glass substrate, the coating includes:

dielectric layer containing zirconium and oxygen;

the first layer containing zinc stannate;

a first zinc oxide layer placed over and in direct contact with the zinc stannate layer;

while the coating contains two IR-reflective layers based on silver;

wherein the dielectric layer containing zirconium and oxygen is at least 10 angstroms thicker than the first layer containing zinc stannate; and

wherein the second layer containing zinc stannate is at least 20 angstroms thicker than the dielectric layer containing zirconium and oxygen.

24. The coated article of claim 23, wherein the coating also comprises an absorbent layer positioned between and in contact with the first and second silicon nitride containing dielectric layers, between the first and second IR reflective layers.

25. The coated article according to claim 24, wherein the absorbent layer contains Ni and Cr.

26. Coated product according to any one of paragraphs. 23-25, where the second IR reflective layer containing silver is at least 20 angstroms thicker than the first IR reflective layer containing silver.

27. Coated product according to any one of paragraphs. 23-26, where the layer containing zirconium and oxygen is in direct contact with the glass substrate.

28. Coated product according to any one of paragraphs. 23-27, where the throughput in the visible range of the spectrum measured in a coated monolithic product is at least 40%.

29. Coated product according to any one of paragraphs. 23-28, where the configuration of the coated article provides for a glass-side reflectance value ΔE* not higher than 2.5 as a result of a heat treatment sufficient to conduct thermal tempering.

30. Coated product according to any one of paragraphs. 23-29, where the coated article is configured to have a glass-side reflectance value ΔE* not higher than 1.5 as a result of a heat treatment sufficient to allow thermal tempering.