[go: up one dir, main page]

RU2618496C1 - Датчик ускорения - Google Patents

Датчик ускорения Download PDF

Info

Publication number
RU2618496C1
RU2618496C1 RU2015151759A RU2015151759A RU2618496C1 RU 2618496 C1 RU2618496 C1 RU 2618496C1 RU 2015151759 A RU2015151759 A RU 2015151759A RU 2015151759 A RU2015151759 A RU 2015151759A RU 2618496 C1 RU2618496 C1 RU 2618496C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sensor
base
medium
housing
acceleration
Prior art date
Application number
RU2015151759A
Other languages
English (en)
Inventor
Сергей Сергеевич Мельник
Павел Михайлович Логинов
Михаил Дмитриевич Соболев
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт технической физики имени академика Е.И. Забабахина"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт технической физики имени академика Е.И. Забабахина" filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт технической физики имени академика Е.И. Забабахина"
Priority to RU2015151759A priority Critical patent/RU2618496C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2618496C1 publication Critical patent/RU2618496C1/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/12Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к измерениям ускорений. Датчик ускорения содержит основание и корпус с полостью, заполненной резиноподобной средой, не имеющей связи с основанием, балочку с тензорезистором, работающую на изгиб, отношение модуля упругости балочки Ε1 к модулю упругости среды Е2 удовлетворяет условию: Ε12≥5⋅102, при этом балочка помещена в резиноподобную среду параллельно основанию равноудаленно от стенок корпуса. Технический результат – увеличение ударной прочности и снижение поперечной чувствительности датчика. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.

Description

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к измерениям ускорений.
Известен датчик ускорений [SU №1174862, МПК G01P 15/12, опубл. 23.08.1985 г.], содержащий основание и корпус с полостью, заполненной диэлектрической жидкостью, инерционную массу и два чувствительных элемента с размещенными на них тензорезисторами. Инерционная масса (в виде шара) установлена в направляющей опоре (в виде выступов на корпусе), ось которой совпадает с направлением измеряемых ускорений. Чувствительные элементы, выполненные в виде плоских упругих пластин, расположены симметрично с противоположных сторон инерционной массы. При наличии ускорения инерционная масса, перемещаясь в направляющей опоре, воздействует на чувствительные элементы, вызывая их деформацию, которую воспринимают и преобразовывают в электрический сигнал тензорезистором.
Данный датчик ускорений имеет жидкостное демпфирование, снижающее наложенные колебания на информационный сигнал и относительно высокую основную чувствительность.
Однако недостатком данного устройства является изначально напряженное состояние пластин. При наличии ударной нагрузки возможен переход из упругой деформации в пластическую, что ведет к выходу датчика из строя, а это, в свою очередь, снижает ударную прочность.
Известен датчик ускорения [RU №2014619, МПК7 G01P 15/12, опубл. 15.06.1994 г.], содержащий основание и корпус с полостью, заполненной резиноподобной средой, не имеющей связи с основанием, балочку с тензорезистором, работающую на изгиб, при этом отношение модуля упругости балочки Е1 к модулю упругости среды Е2 удовлетворяет условию: Е12≥5⋅102. Один конец балочки закреплен консольно в стенке корпуса. Данное устройство рассматривается в качестве прототипа.
Консольное закрепление балочки в стенке приводит к снижению ударной прочности датчика, так как именно место заделки балочки в корпусе является концентратором механических напряжений. При этом тензорезистор, расположенный на балочке, либо непосредственно попадает в зону концентрации напряжения, либо находится вблизи ее, что увеличивает чувствительность датчика к поперечной составляющей вектора ускорения. Кроме этого, один из выводных проводников проходит через значительную часть резиноподобной среды, что вносит асимметрию в динамику ее движения (ограничение движения в боковом направлении) в процессе ударного нагружения, а это также сказывается неблагоприятным образом на поперечной чувствительности.
Недостатком прототипа является недостаточная ударная прочность и достаточно большое значение поперечной чувствительности.
Технический результат, на достижение которого направлено заявляемое изобретение, заключается в увеличении ударной прочности и снижении поперечной чувствительности датчика.
Технический результат достигается тем, что в датчике ускорения, содержащем основание и корпус с полостью, заполненной резиноподобной средой, не имеющей связи с основанием, балочку с тензорезистором, работающую на изгиб, отношение модуля упругости балочки Ε1 к модулю упругости среды Е2 удовлетворяет условию: Е12≥5⋅102, согласно изобретению балочка помещена в резиноподобную среду параллельно основанию равноудаленно от стенок корпуса.
Размещение балочки в резиноподобной среде равноудаленно от стенок корпуса имеет ряд преимуществ. С одной стороны, балочка защищена резиноподобной средой (в случае интенсивного удара балочка смещается вместе с резиноподобной средой и деформируется не так интенсивно, как при консольном закреплении (в прототипе), где при переходе из упругой деформации балочки в пластическую датчик выйдет из строя). С другой стороны, балочка ограничивает степень деформации тензорезистора и защищает его от излома, в отличие от прототипа, где точка крепления балочки в корпус является концентратором напряжения. Таким образом, повышается ударная прочность предлагаемого датчика. При размещении балочки ближе к какой-либо стенке корпуса степень ее деформации будет уменьшаться - балочка будет работать в меньшей степени на изгиб и в большей степени на радиальное смещение. Размещение балочки равноудаленно от стенок корпуса вносит симметрию в динамику движения балочки при наличии ускорения. Балочка изгибается, максимум ее деформации (напряжения) пропорционален ускорению и приходится на ее середину, то есть захватывает практически весь чувствительный слой тензорезистора. В зоне нахождения выходных проводников движение среды минимально. Следовательно, жесткость проводников оказывает незначительное влияние на динамику среды и балочки. В отличие от прототипа, где в случае бокового удара при консольном закреплении возникает деформация балочки - свободный конец смещается относительно закрепленного конца, балочка изгибается - и датчик вырабатывает неинформационный сигнал. В предлагаемой конструкции датчика при боковом ударе деформация балочки минимальна, что снижает поперечную чувствительность. Размещение балочки параллельно основанию обусловлено тем, что при размещении балочки под каким-либо углом по отношению к основанию при боковом (неизмеряемом) ударе она будет деформироваться, приведя к увеличению поперечной чувствительности, что нежелательно.
Практика проектирования датчика ускорения, проведенные расчеты и опытная отработка показали, что выполнение соотношения размера L полости, в плоскости которой расположена балочка, к ее длине
Figure 00000001
, удовлетворяющее условию:
Figure 00000002
позволяет повысить основную чувствительность датчика. При значении соотношения, меньшем 1,05, датчик потеряет работоспособность из-за возможного зажима балочки, вызванного различием температурных коэффициентов линейного расширения используемых материалов. При значении соотношения, большем 1,2, будет отсутствовать необходимая слабина выводных проводников, влияющая на динамику движения резиноподобной среды и балочки, что приведет к снижению основной чувствительности датчика, так как деформация резиноподобной среды будет в меньшей степени изгибать балочку.
Наличие в заявленном изобретении признаков, отличающих его от прототипа, позволяет его считать соответствующим условию "новизна".
Новые признаки, которые содержит отличительная часть формулы изобретения, не выявлены в технических решениях аналогичного назначения. На этом основании можно сделать вывод о соответствии заявляемого изобретения условию «изобретательский уровень».
Изобретение поясняется чертежами, где:
на фиг. 1 приведен общий вид датчика;
на фиг. 2 изображена деформация резиноподобной среды под действием ускорения
Figure 00000003
;
на фиг. 3 показан вариант выполнения датчика ускорения с двумя тензорезисторами;
на фиг. 4 приведена электрическая схема подключения тензорезисторов в варианте выполнения датчика с двумя тензорезисторами.
Устройство выполнено следующим образом.
Предлагаемый датчик ускорения (фиг. 1) содержит основание 1 и корпус 2 с полостью, заполненной резиноподобной средой 3, не связанной с основанием 1, и балочку 4, помещенную в резиноподобную среду 3 равноудаленно от стенок корпуса 2. Работающая на изгиб балочка 4 установлена параллельно основанию 1 и снабжена тензорезистором 5, имеющим выводы 6, подключаемые к измерительной аппаратуре. Модули упругости среды 3 и балочки 4 удовлетворяют условию: Е12≥5⋅102, где E1 - модуль упругости балочки 4, а Е2 - модуль упругости резиноподобной среды 3. При этом соотношение размера L полости, в плоскости которой расположена балочка 4, к ее длине
Figure 00000001
удовлетворяет условию:
Figure 00000002
. Отношение модулей упругостей Е12 непосредственно влияет на степень деформации балочки 4 и, следовательно, на чувствительность датчика. Снижение значения соотношения Е12 ведет к снижению чувствительности датчика (чем это отношение меньше, тем меньше деформируется балочка). Дальнейшее увеличение отношения модулей упругости (>5⋅102) значительного вклада в чувствительность датчика не вносит.
Датчик работает следующим образом.
При воздействии измеряемого ускорения
Figure 00000004
, направленного от основания 1 в тело датчика, в результате действия инерционных сил, деформируется резиноподобная среда, которая, в свою очередь, изгибает балочку (фиг. 2). Максимум деформации (напряжения) балочки 4 пропорционален ускорению
Figure 00000004
и приходится на ее середину, то есть захватывает практически весь чувствительный слой тензорезистора 5, повышая основную чувствительность датчика. При этом в зоне нахождения выходных проводников 6 движение минимально, а следовательно, их жесткость оказывает незначительное влияние на динамику среды 3 и балочки 4, снижая поперечную чувствительность.
Возможность промышленной реализации и практической возможности достижения требуемого технического результата при использовании изобретения иллюстрируется следующим примером.
Пример.
Датчик ускорения содержал основание 1 и корпус 2 с полостью, образованной цилиндрическим отверстием диаметром d и заполненной не связанной с основанием резиноподобной средой 3 (эпоксидный клей ЭЛ-20 и пластификатор ПДИ-3АК). В среде 3 параллельно основанию 1 и равноудаленно от стенок корпуса 2 была помещена работающая на изгиб балочка 4 с размещенным на ней полупроводниковым тензопреобразователем 5, имеющим выводы 6, подключаемые к измерительной аппаратуре. Размер полости L (диаметр полости d), в плоскости которой расположена балочка 4, составлял 3,8 мм, а длина балочки 4 была равна
Figure 00000005
мм, что удовлетворяло соотношению:
Figure 00000006
. Модуль упругости среды 3 составлял Е2=5⋅105 Па, а балочки - Е1=1011 Па, что удовлетворяло условию: E1/E2≥5⋅102. При воздействии измеряемого ускорения
Figure 00000004
, направленного от основания 1 в тело датчика, в результате действия инерционных сил деформировалась резиноподобная среда, которая, в свою очередь, изгибала балочку.
На предприятии были проведены сравнительные экспериментальные исследования предлагаемой конструкции и конструкции датчика, выполненного по прототипу, при вышеприведенных значениях размеров полости L и балочки
Figure 00000001
, соотношения модулей упругости среды и балочки Е12, которые показали следующее. Датчик с консольным закреплением балочки (по прототипу) разрушился при ударном ускорении до 10000 g. А датчик, выполненный по предлагаемой конструкции, выдержал ускорение более 30000 g, что подтвердило повышение ударной прочности предлагаемой конструкции. Основная чувствительность у прототипа составила порядка 0,8 мкОм/ (Ом⋅g), а поперечная чувствительность составила 5…15%. Основная чувствительность предлагаемого датчика составила порядка 1,0 мкОм / (Ом⋅g), а поперечная чувствительность не превысила 3%, что подтвердило снижение поперечной чувствительности датчика.
Обоснованность выбора значений L и
Figure 00000001
, удовлетворяющая условию:
Figure 00000002
, подтверждена экспериментом. Расчеты показывают, что при модуле упругости РПС Е1=5⋅105 Па, модуле упругости балочки 4 Е2=1011 Па, ее длине
Figure 00000007
мм и диаметре полости d=L=3,6 мм (
Figure 00000008
) нижняя (первая) частота
Figure 00000009
колебаний резиноподобной среды 3 совместно с балочкой 4 составляет 8,4 кГц, а механическое напряжение в центре балочки равно σ=213⋅105 Па. Для той же балочки при d=L=6 мм (т.е при
Figure 00000010
) частота колебаний среды составила
Figure 00000011
кГц, σ=233⋅105 Па. Высота заливки полости на коэффициент преобразования датчика (отношение величины измеряемого ускорения к механическому напряжению в центре балочки) и частоту
Figure 00000012
практически значимого влияния не оказывают. Представленные результаты показывают, что увеличение значения
Figure 00000013
приводит к повышению коэффициента преобразования всего на 9%, а первая частота снижается в 3,3 раза. Последнее весьма нежелательно для датчиков ударных ускорений.
Для дальнейшего увеличения основной чувствительности датчика и снижения поперечной чувствительности до уровней менее 2,5% возможен вариант выполнения датчика с двумя тензорезисторами 5 (фиг. 3). Для чего в корпус 2 дополнительно введена вторая полость, идентичная первой (одна из стенок обеих полостей является общей) с аналогичным тензорезистором 5 на балочке 4. Балочки 4 в полостях установлены соосно и повернуты по отношению друг к другу относительно продольной оси на 180°. Тензорезисторы балочек TP 1 и TP 2 (фиг. 4) электрически соединены по полумостовой схеме.
В данном варианте выполнения датчика при наличии ускорения
Figure 00000004
, тензорезисторы 5 на балочках 4 испытывают деформацию различных знаков (один тензорезистор работает на растяжение, другой - на сжатие), в результате чего они будут вырабатывать сигналы разных полярностей, что в соединении тензорезисторов по полумостовой схеме дает удвоение коэффициента преобразования, увеличивая основную чувствительность датчика. При действии же ускорения в поперечном направлении сигналы, как правило, однополярны, а полумостовое соединение тензорезисторов синфазные помехи вычитает, снижая поперечную чувствительность датчика. Предложенная конструкция экспериментально опробована. Она работоспособна при пиковом ударном ускорении до 5⋅105 м/с2, при этом поперечная чувствительность составила менее 2,5%, а собственная частота
Figure 00000014
≈10 кГц.
Итак, представленные сведения свидетельствуют о выполнении при использовании заявляемого изобретения следующей совокупности условий:
- средство, воплощающее заявленное изобретение при его осуществлении, предназначено для измерения ускорений;
- обеспечение повышения ударной прочности и основной чувствительности при снижении поперечной чувствительности датчика;
- для заявляемого устройства в том виде, в котором оно охарактеризовано в формуле изобретения, подтверждена возможность его осуществления с помощью описанных в заявке и известных до даты приоритета средств и методов.
Следовательно, заявленное изобретение соответствует условию «промышленная применимость».

Claims (3)

1. Датчик ускорения, содержащий основание и корпус с полостью, заполненной резиноподобной средой, не имеющей связи с основанием, балочку с тензорезистором, работающую на изгиб, отношение модуля упругости балочки Ε1 к модулю упругости среды Е2 удовлетворяет условию: Ε12≥5⋅102, отличающийся тем, что балочка помещена в резиноподобную среду параллельно основанию равноудаленно от стенок корпуса.
2. Датчик ускорения по п. 1, отличающийся тем, что соотношение размера L полости, в плоскости которой расположена балочка, к ее длине l удовлетворяет условию: L/l=1,05…1,2.
3. Датчик ускорения по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что в корпус дополнительно введена вторая полость, идентичная первой с аналогичным тензорезистором на балочке, балочки в полостях установлены соосно и повернуты по отношению друг к другу относительно продольной оси на 180°, тензорезисторы балочек электрически соединены по полумостовой схеме.
RU2015151759A 2015-12-02 2015-12-02 Датчик ускорения RU2618496C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015151759A RU2618496C1 (ru) 2015-12-02 2015-12-02 Датчик ускорения

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015151759A RU2618496C1 (ru) 2015-12-02 2015-12-02 Датчик ускорения

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2618496C1 true RU2618496C1 (ru) 2017-05-03

Family

ID=58697578

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015151759A RU2618496C1 (ru) 2015-12-02 2015-12-02 Датчик ускорения

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2618496C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113932916A (zh) * 2021-10-25 2022-01-14 中国舰船研究设计中心 一种船舶舷外复合材料结构振动传感器安装装置及方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU640213A1 (ru) * 1977-08-03 1978-12-30 Краснодарский Завод Тензометрических Приборов Датчик ускорени с частотным выходом
RU2014619C1 (ru) * 1991-06-13 1994-06-15 Людмила Александровна Колесникова Датчик ускорения
US5698785A (en) * 1995-04-04 1997-12-16 Delco Electronics Corporation Self-compensating accelerometer
JPH10123167A (ja) * 1996-08-09 1998-05-15 Denso Corp 半導体加速度センサ
WO2006137230A1 (ja) * 2005-06-20 2006-12-28 Micro Precision Co. & Ltd. 容量検出型加速度センサ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU640213A1 (ru) * 1977-08-03 1978-12-30 Краснодарский Завод Тензометрических Приборов Датчик ускорени с частотным выходом
RU2014619C1 (ru) * 1991-06-13 1994-06-15 Людмила Александровна Колесникова Датчик ускорения
US5698785A (en) * 1995-04-04 1997-12-16 Delco Electronics Corporation Self-compensating accelerometer
JPH10123167A (ja) * 1996-08-09 1998-05-15 Denso Corp 半導体加速度センサ
WO2006137230A1 (ja) * 2005-06-20 2006-12-28 Micro Precision Co. & Ltd. 容量検出型加速度センサ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113932916A (zh) * 2021-10-25 2022-01-14 中国舰船研究设计中心 一种船舶舷外复合材料结构振动传感器安装装置及方法
CN113932916B (zh) * 2021-10-25 2024-04-02 中国舰船研究设计中心 一种船舶舷外复合材料结构振动传感器安装装置及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2695291B2 (ja) ロードセル
CN103748446B (zh) 用于测量压力和/或作用力的传感器
CN104482960A (zh) 集位移与力测试为一体的传感器
CN103697828B (zh) 一种支持解耦温度和应变的光纤光栅应变传感器
US10041826B2 (en) Force sensor device for detecting the weight of a vehicle
KR20160127385A (ko) 자기유변탄성체를 이용한 자기장 측정 장치
RU2618496C1 (ru) Датчик ускорения
KR20110105301A (ko) 변형률계를 구비한 온도 보상 로드 셀
KR20170119283A (ko) 압력 센서
RU2586259C1 (ru) Тензорезистивный преобразователь
Zou et al. Micro-electro-mechanical resonant tilt sensor with 250 nano-radian resolution
KR20110109164A (ko) 광섬유센서를 이용한 고감도 가속도계 및 경사계
Qandil et al. Considerations in the design and manufacturing of a load cell for measuring dynamic compressive loads
KR20110119987A (ko) 튜브 유체유발진동 측정용 삽입형 가속도센서
CN105157551A (zh) 一种“三角形”位移传感器
US10908039B2 (en) Load cell assembly including cavities to buffer horizontal shear forces
RU2629918C1 (ru) Чувствительный элемент
RU2175117C1 (ru) Датчик для измерения продольных усилий
RU2283483C1 (ru) Устройство для измерения силы тяги
RU2774102C1 (ru) Чувствительный элемент микромеханического акселерометра
RU2014619C1 (ru) Датчик ускорения
RU2530467C1 (ru) Тензометрический датчик
RU2344389C1 (ru) Тонкопленочный датчик давления
CN117572021B (zh) 敏感结构及加速度传感器
KR200462615Y1 (ko) 전기저항식 센서의 강관부재 고정구조

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20201203