RU2509994C1 - Fibre-optic device of pressure measurement - Google Patents
Fibre-optic device of pressure measurement Download PDFInfo
- Publication number
- RU2509994C1 RU2509994C1 RU2012130071/28A RU2012130071A RU2509994C1 RU 2509994 C1 RU2509994 C1 RU 2509994C1 RU 2012130071/28 A RU2012130071/28 A RU 2012130071/28A RU 2012130071 A RU2012130071 A RU 2012130071A RU 2509994 C1 RU2509994 C1 RU 2509994C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- fiber
- membrane
- fabry
- resonator
- perot
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к волоконно-оптическим устройствам измерения давления, температуры, и может быть использовано в нефтегазовой, химической промышленности для измерения давлений, температур жидких и газообразных сред, находящихся, в том числе, в трубопроводах, резервуарах.The invention relates to measuring equipment, in particular to fiber-optic devices for measuring pressure, temperature, and can be used in the oil and gas and chemical industries for measuring pressures, temperatures of liquid and gaseous media, including those in pipelines, tanks.
Известно устройство для измерения давления, представляющее собой датчик, содержащий чувствительную мембрану и волоконно-оптический преобразователь, выполненный в виде световодов, соединенных с фотодетектором и излучателем (ЕР №1026439А2, кл. G01H 11/02, публ. 09.08.2000).A device for measuring pressure is known, which is a sensor containing a sensitive membrane and a fiber optic transducer made in the form of optical fibers connected to a photodetector and emitter (EP No. 1026439A2, class G01H 11/02, publ. 09.08.2000).
Недостатком данного устройства является относительно высокая погрешность измерения давления, т.к. не учитывается изменение показаний давления при изменении температуры контролируемой среды.The disadvantage of this device is the relatively high error of pressure measurement, because does not take into account the change in pressure readings when the temperature of the controlled medium changes.
Известно волоконно-оптическое устройство измерения давления, содержащее оптоэлектронный блок с источником излучения, датчиками давления и температуры, каждый из которых имеет сообщающийся с измеряемой средой корпус, в котором расположена чувствительная мембрана, обращенный к мембране световод, оптически связанный с источником излучения и фотоприемником блока регистрации и обработки отраженных сигналов, осветительные каналы датчиков соединены между собой волоконно-оптическим разветвителем, при этом корпус датчика температуры имеет заглушку, изолирующую его чувствительную мембрану, от действия давления измеряемой среды (см. патент RU №2287792, публ. 10.04.2006).A fiber-optic pressure measuring device is known, comprising an optoelectronic unit with a radiation source, pressure and temperature sensors, each of which has a housing in communication with the medium to be measured, in which a sensitive membrane is located, a light guide facing the membrane is optically coupled to the radiation source and a photodetector of the recording unit and processing the reflected signals, the lighting channels of the sensors are interconnected by a fiber optic splitter, while the housing of the temperature sensor has plug, insulating his sensitive membrane from the medium-pressure actions (see. Patent RU №2287792, publ. 10.04.2006).
При работе устройства под действием давления и температуры происходит деформация чувствительной мембраны датчика давления и деформация мембраны датчика температуры от теплового воздействия, при разности показаний на фотоприемниках определяется измеряемое давление.When the device is operated under the influence of pressure and temperature, the sensitive membrane of the pressure sensor is deformed and the membrane of the temperature sensor is deformed by heat, and the measured pressure is determined when the readings on the photodetectors differ.
Однако наличие в волоконно-оптическом устройстве двух датчиков, предназначенных для подсоединения к различным зонам измерения технологической среды, усложняет конструкцию устройства, а неоднородность температурного поля контролируемой среды приводит к нарушению точности измерения температуры, что снижает точность измерения давления среды.However, the presence of two sensors in the fiber-optic device designed to be connected to different measurement zones of the process medium complicates the design of the device, and the inhomogeneity of the temperature field of the controlled medium leads to a violation of the accuracy of temperature measurement, which reduces the accuracy of measuring the pressure of the medium.
Принцип работы устройства по данному изобретению основан на использовании амплитудных волоконно-оптических датчиков, существенным недостатком которых является слабая устойчивость к дестабилизирующим воздействиям. Колебания интенсивности излучения, вызванные изменениями мощности излучателя, чувствительности фотоприемника или потерь подводящих световодов, воспринимаются как полезный сигнал. Существенно влияют на характеристики элементов данных датчиков механические воздействия, вызванные вибрациями, ударами, колебаниями давления и т.д.The principle of operation of the device according to this invention is based on the use of amplitude fiber optic sensors, a significant disadvantage of which is poor resistance to destabilizing effects. Fluctuations in the radiation intensity caused by changes in the power of the emitter, the sensitivity of the photodetector, or the loss of the input fibers, are perceived as a useful signal. The mechanical effects caused by vibrations, shocks, pressure fluctuations, etc., significantly affect the characteristics of the elements of these sensors.
Вместе с тем, известны наиболее устойчивые к дестабилизирующим воздействиям волоконно-оптические устройства измерения давления, основанные на использовании интерферометрических волоконно-оптических датчиков, принцип действия которых заключается в преобразовании измеряемой физической величины в изменение оптической разности хода световых волн, например, в резонаторе Фабри-Перо, в последующем детектировании оптического сигнала и его математической обработке.At the same time, fiber-optic pressure measuring devices most resistant to destabilizing effects are known, based on the use of interferometric fiber-optic sensors, the principle of which is to convert the measured physical quantity into a change in the optical path difference of light waves, for example, in a Fabry-Perot resonator , in the subsequent detection of the optical signal and its mathematical processing.
Волоконно-оптическое устройство измерения давления по патентуPatent Fiber Optic Pressure Measurement Device
RU №2334965, публ. 20.07.2007 выбрано в качестве ближайшего аналога заявляемого изобретения. Устройство содержит источники излучения в виде широкополосных полупроводниковых светодиодов, каждый из которых соединен с Y-образным волоконно-оптическим разветвителем, резонаторы Фабри-Перо, световоды которых соединены с выходом соответствующего волоконно-оптического разветвителя, первый резонатор Фабри-Перо предназначен для получения интерференции световых лучей, отраженных от поверхности мембраны и торца световода, при воздействии давления и температуры измеряемой среды на базовое расстояние между отражающими поверхностями, второй резонатор Фабри-Перо предназначен для получения интерференции отраженных световых лучей при температурном воздействии среды, вторые оптоволоконные выходы разветвителей сопряжены с блоком регистрации светового излучения, фотоприемная линейка которого через аналого-цифровой преобразователь связана с процессором обработки цифровых сигналов, управляющие выходы процессора связаны с источниками излучения.RU No. 2334965, publ. 07/20/2007 selected as the closest analogue of the claimed invention. The device contains radiation sources in the form of broadband semiconductor LEDs, each of which is connected to a Y-shaped fiber optic splitter, Fabry-Perot resonators, the optical fibers of which are connected to the output of the corresponding fiber-optic splitter, the first Fabry-Perot resonator is designed to receive interference of light rays reflected from the surface of the membrane and the end of the fiber, when exposed to pressure and temperature of the measured medium at the base distance between the reflecting surfaces, in The Fabry-Perot resonator is designed to interfere with reflected light rays when exposed to the temperature of the medium, the second fiber-optic outputs of the couplers are coupled to the light emission registration unit, the photodetector of which is connected through an analog-to-digital converter to the digital signal processing processor, and the control outputs of the processor are connected to radiation sources .
При реализации данного технического решения резонаторы Фабри-Перо располагаются в различных зонах измерения технологической среды, неоднородность температурного поля которой приводит к нарушению точности измерения давления среды.When implementing this technical solution, Fabry-Perot resonators are located in different measurement zones of the technological medium, the inhomogeneity of the temperature field of which leads to a violation of the accuracy of measuring the pressure of the medium.
Технический результат изобретения заключается в повышении точности измерения давления технологической среды.The technical result of the invention is to improve the accuracy of measuring the pressure of the process medium.
Для решения поставленного технического результата предложено волоконно-оптическое устройство измерения давления, содержащее источники излучения в виде широкополосных полупроводниковых светодиодов, каждый из которых соединен с Y-образным волоконно-оптическим разветвителем, резонаторы Фабри-Перо, световоды которых соединены с выходом соответствующего волоконно-оптического разветвителя, первый резонатор Фабри-Перо предназначен для получения интерференции световых лучей, отраженных от поверхности мембраны и торца световода, при воздействии давления и температуры измеряемой среды на базовое расстояние между отражающими поверхностями, второй резонатор Фабри-Перо предназначен для получения интерференции отраженных световых лучей при температурном воздействии среды, вторые оптоволоконные выходы разветвителей сопряжены с блоком регистрации светового излучения, фотоприемная линейка которого через аналого-цифровой преобразователь связана с процессором обработки цифровых сигналов, управляющие выходы процессора связаны с источниками излучения, согласно изобретению, световоды обоих резонаторов Фабри-Перо расположены в корпусе, имеющем две полости, между которыми расположена мембрана, одна из полостей корпуса сообщается с контролируемой средой и обращена к центральной части мембраны со стороны противолежащей ее отражающей поверхности, а в другой полости корпуса размещены изолированные друг от друга световоды резонаторов Фабри-Перо, световод первого резонатора соосен с вертикальной осью симметрии центральной части мембраны, световод второго резонатора радиально смещен относительно световода первого резонатора и торец его обращен к отражающей поверхности мембраны, выполненной на ее периферийном кольцевом участке, который изолирован от полости корпуса, сообщающейся с контролируемой средой.To solve the technical result, a fiber-optic pressure measuring device is proposed that contains radiation sources in the form of broadband semiconductor LEDs, each of which is connected to a Y-shaped fiber-optic splitter, Fabry-Perot resonators, the optical fibers of which are connected to the output of the corresponding fiber-optic splitter , the first Fabry-Perot resonator is designed to interfere with light rays reflected from the surface of the membrane and the end of the fiber, The pressure and temperature of the measured medium at the base distance between the reflecting surfaces, the second Fabry-Perot resonator is designed to interfere with the reflected light rays during the temperature exposure of the medium, the second fiber optic coupler outputs are coupled to the light detection unit, the photodetector of which is connected via an analog-to-digital converter with a digital signal processor, the control outputs of the processor are connected to radiation sources, according to the invention In June, the fibers of both Fabry-Perot resonators are located in a housing having two cavities between which the membrane is located, one of the housing cavities communicates with the controlled medium and faces the central part of the membrane from the side of the opposite reflecting surface, and isolated in the other housing cavity the Fabry-Perot resonator fibers from each other, the fiber of the first resonator is aligned with the vertical axis of symmetry of the central part of the membrane, the fiber of the second resonator is radially offset from the fiber ervogo resonator and its end face facing the reflecting surface of the membrane formed at its peripheral annular portion, which is insulated from the body cavity communicating with the controlled environment.
Согласно изобретению световоды резонаторов Фабри-Перо размещены в соосных, сопряженных между собой втулках, одна из которых, внутренняя, предназначена для размещения световода резонатора Фабри-Перо, соосного с центральной частью мембраны, а другая втулка охватывает первую и предназначена для размещения в ней световода второго резонатора Фабри-Перо, при этом торец первой втулки имеет фланец, взаимодействующий с одной стороны с наружным торцом второй втулки, а с другой стороны с прижимной гайкой, взаимодействующей с наружной поверхностью корпуса.According to the invention, the fibers of the Fabry-Perot resonators are placed in coaxial bushings, one of which, the inside, is designed to accommodate the fiber of the Fabry-Perot resonator, coaxial with the central part of the membrane, and the other sleeve covers the first and is designed to accommodate the second fiber in it Fabry-Perot resonator, while the end face of the first sleeve has a flange interacting on one side with the outer end of the second sleeve, and on the other hand with a clamping nut interacting with the outer surface housing.
Согласно изобретению оптическое волокно световода каждого резонатора выполнено одномодовым.According to the invention, the optical fiber of the fiber of each resonator is single-mode.
Согласно изобретению между корпусом и периферийным кольцевым участком мембраны со стороны ее противолежащей отражающей поверхности расположена прокладка, изолирующая данный участок мембраны от полости, сообщающейся с контролируемой средой.According to the invention, a gasket is located between the housing and the peripheral annular portion of the membrane on the side of its opposite reflective surface, isolating this portion of the membrane from the cavity in communication with the controlled medium.
Согласно изобретению фоторегистрирующий блок выполнен в виде спектрометра с дифракционной решеткой.According to the invention, the photo-recording unit is made in the form of a spectrometer with a diffraction grating.
При реализации изобретения, благодаря размещению в корпусе изолированных друг от друга световодов обоих резонаторов Фабри-Перо, использованию мембраны с отражающей поверхностью для обоих резонаторов, обеспечивается возможность подсоединения корпуса к общей зоне измерения физических параметров технологической среды, что уменьшает влияние неоднородности температурного поля на измеряемые параметры и повышает точность измерения давления в заданной технологической зоне трубопровода или резервуара.When implementing the invention, due to the placement of both Fabry-Perot resonators isolated from each other in the casing, the use of a membrane with a reflecting surface for both resonators, it is possible to connect the casing to a common measurement zone of the physical parameters of the process medium, which reduces the effect of the temperature field inhomogeneity on the measured parameters and improves the accuracy of measuring pressure in a given technological zone of the pipeline or tank.
При анализе известного уровня техники не выявлено технических решений, имеющих аналогичную заявляемому техническому решению совокупность конструктивных признаков, что свидетельствует о соответствии заявляемого технического решении критериям изобретения: «новизна», «изобретательский уровень».In the analysis of the prior art, no technical solutions have been identified that have a combination of design features similar to the claimed technical solution, which indicates the compliance of the claimed technical solution with the criteria of the invention: “novelty”, “inventive step”.
Изобретение может быть промышленно изготовлено на стандартном оборудовании при использовании для его изготовления унифицированных конструктивных узлов, элементов, деталей, используемых для изготовления различных волоконно-оптических систем, что свидетельствует о соответствии его критерию «промышленная применимость».The invention can be industrially manufactured on standard equipment using unified structural units, elements, parts used for the manufacture of various fiber optic systems for its manufacture, which indicates compliance with its criterion of "industrial applicability".
Изобретение подтверждается нижеприведенным его описанием.The invention is supported by the description below.
На Рис.1 показана блок-схема волоконно-оптического устройства для измерения давления.Figure 1 shows a block diagram of a fiber optic device for measuring pressure.
На Рис.2 показано конструктивное исполнение резонаторов Фабри-Перо.Figure 2 shows the design of Fabry-Perot resonators.
На Рис.3 - то же, что на Рис.2, вид А.In Fig. 3 - the same as in Fig. 2, view A.
Волоконно-оптическое устройство для измерения давления содержит:Fiber optic device for measuring pressure contains:
- Источники излучения 1, каждый из которых выполнен в виде широкополосного полупроводникового светодиода;- Sources of
- Y-образные волоконно-оптические разветвители 2, 3, входы которых соединены с источниками излучения 1; один из выходов каждого разветвителя оптически связан с резонатором Фабри-Перо.- Y-shaped fiber
Один из резонаторов Фабри-Перо предназначен для получения интерференции световых лучей отраженных от поверхности мембраны 4 и торца световода 5 при воздействии давления и температуры контролируемой среды на базовое расстояние «L» между ними. Второй резонатор Фабри-Перо предназначен для получения интерференции отраженных световых лучей при температурном воздействии среды.One of the Fabry-Perot resonators is designed to interfere with the light rays reflected from the surface of the membrane 4 and the end of the
Вторые оптоволоконные выходы разветвителей 2 и 3 сопряжены с блоком регистрации 6 светового излучения, фотоприемная линейка которого через аналого-цифровой преобразователь (АЦП) связана с процессором 7 обработки цифровых сигналов. Управляющие выходы процессора 7 связаны с источниками излучения 1.The second fiber-optic outputs of the
Предпочтительно, в качестве регистрирующего блока 6 используют спектрометр с дифракционной решеткой, обеспечивающий детектирование спектрального распределения излучения.Preferably, as a
Световод 5 первого резонатора Фабри-Перо и световод 8 второго резонатора Фабри-Перо расположены в корпусе 9, имеющем две полости, между которыми расположена мембрана 4. Одна из полостей 10 корпуса 9 сообщается с технологической средой и обращена к центральной части мембраны 4 со стороны противолежащей ее отражающей поверхности. В другой полости корпуса 9 размещены изолированные друг от друга световоды 5 и 8 резонаторов Фабри-Перо. Световод 5 первого резонатора Фабри-Перо соосен с вертикальной осью симметрии центральной части мембраны 4. Световод 8 второго резонатора радиально смещен относительно световода 5 первого резонатора и торец его обращен к отражающей поверхности мембраны 4, выполненной на ее периферийном кольцевом участке. Периферийный кольцевой участок изолирован от полости 10 корпуса посредством прокладки 11, расположенной между корпусом и периферийным кольцевым участком мембраны 4 со стороны ее противолежащей отражающей поверхности.The
Оптическое волокно каждого световода выполнено одномодовым.The optical fiber of each fiber is single-mode.
Световоды 5 и 8 резонаторов Фабри-Перо, расположенные в корпусе 9, изолированы друг от друга путем размещения их в соосных, сопряженных между собой втулках 12 и 13. Внутренняя втулка 12 предназначена для размещения соосного с центральной частью мембраны 4 световода 5 первого резонатора Фабри-Перо. Наружная втулка 13 охватывает втулку 12 и предназначена для размещения в ней световода 8 второго резонатора Фабри-Перо. Расположение световодов 5 и 8 во втулках 12 и 13 повышает точность их юстировки, что обеспечивает надежность приема отраженного излучения при работе каждого резонатора.The
Втулка 12 имеет фланец 14, взаимодействующий через прокладку 15 с наружным торцом втулки 13 и с наружной стороны с прижимной гайкой 16, устанавливаемой на наружной поверхности корпуса 9. При данном конструктивном исполнении соосных, сопряженных между собой втулок 12 и 13 обеспечивается возможность регулирования посредством прокладки 15 (в том числе, сменной) и прижимной гайки 16 базовых расстояний «L» и «1», где «L» - заданное базовое расстояние между торцом световода 5 и отражающей поверхностью центральной части мембраны 4 первого резонатора Фабри-Перо, «1» - заданное базовое расстояние между торцом световода 8 и отражающей поверхностью периферийного кольцевого участка мембраны второго резонатора Фабри-Перо.The sleeve 12 has a flange 14, interacting through the gasket 15 with the outer end of the
Базовые расстояния «L» и «1» определяются посредством математической обработки всего спектрального распределения излучения, отраженного от соответствующего резонатора Фабри-Перо. Предпочтительно, при длине волны излучения 0,8 мкм и при спектре излучения светодиода, имеющего ширину не менее 35 нм, база интерферометра находится в диапазоне 40 мкм - 150 мкм. Для измерения давления или температуры необходимо провести калибровку заявляемого устройства с помощью датчика-эталона. При этом строится зависимость базы калибруемого устройства от давления или температуры, измеряемых датчиком-эталоном. Далее полученная зависимость запоминается компьютером и в дальнейшем используется при измерении давления или температуры уже откалиброванным устройством.The base distances “L” and “1” are determined by mathematical processing of the entire spectral distribution of radiation reflected from the corresponding Fabry-Perot resonator. Preferably, with a radiation wavelength of 0.8 μm and a radiation spectrum of an LED having a width of at least 35 nm, the base of the interferometer is in the range of 40 μm to 150 μm. To measure pressure or temperature, it is necessary to calibrate the inventive device using a reference sensor. In this case, the dependence of the base of the device being calibrated on the pressure or temperature measured by the standard sensor is built. Further, the obtained dependence is stored by a computer and is subsequently used to measure pressure or temperature by an already calibrated device.
Используемое в процессоре 7 программное обеспечение обеспечивает анализ, обработку спектров отраженного светового излучения с целью определения давления среды в соответствующей зоне измерения вне зависимости от температуры среды в данной зоне измерения.The software used in the
В устройстве используют широкополосной полупроводниковый светодиод, например, SLD-34-MP, стандартные одномодовые волоконно-оптические ответвители, например, F-CPL-S22855 компании Newport, стандартные одномодовые волокна, например, HI780 компании Corning. Микропроцессорное устройство может быть выполнено на основе сигнального процессора, например, компании Analog Device.The device uses a wideband semiconductor LED, for example, SLD-34-MP, standard single-mode fiber optic couplers, for example, Newport F-CPL-S22855, standard single-mode fibers, for example, Corning's HI780. The microprocessor device may be based on a signal processor, for example, an Analog Device company.
Широкополосное излучение при поочередном включении светодиодов 1 через оптоволоконный выход в Y-образный разветвитель 2 или 3 попадает в световод 5 или 8 соответствующего резонатора Фабри-Перо, при отражении световое излучение приобретает периодическую модуляцию спектра за счет интерференции волны, отраженной от торца световода, и волны, отраженной от отражающей поверхности соответствующей части мембраны - центральной или ее периферийного кольцевого участка. Период этой модуляции определяется базой «L» или «1» резонатора. Отраженное излучение через волокно световода 5 или 8 проходит через разветвитель 2 или 3 в обратном направлении и через выходные волокна разветвителей проходит в коллиматор спектрометра, дифракционная решетка которого осуществляет спектральное разложение входного светового излучения и через фотоприемную линейку, преобразующую световые сигналы в электрические, последние поступают в аналого-цифровой преобразователь (АЦП) и далее цифровой сигнал поступает в процессор 7, где обеспечивается анализ, обработка спектра отраженного от соответствующего резонатора светового сигнала.When the
Работа устройства в целом основана на прямом спектральном детектировании и обработке оптического спектра излучения, отраженного от соответствующего резонатора с целью построения зависимости разности фаз интерферирующих волн от оптической частоты, что решается с помощью Фурье-преобразований и соответствующей фильтрации информационного сигнала для определения искомого давления технологической среды вне зависимости от ее температуры в контролируемой зоне.The operation of the device as a whole is based on direct spectral detection and processing of the optical spectrum of radiation reflected from the corresponding resonator in order to construct the dependence of the phase difference of the interfering waves on the optical frequency, which is solved using Fourier transforms and appropriate filtering of the information signal to determine the desired pressure of the process medium outside depending on its temperature in the controlled area.
Claims (5)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2012130071/28A RU2509994C1 (en) | 2012-07-17 | 2012-07-17 | Fibre-optic device of pressure measurement |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2012130071/28A RU2509994C1 (en) | 2012-07-17 | 2012-07-17 | Fibre-optic device of pressure measurement |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2012130071A RU2012130071A (en) | 2014-01-27 |
RU2509994C1 true RU2509994C1 (en) | 2014-03-20 |
Family
ID=49956696
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2012130071/28A RU2509994C1 (en) | 2012-07-17 | 2012-07-17 | Fibre-optic device of pressure measurement |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2509994C1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105181191A (en) * | 2015-09-08 | 2015-12-23 | 中国计量学院 | Tunable optical fiber miniature Fabry-Perot pressure sensing device |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2152601C1 (en) * | 1998-06-16 | 2000-07-10 | Научный центр волоконной оптики при Институте общей физики РАН | Fiber-optic pressure transducer (design versions) and its manufacturing process |
US7224465B2 (en) * | 2002-10-15 | 2007-05-29 | University Of Maryland | Fiber tip based sensor system for measurements of pressure gradient, air particle velocity and acoustic intensity |
US7428054B2 (en) * | 2002-10-15 | 2008-09-23 | University Of Maryland | Micro-optical sensor system for pressure, acceleration, and pressure gradient measurements |
JP4769531B2 (en) * | 2005-09-22 | 2011-09-07 | 株式会社山武 | Differential pressure measurement system and differential pressure measurement method |
-
2012
- 2012-07-17 RU RU2012130071/28A patent/RU2509994C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2152601C1 (en) * | 1998-06-16 | 2000-07-10 | Научный центр волоконной оптики при Институте общей физики РАН | Fiber-optic pressure transducer (design versions) and its manufacturing process |
US7224465B2 (en) * | 2002-10-15 | 2007-05-29 | University Of Maryland | Fiber tip based sensor system for measurements of pressure gradient, air particle velocity and acoustic intensity |
US7428054B2 (en) * | 2002-10-15 | 2008-09-23 | University Of Maryland | Micro-optical sensor system for pressure, acceleration, and pressure gradient measurements |
JP4769531B2 (en) * | 2005-09-22 | 2011-09-07 | 株式会社山武 | Differential pressure measurement system and differential pressure measurement method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2012130071A (en) | 2014-01-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11150144B2 (en) | Sapphire sensor for measuring pressure and temperature with improved stress and temperature variation compensation | |
US10545035B2 (en) | Optical sensor with one or more sensing interference elements | |
CN107024236B (en) | F-P/FBG optical fiber sensor demodulation system | |
CN101253392B (en) | Fiber optic temperature and pressure sensor and system incorporating same | |
Wang et al. | Fabry–Pérot fiber sensor for simultaneous measurement of refractive index and temperature based on an in-fiber ellipsoidal cavity | |
US20170122828A1 (en) | Optical pressure sensor | |
US7016047B2 (en) | Active Q-point stabilization for linear interferometric sensors | |
Pinet | Fabry‐Pérot fiber‐optic sensors for physical parameters measurement in challenging conditions | |
CA2509187C (en) | Optical wavelength determination using multiple measurable features | |
RU102256U1 (en) | DEVICE FOR MEASURING PHYSICAL FIELD PARAMETERS | |
EP0260894A1 (en) | Optical fibre measuring system | |
CN103644991B (en) | Based on the method for measuring stress of the double optical fiber grating of Distributed Feedback Laser demodulation | |
Esquivel-Hernández et al. | Resolution improvement in a multi-point fiber refractometer based on coherent-OFDR | |
RU2509994C1 (en) | Fibre-optic device of pressure measurement | |
CN101329168A (en) | Twin Array Michelson Fiber White Light Interference Strain Gauge | |
RU2608394C1 (en) | Device for measuring parameters of physical fields | |
RU2527308C1 (en) | Fibre-optic thermometer | |
TW201144773A (en) | Fiber sensing system | |
RU2495380C2 (en) | Measuring method of parameters of physical fields | |
Marzejon et al. | Fibre-optic sensor for simultaneous measurement of thickness and refractive index of liquid layers | |
CN105841720B (en) | Optical Fiber White Light Interferometer Using Two Parallel Reflecting Surfaces | |
Ushakov et al. | Utilization of NI PXIe-4844 interrogator for high resolution fiber extrinsic Fabry-Perot interferometric sensing | |
RU155334U1 (en) | FIBER OPTICAL TEMPERATURE SENSOR | |
Lozano-Hernandez et al. | Phase signal analysis for high-sensitive temperature fiber-optic external Fabry-Perot-cavity sensor | |
Jones et al. | Multimode optical fiber sensors |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20140718 |