[go: up one dir, main page]

RU2725203C1 - Mechanical quantity sensor - Google Patents

Mechanical quantity sensor Download PDF

Info

Publication number
RU2725203C1
RU2725203C1 RU2019124606A RU2019124606A RU2725203C1 RU 2725203 C1 RU2725203 C1 RU 2725203C1 RU 2019124606 A RU2019124606 A RU 2019124606A RU 2019124606 A RU2019124606 A RU 2019124606A RU 2725203 C1 RU2725203 C1 RU 2725203C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
plate
support
vertical wall
cells
electrolyte
Prior art date
Application number
RU2019124606A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Сергей Иванович Евтушенко
Владимир Владимирович Фирсов
Тимофей Александрович Крахмальный
Евгений Геннадьевич Скибин
Original Assignee
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) имени М.И. Платова"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) имени М.И. Платова" filed Critical федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) имени М.И. Платова"
Priority to RU2019124606A priority Critical patent/RU2725203C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2725203C1 publication Critical patent/RU2725203C1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
    • G01H11/06—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means
    • G01H11/08—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means using piezoelectric devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

FIELD: measurement.SUBSTANCE: invention relates to measurement equipment, is intended for conversion of dynamic mechanical values, including vibration and impact acceleration into electric signal, and can be used in various industries, in particular, construction, for seismic measurements, experimental research. Mechanical values sensor consists of an L-shaped support made of an electrically insulating material, an elastic metal plate and an inertia element. Resilient metal plate is rigidly fixed to the vertical wall of the support from one end. Inertial element is attached to the other end of the plate. Both surfaces of the plate adjoining the jamming point are in contact with electrolyte of two electrochemical cells. Each cell is made in the form of a hollow quarter sphere of elastic electric insulating material, one arched flat surface of the case of which is glued to the horizontal surface of the plate, and the other one - to the vertical wall of the support. Current-collecting counter electrodes of the cells are made from metal of the plate, tightly embedded in the vertical wall of the support, some of their free ends are in contact with electrolyte of cells, and others - are withdrawn from the support wall.EFFECT: technical result is higher reliability and reliability of conversion of dynamic mechanical values to an electrical signal in a wide range of loads and frequencies.1 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для преобразования динамических механических величин, в том числе, вибрационного и ударного ускорения, в электрический сигнал и может быть использовано в различных отраслях в частности, в строительной, для сейсмических измерений, экспериментальных исследований.The invention relates to measuring equipment, is intended for converting dynamic mechanical quantities, including vibration and shock acceleration, into an electrical signal and can be used in various industries, in particular, in construction, for seismic measurements, experimental studies.

Известен датчик механических величин с балочным консольно закрепленным изгибным упругим элементом и тензорезисторными преобразователями его деформации в электрический сигнал [http://tokves.ru/datchiki-balochnyie.html?yclid=1736387897797397239].A known sensor of mechanical quantities with a beam cantilever fixed flexural elastic element and strain gauge converters of its deformation into an electrical signal [http://tokves.ru/datchiki-balochnyie.html?yclid=1736387897797397239].

Недостатками такого датчика являются:The disadvantages of such a sensor are:

а) необходимость источника питания мостовой схемы, что увеличивает энергопотребление;a) the need for a bridge circuit power supply, which increases energy consumption;

б) возможна неполная передача деформации от упругого элемента к тензорезистору через клеевой слой, свойства которого зависят от внешних условий (температуры, влажности), старения, характера измеряемых нагрузок.b) the incomplete transfer of deformation from the elastic element to the strain gauge through the adhesive layer, the properties of which depend on external conditions (temperature, humidity), aging, the nature of the measured loads, is possible.

Известен датчик механических величин [В.В. Янчич. Пьезоэлектрические датчики вибрационного и ударного ускорения. Учеб. Пособие. Ростов-на-Дону, 2008, С.49, рис. 3.4 б; http://diss.seluk.ru/m-elektrotelmika/474496-1-yanchich-pezoelektricheskie-datchiki-vibracionnogo-udarnogo-uskoreniya-uchebnoe-posobie-rostov-na-donu-2008-recenzenti-docent-ka.php], принятый за прототип, состоящий из элемента консольного типа, пьезоэлемента и инерционного элемента. Консоль выполнена в виде металлической Г-образной опоры, в вертикальную стенку которой жестко защемлена с одного конца упругая горизонтально расположенная металлическая пластина с инерционным элементом на другом конце, пьезоэлемент приклеен в зоне максимальных механических напряжений пластины, возникающих при ее изгибе под действием измеряемой величины. Недостатками такого датчика являются:A known sensor of mechanical quantities [V.V. Yancich. Piezoelectric sensors for vibration and shock acceleration. Textbook Allowance. Rostov-on-Don, 2008, p. 49, fig. 3.4 b; http://diss.seluk.ru/m-elektrotelmika/474496-1-yanchich-pezoelektricheskie-datchiki-vibracionnogo-udarnogo-uskoreniya-uchebnoe-posobie-rostov-na-donu-2008-recenzenti-docent-ka.php] adopted for the prototype, consisting of an element of the cantilever type, a piezoelectric element and an inertial element. The cantilever is made in the form of a metal L-shaped support, in the vertical wall of which an elastic horizontal metal plate with an inertial element at the other end is rigidly pinched from one end, the piezoelectric element is glued in the zone of maximum mechanical stresses of the plate that arise when it is bent under the influence of a measured quantity. The disadvantages of such a sensor are:

а) хрупкость пьезоэлемента и зависимость его характеристик от внешних условий и условий эксплуатации;a) the fragility of the piezoelectric element and the dependence of its characteristics on external conditions and operating conditions;

б) клеевой слой, который является промежуточным элементом в передаче деформации, имеет невысокую прочность и надежность, а также отрицательно влияет на временную и температурную стабильность метрологических характеристик;b) the adhesive layer, which is an intermediate element in the transfer of deformation, has low strength and reliability, and also negatively affects the temporal and temperature stability of metrological characteristics;

в) возникновение чувствительности к ротационным колебаниям, вызванных тем, что центры масс пьезоэлектрического и инерционного элементов разнесены на некоторое расстояние и не совпадают с центром инерции устройства;c) the occurrence of sensitivity to rotational vibrations caused by the fact that the centers of mass of the piezoelectric and inertial elements are spaced a certain distance and do not coincide with the center of inertia of the device;

г) высокоомное выходное сопротивление, создающее трудности в регистрации измеряемой величины и помехоустойчивости.d) high-resistance output impedance, which creates difficulties in recording the measured value and noise immunity.

Общей проблемой измерения неэлектрических величин (усилий, давлений, вибрации и пр.) датчиками подобного вида с первичным преобразователем в виде чувствительного упруго демпфируемого элемента, вторичного преобразователя (тензорезистора, пьезоэлемента) и клеевого слоя между ними, является снижение надежности и достоверности преобразований измеряемой величины в электрический сигнал.A common problem in measuring non-electric quantities (forces, pressures, vibration, etc.) with sensors of this kind with a primary transducer in the form of a sensitive elastically damped element, a secondary transducer (strain gauge, piezoelectric element) and an adhesive layer between them, is a decrease in the reliability and reliability of the measured value transformations in electrical signal.

Изобретение направлено на решение задачи по повышению надежности и достоверности преобразований динамических механических величин в электрический сигнал в широком диапазоне нагрузок и частот. Техническим результатом является прямое преобразование деформации чувствительного упругого элемента в электрический сигнал.The invention is aimed at solving the problem of improving the reliability and reliability of the conversion of dynamic mechanical quantities into an electrical signal in a wide range of loads and frequencies. The technical result is a direct conversion of the deformation of a sensitive elastic element into an electrical signal.

Технический результат достигается датчиком механических величин, состоящим из элемента консольного типа в виде Г-образной опоры, в вертикальную стенку которой жестко защемлена с одного конца горизонтально расположенная упругая металлическая пластина с инерционным элементом на другом конце, при этом Г-образная опора выполнена из электроизоляционного материала, а обе поверхности пластины, примыкающие к месту защемления, находятся в контакте с электролитом двух электрохимических ячеек, корпус каждой из которых выполнен в виде полой четверть сферы из эластичного электроизоляционного материала, одна дугообразная плоская поверхность корпуса которой приклеена к горизонтальной поверхности пластины, а другая к вертикальной стенке опоры, токосъемные противоэлектроды ячеек выполнены из металла пластины, герметично заделаны в вертикальной стенке опоры, одни их свободные концы находятся в контакте с электролитом ячеек, а другие выведены из стенки опоры.The technical result is achieved by a mechanical quantity sensor, consisting of a cantilever type element in the form of an L-shaped support, in the vertical wall of which a horizontally located elastic metal plate with an inertial element on the other end is rigidly pinched at the other end, while the L-shaped support is made of electrical insulating material and both surfaces of the plate adjacent to the pinch point are in contact with the electrolyte of two electrochemical cells, the body of each of which is made in the form of a hollow quarter of a sphere of elastic electrical insulating material, one curved flat surface of the body is glued to the horizontal surface of the plate, and the other to the vertical wall of the support, the collector counter electrodes of the cells are made of plate metal, hermetically sealed in the vertical wall of the support, some of their free ends are in contact with the electrolyte of the cells, and others are removed from the wall of the support.

На фиг. 1 показан общий вид датчика. На фиг. 2 - разрез по А-А.In FIG. 1 shows a general view of the sensor. In FIG. 2 - section along aa.

Датчик механических величин состоит из Г-образной опоры 1, выполненной из электроизоляционного материала, упругой металлической пластины 2 и инерционного элемента 3, двух электрохимических ячеек, каждая из которых включает корпус 4, электролит 5, токосъемный противоэлектрод 6. Горизонтально расположенная упругая металлическая пластина 2 жестко защемлена с одного конца в вертикальную стенку Г-образной опоры 1, инерционный элемент 3 закреплен на другом конце металлической пластины 2, корпуса электрохимических ячеек 4 выполнены из эластичного электроизоляционного материала в виде полых четверть сфер, заполненных электролитом 5, одна дугообразная плоская поверхность корпуса 4 приклеена к горизонтальной поверхности металлической пластины 2, а другая - к вертикальной стенке Г-образной опоры 1, причем одна электрохимическая ячейка 4 закреплена сверху пластины 2, а другая - снизу. Токосъемные противоэлектроды 6 ячеек 4 выполнены из металла пластины 2, герметично заделаны в вертикальной стенке Г-образной опоры 1, одни их свободные концы находятся в контакте с электролитом 5 ячеек 4, а другие выведены из стенки Г-образной опоры 1.The mechanical quantity sensor consists of a L-shaped support 1 made of an insulating material, an elastic metal plate 2 and an inertial element 3, two electrochemical cells, each of which includes a housing 4, an electrolyte 5, a collector counter electrode 6. A horizontally positioned elastic metal plate 2 is rigidly pinched from one end to the vertical wall of the L-shaped support 1, the inertial element 3 is fixed to the other end of the metal plate 2, the housing of the electrochemical cells 4 are made of elastic electrical insulating material in the form of a hollow quarter of the spheres filled with electrolyte 5, one curved flat surface of the housing 4 is glued to the horizontal surface of the metal plate 2, and the other to the vertical wall of the L-shaped support 1, and one electrochemical cell 4 is fixed on top of the plate 2, and the other on the bottom. The collector counter electrodes of 6 cells 4 are made of metal of the plate 2, hermetically sealed in the vertical wall of the L-shaped support 1, some of their free ends are in contact with the electrolyte 5 of the cells 4, and others are removed from the wall of the L-shaped support 1.

Датчик работает следующим образом. При воздействии на него вибрации, сейсмических колебаний, прочих сотрясений они воспринимаются упругой металлической пластиной 2 с инерционным элементом 3, при этом верхняя и нижняя поверхности металлической пластины 2 попеременно растягиваются и сжимаются. Зоны максимальных механических напряжений, возникающие при изгибах пластины и находящиеся в контакте с электролитом, представляют собой деформируемые электроды. Известно [Гохштейн А.Я. Поверхностное натяжение твердых тел и адсорбция. Под ред. А.Н. Фрумкина, М., Наука, 1976, С.33], что если при деформации электрода, находящегося в контакте с электролитом, изменяется его площадь, то возникает эффект упругого заряжения. При этом, если заряд электрода поддерживается постоянным, например, путем введения демпфирующего сопротивления в цепь электрода, то меняется потенциал самого электрода. В электрохимических ячейках 4 эти изменения фиксируются относительно токосъемных противоэлектродов 6. Так как изменение площади деформируемых электродов ячеек 4 близки по величине, но противоположны по знаку, то выходной сигнал увеличивается в два раза. Таким образом достигается эффект прямого преобразования механической деформации чувствительного упругого элемента в электрический сигнал.The sensor operates as follows. When exposed to vibration, seismic vibrations, other shocks, they are perceived by an elastic metal plate 2 with an inertial element 3, while the upper and lower surfaces of the metal plate 2 are alternately stretched and compressed. The zones of maximum mechanical stresses that occur during bending of the plate and are in contact with the electrolyte are deformable electrodes. It is known [Gokhshtein A.Ya. Surface tension of solids and adsorption. Ed. A.N. Frumkina, M., Nauka, 1976, P.33], that if, when the electrode in contact with the electrolyte deforms, its area changes, then the effect of elastic charging occurs. Moreover, if the electrode charge is kept constant, for example, by introducing damping resistance into the electrode circuit, then the potential of the electrode itself changes. In the electrochemical cells 4, these changes are recorded relative to the collector counter electrodes 6. Since the change in the area of the deformable electrodes of the cells 4 are close in magnitude, but opposite in sign, the output signal is doubled. Thus, the effect of direct conversion of the mechanical deformation of the sensitive elastic element into an electrical signal is achieved.

Выбором соотношения длины и толщины упругой металлической пластины 2 и массы инерционного элемента 3 можно в широких пределах регулировать диапазон измеряемых динамических нагрузок и частот [Ю.И. Иоркш. Виброметрия. Издание второе, переработанное и дополненное. М., Гос. научно-техн. изд-во машиностроительной лит-ры, 1963].By choosing the ratio of the length and thickness of the elastic metal plate 2 and the mass of the inertial element 3, it is possible to widely control the range of measured dynamic loads and frequencies [Yu.I. Yorkshire. Vibrometry. Second edition, revised and enlarged. M., State. scientific and technical publishing house of machine-building literature, 1963].

При снятии с упругой металлической пластины 2 инерционного элемента 3 датчик может быть использован для регистрации усилий, перемещений путем непосредственного воздействия измеряемой величины на свободный конец пластины.When removing the inertial element 3 from the elastic metal plate 2, the sensor can be used to record forces and movements by directly influencing the measured value on the free end of the plate.

Предлагаемое изобретение имеет следующие преимущества перед заявленным прототипом:The invention has the following advantages over the claimed prototype:

а) низкоомное выходное сопротивление, обусловленное малым сопротивлением электролита, обеспечивает простоту измерения и помехоустойчивость,a) low resistance output resistance due to the low resistance of the electrolyte, provides ease of measurement and noise immunity,

б) снижение чувствительности к ротационным колебаниям, вызванное малым весом электрохимических ячеек и двухсторонним их креплением к упругой пластине и жесткой вертикальной стенке,b) a decrease in sensitivity to rotational vibrations caused by the low weight of the electrochemical cells and their two-sided fastening to an elastic plate and a rigid vertical wall,

в) отсутствие клеевого слоя и пьезоэлемента, как промежуточных преобразователей деформации.c) the absence of an adhesive layer and a piezoelectric element, as intermediate deformation converters.

Таким образом, решается задача по повышению надежности и достоверности преобразования динамических механических величин в электрический сигнал в широком диапазоне нагрузок и частот, при этом технический результат достигается за счет прямого преобразования возникающей при этом деформации чувствительного упругого элемента в электрический сигнал.Thus, the problem is solved to increase the reliability and reliability of the conversion of dynamic mechanical quantities into an electrical signal in a wide range of loads and frequencies, while the technical result is achieved by directly converting the resulting deformation of a sensitive elastic element into an electrical signal.

Claims (1)

Датчик механических величин, состоящий из элемента консольного типа в виде Г-образной опоры, в вертикальную стенку которой жестко защемлена с одного конца горизонтально расположенная упругая металлическая пластина с инерционным элементом на другом конце, отличающийся тем, что Г-образная опора выполнена из электроизоляционного материала, а обе поверхности металлической пластины, примыкающие к месту защемления, находятся в контакте с электролитом двух электрохимических ячеек, корпус каждой из которых выполнен в виде полой четвертьсферы из эластичного электроизоляционного материала, одна дугообразная плоская поверхность корпуса приклеена к горизонтальной поверхности металлической пластины, а другая - к вертикальной стенке Г-образной опоры, токосъемные противоэлектроды двух электрохимических ячеек выполнены из металла пластины, герметично заделаны в вертикальной стенке Г-образной опоры, одни их свободные концы находятся в контакте с электролитом ячеек, а другие выведены из стенки Г-образной опоры.A mechanical quantity sensor, consisting of a cantilever type element in the form of a L-shaped support, in the vertical wall of which a horizontally located elastic metal plate with an inertial element on the other end is rigidly pinched at one end, characterized in that the L-shaped support is made of electrical insulating material, and both surfaces of the metal plate adjacent to the pinch point are in contact with the electrolyte of two electrochemical cells, the body of each of which is made in the form of a hollow quarter-sphere of elastic insulating material, one curved flat surface of the body is glued to the horizontal surface of the metal plate, and the other to the vertical wall of the L-shaped support, the collector counter electrodes of two electrochemical cells are made of plate metal, hermetically sealed in the vertical wall of the L-shaped support, some of their free ends are in contact with the electrolyte of the cells, and others are withdrawn from the wall of the L-shaped th support.
RU2019124606A 2019-07-30 2019-07-30 Mechanical quantity sensor RU2725203C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019124606A RU2725203C1 (en) 2019-07-30 2019-07-30 Mechanical quantity sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019124606A RU2725203C1 (en) 2019-07-30 2019-07-30 Mechanical quantity sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2725203C1 true RU2725203C1 (en) 2020-06-30

Family

ID=71509894

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019124606A RU2725203C1 (en) 2019-07-30 2019-07-30 Mechanical quantity sensor

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2725203C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2796268C2 (en) * 2020-12-30 2023-05-19 Общество С Ограниченной Ответственностью "Асм-Геотех" Mechanical sensor

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU940074A1 (en) * 1980-12-31 1982-06-30 Предприятие П/Я А-3759 Accelerometer
FR2537726A1 (en) * 1982-12-10 1984-06-15 Thomson Csf Surface elastic wave accelerometer
SU1134889A1 (en) * 1983-01-10 1985-01-15 Куйбышевский институт инженеров железнодорожного транспорта Device for measuring force
RU2113715C1 (en) * 1996-01-30 1998-06-20 Научно-производственный центр "Динамика" Piezoelectric accelerometer
RU2421736C1 (en) * 2009-10-20 2011-06-20 Открытое акционерное общество "Авангард" Accelerometer

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU940074A1 (en) * 1980-12-31 1982-06-30 Предприятие П/Я А-3759 Accelerometer
FR2537726A1 (en) * 1982-12-10 1984-06-15 Thomson Csf Surface elastic wave accelerometer
SU1134889A1 (en) * 1983-01-10 1985-01-15 Куйбышевский институт инженеров железнодорожного транспорта Device for measuring force
RU2113715C1 (en) * 1996-01-30 1998-06-20 Научно-производственный центр "Динамика" Piezoelectric accelerometer
RU2421736C1 (en) * 2009-10-20 2011-06-20 Открытое акционерное общество "Авангард" Accelerometer

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
В.В. ЯНЧИЧ. ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ ВИБРАЦИОННОГО И УДАРНОГО УСКОРЕНИЯ, Ростов-на-Дону, 2008, С.49, рис. 3.4 б. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2796268C2 (en) * 2020-12-30 2023-05-19 Общество С Ограниченной Ответственностью "Асм-Геотех" Mechanical sensor
RU2808101C1 (en) * 2023-06-29 2023-11-23 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Московский государственный строительный университет" (НИУ МГСУ) Mechanical sensor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4258565A (en) Force detector
US3269175A (en) Piezoelectric force measuring device
CN102155987B (en) Differential capacitor type micro-vibration sensor
CN105116168A (en) Three-dimensional FBG (fiber bragg grating) acceleration sensor based on flexure hinges
CN101769938B (en) Czochralski Accelerometer Based on Fiber Bragg Grating
US5362929A (en) Weight sensor device
RU2725203C1 (en) Mechanical quantity sensor
CN101762720A (en) Piezoelectric type acceleration sensor
US3545283A (en) Non-linear accelerometer
RU2796268C2 (en) Mechanical sensor
RU2582910C1 (en) Piezoelectric accelerometer
RU2657550C1 (en) Pressure cell for measuring voltages in soils
RU2808101C1 (en) Mechanical sensor
US3222919A (en) Mechanical impedance measuring system
CN215893845U (en) Gasket type sensor
US3279245A (en) Transducer
US3395569A (en) Dynamic curvature sensing and measuring device
CN114414035A (en) Piezoelectric sensor calibration device and method and vibration sensor
RU170862U1 (en) SENSITIVE SENSOR OF A SHOCK SENSOR
JP3711709B2 (en) Spiral seismograph
RU2756041C1 (en) Piezoelectric accelerometer
RU2786382C1 (en) Pressure transducer
CN222069897U (en) A high-sensitivity piezoelectric vibration sensor
RU2788310C1 (en) Autonomous pressure sensor
JP4172468B2 (en) Spiral vibration detector