[go: up one dir, main page]

RU2625827C1 - Способ формирования электропроводящих плёнок, селективных по отношению к содержанию влаги в воздушной среде, путём взаимодействия на поверхности оксидных стёкол водорастворимого полимера и гексацианоферрата (ii) калия - Google Patents

Способ формирования электропроводящих плёнок, селективных по отношению к содержанию влаги в воздушной среде, путём взаимодействия на поверхности оксидных стёкол водорастворимого полимера и гексацианоферрата (ii) калия Download PDF

Info

Publication number
RU2625827C1
RU2625827C1 RU2016114667A RU2016114667A RU2625827C1 RU 2625827 C1 RU2625827 C1 RU 2625827C1 RU 2016114667 A RU2016114667 A RU 2016114667A RU 2016114667 A RU2016114667 A RU 2016114667A RU 2625827 C1 RU2625827 C1 RU 2625827C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
potassium
dimethyl
poly
film
water vapor
Prior art date
Application number
RU2016114667A
Other languages
English (en)
Inventor
Валентин Александрович Кутвицкий
Андрей Владимирович Муштанов
Елена Валерьевна Миронова
Леонид Павлович Маслов
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский технологический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский технологический университет" filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский технологический университет"
Priority to RU2016114667A priority Critical patent/RU2625827C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2625827C1 publication Critical patent/RU2625827C1/ru

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/28Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with organic material
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • G01N27/121Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/10Deposition methods
    • C03C2218/11Deposition methods from solutions or suspensions
    • C03C2218/111Deposition methods from solutions or suspensions by dipping, immersion

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

Изобретение относится к способу формирования пленок для определения содержания паров воды в воздушной среде на поверхности подложек из оксидных стекол. Технический результат – увеличение электрической проводимости, повышение чувствительности к содержанию паров воды в воздушной среде и улучшение микротвердости, однородности. На подложку из оксидного стекла наносят поли-N,N-диметил-3,4-диметиленпирролидиний хлорид методом вытягивания из водного раствора концентрацией 5-20% масс. с постоянной скоростью 2-3*10-6 м/с. Затем поверх него с использованием метода ультразвукового распыления наносится гексацианоферрат (II) калия в количестве, обеспечивающем массовое соотношение гексацианоферрата (II) калия к поли-N,N-диметил-3,4-диметиленпирролидиний хлориду, равное 2,3±0,1:1, в результате чего образуется поли-N,N-диметил-3,4-диметиленпирролидиний цианид. 2 ил.

Description

Изобретение относится к газовому анализу, а именно к датчикам контроля содержания паров воды в воздухе, в частности к формированию электропроводящей пленки на поверхности подложек из оксидного стекла. Датчик может быть использован для контроля влажности в газовых средах.
Из уровня техники известен датчик для совместного определения содержания паров воды и сероводорода в воздухе и способ его изготовления (патент РФ №2418295 от 10.05.2011). Датчик для совместного определения содержания паров воды и сероводорода в воздухе содержит диэлектрическую подложку из висмутсодержащего стекла, газочувствительный слой, электрические контакты. Подложка изготавливается из висмутсодержащего стекла состава (в % масс.): оксид висмута(III) - 70, оксид молибдена(VI) - 3-7, оксид германия(IV) - 4-17, оксид бора(III) - 6-21, а газочувствительный слой состоит из двух зон: зоны, чувствительной к содержанию паров воды, и зоны, чувствительной к содержанию сероводорода. Способ изготовления указанного датчика включает формирование на диэлектрической подложке из висмутсодержащего стекла газочувствительного слоя, состоящего из зоны, чувствительной к содержанию паров воды, и зоны, чувствительной к содержанию сероводорода, путем травления висмутсодержащего стекла в ортофосфорной кислоте с получением осадка и модифицирования осадка в обеих зонах с последующей сушкой, при этом в качестве модификатора осадка используется раствор гептамолибдата аммония.
Недостатками указанного датчика и способа его изготовления являются сложность и многостадийность изготовления, дороговизна некоторых компонентов, в частности оксида германия (IV), а также образование неоднородных областей в рецепторном слое датчика за счет аэрозольного нанесения раствора гептамолибдата аммония.
Также из уровня техники известен способ формирования многослойных нанокристаллических пленок на основе синтеза нанокристаллических оксидов и гидроксидов, отличающийся от известных тем, что синтез происходит на поверхности жидкой фазы [Патент РФ №2233791 от 10.08.2004].
Недостатком указанного способа является многостадийность процесса, что приводит к длительности и удорожанию процесса формирования многослойных нанокристаллических пленок, поскольку на первом этапе получают осадок нанокристаллических оксидов и гидроксидов, после чего модифицированный осадок подвергают тепловой, ультразвуковой и другим обработкам. Кроме этого, указанным способом сложно получить чередующиеся нанокристаллические рецепторные слои разного фазового состава контролируемой толщины.
Наиболее близким техническим решением заявленному изобретению является способ формирования пленок для определения содержания паров воды в воздушной среде, включающий последовательное нанесение на поверхность оксидного стекла аэрозольным распылением поли-N,N-диметил-3,4-диметиленпирролидиний хлорида и ультразвуковым распылением гексацианоферрата(III) калия при соотношении взаимодействующих компонентов 1:3 соответственно с образованием поли-N,N-диметил-3,4-диметиленпирролидиний цианидной пленки, селективной по отношению к парам воды.
Недостатками существующего способа являются использование для нанесения полимера метода аэрозольного распыления, что приводит к получению пленок с плохо контролируемой толщиной и к невозможности получения высокого уровня однородности распределения компонентов по ее поверхности и объему, что не позволяет обеспечить требуемый уровень технических характеристик рецепторного слоя.
Техническим результатом заявленного изобретения является возможность получения тонких пленок заданной толщины и массы, с оптимальным соотношением взаимодействующих компонентов, что обеспечивает увеличение величины отклика (электрическая проводимость), повышение чувствительности к содержанию паров воды в воздушной среде и улучшение технических характеристик пленки (микротвердость, однородность).
Технический результат достигается тем, что в отличие от известного технического решения поли-N,N-диметил-3,4-диметиленпирролидиний хлорид (далее - ПДМПХ) наносится на диэлектрическую подложку путем вытягивания из его водного раствора концентрацией 5-20% масс. с постоянной скоростью 2-3*10-6 м/с, а вместо гексацианоферрата (III) калия с использованием метода ультразвукового распыления наносится гексацианоферрат (II) калия, обладающий существенно меньшей константой устойчивости в водном растворе, что позволяет получить более однородную пленку, обладающую улучшенными техническими характеристиками.
Установленное в процессе эксперимента оптимальное соотношение масс гексацианоферрата (II) калия к ПДМПХ, необходимое для образования поли-N,N-диметил-3,4-диметиленпирролидиний цианида (далее - ПДМПЦ), составляет 2,3±0,1:1.
Преимуществом данного способа является возможность обеспечения заданной толщины пленки путем изменения концентраций раствора ПДМПХ при установленной скорости вытягивания подложки (фиг. 1). Метод позволяет обеспечить более однородное распределение компонентов в объеме слоя пленки и улучшение ее технических характеристик.
Изобретение иллюстрируется следующими примерами.
Пример 1.
Используют водный раствор ПДМПХ с концентрацией полимера 10% масс. Гексацианоферрат (II) калия массой 10 г разбавляют 300 мл дистиллированной воды.
Подготовка подложки: на очищенное оксидное стекло крепят токопроводящим клеем медные электроды на расстоянии 1 см. Изготовленную подложку высушивают при комнатной температуре не менее 4 часов.
Нанесение раствора ПДМПХ на подложку осуществляют методом вытягивания подложки с постоянной скоростью в пределах 2-3*10-6 м/с из раствора полимера. Полученная зависимость толщины пленки от концентрации ПДМПХ в растворе при скорости вытягивания 2,5*10-6 м/с представлена на фиг. 1. Для ультразвукового распыления раствора гексацианоферрата (II) калия используют бытовой ультразвуковой распылитель жидкости марки Wellton DHU-445. Время нанесения гексацианоферрата (II) калия на пленку из ПДМПХ для достижения массового соотношения гексацианоферрата (II) калия к ПДМПХ 2:1 составляет 31 минуту.
Подложку из оксидного стекла с нанесенной модифицированной пленкой полимера высушивают в лабораторных условиях 24 часа, после чего полученная гетероструктура пригодна к использованию в качестве сенсорного элемента.
Пример 2.
Все технологические условия получения пленок совпадают с теми, которые описаны в примере 1, за исключением времени ультразвукового нанесения гексацианоферрата (II) калия, которое составляет 37 минут. Массовое соотношение компонентов гексацианоферрата (II) калия и ПДМПХ в этом случае составляет 2,3:1, что соответствует теоретически рассчитанному.
Пример 3.
Все технологические условия получения пленок совпадают с теми, которые описаны в примере 1, за исключением времени ультразвукового нанесения гексацианоферрата (И) калия, которое составляет 43 минуты. Таким образом, в этом случае массовое соотношение компонентов гексацианоферрата (II) калия и ПДМПХ составляет 2,5:1.
Образцы, полученные с разными массовыми соотношениями компонентов гексацианоферрата (II) калия и ПДМПХ, внешне сильно различаются. Образец с соотношением 2:1 после просушивания имеет однородную целостную пленку светло-желтого цвета с белыми вкраплениями. Однако при контакте с парами воды происходит деградация пленки, связанная с взаимодействием паров воды с элементами ее структуры.
Образец с соотношением 2,3:1 после просушивания имеет однородную целостную пленку лимонно-желтого цвета. Состояние пленки при контакте с парами воды не меняется. У пленки не наблюдается ухудшение ее технических характеристик в течение нескольких месяцев.
Образец с соотношением 2,5:1 имеет также целостную однородную пленку ярко желтого цвета. Такой цвет говорит о преобладании в пленке гексацианоферрата (II) калия. Пленка устойчива к парам воды. Однако пленка кристаллизуется и теряет свою целостность в течение двух недель.
Измерение микротвердости пленок проводят на микротвердомере ПМТ-3. По результатам измерения микротвердости проведена оценка однородности рецепторных слоев в соответствии с ГОСТ 8.531-2002 ГСИ. «Стандартные образцы состава монолитных и дисперсных материалов. Способы оценивания однородности».
Относительная погрешность методики измерения микротвердости не превышает 0,03.
Величина микротвердости пленки с соотношением 2:1 составляет 52,4 Н/мм2, неоднородность 2,8%. Величина микротвердости пленки с соотношением 2,3:1 составляет 58,1 Н/мм2, неоднородность 2,1%. Величина микротвердости пленки с соотношением 2,5:1 составляет 57,4 Н/мм2, неоднородность 2,4%. Наиболее высокие величины микротвердости пленок и показатели их однородности наблюдаются при массовом соотношении компонентов гексацианоферрата (II) калия и ПДМПХ, равном 2,3:1.
Пленка, полученная по способу, изложенному в патенте РФ №2541715 от 20.02.2015 (прототип), имеет величину микротвердости 56,6 Н/мм2, неоднородность 2,5%.
Для измерения электрической проводимости используют иммитансометр Е7-8 (ПО «Калибр», Белоруссия). С целью построения градуировки, отражающей зависимость удельной проводимости рецепторного слоя от содержания влаги в рабочем объеме измерительного устройства, применяют растворы 15-60%-ной массовой концентрации серной кислоты, содержание паров воды над поверхностью которых известно и табулировано (3,78-21,32 г/м3).
Сенсорный элемент устанавливают в зажимах иммитансометра и измеряют его электрическую проводимость. Аналитическим сигналом служит изменение электрической проводимости пленки при изменении содержания паров воды над растворами серной кислоты известных концентраций. При соотношениях компонентов гексацианоферрата (И) калия и ПДМПХ, равных 2:1 и 2,5:1, зависимости проводимости от концентрации паров воды в воздушной среде имеют ярко выраженный экспоненциальный характер. При соотношении компонентов гексацианоферрата (II) калия и ПДМПХ, равном 2,3:1 (фиг. 2, кривая 1), зависимость проводимости от содержания паров воды в воздушной среде меняется по степенному закону, что говорит о протекании адсорбции на поверхности пленки и ее селективности по отношению к парам воды (фиг. 2). Кривая 2 на фиг. 2 соответствует зависимости удельной электропроводности прототипа (патент РФ №2541715 от 20.02.2015) от содержания паров воды в воздушной среде.
Оценка чувствительности рецепторного слоя проведена по логарифмическим зависимостям удельной электрической проводимости от содержания паров воды над растворами серной кислоты. Рассчитанная величина чувствительности рецепторного слоя по отношению к содержанию влаги в заявляемом варианте составляет 0,53, а чувствительность пленки, полученной по техническому решению, изложенному в прототипе (патент РФ №2541715 от 20.02.2015), составляет 0,42, что существенно ниже, чем в предлагаемом способе формирования электропроводящей пленки.
Результатом является формирование на поверхности подложки из оксидных стекол рецепторного слоя в виде однородной электропроводящей пленки, обеспечивающей более высокие значения аналитического сигнала (электрическая проводимость) и чувствительность пленки к содержанию паров воды в воздухе, а также технических характеристик, обеспечивающих устойчивость пленки к воздействию окружающей среды.

Claims (1)

  1. Способ формирования пленок для определения содержания паров воды в воздушной среде на поверхности подложек из оксидных стекол, содержащих поли-N,N-диметил-3,4-диметиленпирролидиний цианид, характеризующийся тем, что поли-N,N-диметил-3,4-диметиленпирролидиний хлорид наносится на подложку из оксидного стекла методом вытягивания из его водного раствора концентрацией 5-20% масс. с постоянной скоростью 2-3*10-6 м/с, поверх него с использованием метода ультразвукового распыления наносится гексацианоферрат (II) калия в количестве, обеспечивающем массовое соотношение гексацианоферрата (II) калия к поли-N,N-диметил-3,4-диметиленпирролидиний хлориду, равное 2,3±0,1:1, в результате чего образуется поли-N,N-диметил-3,4-диметиленпирролидиний цианид.
RU2016114667A 2016-04-15 2016-04-15 Способ формирования электропроводящих плёнок, селективных по отношению к содержанию влаги в воздушной среде, путём взаимодействия на поверхности оксидных стёкол водорастворимого полимера и гексацианоферрата (ii) калия RU2625827C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016114667A RU2625827C1 (ru) 2016-04-15 2016-04-15 Способ формирования электропроводящих плёнок, селективных по отношению к содержанию влаги в воздушной среде, путём взаимодействия на поверхности оксидных стёкол водорастворимого полимера и гексацианоферрата (ii) калия

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016114667A RU2625827C1 (ru) 2016-04-15 2016-04-15 Способ формирования электропроводящих плёнок, селективных по отношению к содержанию влаги в воздушной среде, путём взаимодействия на поверхности оксидных стёкол водорастворимого полимера и гексацианоферрата (ii) калия

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2625827C1 true RU2625827C1 (ru) 2017-07-19

Family

ID=59495595

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016114667A RU2625827C1 (ru) 2016-04-15 2016-04-15 Способ формирования электропроводящих плёнок, селективных по отношению к содержанию влаги в воздушной среде, путём взаимодействия на поверхности оксидных стёкол водорастворимого полимера и гексацианоферрата (ii) калия

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2625827C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2692520C1 (ru) * 2018-07-17 2019-06-25 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "МИРЭА - Российский технологический университет" Способ получения электропроводящих полимерных пленок на поверхности оксидных стекол для определения содержания оксидов азота в воздушной среде

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5855849A (en) * 1996-01-16 1999-01-05 Industrial Technology Research Institute Solid state humidity sensor
RU2184957C1 (ru) * 2001-05-25 2002-07-10 Московская государственная академия тонкой химической технологии имени М.В.Ломоносова Датчик газообразного сероводорода и способ его изготовления
MD3894G2 (ru) * 2008-02-22 2010-01-31 Государственный Университет Молд0 Газовый датчик на основе стеклообразных халькогенидных полупроводников
CN101750437A (zh) * 2008-12-11 2010-06-23 清华大学 吸附式碳纳米管湿度传感器及其制作方法
RU2541715C1 (ru) * 2013-10-11 2015-02-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный университет тонких химических технологий имени М.В. Ломоносова" (МИТХТ им. М.В. Ломоносова) Способ формирования пленок, содержащих поли-n, n-диметил-3, 4-диметиленпирролидиний цианид, на поверхности оксидных стекол

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5855849A (en) * 1996-01-16 1999-01-05 Industrial Technology Research Institute Solid state humidity sensor
RU2184957C1 (ru) * 2001-05-25 2002-07-10 Московская государственная академия тонкой химической технологии имени М.В.Ломоносова Датчик газообразного сероводорода и способ его изготовления
MD3894G2 (ru) * 2008-02-22 2010-01-31 Государственный Университет Молд0 Газовый датчик на основе стеклообразных халькогенидных полупроводников
CN101750437A (zh) * 2008-12-11 2010-06-23 清华大学 吸附式碳纳米管湿度传感器及其制作方法
RU2541715C1 (ru) * 2013-10-11 2015-02-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный университет тонких химических технологий имени М.В. Ломоносова" (МИТХТ им. М.В. Ломоносова) Способ формирования пленок, содержащих поли-n, n-диметил-3, 4-диметиленпирролидиний цианид, на поверхности оксидных стекол

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2692520C1 (ru) * 2018-07-17 2019-06-25 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "МИРЭА - Российский технологический университет" Способ получения электропроводящих полимерных пленок на поверхности оксидных стекол для определения содержания оксидов азота в воздушной среде

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Bondarenka et al. Thin films of poly-vanadium-molybdenum acid as starting materials for humidity sensors
Criscuolo et al. Highly-stable Li+ ion-selective electrodes based on noble metal nanostructured layers as solid-contacts
Fu Sensing behavior of CdS nanoparticles to SO2, H2S and NH3 at room temperature
CN103233256B (zh) 一种PEDOT/bmim[PF6]导电离子液体聚合物气敏薄膜传感器的制备方法
Trebbe et al. A new calcium-sensor based on ion-selective conductometric microsensors–membranes and features
Bayansal et al. Chemiresistive CuO sensors for label-free C-reactive protein detection
RU2625827C1 (ru) Способ формирования электропроводящих плёнок, селективных по отношению к содержанию влаги в воздушной среде, путём взаимодействия на поверхности оксидных стёкол водорастворимого полимера и гексацианоферрата (ii) калия
Coldur et al. All-solid-state polyvinyl chloride membrane lithium-selective electrode with improved selectivity and its application in serum lithium assay
FI110287B (fi) Menetelmä ja laitteisto nesteen vesipitoisuuden mittausta varten
Huang et al. Amperometric microsensor for water
RU2541715C1 (ru) Способ формирования пленок, содержащих поли-n, n-диметил-3, 4-диметиленпирролидиний цианид, на поверхности оксидных стекол
RU2634137C1 (ru) Способ получения электропроводящих пленок на поверхности оксидных стекол для определения содержания влаги в воздушной среде
Martadi et al. Design and fabrication of PVA-based relative humidity sensors using thick film technology
Fenech-Salerno et al. A sprayed graphene transistor platform for rapid and low-cost chemical sensing
JP3812049B2 (ja) 塩素イオン感応膜及びその製造方法
CN100507539C (zh) 一种含有导电聚合物的味觉传感器的制备方法
JP7227885B2 (ja) 電極構造体、電気化学測定装置及び電極構造体形成方法
RU2692520C1 (ru) Способ получения электропроводящих полимерных пленок на поверхности оксидных стекол для определения содержания оксидов азота в воздушной среде
US6247349B1 (en) Polymer-based humidity sensing elements
RU2365908C1 (ru) Датчик влажности и способ его изготовления
KR102083485B1 (ko) 저항 스위칭 및 이력현상의 변화를 이용한 코티솔 검출용 바이오센서, 이의 제조방법 및 응용
El-Sayed The use of calixarene as ionophores in potentiometric ion-selective electrodes of naftidrofuryl oxalate using microsized membrane sensors for kinetic study of naftidrofuryl (NFT) degradation
RU2802867C1 (ru) Датчик концентрации паров аммиака на основе тонкой пленки полианилина
RU2797767C1 (ru) Датчик микропримесей аммиака
RU2184957C1 (ru) Датчик газообразного сероводорода и способ его изготовления

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20210416