RU2716867C1 - Система измерения трёхмерного линейного и углового ускорения и перемещения объекта в пространстве с использованием волоконных брэгговских решеток - Google Patents
Система измерения трёхмерного линейного и углового ускорения и перемещения объекта в пространстве с использованием волоконных брэгговских решеток Download PDFInfo
- Publication number
- RU2716867C1 RU2716867C1 RU2019127647A RU2019127647A RU2716867C1 RU 2716867 C1 RU2716867 C1 RU 2716867C1 RU 2019127647 A RU2019127647 A RU 2019127647A RU 2019127647 A RU2019127647 A RU 2019127647A RU 2716867 C1 RU2716867 C1 RU 2716867C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- fiber
- measuring
- light guide
- housing
- fiber optic
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/58—Turn-sensitive devices without moving masses
- G01C19/64—Gyrometers using the Sagnac effect, i.e. rotation-induced shifts between counter-rotating electromagnetic beams
- G01C19/72—Gyrometers using the Sagnac effect, i.e. rotation-induced shifts between counter-rotating electromagnetic beams with counter-rotating light beams in a passive ring, e.g. fibre laser gyrometers
- G01C19/721—Details
- G01C19/722—Details of the mechanical construction
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относится к измерительной технике. Сущность изобретения заключается в том, что система измерения трёхмерного линейного и углового ускорения и перемещения объекта в пространстве с использованием волоконных брэгговских решеток содержит блок формирования широкополосного сигнала светового потока, оптоволоконный световод, оптический циркулятор, цифровое вычислительное устройство, при этом датчик измерения содержит герметичный корпус, внутри корпуса посредством оптоволоконного световода закреплен мерный грузик, на каждом измерительном участке между корпусом и мерным грузиком оптоволоконный световод содержит в себе волоконную брэгговскую решетку, на последнем измерительном участке оптоволоконный световод закреплен на виброизолирующей площадке, которая в свою очередь закреплена на корпусе на расстоянии от мерного грузика. Технический результат – повышение точности и надежности измерения ускорения, вибрации и перемещения объекта. 3 ил.
Description
Изобретение относятся к измерительной технике и предназначено для измерения трехмерного ускорения, вибрации и перемещения мерного грузика в герметичном вакуумированном корпусе. При установке устройства измерения на Брэгговских решетках на объект, оно реализует функцию измерения и оценки вибрации, ускорения и перемещения объекта в пространстве.
Известен акселерометр (Патент РФ №2441247, дата приоритета 24.05.2010), который относится к приборам измерения параметров движения летательных аппаратов, и может быть использовано при изготовлении прецизионных маятниковых компенсационных акселерометров.
Акселерометр содержит подвижную пластину - маятник на упругом подвесе. На маятнике закреплены катушки датчика момента, а на неподвижной части - магниты и полюсные наконечники, при этом к торцам магнитов крепятся вставки из пермаллоя. Между вставкой и основным магнитопроводом имеется круговой воздушный зазор. В основном (рабочем) зазоре, образованном магнитопроводом и полюсным наконечником, помещается катушка датчика момента. Зазор между маятником и неподвижными частями магнитопровода (боковые пластины) обеспечивается с помощью трех платиков (выступов) с каждой стороны опорного кольца центральной кварцевой пластины. В качестве демпфирующего газа используется гелий, а между упругим подвесом и магнитопроводом введены алюминиевые вставки.
Из уровня техники известны электромеханические акселерометры и гироскопы, выполненные по технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС). Известно большое количество разнообразных схем микромеханических гироскопов (ММГ). Общим конструктивным признаком ММГ - вибрационных датчиков угловой скорости, является использование в них различных по конфигурации двухстепенных упругих подвесов чувствительного элемента (ЧЭ).
Принцип работы ММГ заключается в создании перемещения относительно корпуса знакопеременного поступательного либо вращательного движения ЧЭ по одной из степеней свободы и измерении перемещений по другой степени свободы, возникающих под действием кориолисовых сил или гироскопических моментов при наличии переносной угловой скорости корпуса. Этот принцип поясняется на примере ММГ с двухстепенным упругим подвесом и поступательными перемещениями ЧЭ. При наличии знакопеременной относительной линейной скорости V вдоль оси ОХ и переносной измеряемой угловой скорости вокруг оси OZ появляются знакопеременное ускорение Кориолиса и соответствующая ему сила вдоль оси ОY.
Недостатками указанного аналога являются невысокая точность и чувствительность измерений за счет восприимчивости к электромагнитным помехам.
Известны устройства - лазерные гироскопы, которые используют эффект Саньяка (например волоконно - оптический гироскоп (Патент РФ №2444704, дата публикации 10.03.2012): появление фазового сдвига встречных световых волн во вращающемся кольцевом интерферометре. В отличие от механического гироскопа, данный прибор не стремится сохранить начальное направление, а измеряет абсолютную угловую скорость, проинтегрировав которую можно получить значение угла, на который совершен поворот.Преимущества данного гироскопа - цифровой выходной сигнал, малое время готовности, отсутствие подвижных частей (в некоторых случаях).
Недостаткам лазерных гироскопов являются отсутствие возможности измерения углового ускорения по нескольким осям, а также изменение длины оптического пути под воздействием теплового расширения, давления и механических деформаций.
Целью предлагаемого изобретения является создание системы реализующей функцию измерения и оценки кориолисовых сил инерции посредством оценки вибрации, ускорения вращения и перемещения объекта в пространстве по трем осям Х,У,Z и устойчивого к электромагнитным помехам и датчика измерения содержащего чувствительную массу.
Техническим результатом изобретения является устойчивость к электромагнитным помехам при измерении линейного и углового ускорения объекта в пространстве по трем осям Х,У,Z, за счет чего достигается надежность и точность измерения.
Технический результат достигается за счет того, что система измерения трехмерного линейного и углового ускорения и перемещения объекта в пространстве с использованием волоконных брэгговских решеток содержит блок формирования широкополосного сигнала светового потока соединенный оптоволоконным световодом с первым портом оптического циркулятора, второй порт оптического циркулятора соединен оптоволоконным световодом с датчиком измерения, третий порт оптического циркулятора соединен оптоволоконным световодом со входом спектрометра, вход блока формирования широкополосного сигнала светового потока и выход спектрометра соединены с цифровым вычислительным устройством, при этом датчик измерения содержит герметичный корпус с входными и выходными отверстиями для оптоволоконного световода, внутри герметичного корпуса посредством оптоволоконного световода закреплен мерный грузик, причем оптоволоконный световод по меньшей мере пять раз проходит через корпус и мерный грузик, образуя по меньшей мере десять измерительных участков между корпусом и мерным грузиком, на каждом измерительном участке между корпусом и мерным грузиком оптоволоконный световод содержит в себе волоконную брэгговскую решетку, на последнем измерительном участке оптоволоконный световод закреплен на виброизолирующей площадке, которая в свою очередь закреплена на корпусе на расстоянии от мерного грузика.
Акселерометры широко используются во многих областях инженерной деятельности для измерения перемещений. Их реализуемый принцип действия - линейный генератор. Типичный акселерометр состоит из чувствительной массы, поддерживаемой пружиной (упругим подвесом), которая во многих случаях является самостоятельным чувствительным элементом, реализованным в устройстве в качестве измерительного элемента.
В качестве пружинных элементов в предлагаемом изобретении используются оптические волокна с использованием волоконной брэгговской решетки (ВБР) размещенные в герметичном корпусе представленного датчика измерения (оптическое волокно, проходит через отверстия в корпусе и в мерном грузике (чувствительной массе). Влияние температуры на измерения компенсировано путем применения ВБР в этом же волокне.
Сформированные в оптическом волокне ВБР являются оптическими фильтрами для набегающего широкополосного лазерного излучения в оптическом световоде, которые формируют оптоволоконный фотонный резонанс на определенной длине волны для каждой ВБР в соответствии с законом Брэгга - λВ=2(х neff - измеряемый сигнал отраженного светового потока. Отраженный сигнал каждой ВБР выделяет часть светового потока, созданного сверхлюминисцентным диодом широкополосного когерентного излучения светового потока - является предметом измерения оптического полезного сигнала светового потока при приложении к ВБР нагрузки от Кориолисовых сил из-за движения корпуса системы измерения трехмерного линейного и углового ускорения и перемещения, закрепленного на объекте в пространстве относительно мерного грузика, что приводит к смещению отраженной длины волны - δλВБР1…δλВБР9, закрепленных на оптическом оптоволоконном световоде волокне. Датчик температуры определяет ее значение в герметичном корпусе - δλВБР10.
Оптоволоконный ВБР датчик не меняет свои характеристики при измерении полезного сигнала - деформации в течение всего своего полного жизненного цикла.
Важной характеристикой ВБР датчик является скорость передачи оптического полезного сигнала по оптоволоконному волокну световода, которая в 1,5 раза меньше скорости света в вакууме. Практически не имеет ограничений на скорость проведения измерений в динамическом режиме при измерении полезного сигнала вибрации кроме ограничения технических возможностей измерительных приборов.
Оптоволоконные ВБР датчики измерительной системы могут располагаться за десятки километров от оптоволоконной измерительной системы (далее ОВИС). К одной ОВИС можно подключить десятки систем трехмерного ускорения, вибрации и перемещения, расположенных в различных агрегатах объекта.
Оптоволоконный датчик на ВБР обладает существенными преимуществом по сравнению с другими датчиками и системами измерения для их основы - высокой скоростью распространения полезного сигнала по оптическому световоду. Он не подвергается электромагнитным помехам, обладает высокой точностью измерения. Измеряемая деформация волоконным оптическим датчиком имеет линейную зависимость по отношению к измеряемой величине деформации датчика ВБР - линейное смещение длины волны оптоволоконного резонанса - δλВ.
Техническая сущность предполагаемого изобретения поясняется графическими изображениями. На фиг. 1 изображен датчик измерения в продольном сечении, на фиг. 2 датчик измерения в поперечном сечении, на фиг. 3 блок схема системы измерения.
Система содержит:
1) Герметичный корпус;
2) Оптоволоконный световод;
3) Волоконная брэгговская решетка для определения ускорения перемещения;
4) Волоконная брэгговская решетка для определения ускорения вращения;
5) Выходное отверстие оптоволоконных световодов;
6) Мерный грузик;
7) Цифровое вычислительное устройство;
8) Драйвер управления сверлюминисцентным диодом;
9) Кабель управления;
10) Сверхлюминисцентный диод;
11) Оптоволоконный световод;
12) Спектрометр;
13) Оптический циркулятор;
14) Волоконная брэгговская решетка для определения температуры;
15) Датчик измерения;
16) Блок формирования широкополосного сигнала светового потока;
На фиг. 1 и фиг. 2 показана конструкция датчика измерения в виде герметичного корпуса 1, мерного грузика 6 с отверстиями для прохождения оптоволоконный световода, расположенного в центре корпуса и закрепленного на оптоволоконном световоде. Оптоволоконный световод пронизывает корпус и мерный грузик устройства измерения через соответствующие отверстия, образуя измерительные участки между корпусом и мерным грузиком. Оптоволоконный световод на измерительных участках содержит датчики ВБР 3, 4 служащими для определения ускорения перемещения и вращения мерного грузика по трем осям и датчик ВБР 14 для определения изменения температуры.
На фиг. 3 приведена блок схема системы измерения и оценки кориолисовых сил инерции для получения значений вибрации, ускорения, и перемещения объекта в пространстве по трем осям Х,У,Z вращения и трем осям перемещения Х,У,Z объекта.
Датчик измерения служит для передачи воздействия от движения объекта в пространстве по трем осям Х,У,Z относительного вращения и трем осям перемещения Х,У,Z посредством смещения мерного грузика относительно корпуса посредством преобразования сигналов от деформаций (растяжения - сжатия, изгиба) от датчиков ВБР - результата измерений оптоволоконного резонанса светового потока от длин волн λB1(λB9).
Датчик измерения представляет из себя герметичный корпус с отверстиями для световода, световод пронизывает корпус и мерный грузик не менее 5 раз, и образует 9 измерительных участков на которых закреплен мерный грузик и 10 измерительный участок, который закреплен на виброизолирующей площадке. Измерительные участки оптического световода, на которых закреплен мерный грузик содержат в себе ВБР.
В состав блока формирования широкополосного сигнала светового потока входит драйвер управления сверлюминисцентным диодом 8, кабель управления - 9, сверхлюминисцентный диод (СЛД) - 10, оптоволоконный световод - 2.
Цифровое вычислительное устройство 7 представляет из себя персональный компьютер, либо бортовую цифровую вычислительную машину, которая осуществляет роль управления формированием светового потока, и роль сбора, обработки и анализа полученных из спектрометра данных программным способом.
Система измерения трехмерного линейного и углового ускорения и перемещения объекта в пространстве с использованием волоконных брэгговских решеток работает следующим образом.
Герметичный корпус 1 датчика измерения, размещенного на объекте при движении объекта перемещается вместе с ним. Мерный грузик 6 под воздействием внешних инерционных сил смещается, отставая от корпуса. Оптоволоконный световод 11, на котором закреплен грузик и подсоединенное к корпусу датчика измерения начинает деформироваться. Деформация передается на каждый из ВБР - 3 и 4, встроенные в оптоволоконный световод, изменяют свое состояние от инерционного ускорения смещения корпуса 1.
Деформация датчиков ВБР приводит к растяжению - сжатию, изгибу оптических волокон датчиков ВБР и изменению периода решеток Брэгга - (и как следствие изменению длины волны - λB, согласно формулы - λB=2Λ·neff (где neff - эффективный коэффициент отражения сигнала светового потока). Формируется отраженный световой поток полезного сигнала от ВБР из основного светового потока, поданного со СЛД 10, через оптический циркулятор - 13. В сущности он является комбинированным полезным измерительным сигналом оптической деформации датчиков ВБР по трем осям Х,У,Z относительного вращения и трем осям перемещения Х,У,Z. Аналоговый сигнал (световое излучение) попадает в спектрометр 12, где преобразуется в цифровой электрический сигнал и поступает для дальнейшей обработки в цифровое вычислительное устройство - 7. Данные попадая на цифровое вычислительное устройство обрабатываются, и после обработки выводятся в удобном для пользователя виде.
Формирование лазерного сигнала осуществляется путем подачи сигнала от цифрового вычислительного устройства 7, который по электрическому кабелю 9 попадает на блок формирование лазерного сигнала 16, в драйвер управления СЛД 8. Основное назначение драйвера - управление параметрами лазерного излучения путем поддержания тока накачки лазера и заданной температуры в корпусе СЛД.
В блоке формирования широкополосного сигнала светового потока 16 формируется лазерное излучение - световой поток, который по оптоволоконному световоду поступает в оптический циркулятор 13, основное назначение которого - формирование полезного сигнала светового потока, полученного от ВБР. Циркулятор 13 - оптический прибор, разделяющий световой поток на три части по трем портам с помощью встроенных в него оптических призм. С первого порта от СЛД световой поток поступает на второй порт циркулятора, далее на датчики ВБР 3, 4, 14, от датчиков ВБР 3, 4, 14 отраженный сигнал поступает обратно на циркулятор 13, и далее через порт 3 на спектрометр 12.
Отраженный сигнал от датчиков ВБР 3, 4, 14 формирует значение сигнала от воздействия инерционных сил при движении объекта в пространстве по трем осям Х,У,Z относительного вращения и трем осям перемещения Х,У,Z посредством смещения мерного грузика относительно корпуса посредством преобразования сигналов от деформаций растяжения - сжатия и изгиба; направления вращения корпуса лазерного гироскопа с помощью датчиков ВБР 4. Датчик ВБР 14 служит для компенсации температурных изменений в корпусе лазерного гироскопа. Отраженные сигналы светового потока датчиков ВБР 3, 4, 14 в направлении противоположном основному потоку поступают через циркулятор 13 на спектрометр 12.
Световой поток полезного сигнала с датчиков ВБР 3, 4, 14, поступает по оптическому волокну в оптический разъем спектрометра 12 через систему поворотных зеркал, поступает на фокусное зеркало - коллиматор со встроенной дифракционной решеткой.
Здесь происходит преобразование светового потока в параллельное упорядоченное излучение для восприятия его части системой измерения, и получения кадра световой картины измеряемого полезного сигнала светового потока на - ПЗС (прибор с зарядовой связью - матрица). ПЗС прибор позволяет получить аналоговый сигнал видео. Для получения цифрового высокоскоростного изображения - кадра полезного сигнала служит аналоговый цифровой преобразователь. Для передачи данных цифрового кадра существует конвертор протокола цифрового сигнала кадра изображения, входящий в состав аналогово цифрового преобразователя. С выходного разъема спектрометра 12 по протоколу, кадр для обработки поступает на вход цифрового вычислительного устройства 7, где обрабатывается для получения данных измерения трехмерного ускорения, вибрации и перемещения.
Техническое преимущество предлагаемого изобретения заключается в измерении трехмерного ускорения, вибрации и перемещения объекта или его агрегатов с помощью оптоволоконного лазерной системы реализованной на датчиках с ВБР. Которые сохраняют свои характеристики при измерении деформации полезного сигнала в течение всего своего полного жизненного цикла. Появляется возможность, подключения десятков датчиков к одной ОВИС, располагая ее при этом на значительном удалении от объекта контроля, выполнение измерений осуществляется с высокой скоростью. Датчики измерения раскрытые в данной системе не подвергаются воздействию электромагнитных помех, обеспечивая высокую точность измерений.
Таким образом, предложенное изобретение может найти широкое применение в различных областях техники.
Claims (1)
- Система измерения трёхмерного линейного и углового ускорения и перемещения объекта в пространстве с использованием волоконных брэгговских решеток, характеризующаяся тем, что содержит блок формирования широкополосного сигнала светового потока, соединенный оптоволоконным световодом с первым портом оптического циркулятора, второй порт оптического циркулятора соединен оптоволоконным световодом с датчиком измерения, третий порт оптического циркулятора соединен оптоволоконным световодом с входом спектрометра, вход блока формирования широкополосного сигнала светового потока и выход спектрометра соединены с цифровым вычислительным устройством, при этом датчик измерения содержит герметичный корпус с входными и выходными отверстиями для оптоволоконного световода, внутри герметичного корпуса посредством оптоволоконного световода закреплен мерный грузик, причем оптоволоконный световод по меньшей мере пять раз проходит через корпус и мерный грузик, образуя по меньшей мере десять измерительных участков между корпусом и мерным грузиком, на каждом измерительном участке между корпусом и мерным грузиком оптоволоконный световод содержит в себе волоконную брэгговскую решетку, на последнем измерительном участке оптоволоконный световод закреплен на виброизолирующей площадке, которая в свою очередь закреплена на корпусе на расстоянии от мерного грузика.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2019127647A RU2716867C1 (ru) | 2019-09-02 | 2019-09-02 | Система измерения трёхмерного линейного и углового ускорения и перемещения объекта в пространстве с использованием волоконных брэгговских решеток |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2019127647A RU2716867C1 (ru) | 2019-09-02 | 2019-09-02 | Система измерения трёхмерного линейного и углового ускорения и перемещения объекта в пространстве с использованием волоконных брэгговских решеток |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2716867C1 true RU2716867C1 (ru) | 2020-03-17 |
Family
ID=69898555
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2019127647A RU2716867C1 (ru) | 2019-09-02 | 2019-09-02 | Система измерения трёхмерного линейного и углового ускорения и перемещения объекта в пространстве с использованием волоконных брэгговских решеток |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2716867C1 (ru) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2749641C1 (ru) * | 2020-07-21 | 2021-06-16 | Игорь Леонидович Дробот | Универсальный инерциальный волоконно-оптический акселерометр |
CN114166333A (zh) * | 2021-12-14 | 2022-03-11 | 武汉理工大学三亚科教创新园 | 一种海底振动信号测量装置和测量方法 |
RU2780667C1 (ru) * | 2021-11-30 | 2022-09-28 | Федеральное государственное военное казённое образовательное учреждение высшего профессионального образования "Военная академия Материально-технического обеспечения имени генерала армии А.В. Хрулева" Министерства обороны Российской Федерации | Адаптивное устройство измерения параметров движения снаряда на этапе внутренней баллистики |
CZ310097B6 (cs) * | 2022-09-29 | 2024-08-07 | Vysoká Škola Báňská-Technická Univerzita Ostrava | Optovláknový vibrační snímač |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6087655A (en) * | 1998-05-19 | 2000-07-11 | Kobrin; Boris | Fiber grating encoders and methods for fabricating the same |
RU2444704C1 (ru) * | 2010-10-26 | 2012-03-10 | Открытое акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Волоконно-оптический гироскоп |
US20160202284A1 (en) * | 2013-09-25 | 2016-07-14 | Institut National D'optique | All-optical system responsive to motion and optical module for use in the same |
RU179547U1 (ru) * | 2017-11-14 | 2018-05-17 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Волоконно-оптическое устройство регистрации вибраций |
RU2676392C1 (ru) * | 2018-02-07 | 2018-12-28 | Александр Иванович Королев | Устройство для измерения скорости на основе волоконного интерферометра Саньяка |
-
2019
- 2019-09-02 RU RU2019127647A patent/RU2716867C1/ru active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6087655A (en) * | 1998-05-19 | 2000-07-11 | Kobrin; Boris | Fiber grating encoders and methods for fabricating the same |
RU2444704C1 (ru) * | 2010-10-26 | 2012-03-10 | Открытое акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Волоконно-оптический гироскоп |
US20160202284A1 (en) * | 2013-09-25 | 2016-07-14 | Institut National D'optique | All-optical system responsive to motion and optical module for use in the same |
RU179547U1 (ru) * | 2017-11-14 | 2018-05-17 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Волоконно-оптическое устройство регистрации вибраций |
RU2676392C1 (ru) * | 2018-02-07 | 2018-12-28 | Александр Иванович Королев | Устройство для измерения скорости на основе волоконного интерферометра Саньяка |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2749641C1 (ru) * | 2020-07-21 | 2021-06-16 | Игорь Леонидович Дробот | Универсальный инерциальный волоконно-оптический акселерометр |
RU2780667C1 (ru) * | 2021-11-30 | 2022-09-28 | Федеральное государственное военное казённое образовательное учреждение высшего профессионального образования "Военная академия Материально-технического обеспечения имени генерала армии А.В. Хрулева" Министерства обороны Российской Федерации | Адаптивное устройство измерения параметров движения снаряда на этапе внутренней баллистики |
CN114166333A (zh) * | 2021-12-14 | 2022-03-11 | 武汉理工大学三亚科教创新园 | 一种海底振动信号测量装置和测量方法 |
CN114166333B (zh) * | 2021-12-14 | 2024-05-07 | 武汉理工大学三亚科教创新园 | 一种海底振动信号测量装置和测量方法 |
CZ310097B6 (cs) * | 2022-09-29 | 2024-08-07 | Vysoká Škola Báňská-Technická Univerzita Ostrava | Optovláknový vibrační snímač |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Lu et al. | Review of micromachined optical accelerometers: From mg to sub-μg | |
EP1821107B1 (en) | Pressure compensated optical accelerometer, optical inclinometer and seismic sensor system | |
US7222534B2 (en) | Optical accelerometer, optical inclinometer and seismic sensor system using such accelerometer and inclinometer | |
RU2716867C1 (ru) | Система измерения трёхмерного линейного и углового ускорения и перемещения объекта в пространстве с использованием волоконных брэгговских решеток | |
CA2921227C (en) | All-optical system responsive to motion and optical module for use in the same | |
EP3088905B1 (en) | System and methods for highly integrated optical readout mems sensors | |
JP2010175545A (ja) | 高感度加速度計 | |
EP0456681B1 (en) | Optical displacement sensor | |
US5099690A (en) | Fiber-optic gyroscope accelerometer | |
Van Heijningen et al. | A novel interferometrically read out inertial sensor for future gravitational wave detectors | |
Nie et al. | A proposal to enhance high-frequency optical MEMS accelerometer sensitivity based on a one-dimensional photonic crystal wavelength modulation system | |
US5061069A (en) | Fiber-optic bender beam interferometer accelerometer | |
RU2749641C1 (ru) | Универсальный инерциальный волоконно-оптический акселерометр | |
US5044749A (en) | Fiber-optic bender beam interferometer rate sensor | |
RU2310166C1 (ru) | Инерциальный измерительный прибор | |
Cervera et al. | An inertial uni-axial interferometer-based accelerometer for harsh environments | |
Masek et al. | Fibre optic based 3-D accelerometer design | |
CN108646053B (zh) | 一种激光加速度计 | |
Barbin et al. | Temperature Effect on the Mechanical Transmission Coefficient of a Microoptoelectromechanical Accelerometer | |
Duan et al. | Wide Range Optical Fiber Fabry-Perot Interferometric Accelerometer Based on Spectral Analysis | |
RU1781617C (ru) | Акселерометр-кубик Моррисона | |
Shi et al. | Nano-g Optical Fiber Accelerometer with Double-Leaf Spring Structure | |
Malayappan et al. | 6 Optical MEMS | |
Wang et al. | Silicon micromechanical accelerometer using an optical fiber | |
Bao et al. | A Silicon Optomechanical Accelerometer with High Bandwidth and Sensitivity |