RU2696068C2 - Intelligent converter - Google Patents
Intelligent converter Download PDFInfo
- Publication number
- RU2696068C2 RU2696068C2 RU2017143073A RU2017143073A RU2696068C2 RU 2696068 C2 RU2696068 C2 RU 2696068C2 RU 2017143073 A RU2017143073 A RU 2017143073A RU 2017143073 A RU2017143073 A RU 2017143073A RU 2696068 C2 RU2696068 C2 RU 2696068C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- pressure
- microcircuit
- sensitive element
- converter
- signal
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/04—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of resistance-strain gauges
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления тензорезисторных преобразователей давления.The invention relates to electronic equipment, in particular to a manufacturing technology of strain gauge pressure transducers.
Тензорезисторные преобразователи давления относятся к изделиям, использующим в качестве чувствительных элементов тонкопленочные тензорезисторные среды. Преобразователь для вывода информации об измеряемой величине использует индикатор. Эта совокупность преобразователя и индикатора обычно определяется как датчик (датчики давления, температуры и другие). Сигнал чувствительного элемента преобразователя чаще всего требует соответствующей обработки и анализа. Современным направлением в их развитии является наделение преобразователей некоторыми функциями, позволяющими говорить об определенной степени интеллектуализации. К действиям, выполняемыми встроенными в преобразователь устройствами, можно отнести самоконтроль, самодиагностику, учет нелинейности и температурных зависимостей параметров чувствительного элемента и соответствующая их корректировка. Названные характеристики преобразователя следует отнести к встроенным интеллектуальным внутренним функциям. Если данные с преобразователя используют для управления внешними устройствами, то можно говорить об интеллектуальных внешних функциях преобразователя. Для выполнения указанных интеллектуальных действий применяют микрокомпьютеры (другое название микроконтроллеры, микропроцессоры, см., например, пат. US №4644482, G01N 7/00, 21.12.1984). Для их монтажа были сделаны необходимые доработки конструкции в ряде преобразователей. При этом имеются некоторые разновидности расположения микросхем с контроллерами относительно чувствительного элемента: рядом с чувствительным элементом (см. например, пат. US №6140144, H01L 21/0014.04.1997), на крышке чувствительного элемента, ориентированного на измерение абсолютного давления (пат. RU №.2564378, G01L 9/04, 22.05.2014), вдоль оси перпендикулярной к чувствительному элементу (пат. US №9046436, G01L 7/00, G01L 9/00, G01L 19/14, 27.03.2012) и на чувствительном элементе (пат. US №9772242, G01L 9/00, G01L 9/00, G01L 19/14, от 14.12.2014).Strain gages pressure transducers relate to products using thin-film strain gages as sensitive elements. The converter uses an indicator to display information about the measured value. This set of transducer and indicator is usually defined as a sensor (pressure sensors, temperature sensors and others). The signal of the sensor element of the converter most often requires appropriate processing and analysis. A modern direction in their development is the endowment of converters with some functions that allow us to talk about a certain degree of intellectualization. The actions performed by the devices built into the converter include self-monitoring, self-diagnosis, taking into account the non-linearity and temperature dependences of the parameters of the sensitive element and their corresponding correction. The named characteristics of the converter should be attributed to the built-in intelligent internal functions. If the data from the converter is used to control external devices, then we can talk about the intelligent external functions of the converter. To perform the indicated intellectual actions, microcomputers are used (another name is microcontrollers, microprocessors, see, for example, US Pat. No. 4,644,482, G01N 7/00, 12/21/1984). For their installation, the necessary design improvements were made in a number of converters. At the same time, there are some variations in the arrangement of microcircuits with controllers relative to the sensitive element: next to the sensitive element (see, for example, US Pat. No. 6140144, H01L 21 / 0014.04.1997), on the cover of the sensor oriented to measuring absolute pressure (US Pat. No. 2564378,
В первом случае, для присоединения микросхемы к чувствительному пьезорезистивному элементу используют провода. Вывод от микросхемы для присоединения внешнего устройства не раскрывается. Указанное расположение микросхемы увеличивает геометрические размеры преобразователя.In the first case, wires are used to connect the microcircuit to the sensitive piezoresistive element. The output from the chip for attaching an external device is not disclosed. The indicated location of the microcircuit increases the geometric dimensions of the converter.
Во втором случае для расположения микросхемы используют крышку чувствительного элемента, предназначенного для измерений абсолютного давления. Контактные площадки сформированы прямо на ней, и к ним приваривают проводники для вывода на контактные площадки корпуса преобразователя. Расположение работающей микросхемы на чувствительном элементе может привести к изменению температуры элемента и, соответственно, внести определенный вклад в температурную погрешность. Кроме того, размеры чувствительного элемента должны соответствовать размерам устанавливаемой микросхемы.In the second case, for the location of the microcircuit, a cover of a sensitive element intended for measuring absolute pressure is used. Contact pads are formed directly on it, and conductors are welded to them for output to the contact pads of the converter housing. The location of a working microcircuit on a sensitive element can lead to a change in the temperature of the element and, accordingly, make a certain contribution to the temperature error. In addition, the size of the sensor must correspond to the size of the installed microcircuit.
При расположении обрабатывающей выходной сигнал микросхемы перпендикулярно чувствительному элементу потребовалось реализовать оригинальный узел передачи сигнала с чувствительного элемента на микросхему. А именно, на оголовок чувствительного элемента накладывают кольцо с контактными площадками, расположенными вровень с чувствительным элементом, для соединения контактных площадок чувствительного элементапроводниками с контактными площадками устанавливаемого кольца. В выемки указанного кольца устанавливают ответной частью плату с микросхемой. При этом контактные площадки, имеющиеся на ответных частях, вступают в соединение с контактными площадками кольца. С противоположной стороны на металлизированные выводы устанавливают выводящие обработанный микросхемой сигнал клеммы.When the processing of the output signal of the microcircuit was perpendicular to the sensitive element, it was necessary to implement the original node for transmitting the signal from the sensitive element to the microcircuit. Namely, a ring with contact pads located flush with the sensitive element is applied to the tip of the sensitive element to connect the contact pads of the sensitive element with conductors with the contact pads of the installed ring. In the recesses of the indicated ring, the mating board with the microcircuit is installed as the counterpart. In this case, the contact pads available on the mating parts come into contact with the contact pads of the ring. On the opposite side, the terminals signaling the processed signal are installed on the metallized terminals.
Конструкция имеет увеличенные размеры в длину, но это компенсируется простотой сборки устройства.The design has increased dimensions in length, but this is offset by the ease of assembly of the device.
Известны зарубежные аналоги, в которых применяют интеллектуальные преобразователи давления, содержащие функции его контроля и диагностики. Так фирма «United Electric Controls» выпускает приборы UEONESERIES, имеющие самотестирование и диагностику, программируемые точки уставок, память дляForeign analogues are known in which smart pressure transmitters are used, containing the functions of its control and diagnostics. So, the company United Electric Controls produces UEONESERIES devices with self-testing and diagnostics, programmable set points, memory for
технологических параметров. Встроенный микропроцессор обеспечивает точность измерения 0,5% и воспроизводимость результатов 0,1%, при этом он контролирует работу реле, повышая его надежность. (www.cis-automation.ru, http://www.cis-automation.ru/Catalog/RUSSIAN/8W-R.pdf, найдено в Интернете 31.10.2017).technological parameters. The built-in microprocessor provides a measurement accuracy of 0.5% and reproducibility of the results of 0.1%, while it controls the operation of the relay, increasing its reliability. (www.cis-automation.ru, http://www.cis-automation.ru/Catalog/RUSSIAN/8W-R.pdf, found on the Internet on 10/31/2017).
Если в указанном выше приборе точки уставок программируют, что не учитывает реальные скорости срабатывания управляемых реле давления устройств, то в способе управления клапаном регулирующего вентиля используют сигнал уставки величиной от 4 до 20 мА или сигнал управления, генерируемый контроллером процесса (патент РФ №2424449, F15B 9/03, от 17.01.2006). При этом сигнал сначала подают в цепь фильтра "опережение запаздывание", а затем в управляющую клапаном схему. То есть здесь формирование уставок выполнено во внешней цепи управления, где также учитываются ошибки срабатывания клапана от заданного уставкой.If the setpoint points are programmed in the above device that does not take into account the real response speeds of the controlled pressure switches of the devices, then in the method of controlling the valve of the control valve, a setpoint value of 4 to 20 mA or a control signal generated by the process controller is used (RF patent No. 2424449, F15B 9/03, from 01/17/2006). In this case, the signal is first fed to the “advance delay” filter circuit, and then to the valve control circuit. That is, here the formation of the settings is performed in the external control circuit, where the valve response errors from the setpoint are also taken into account.
Известно техническое решение, принятое в качестве наиболее близкого к предлагаемому преобразователю, в котором микросхему обработки сигнала устанавливают непосредственно на диафрагме чувствительного элемента (пат. US №5629486, G01L 9/06, от 12.01.1996). В узле вывода сигнала с чувствительного элемента золотыми дорожками выполнено соединение пьезорезисторов, сформированных на кремнии, и микросхемы обработки сигнала. Такие же дорожки идут к выводам на клеммы подсоединения, установленным на цилиндрическом кольце. Несмотря на использование золотых контактов от микросхемы может исходить тепловой поток, особенно если она достаточно мощная из-за наличия разнообразных функций. Тепловой поток искажает сопротивление резисторов, расположенных по разные стороны от микросхемы. Это трудно учесть корректирующей функцией микросхемы, что влияет на погрешность измерений. Кроме того, температура измеряемой среды может быть высокой, что может привести к дополнительному нагреву микросхемы и повлиять на измеряемый параметр.A technical solution is known, taken as the one closest to the proposed converter, in which the signal processing chip is mounted directly on the diaphragm of the sensing element (US Pat. No. 5629486,
Технической задачей предлагаемого технического решения является усовершенствование конструкции преобразователя, улучшение его характеристик по надежности, работоспособности и стабильности, а так же расширение его функциональных возможностей.The technical task of the proposed technical solution is to improve the design of the Converter, improving its characteristics in terms of reliability, performance and stability, as well as expanding its functionality.
Техническим результатом данного технического решения является конструкция преобразователя с дополнительными интеллектуальными функциями. При этом в предлагаемой конструкции повышается уровень воздействия на внешнее управляемое устройство, что осуществляется путем введения изменяемых установочных параметров и реализуется за счет сравнения скорости изменения давления при приближении к заданным граничным значениям по давлению.The technical result of this technical solution is the design of the converter with additional intelligent functions. Moreover, in the proposed design, the level of impact on the external controlled device is increased, which is achieved by introducing variable settings and is implemented by comparing the rate of change of pressure when approaching the specified boundary pressure values.
Указанная задача решается тем, что в предложенном интеллектуальном преобразователе, содержащем корпус с чувствительным элементом, узел вывода сигнала с чувствительного элемента на микросхему обработки сигнала, в последнем используют керамическое кольцо с контактными площадками и выводами, с закрытою частью его площади другим керамическим кольцом, так что площадки присоединены к чувствительному элементу, при этом кольца устанавливают на металлическое кольцо в корпусе, так что край указанного металлического кольца находится вблизи плоскости чувствительного элемента, а керамическую плату для присоединения микросхемы устанавливают через металлическое кольцо, поставленное на второе керамическое кольцо, при этом в микросхеме предусмотрен узел вывода установочных параметров для управления внешним устройством, позволяющий по изменению скорости изменения давления измеряемого чувствительным элементом варьировать установочные параметры.This problem is solved by the fact that in the proposed smart converter comprising a housing with a sensing element, a signal output unit from the sensing element to the signal processing chip, the latter uses a ceramic ring with pads and terminals, with a covered part of its area with another ceramic ring, so that the pads are attached to the sensing element, and the rings are mounted on a metal ring in the housing, so that the edge of the indicated metal ring is close to oskosti of the sensitive element, and a ceramic board for attaching the microcircuit is installed through a metal ring placed on the second ceramic ring, while in the microcircuit there is a unit for outputting the setting parameters for controlling an external device, which allows setting parameters to be varied by changing the rate of change of pressure measured by the sensitive element.
Размещение микросхемы на встроенной плате снижает влияние нескомпенсированных термических потоков и напряжений, так как она удалена от резисторов чувствительного элемента и доступна для соединения сваркой электрических соединений.Placing the microcircuit on the integrated board reduces the effect of uncompensated thermal fluxes and voltages, since it is removed from the resistors of the sensitive element and is accessible for connection by welding electrical connections.
Расположение микросхемы на встроенной плате позволяет компактно поместить ее в корпусе, не меняя размеры и конфигурацию. Конструкция позволяет термически изолировать чувствительный элемент и микросхему путем уменьшения теплового потока от рабочей среды через керамические кольца и плату. При этом уменьшается влияние быстрых изменений температуры и высокочастотных механических колебаний, передаваемых от потока рабочей среды.The location of the chip on the integrated board allows you to compactly place it in the case, without changing the size and configuration. The design allows you to thermally isolate the sensitive element and the microcircuit by reducing the heat flux from the working medium through ceramic rings and the board. At the same time, the influence of rapid temperature changes and high-frequency mechanical vibrations transmitted from the flow of the working medium is reduced.
Разнесение чувствительного элемента и микросхемы не вызывает дополнительных напряжений как при изготовлении и сборке датчика, так и при его эксплуатации в широком диапазоне температур и измеряемых давлений.The separation of the sensitive element and the microcircuit does not cause additional stresses both in the manufacture and assembly of the sensor, and during its operation in a wide range of temperatures and measured pressures.
Введение узла, ответственного за выдачу установочных параметров, позволяет использовать предлагаемую конструкцию для управления внешними устройствами с возможностью оптимальной подстройки под их характеристики.The introduction of the node responsible for issuing the installation parameters allows the proposed design to be used to control external devices with the possibility of optimal adjustment to their characteristics.
Предложенное решение поясняется приведенными чертежами.The proposed solution is illustrated by the drawings.
На фиг. 1 показан вид интеллектуального преобразователя давления, в котором показан преобразователь с контактными площадками узла вывода и микросхемой.In FIG. 1 is a view of an intelligent pressure transducer showing a transducer with pads of an output assembly and a microcircuit.
На фиг. 2 показан алгоритм использования интеллектуального преобразователя в качестве реле для управления внешним устройством.In FIG. Figure 2 shows the algorithm for using the smart converter as a relay to control an external device.
В предлагаемой конструкции в качестве примера описывай чувствительный элемент, выполненный в виде структуры «кремний на сапфире» с тензорезисторами, соединенными между собой в мост Уинстона, и микросхемой, функции которой позволяют говорить об интеллектуальных свойствах преобразователя, и обозначены в обзорной части данного описания.In the proposed design, as an example, describe a sensitive element made in the form of a "silicon on sapphire" structure with strain gauges connected to each other in the Winston bridge, and a microcircuit whose functions allow us to talk about the intellectual properties of the converter, and are indicated in the overview part of this description.
Как показано на фиг. 1, предлагаемый интеллектуальный преобразователь содержит герметичный корпус 1 с установленными в нем чувствительным элементом 2 давления. Для вывода сигнала с моста используют элементы узла вывода сигнала с чувствительного элемента посадочное металлическое кольцо 3, первое керамическое кольцо 4, второе керамическое кольцо 5, на которое сверху накладывается промежуточное металлическое кольцо 6.As shown in FIG. 1, the proposed smart converter comprises a sealed housing 1 with a
В свою очередь на промежуточное кольцо 6 устанавливают керамическую плату 9 для монтажа микросхемы 10. На первом кольце 4 смонтированы выводы 8 и контактные площадки 7 с разводкой. Площадки 7 служат для присоединения к контактным площадкам на чувствительном элементе (не показаны) разваркой проводников, например, из тонкой алюминиевой проволоки. Плоские электрические соединения выполнены методами микроэлектронных технологий, например, электрохимическими методами или напылением. В корпусе 1 имеется канал (не показан) для подвода измеряемого давления среды, что позволяет использовать преобразователь для измерения относительного давления среды.In turn, a
Механическое соединение чувствительного элемента и металлической мембраны выполнены высокотемпературной пайкой в вакууме припоем типа ПСр. Обычно микросхема имеет нормализованный или цифровой выход. В описываемом случае микросхема содержит узел, который позволяет выводить установочные параметры (уставки) для использования в управлении внешними пневматическими приборами, например, клапанами, захлопками или другими устройствами. Наличие микроконтроллера позволяет задавать и управлять уставками в зависимости от индивидуальных параметров внешних устройств. Скорости срабатывания электрических и пневматических схем внешних приборов могут существенно отличиться друг от друга. Только в случае, если датчик давления встроен в устройство регулирования вместе с клапаном, можно говорить о постоянстве уставок. Да и то в процессе эксплуатации износ оборудования будет требовать их подстройки.The mechanical connection of the sensitive element and the metal membrane is made by high-temperature soldering in vacuum solder type PSR. Typically, a chip has a normalized or digital output. In this case, the microcircuit contains a node that allows you to display the installation parameters (settings) for use in controlling external pneumatic devices, for example, valves, flaps or other devices. The presence of a microcontroller allows you to set and manage the settings depending on the individual parameters of external devices. The response speeds of electrical and pneumatic circuits of external devices can differ significantly from each other. Only if the pressure sensor is integrated in the control device together with the valve, we can talk about the constant settings. And even in the process of operation, wear and tear of equipment will require their adjustment.
Интеллектуальный преобразователь работает следующим образом.Intelligent Converter operates as follows.
Измеряемое давление рабочей среды поступает под чувствительный элемент 2, расположенного в герметичном корпусе 1 преобразователя, меняет форму чувствительного элемента и сопротивление тензорезисторов. В микросхеме 10 аналоговый сигнал от резисторов моста преобразуют в нормализованный или цифровой сигнал и подают дальше на выход преобразователя. Узел установочных параметров анализируют программой в соответствии с алгоритмом, приведенным на фиг. 2. Анализ позволяет определить используются ли контакты для подачи уставок, или преобразователь имеет только нормализованный или цифровой сигнал на выходе. На представленной схеме эта часть функций микросхемы представлена как наличие двух режимов работы. В первом случае (режим 1) преобразователь имеет на выходе только данные об измеряемой величине давления. В случае применения преобразователя с использованием функции реле (режим 2) выполняют сравнение скорости нарастания или уменьшения давления в зависимости от заданных установочных параметров. В случае если измеряемые параметры отличаются от требуемых границ поддержания давления, микросхема корректирует уставки, сдвигая или раздвигая их значения. Тем самым достигают оптимального использования возможностей управляемых внешних приборов. Интеллектуальный преобразователь подстраивается под способности внешней схемы регулирования давления и меняет установочные параметры в связи с возможными отклонениями характеристик внешнего управляемого окружения в процессе эксплуатации.The measured pressure of the working medium enters under the
Предложенные усовершенствования использованы в конструкторской документации на выпускаемый преобразователь давления, что дало возможность повысить его технический уровень и функциональные возможности.The proposed improvements were used in the design documentation for the produced pressure transducer, which made it possible to increase its technical level and functionality.
Разработанная технология изготовления усовершенствованной конструкции интеллектуального преобразователя позволяет достичь стабильности его рабочих характеристик, сохранить миниатюрность конструкции, обеспечить защиту от внешних факторов. Кроме того, расширяются его функциональные возможности по управлению внешними устройствами с требуемыми характеристиками выходного (входного) сигнала для различных значений давления.The developed manufacturing technology of the improved design of the smart converter allows to achieve the stability of its performance, to maintain the miniature design, to provide protection from external factors. In addition, its functionality for controlling external devices with the required characteristics of the output (input) signal for various pressure values is expanded.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2017143073A RU2696068C2 (en) | 2017-12-08 | 2017-12-08 | Intelligent converter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2017143073A RU2696068C2 (en) | 2017-12-08 | 2017-12-08 | Intelligent converter |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2017143073A3 RU2017143073A3 (en) | 2019-06-10 |
RU2017143073A RU2017143073A (en) | 2019-06-10 |
RU2696068C2 true RU2696068C2 (en) | 2019-07-30 |
Family
ID=66793005
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2017143073A RU2696068C2 (en) | 2017-12-08 | 2017-12-08 | Intelligent converter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2696068C2 (en) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5331857A (en) * | 1992-08-21 | 1994-07-26 | General Automotive Specialty Co., Inc. | Pressure transducer |
US5796007A (en) * | 1996-09-23 | 1998-08-18 | Data Instruments, Inc. | Differential pressure transducer |
EP1126260A1 (en) * | 1999-08-05 | 2001-08-22 | Fujikin Incorporated | Pressure detector mounting structure |
RU2362133C1 (en) * | 2007-12-27 | 2009-07-20 | Государственное Учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр" Московского Государственного института электронной техники" (ГУ НПК "ТЦ" МИЭТ) | Microelectronic absolute pressure gage and absolute pressure sensor |
RU2564376C1 (en) * | 2014-05-22 | 2015-09-27 | Федеральное Государственное Бюджетное Учреждение "Научно-Производственный Комплекс "Технологический Центр" Миэт" | Microelectronic pressure sensor with overload-protected sensitive element |
RU2603446C1 (en) * | 2015-07-30 | 2016-11-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный аэрогидродинамический институт имени профессора Н.Е. Жуковского" (ФГУП "ЦАГИ") | Device for pressure and temperature measuring |
-
2017
- 2017-12-08 RU RU2017143073A patent/RU2696068C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5331857A (en) * | 1992-08-21 | 1994-07-26 | General Automotive Specialty Co., Inc. | Pressure transducer |
US5796007A (en) * | 1996-09-23 | 1998-08-18 | Data Instruments, Inc. | Differential pressure transducer |
EP1126260A1 (en) * | 1999-08-05 | 2001-08-22 | Fujikin Incorporated | Pressure detector mounting structure |
RU2362133C1 (en) * | 2007-12-27 | 2009-07-20 | Государственное Учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр" Московского Государственного института электронной техники" (ГУ НПК "ТЦ" МИЭТ) | Microelectronic absolute pressure gage and absolute pressure sensor |
RU2564376C1 (en) * | 2014-05-22 | 2015-09-27 | Федеральное Государственное Бюджетное Учреждение "Научно-Производственный Комплекс "Технологический Центр" Миэт" | Microelectronic pressure sensor with overload-protected sensitive element |
RU2603446C1 (en) * | 2015-07-30 | 2016-11-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный аэрогидродинамический институт имени профессора Н.Е. Жуковского" (ФГУП "ЦАГИ") | Device for pressure and temperature measuring |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2017143073A3 (en) | 2019-06-10 |
RU2017143073A (en) | 2019-06-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1407239B1 (en) | Temperature compensated strain sensing apparatus | |
US7762139B2 (en) | Pressure transducer apparatus adapted to measure engine pressure parameters | |
CN102016516B (en) | Measuring transducer for process instrumentation, and method for monitoring the condition of the sensor thereof | |
US9709452B2 (en) | Systems and methods for compensating a sensor | |
CN104713675B (en) | Double range high-precision pressure sensor | |
JP2007512534A (en) | Digital output MEMS pressure sensor and method | |
CN201476927U (en) | Air pressure sensor | |
JPH06102116A (en) | Process state detection device, semiconductor sensor and state display device thereof | |
WO2015114553A1 (en) | Electro-mechanical miniaturized device for pressure measurements | |
JP2006058078A (en) | Thermal air flowmeter | |
JP3662018B2 (en) | Pressure sensor for detecting the pressure in the combustion chamber of an internal combustion engine | |
EP3933366A1 (en) | Pressure sensor | |
RU2696068C2 (en) | Intelligent converter | |
JP6093722B2 (en) | Capacitive pressure sensor | |
CN201527322U (en) | Pressure sensor | |
WO2017043384A1 (en) | Method of inspecting pressure pulse wave sensor, and method of manufacturing pressure pulse wave sensor | |
EP3926317A1 (en) | Pressure sensor | |
US20060162419A1 (en) | Measuring device with plausibility check | |
US10215651B2 (en) | Trimmable links for selectively setting transducer impedance | |
TWI638984B (en) | Separate sensing device | |
CN113557430A (en) | Sensor device and method for operating the sensor device | |
JP2006524795A (en) | High-pressure sensor that measures temperature independently of pressure | |
JP6629127B2 (en) | Pressure measuring device and method of manufacturing the device | |
JP2020123065A (en) | Flow rate control device | |
JP2018105748A (en) | Pressure sensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20191209 |