[go: up one dir, main page]

RU2572588C1 - Method of making electronic assemblies on flexible support without soldering and welding processes - Google Patents

Method of making electronic assemblies on flexible support without soldering and welding processes Download PDF

Info

Publication number
RU2572588C1
RU2572588C1 RU2014133855/07A RU2014133855A RU2572588C1 RU 2572588 C1 RU2572588 C1 RU 2572588C1 RU 2014133855/07 A RU2014133855/07 A RU 2014133855/07A RU 2014133855 A RU2014133855 A RU 2014133855A RU 2572588 C1 RU2572588 C1 RU 2572588C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
making
base
components
polymer
electronic components
Prior art date
Application number
RU2014133855/07A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Денис Васильевич Вертянов
Евгений Семенович Назаров
Сергей Петрович Тимошенков
Василий Сергеевич Петров
Наталья Егоровна Коробова
Original Assignee
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "КБ Радуга"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники", Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "КБ Радуга" filed Critical Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
Priority to RU2014133855/07A priority Critical patent/RU2572588C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2572588C1 publication Critical patent/RU2572588C1/en

Links

Images

Landscapes

  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)

Abstract

FIELD: radio engineering, communication.
SUBSTANCE: method is carried out by making electronic assemblies of radioelectronic equipment on a flexible support and includes making a drawing on a foil-coated polymer by photolithography, mounting naked chips with the active side downwards and component chips on the base using polymer lacquer, sealing, making holes in the polymer structure to the leads of the electronic components by plasma-chemical etching, mounting components by magnetron sputtering of metals in a vacuum, growing the required number of layers by photolithography on polymer photosensitive lacquer, forming large external contact pads for subsequent mounting on printed-circuit boards made of any material, such as fibre-glass plastic, ceramic, polyimide and other materials.
EFFECT: providing a method of making maximally compact, reliable, high-speed and cheaper-to-manufacture electronic assemblies of radioelectronic equipment by avoiding soldering and welding processes when making the electronic assemblies.
13 dwg

Description

Изобретение относится к приборостроению, а именно к технологии производства многокристальных модулей, микросборок и модулей на основе печатных плат с внутренним монтажом компонентов.The invention relates to instrumentation, and in particular to the production technology of multi-chip modules, microassemblies and modules based on printed circuit boards with internal installation of components.

Известен способ изготовления электронного узла со встроенным компонентом [1].A known method of manufacturing an electronic unit with an integrated component [1].

В указанном способе в проводящем слое несущей пленки узла создаются отверстия под размещения столбиковых выводов, сформированных на контактных площадках электронного компонента. Затем компонент устанавливается на пленку таким образом, чтобы столбиковые вывода входили в отверстия проводящего слоя, с обратной стороны от столбиковых выводов компонент частично встраивается в диэлектрический слой. После чего несущий слой пленки удаляется, оставляя столбиковые выводы открытыми, а затем происходит формирование слоя металлизации с контактированием столбиковых выводов.In this method, holes are created in the conductive layer of the carrier film of the assembly for the placement of the bumps formed on the contact pads of the electronic component. Then, the component is mounted on the film so that the column leads enter the holes of the conductive layer, on the back side of the column leads the component is partially embedded in the dielectric layer. After that, the carrier layer of the film is removed, leaving the bumps open, and then there is the formation of a metallization layer with contacting bumps.

Недостатком этого способа является необходимость создания столбиковых выводов на контактных площадках полупроводниковых компонентов, что ведет к увеличению числа технологических операций и соответственно к увеличению стоимости производства электронных узлов.The disadvantage of this method is the need to create a column conclusions on the contact pads of semiconductor components, which leads to an increase in the number of technological operations and, accordingly, to an increase in the cost of production of electronic components.

Известен способ встраивания компонента в основание и формирования электрического контакта с компонентом, заключающийся в создании отверстий в основании для полупроводниковых компонентов, причем отверстия проходят между первой и второй поверхностями основания, на вторую поверхность структуры основания наносят полимерную пленку, которая закрывает сквозные отверстия со стороны второй поверхности структуры основания. Затем в отверстия вводят полупроводниковые компоненты со стороны первой поверхности и прижимают к полимерной пленке, после чего происходит окончательное отверждение полимерной пленки [2].A known method of embedding a component in the base and forming electrical contact with the component, which consists in creating holes in the base for semiconductor components, the holes passing between the first and second surfaces of the base, a polymer film is applied to the second surface of the base structure, which covers the through holes on the side of the second surface base structure. Then, semiconductor components are introduced into the holes from the side of the first surface and pressed to the polymer film, after which the final curing of the polymer film occurs [2].

Недостатком данного способа является также создание столбиковых выводов на контактных площадках полупроводниковых компонентов. Другим недостатком способа является использование стеклотекстолита в качестве основания печатной платы, что ограничивает использование изделий, изготовленных на основе данной технологии в условиях воздействия жестких факторов, а также отсутствием возможности сгибаться.The disadvantage of this method is the creation of bumps on the pads of semiconductor components. Another disadvantage of this method is the use of fiberglass as the base of the printed circuit board, which limits the use of products made on the basis of this technology under the influence of tough factors, as well as the inability to bend.

Наиболее близким к заявленному способу известным техническим решением является способ изготовления электронных узлов на основе гибко-жестких печатных плат, в котором монтаж компонентов осуществляется без пайки [3]. Данный способ является прототипом патентуемого изобретения.Closest to the claimed method, the known technical solution is a method of manufacturing electronic components based on flexible-rigid printed circuit boards, in which the components are installed without soldering [3]. This method is a prototype of the patented invention.

Компоненты, предварительно протестированные и запрограммированные, размещаются на планарном основании. Сборка герметизируется с помощью паяльной маски, диэлектрика или электроизоляционного материала с переходными отверстиями, сформированными или просверленными к выводам компонентов, проводникам и контактным площадкам. Затем сборку металлизируют и герметизируют компаундом, после чего повторно сверлят отверстия и формируют нужные слои.Components pre-tested and programmed are placed on a planar basis. The assembly is sealed with a solder mask, dielectric or electrical insulating material with vias formed or drilled to the component leads, conductors and pads. Then the assembly is metallized and sealed with a compound, after which the holes are re-drilled and the necessary layers are formed.

Сборка создана по новому процессу реверсивного формирования межсоединений, без использования припоя, таким образом, обходя применения выводов электронных компонентов, олова и проблем, связанных с термообработкой. Термин «реверс» обозначает обратный порядок сборки;The assembly was created according to the new process of reversing the formation of interconnects, without the use of solder, thus bypassing the use of the findings of electronic components, tin and problems associated with heat treatment. The term “reverse” means the reverse order of assembly;

компоненты устанавливаются первыми, а затем изготавливаются слои схемы вместо того, чтобы первым создать плату, а потом смонтировать компоненты. Никакой стандартной платы не требуется, сокращается время производственного цикла, уменьшаются затраты и сложность, а также снижаются проблемы надежности платы.the components are installed first, and then the circuit layers are made instead of first creating a circuit board and then mounting the components. No standard board is required, production cycle times are reduced, cost and complexity are reduced, and board reliability problems are reduced.

Недостатком данного способа является применение корпусированных электронных компонентов, что ведет к значительному увеличению массогабаритных характеристик узлов, а также не устраняет проблемы, связанные с внутрикорпусной разваркой кристаллов.The disadvantage of this method is the use of packaged electronic components, which leads to a significant increase in the mass and size characteristics of the nodes, and also does not eliminate the problems associated with the internal casing of crystals.

Задачей изобретения является создание способа производства максимально компактных, надежных, быстродействующих и более экономичных в изготовлении электронных узлов радиоэлектронной аппаратуры.The objective of the invention is to provide a method for the production of the most compact, reliable, high-speed and more economical in the manufacture of electronic components of electronic equipment.

Для реализации указанной задачи предлагается изменить последовательность выполнения операций, исключить из технологического цикла изготовления электронных узлов процессы пайки и сварки для монтажа компонентов, применить бескорпусные кристаллы и полимерную пленку в качестве основания, а также использовать вакуумно-плазменные процессы для формирования межслойных соединений.To achieve this goal, it is proposed to change the sequence of operations, to exclude soldering and welding processes from the technological cycle of manufacturing electronic components for component installation, to use free-form crystals and a polymer film as a base, and to use vacuum-plasma processes to form interlayer compounds.

Изготовление начинается с подготовки основания электронного узла в виде фольгированного полимера. Основание может иметь как одностороннюю, так и двухстороннюю металлизацию, может использоваться как пленка в виде фольгированного полимера, так и формироваться из жидкого или твердого полимерного материала на тонком металлическом основании.Production begins with the preparation of the base of the electronic unit in the form of a foil polymer. The base can have either one-sided or double-sided metallization, a film in the form of a foil polymer can be used, and it can be formed from a liquid or solid polymer material on a thin metal base.

С одной стороны основания формируются реперные знаки для установки электронных компонентов и для совмещения последующих слоев, с обратной стороны - отверстия в металле точно над будущими контактными площадками кристаллов и других выводов электронных компонентов, а также в местах будущих переходных отверстий в диэлектрике.On one side of the base, reference marks are formed for installing electronic components and for combining subsequent layers, on the reverse side there are holes in the metal exactly above future contact pads of crystals and other terminals of electronic components, as well as in places of future vias in the dielectric.

Кристаллы интегральных схем и другие компоненты прецизионно устанавливаются и приклеиваются к основанию с помощью термо- и химостойкого полимерного клея - лака, предварительно нанесенного тонким слоем по всей поверхности и просушенного до определенной температуры, при которой он частично полимеризуется. Полимерный клей - лак может наноситься любым известным способом - пульверизацией, центрифугированием, окунанием, поливом. Не исключается вариант в качестве альтернативы клеящего слоя применять липкую ленту.Integrated circuit crystals and other components are precision mounted and glued to the base with the help of heat and chemical resistant polymer glue - varnish, previously applied with a thin layer over the entire surface and dried to a certain temperature at which it partially polymerizes. Polymer adhesive - varnish can be applied in any known manner - by spraying, centrifuging, dipping, watering. It is possible that an adhesive tape can be used as an alternative to the adhesive layer.

В процессе размещения электронные компоненты прижимаются к основанию контактными площадками или выводами вниз под определенной нагрузкой, и при заданном температурном профиле происходит дальнейшая полимеризация клея - лака. Окончательная полимеризация клея - лака осуществляется отдельно на установке с ИК - нагревом снизу.In the process of placement, electronic components are pressed to the base by pads or pins down under a certain load, and at a given temperature profile, further glue - varnish polymerizes. The final polymerization of glue - varnish is carried out separately at the installation with infrared heating from below.

Для жесткости конструкции и обеспечения планарности, а также дополнительного теплоотвода при последующих технологических операциях к обратной поверхности основания со стороны электронных компонентов узла устанавливается металлическая пластина. Существует два варианта изготовления электронного узла с применением металлической пластины. Первый, когда металлическая пластина приклеивается по всей поверхности на полимерный клей - лак и остается по окончанию всех технологических операций в составе конечного изделия. Тем самым получается «жесткий» вариант конструкции электронного узла. Второй, когда металлическая пластина, пройдя все операции, отделяется от основания и тем самым получается «гибкая» конструкция электронного узла.For structural rigidity and ensuring planarity, as well as additional heat removal during subsequent technological operations, a metal plate is installed to the back surface of the base from the side of the electronic components of the assembly. There are two options for manufacturing an electronic assembly using a metal plate. The first, when a metal plate is glued over the entire surface to a polymer glue - varnish and remains at the end of all technological operations in the composition of the final product. This results in a “hard” version of the design of the electronic unit. Secondly, when the metal plate, having gone through all the operations, is separated from the base and thereby a “flexible” design of the electronic assembly is obtained.

Переходные отверстия в основании формируются методом плазмохимического травления через металлизированную несъемную маску, которой является второй слой фольгированного полимера с отверстиями в металле. В случае использования в качестве основания одностороннего фольгированного полимера сначала создается топология под установку электронных компонентов и части схемы изделия, а второй слой под отверстия формируется после размещения электронных компонентов методом вакуумного напыления металлов и процессов фотолитографии. Не исключается вариант, в качестве альтернативы, где для создания отверстий в основании используется химическая или лазерная обработка.The vias in the base are formed by plasma-chemical etching through a metallized fixed mask, which is the second layer of foil polymer with holes in the metal. In the case of using a one-sided foil polymer as the base, a topology is first created for the installation of electronic components and parts of the product circuit, and a second layer for the holes is formed after the electronic components are placed by vacuum deposition of metals and photolithography processes. The option is not excluded, as an alternative, where chemical or laser processing is used to create holes in the base.

В процессе травления переходных отверстий не исключается возможность использовать очень тонкую съемную коваровую маску, плотно прижатую к основанию.In the process of etching vias, the possibility of using a very thin removable insidious mask, tightly pressed to the base, is not ruled out.

Монтаж или электрический контакт с электронными компонентами осуществляется без пайки и сварки методом вакуумного напыления металлов. Структура как минимум из двух различных металлов напыляется послойно по всей поверхности основания с запылением переходных отверстий в фольгированном полимере. Перед вакуумным напылением производится ионная очистка поверхности основания, отверстий, контактных площадок и других выводов электронных компонентов.Installation or electrical contact with electronic components is carried out without soldering and welding by vacuum deposition of metals. A structure of at least two different metals is sprayed layer by layer over the entire surface of the base with dusting of vias in the foil polymer. Before vacuum deposition, ionic cleaning of the surface of the base, holes, pads and other outputs of electronic components is performed.

Топология слоев коммутации изделия формируется методом фотолитографии.The topology of the product switching layers is formed by the photolithography method.

Последний слой разводки содержит крупные монтажные площадки, защищенные финишным покрытием. Это позволяет в дальнейшем легко монтировать микроузел на контактные площадки печатной платы методом оплавления припойной пасты.The last layer of the wiring contains large installation sites protected by a topcoat. This makes it possible in the future to easily mount a micronode on the pads of a printed circuit board by the method of reflowing solder paste.

Для формирования топологии слоев коммутации изделия не исключается возможность использовать способ напыления металлов через очень тонкую съемную коваровую маску, плотно прижатую к основанию.To form the topology of the product switching layers, the possibility of using a method of metal deposition through a very thin removable insidious mask, tightly pressed to the base, cannot be ruled out.

Заявленный способ изготовления электронных узлов на гибком носителе позволяет формировать и большее количество слоев, чем описано.The claimed method of manufacturing electronic components on a flexible medium allows you to form a larger number of layers than described.

На основе изобретенного способа можно изготавливать различные электронные узлы для радиоэлектронной аппаратуры со значительно улучшенными параметрами.Based on the invented method, it is possible to manufacture various electronic components for electronic equipment with significantly improved parameters.

Гибкий электронный узел может быть смонтирован на плату как компонент аналогично тому, как монтируются компоненты в BGA-корпусах. Монтаж электронного узла можно произвести на печатную плату из любого материала - стеклотекстолита, металла, керамики и т.д., так как основа узла компенсирует тепловое расширение платы за счет собственной пластичности. Поскольку гибкое основание электронного узла имеет минимальную толщину, может быть обеспечен отвод тепла от лицевой стороны кристаллов при монтаже узла на теплоотводящую печатную плату.A flexible electronic assembly can be mounted on a board as a component in the same way as components are mounted in BGA packages. The assembly of the electronic assembly can be done on a printed circuit board from any material - fiberglass, metal, ceramics, etc., since the base of the assembly compensates for the thermal expansion of the circuit due to its own plasticity. Since the flexible base of the electronic assembly has a minimum thickness, heat can be removed from the front of the crystals when the assembly is mounted on a heat-removing printed circuit board.

Изобретение поясняется фигурами, приведенными на чертеже.The invention is illustrated by the figures shown in the drawing.

На фиг. 1 показан вариант последовательных технологических операций изготовления фрагмента электронного узла радиоэлектронной аппаратуры на основе двухстороннего фольгированного полиимида, где способ осуществляется следующим образом.In FIG. 1 shows a variant of sequential technological operations of manufacturing a fragment of an electronic unit of electronic equipment based on double-sided foil polyimide, where the method is as follows.

Подготавливают поверхность фольгированного полиимида. Толщина слоев меди 2 и полиимида 1 зависит от схемы изделия и определяется расчетным путем. Заготовка может быть двухсторонним фольгированным полиимидом, а может формироваться самостоятельно путем магнетронного напыления металлов с двух сторон полиимидной пленки. При этом, если в качестве основного металла будет использоваться медь, ее необходимо защитить сверху никелем.The surface of the foil polyimide is prepared. The thickness of the layers of copper 2 and polyimide 1 depends on the product circuit and is determined by calculation. The preform can be double-sided foil polyimide, and can be formed independently by magnetron sputtering of metals on both sides of the polyimide film. Moreover, if copper will be used as the base metal, it must be protected with nickel from above.

Далее формируется топология схемы изделия с обеих сторон. В топологии верхнего слоя 4 формируются посадочные места 3 (отверстия в металле) под установку кристаллов и чип-компонента. На нижнем слое формируются отверстия в металле 6 ровно над контактными площадками кристаллов и чип-компонента для последующего травления полиимидной пленки. Как на верхнем, так и на нижнем слое формируются реперные знаки 5 для последующей ориентации компонентов и совмещения при процессах фотолитографии.Next, the topology of the product circuit is formed on both sides. In the topology of the top layer 4, seats 3 (holes in the metal) are formed for the installation of crystals and a chip component. Holes in the metal 6 are formed on the lower layer exactly above the contact pads of the crystals and the chip component for subsequent etching of the polyimide film. Reference marks 5 are formed on both the upper and lower layers for subsequent component orientation and alignment during photolithography processes.

Для натяжения пленки и придания планарности к верхней стороне фольгированного полиимида приклеивается пластина из нержавеющей стали в форме кольца 8 (играющая роль технологической оснастки), имеющая по периферии отверстия и реперные знаки 9. Пластина приклеивается за счет полиимидного клея - лака 7, нанесенного на поверхность пластины методом центрифугирования, с которой будет контактировать плата, и просушенного до определенной температуры. Приклеивание происходит при определенном давлении и температуре. Пластина имеет форму круга для равномерного натяжения полиимидной пленки и может иметь размеры стандартных кремниевых пластин: ⌀ 100 мм, ⌀ 150 мм, ⌀ 200 мм и т.д.To tension the film and give planarity to the upper side of the foil polyimide, a stainless steel plate is glued in the form of a ring 8 (playing the role of a tooling), which has holes and reference marks on the periphery 9. The plate is glued by polyimide glue - varnish 7 applied to the surface of the plate by centrifugation, with which the board will be in contact, and dried to a certain temperature. Bonding occurs at a certain pressure and temperature. The plate has the shape of a circle for uniform tension of the polyimide film and can have the dimensions of standard silicon wafers: ⌀ 100 mm, ⌀ 150 mm, ⌀ 200 mm, etc.

Затем на поверхность фольгированного полиимида наносится термо- и химостойкий полиимидный клей - лак 10. Происходит нагрев платы до необходимой степени полимеризации клея - лака.Then, heat and chemical resistant polyimide adhesive - varnish is applied to the surface of the foiled polyimide 10. The board is heated to the required degree of polymerization of the adhesive - varnish.

После чего кристаллы микросхем 11 и чип-компонент 12 прецизионно устанавливаются и приклеиваются к основанию посредством уже нанесенного на предыдущей операции клея - лака. В процессе размещения электронные компоненты прижимаются к основанию контактными площадками и выводами вниз, под определенной нагрузкой, и при заданном температурном профиле происходит дальнейшая полимеризация клея - лака.After that, the crystals of the microcircuits 11 and the chip component 12 are precisely installed and glued to the base by means of an adhesive - varnish already applied in the previous operation. In the process of placement, the electronic components are pressed to the base with pads and leads down, under a certain load, and at a given temperature profile, further glue - varnish polymerizes.

Далее электронные компоненты герметизируются полиимидным клеем-лаком или эпоксидным клеем 13 и производится окончательная полимеризация. Для жесткости конструкции и обеспечения планарности поверхности, а также дополнительного теплоотвода при последующих технологических операциях с обратной стороны основания узла приклеивается металлическая пластина 14.Further, the electronic components are sealed with polyimide glue-varnish or epoxy glue 13 and the final polymerization is carried out. For rigidity of the structure and ensuring planarity of the surface, as well as additional heat removal during subsequent technological operations, a metal plate 14 is glued from the back of the base of the assembly.

Переходные отверстия 15 в основании формируются методом плазмохимического травления через второй слой фольгированного полиимида, который играет роль несъемной маски.The vias 15 at the base are formed by plasma-chemical etching through a second layer of foil-coated polyimide, which plays the role of a fixed mask.

Монтаж электронных компонентов осуществляется без пайки и сварки методом вакуумного напыления металлов. Структура 16 как минимум состоит из двух металлов хрома и меди. Напыляются они послойно по всей поверхности основания с запылением переходных отверстий в фольгированном полиимиде. Перед вакуумным напылением производится ионная очистка поверхности основания, отверстий, контактных площадок кристаллов и выводов чип-компонентов.Installation of electronic components is carried out without soldering and welding by vacuum deposition of metals. Structure 16 at least consists of two metals of chromium and copper. They are sprayed layer-by-layer over the entire surface of the base with dusting of vias in foil-coated polyimide. Before vacuum deposition, ionic cleaning of the surface of the base, holes, contact pads of crystals and terminals of the chip components is performed.

После чего происходит формирование первого коммутационного слоя методом фотолитографии и наносится финишное защитное покрытие. Оно покрывает всю поверхность платы и будет выполнять функцию защиты от воздействия окружающей среды.After that, the first switching layer is formed by photolithography and a final protective coating is applied. It covers the entire surface of the board and will perform the function of protecting against environmental influences.

На заключительной операции производится удаление металлической оснастки, и отделение готового узла от заготовки.At the final operation, the removal of metal equipment and the separation of the finished unit from the workpiece are performed.

На фиг. 2 показана возможность сгибания фрагмента электронного узла, изготовленного по технологии фиг. 1.In FIG. 2 shows the possibility of bending a fragment of an electronic assembly made according to the technology of FIG. one.

У описанного способа производства микроузлов есть хорошие перспективы. Особенно это касается возможности массового производства таких изделий, как встраиваемые GPS/ГЛОНАСС - приемники, вычислительные модули, радиоэлектронные узлы авиационной и автомобильной аппаратуры, светодиодные платы и драйверы.The described method for the production of micro-nodes has good prospects. This is especially true of the possibility of mass production of such products as built-in GPS / GLONASS receivers, computing modules, electronic components of aircraft and automobile equipment, LED boards and drivers.

Описанная технология легко может быть трансформирована в рулонные варианты с минимальной трудоемкостью и себестоимостью.The described technology can easily be transformed into roll options with minimal labor and cost.

Источники информацииInformation sources

1. Патент США 20130015572.1. US patent 20130015572.

2. Патент РФ 2327311.2. RF patent 2327311.

3. Патент США 8193042 - прототип.3. US patent 8193042 - prototype.

Claims (1)

Способ изготовления электронных узлов на гибком носителе без процессов пайки и сварки, включающий установку электронных компонентов на гибкое основание с помощью полимерного лака, герметизацию компонентов, создание отверстий в основании узла до выводов электронных компонентов, металлизацию отверстий и формирование слоев коммутации, отличающийся тем, что на полиимидную пленку устанавливаются бескорпусные кристаллы активной стороной вниз и чип-компоненты с помощью полиимидного лака, отверстия формируются методом плазмохимического травления, монтаж компонентов осуществляется методом магнетронного напыления металлов в вакууме, наращивание необходимого количества слоев методами фотолитографии по полиимидному фотолаку. A method of manufacturing electronic components on a flexible carrier without soldering and welding processes, including installing electronic components on a flexible base using polymer varnish, sealing components, creating holes in the base of the assembly to the terminals of electronic components, plating holes and forming switching layers, characterized in that the polyimide film, the open-sided crystals are installed with the active side down and the chip components with the help of polyimide varnish, the holes are formed by the plasma chemical method Composition, installation of components is carried out by the method of magnetron sputtering of metals in vacuum, the required number of layers is grown by photolithography using polyimide photolacquer.
RU2014133855/07A 2014-08-19 2014-08-19 Method of making electronic assemblies on flexible support without soldering and welding processes RU2572588C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014133855/07A RU2572588C1 (en) 2014-08-19 2014-08-19 Method of making electronic assemblies on flexible support without soldering and welding processes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014133855/07A RU2572588C1 (en) 2014-08-19 2014-08-19 Method of making electronic assemblies on flexible support without soldering and welding processes

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2572588C1 true RU2572588C1 (en) 2016-01-20

Family

ID=55086984

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014133855/07A RU2572588C1 (en) 2014-08-19 2014-08-19 Method of making electronic assemblies on flexible support without soldering and welding processes

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2572588C1 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2010462C1 (en) * 1992-06-09 1994-03-30 Научно-технологический центр микроприборов Multilayer printed circuit board with components
RU2327311C2 (en) * 2002-01-31 2008-06-20 Имбера Электроникс Ой Method of integration of components to plate-base
US8193042B2 (en) * 2008-10-17 2012-06-05 Occam Portfolio Llc Flexible circuit assemblies without solder and methods for their manufacture

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2010462C1 (en) * 1992-06-09 1994-03-30 Научно-технологический центр микроприборов Multilayer printed circuit board with components
RU2327311C2 (en) * 2002-01-31 2008-06-20 Имбера Электроникс Ой Method of integration of components to plate-base
US8193042B2 (en) * 2008-10-17 2012-06-05 Occam Portfolio Llc Flexible circuit assemblies without solder and methods for their manufacture

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10141203B2 (en) Electrical interconnect structure for an embedded electronics package
US7078788B2 (en) Microelectronic substrates with integrated devices
JP4899604B2 (en) Three-dimensional semiconductor package manufacturing method
US5989939A (en) Process of manufacturing compliant wirebond packages
US20140307403A1 (en) Method for integrating an electronic component into a printed circuit board
US10014243B2 (en) Interconnection substrates for interconnection between circuit modules, and methods of manufacture
KR101753225B1 (en) Method for Manufacturing Circuit having Lamination Layer using LDS Process
US9247631B2 (en) Method for fabricating heat dissipation substrate
CN110024107B (en) Integrated circuit packaging method and integrated packaging circuit
EP1579500A1 (en) Methods for performing substrate imprinting using thermoset resin varnishes and products formed therefrom
KR20170002830A (en) Electronic component module and manufacturing method threrof
JP2006519475A (en) Free-standing contact structure formed directly on a module without casing
JP2006521686A (en) Device comprising electrical components on a substrate and method for manufacturing the device
US11810844B2 (en) Component carrier and method of manufacturing the same
RU2572588C1 (en) Method of making electronic assemblies on flexible support without soldering and welding processes
TWI569368B (en) Package substrate, package structure including the same, and their fabrication methods
RU2639720C2 (en) Printed circuit board with internal mounting of elements and method of its manufacture
US11335664B2 (en) Integrated circuit packaging method and integrated packaging circuit
RU2571880C1 (en) Microelectronic components mounting method
US20140182904A1 (en) Printed circuit board and method for manufacturing the same
US9420709B2 (en) Coreless board for semiconductor package, method of manufacturing the same, and method of manufacturing semiconductor package using the same
JP2011187911A (en) Side packaged type printed circuit board
RU2581155C1 (en) Method of making electronic node
US11764344B2 (en) Package structure and manufacturing method thereof
KR101510625B1 (en) Method for manufacturing the Embedded FPCB