RU2654161C1 - Способ локального ионного азотирования стальных изделий в тлеющем разряде с магнитным полем - Google Patents
Способ локального ионного азотирования стальных изделий в тлеющем разряде с магнитным полем Download PDFInfo
- Publication number
- RU2654161C1 RU2654161C1 RU2017106406A RU2017106406A RU2654161C1 RU 2654161 C1 RU2654161 C1 RU 2654161C1 RU 2017106406 A RU2017106406 A RU 2017106406A RU 2017106406 A RU2017106406 A RU 2017106406A RU 2654161 C1 RU2654161 C1 RU 2654161C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- nitriding
- magnetic field
- glow discharge
- local
- plasma
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
- C23C8/38—Treatment of ferrous surfaces
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области химико-термической обработки, а именно вакуумному ионно-плазменному азотированию, и может быть использовано в машиностроении. Способ локального азотирования стального изделия в тлеющем разряде в магнитном поле включает проведение вакуумного нагрева участка стального изделия, подверженного интенсивному износу в плазме азота повышенной плотности, при этом упомянутый участок стального изделия помещают в центр кольцевой магнитной системы, установленной на катоде, в которой формируют плазму азота повышенной плотности, и осуществляют вакуумный нагрев с формированием на нем нитридного слоя, состоящего из нитрида железа Fe4N и нитрида хрома Cr4N. Обеспечивается повышение контактной долговечности и износостойкости упрочненного слоя. 2 ил., 1 пр.
Description
Изобретение относится к области химико-термической обработки, а именно вакуумному ионно-плазменному азотированию, и может быть использовано в машиностроении, для повышения надежности и долговечности широкого ассортимента деталей машин и инструментов, изготовленных из стали, а также позволяет интенсифицировать процесс азотирования.
Известен способ азотирования в плазме тлеющего разряда (патент РФ №2409700, кл. С23С 8/36, С23С 8/24, C21D 9/22, 20.01.2006), включающий азотирование в тлеющем разряде, для осуществления которого проводят вакуумный нагрев изделий в плазме азота повышенной плотности и закалку, плазму азота повышенной плотности формируют в кольцевой области вращения электронов, захваченных магнитным полем, силовые линии которого параллельны обрабатываемой поверхности, при этом электронное облако максимально локализовано у детали-катода.
Главным недостатком данного аналога является то, что с увеличением габаритов детали требуется увеличение размеров магнитной системы для получения достаточной индуктивности, что не всегда возможно.
Известен также способ локального азотирования деталей в плазме тлеющего разряда (патент РФ №2402632, кл. С23С 8/36, 29.12.2008), включающий размещение детали в вакуумной камере и присоединение детали к высоковольтному источнику питания, герметизацию вакуумной камеры и создание в ней высокого вакуума с последующей заменой на атмосферу чистого азота, получение стабильной плазмы тлеющего разряда в атмосфере чистого азота с помощью высоковольтного источника питания и потока электронов от вольфрамовой нити накала, установленной параллельно оси вакуумной камеры, который создают нагревом нити накала до температуры 2000-2500°С, при этом поток электронов сжимают электромагнитным полем с образованием плазмы тлеющего разряда в виде диска.
Недостатком аналога является сложность одновременной обработки нескольких деталей.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к заявляемому является способ вакуумного ионно-плазменного азотирования изделий из стали (патент РФ №2418095, кл. С23С 8/36, С23С 14/06, 10.05.2011), включающий проведение вакуумного нагрева изделий в плазме азота с повышенной концентрацией частиц, которую создают в тороидальной области движения электронов, образованной скрещенными электрическими и магнитными полями, при этом под действием магнитного поля, создаваемого двумя цилиндрическими магнитами, один из которых полый, электроны движутся по циклоидальным замкнутым траекториям.
Недостатком данного аналога являются ограниченные функциональные возможности, обусловленные отсутствием возможности локальной обработки материалов.
Задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является расширение функциональных возможностей способа локального ионного азотирования в магнитном поле, повышение прочностных и трибологических характеристик стальных деталей.
Технический результат - повышение контактной долговечности и износостойкости упрочненного слоя.
Поставленная задача решается, а технический результат достигается способом локального азотирования стального изделия в тлеющем разряде с магнитным полем, включающим проведение вакуумного нагрева участка стального изделия, подверженного интенсивному износу в плазме азота повышенной плотности, в отличие от прототипа, упомянутый участок стального изделия помещают в центр кольцевой магнитной системы, установленной на катоде, в которой формируют плазму азота повышенной плотности, и осуществляют вакуумный нагрев с формированием на нем нитридного слоя, состоящего из нитрида железа Fe4N и нитрида хрома Q4N, локальную обработку участка детали.
Азотирование является эффективным, но длительным процессом поверхностного упрочнения сталей и сплавов. Большая длительность технологического цикла определяется относительно низкой диффузионной подвижностью атомов азота в области температур 450-550°С. Использование скрещенных электрических и магнитных полей позволяет значительно повысить энергию частиц, увеличить количество актов ионизации и, как следствие, увеличить градиент насыщающего элемента на поверхности материала. В результате процесс диффузионного насыщения поверхностных слоев стали ионами и атомами азота значительно ускоряется [Будилов В.В., Рамазанов К.Н., Вафин Р.К. Азотирование быстрорежущей стали Р6М5 в тлеющем разряде с наложением магнитного поля // Упрочняющие технологии и покрытия. 2010. №5. С. 39-42]. Применение магнитного поля при ионном азотировании в тлеющем разряде позволяет также увеличить температуру и скорость нагрева поверхности, что объясняется более высокой плотностью ионного тока, вследствие увеличения генерации заряженных частиц электронами, которые удерживаются магнитным полем [Плетнев С.В. Магнитное поле, свойства, применение. СПб.: Гуманистика, 2004. 624 с.].
Локальная обработка актуальна для крупногабаритных и длинномерных деталей, работающих в условиях локального интенсивного износа. Для их упрочнения не требуется обработки всей поверхности, а достаточно обработки зоны локального изнашивания. Азотирование аналогичных деталей в магнитном поле усложняется вследствие отсутствия возможности бесконечного увеличения магнитной системы. Так как форма и размеры их локальных участков могут быть различными, следовательно, магнитная система должна быть трансформируемая.
Существо изобретения поясняется чертежом.
На фиг. 1 - схема реализации способа локального вакуумного ионно-плазменного азотирования изделий из стали.
На фиг. 2 - фотография микроструктуры азотированной части вала в магнитном поле.
Пример конкретной реализации способа.
Реализация способа показана на примере обработки детали - вала, из конструкционной стали 38ХМЮА, предварительно термообработанного (закалка с 940°С и высокий отпуск при 600°С), в качестве рабочего газа для ионной очистки использовался аргон. Процесс диффузионного насыщения проходил на модернизированной установке ЭЛУ-5, схема которой содержит источник питания 1, катод-деталь 2, магнитную систему 3, анод 4, устройство подачи газа 5, электронное облако 6, корпус вакуумной камеры 7, обрабатываемую деталь 8, систему охлаждения магнита 9 (фиг. 1).
В процессе реализации способа индукция магнитного поля составила B=0,03 Тл. Рабочий газ состоял из смеси азота, аргона и ацетилена (Ar 70%, N2 25%, С2Н2 5%). Предварительная ионная очистка производилась при Р=10 Па в процессе катодного распыления, температура поверхности не превышала Т-250°С. Время очистки составило 15 мин. В процессе локального ионного азотирования часть вала, подверженная интенсивному износу, находилась в центре магнитной системы 3, а не подвергающаяся износу располагалась над зоной азотирования. В течение всего процесса азотирования давление составляло Р=60 Па, температура поверхности обрабатываемой детали не превышала Т≈550°С. Обработка проводилась в течение t=6 ч.
Температура Кюри для ферромагнитного материала составляет около 300-350°С. Поскольку рабочая температура в вакуумной камере 7 составляет около T≈550°С, чтобы магнитный материал не потерял магнитные свойства и для нормального функционирования магнитной системы 3, предусмотрена система охлаждения магнита 9, включающая подачу охлаждающей жидкости, например циркуляцию воды.
В результате микротвердость стали 38ХМЮА увеличилась на 600 HV, а износостойкость увеличилась в 14 раз по сравнению с исходным состоянием. Такое улучшение износостойкости после обработки объясняется не только формированием нитридного слоя, состоящего из нитридов основного металла Fe4N, но и образованием в нем нитрида хрома Cr4N, который значительно повышает как твердость, так и износостойкость.
Итак, заявляемое изобретение позволяет расширять функциональные возможности способа локального ионного азотирования в магнитном поле, повышая прочностные и трибологические характеристики, а именно контактную долговечность и износостойкость упрочненного слоя стальных деталей.
Claims (1)
- Способ локального азотирования стального изделия в тлеющем разряде в магнитном поле, включающий проведение вакуумного нагрева участка стального изделия, подверженного интенсивному износу в плазме азота повышенной плотности, отличающийся тем, что упомянутый участок стального изделия помещают в центр кольцевой магнитной системы, установленной на катоде, в которой формируют плазму азота повышенной плотности, и осуществляют вакуумный нагрев с формированием на нем нитридного слоя, состоящего из нитрида железа Fe4N и нитрида хрома Cr4N.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2017106406A RU2654161C1 (ru) | 2017-02-27 | 2017-02-27 | Способ локального ионного азотирования стальных изделий в тлеющем разряде с магнитным полем |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2017106406A RU2654161C1 (ru) | 2017-02-27 | 2017-02-27 | Способ локального ионного азотирования стальных изделий в тлеющем разряде с магнитным полем |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2654161C1 true RU2654161C1 (ru) | 2018-05-16 |
Family
ID=62152743
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2017106406A RU2654161C1 (ru) | 2017-02-27 | 2017-02-27 | Способ локального ионного азотирования стальных изделий в тлеющем разряде с магнитным полем |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2654161C1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2711067C1 (ru) * | 2019-02-05 | 2020-01-15 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ ионного азотирования в скрещенных электрических и магнитных полях |
CN113584425A (zh) * | 2021-07-30 | 2021-11-02 | 烟台大学 | 离子渗氮磁场辅助设备、处理系统及方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6602353B1 (en) * | 1999-11-10 | 2003-08-05 | Cemm Co., Ltd. | Method for nitriding-processing iron group series alloy substrate |
RU2409700C1 (ru) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ азотирования в плазме тлеющего разряда |
RU2418095C2 (ru) * | 2009-06-29 | 2011-05-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ вакуумного ионно-плазменного азотирования изделий из стали |
RU2419676C1 (ru) * | 2009-11-12 | 2011-05-27 | Закрытое акционерное общество "Торговый дом ПКНМ" | Способ ионно-вакуумного азотирования длинномерной стальной детали в тлеющем разряде |
EP2957652A1 (en) * | 2013-02-18 | 2015-12-23 | JFE Steel Corporation | Apparatus and method for nitriding grain-oriented electrical steel sheet |
-
2017
- 2017-02-27 RU RU2017106406A patent/RU2654161C1/ru active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6602353B1 (en) * | 1999-11-10 | 2003-08-05 | Cemm Co., Ltd. | Method for nitriding-processing iron group series alloy substrate |
RU2418095C2 (ru) * | 2009-06-29 | 2011-05-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ вакуумного ионно-плазменного азотирования изделий из стали |
RU2409700C1 (ru) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ азотирования в плазме тлеющего разряда |
RU2419676C1 (ru) * | 2009-11-12 | 2011-05-27 | Закрытое акционерное общество "Торговый дом ПКНМ" | Способ ионно-вакуумного азотирования длинномерной стальной детали в тлеющем разряде |
EP2957652A1 (en) * | 2013-02-18 | 2015-12-23 | JFE Steel Corporation | Apparatus and method for nitriding grain-oriented electrical steel sheet |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2711067C1 (ru) * | 2019-02-05 | 2020-01-15 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ ионного азотирования в скрещенных электрических и магнитных полях |
CN113584425A (zh) * | 2021-07-30 | 2021-11-02 | 烟台大学 | 离子渗氮磁场辅助设备、处理系统及方法 |
CN113584425B (zh) * | 2021-07-30 | 2023-11-17 | 烟台大学 | 离子渗氮磁场辅助设备、处理系统及方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR960002632B1 (ko) | 재료의 플라즈마 증진 마그네트론 스퍼터 전착 장치 및 방법 | |
Wei et al. | Surface modification of 5CrMnMo steel with continuous scanning electron beam process | |
JPH0744080B2 (ja) | 金属蒸着処理方法及びその処理炉 | |
Cho et al. | Enhanced surface hardening of AISI D2 steel by atomic attrition during ion nitriding | |
Plotnikova et al. | Perspective of high energy heating implementation for steel surface saturation with carbon | |
RU2654161C1 (ru) | Способ локального ионного азотирования стальных изделий в тлеющем разряде с магнитным полем | |
Paosawatyanyong et al. | Nitriding of tool steel using dual DC/RFICP plasma process | |
GB2261227A (en) | Surface treatment of metals at low pressure | |
RU2418095C2 (ru) | Способ вакуумного ионно-плазменного азотирования изделий из стали | |
Tian et al. | Hybrid processes based on plasma immersion ion implantation: a brief review | |
RU2590439C1 (ru) | Способ азотирования изделия из стали в плазме тлеющего разряда | |
RU2419676C1 (ru) | Способ ионно-вакуумного азотирования длинномерной стальной детали в тлеющем разряде | |
RU2409700C1 (ru) | Способ азотирования в плазме тлеющего разряда | |
RU2640703C2 (ru) | Способ локальной обработки стального изделия при ионном азотировании в магнитном поле | |
Lebrun | Plasma-assisted processes for surface hardening of stainless steel | |
JP2001192861A (ja) | 表面処理方法及び表面処理装置 | |
RU2625864C1 (ru) | Способ низкотемпературного ионного азотирования стальных изделий в магнитном поле | |
Zhao et al. | Active screen plasma nitriding of AISI 316L austenitic stainless steel at different potentials | |
Roliński et al. | Controlling plasma nitriding of ferrous alloys | |
Kwon et al. | Geometric effect of ion nitriding on the nitride growth behavior in hollow tube | |
RU2671026C1 (ru) | Способ комбинированного плазменного упрочнения поверхности изделий из титановых сплавов | |
RU2478141C2 (ru) | Способ модификации поверхности материала плазменной обработкой | |
CN113604774A (zh) | 离子氮碳共渗磁场辅助设备、处理系统及方法 | |
RU2664106C2 (ru) | Способ низкотемпературного ионного азотирования стальных деталей | |
RU2611003C1 (ru) | Способ ионного азотирования титановых сплавов |