RU2399915C1 - Angular accelerometre - Google Patents
Angular accelerometre Download PDFInfo
- Publication number
- RU2399915C1 RU2399915C1 RU2009116309/28A RU2009116309A RU2399915C1 RU 2399915 C1 RU2399915 C1 RU 2399915C1 RU 2009116309/28 A RU2009116309/28 A RU 2009116309/28A RU 2009116309 A RU2009116309 A RU 2009116309A RU 2399915 C1 RU2399915 C1 RU 2399915C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- inertial mass
- input
- comparator
- cover
- base
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения углового ускорения, например в инерциальных системах навигации.The invention relates to measuring technique and can be used to measure angular acceleration, for example in inertial navigation systems.
Известен Датчик угловых ускорений (патент RU № 97113215, МПК G01P 15/11, 1999.05.27), содержащий статор с магнитопроводом, выполненный в виде трех концентричных колец, соединенных радиальными перемычками, и двух измерительных и одной выходной обмотками. Ротор выполнен с двумя постоянными магнитами, одноименные полюса которых направлены встречно друг другу. Один из магнитов расположен внутри, а другой - снаружи магнитопровода. Измерительные обмотки выполнены каждая в виде двух соединенных параллельно короткозамкнутых диаметрально противоположных секций, намотанных одна на внутреннее, а другая - на наружное кольца магнитопровода. Выходная обмотка намотана на каждую секцию среднего кольца магнитопровода.Known sensor of angular accelerations (patent RU No. 97113215, IPC G01P 15/11, 1999.05.27) containing a stator with a magnetic circuit, made in the form of three concentric rings connected by radial jumpers, and two measuring and one output windings. The rotor is made with two permanent magnets, the poles of the same name directed opposite to each other. One of the magnets is located inside, and the other is outside the magnetic circuit. The measuring windings are each made in the form of two parallel-connected diametrically opposed short-circuited sections wound one on the inner and the other on the outer ring of the magnetic circuit. The output winding is wound on each section of the middle ring of the magnetic circuit.
При воздействии углового ускорения на датчик угловых ускорений ротор начинает вращаться вокруг оси чувствительности, два постоянных магнита создают движущееся магнитное поле, в результате на измерительной обмотке образуется ЭДС, по величине которой судят о величине измеряемого углового ускорения.When angular acceleration acts on the angular acceleration sensor, the rotor begins to rotate around the sensitivity axis, two permanent magnets create a moving magnetic field, as a result an emf is formed on the measuring winding, the magnitude of which determines the value of the measured angular acceleration.
Недостатками являются малый частотный диапазон измеряемого входного воздействия, массогабаритные характеристики.The disadvantages are the small frequency range of the measured input exposure, weight and size characteristics.
Известен Акселерометр (патент RU № 565572, МПК G01P 15/11, 2005.08.20), содержащий корпус и два измерительных звена, в каждое из которых входят: инерционная масса, совмещенная с ротором датчика, и упругие подвесы. Каждый из упругих элементов состоит из нескольких упругих стержней.The known Accelerometer (patent RU No. 565572, IPC G01P 15/11, 2005.08.20), comprising a housing and two measuring links, each of which includes: inertial mass combined with the sensor rotor, and elastic suspensions. Each of the elastic elements consists of several elastic rods.
Ось чувствительности первого звена совпадает с осью чувствительности второго. Упругие элементы подвеса первого звена зеркально симметричны упругим элементам второго звена. Датчики угла обоих звеньев включены в схему суммирования и вычитания, выходы с которых образуют независимые каналы угловых и линейных ускорений соответственно.The sensitivity axis of the first link coincides with the sensitivity axis of the second. The elastic elements of the suspension of the first link are mirror symmetric to the elastic elements of the second link. The angle sensors of both links are included in the summation and subtraction circuit, the outputs from which form independent channels of angular and linear accelerations, respectively.
При воздействии углового ускорения на данный датчик инерционные массы отклоняются на угол, который измеряют датчики угла. Данные о величине углов попадают на схему суммирования и вычитания, которая рассчитывает величину углового ускорения.When angular acceleration acts on a given sensor, the inertial masses are deflected by the angle measured by the angle sensors. The data on the magnitude of the angles fall on the summation and subtraction scheme, which calculates the magnitude of the angular acceleration.
Недостатками являются массогабаритные характеристики, малый частотный диапазон измеряемого входного воздействия.The disadvantages are weight and size characteristics, a small frequency range of the measured input exposure.
Наиболее близким из известных технических решений является Датчик угловых ускорений (патент US № 5349858 МПК G01P 15/08, 1994), содержащий основание, инерционную массу на упругих подвесах, вторую инерционную массу на упругих подвесах, расположенную так, что ось подвесов перпендикулярна оси упругих подвесов кольцевой инерционной массы и находится внутри ее, емкостной датчик положения.The closest known technical solution is the Angular acceleration sensor (US patent No. 5349858 IPC G01P 15/08, 1994), containing the base, the inertial mass on the elastic suspensions, the second inertial mass on the elastic suspensions, located so that the axis of the suspensions is perpendicular to the axis of the elastic suspensions ring inertial mass and is located inside it, capacitive position sensor.
Данный датчик имеет возможность измерять угловое ускорение по двум осям чувствительности. При воздействии по одной из осей чувствительности углового ускорения на датчик инерционная масса поворачивается на некоторый угол вокруг оси упругих подвесов. В результате изменяется расстояние между обкладками емкостного датчика положения, как следствие, и изменяется емкость конденсатора емкостного датчика. По изменению данной емкости судят о измеряемом ускорении.This sensor has the ability to measure angular acceleration along two axes of sensitivity. When one of the axes of sensitivity of angular acceleration acts on the sensor, the inertial mass rotates at a certain angle around the axis of the elastic suspensions. As a result, the distance between the plates of the capacitive position sensor changes, as a result, and the capacitance of the capacitor of the capacitive sensor changes. By changing this capacity, measured acceleration is judged.
Недостатками являются низкая точность измерения, малый частотный диапазон измеряемого воздействия.The disadvantages are the low accuracy of the measurement, the small frequency range of the measured impact.
Задачей является создание углового акселерометра, измеряющего угловое ускорение с большей точностью и расширенным частотным диапазоном.The task is to create an angular accelerometer that measures angular acceleration with greater accuracy and an extended frequency range.
Техническим результатом является увеличение точности и расширение частотного диапазона измеряемого ускорения.The technical result is to increase accuracy and expand the frequency range of the measured acceleration.
Технический результат достигается тем, что в угловой акселерометр, содержащий инерционную массу на упругих подвесах, датчик положения, крышку и основание, введены два постоянных магнита, компаратор, ключ и источник постоянного тока, инерционная масса выполнена из монокристаллического кремния в виде диска с оптическими щелями и размещена на упругих подвесах в зазоре между постоянными магнитами с возможностью углового перемещения, магниты закреплены на основании и крышке, датчик положения выполнен из двух излучателей и двух фотоприемников, оптические оси которых проходят через оптические щели и закреплены в отверстиях на основании и крышке, на поверхности инерционной массы радиально напылены токопроводящие дорожки, начала и концы которых соединены между собой напыленными токопроводящими кольцами и каждое из колец токопроводами через упругие подвесы соединены с выходам ключа, к первому входу которого подключен источник постоянного тока, а ко второму входу подключен выход компаратора, ко входу которого подключены выходы фотоприемников, а излучатели подключены к источнику постоянного тока.The technical result is achieved by the fact that two permanent magnets, a comparator, a key and a direct current source are introduced into an angular accelerometer containing an inertial mass on elastic suspensions, a position sensor, a cover and a base, the inertial mass is made of single-crystal silicon in the form of a disk with optical slits and placed on elastic suspensions in the gap between the permanent magnets with the possibility of angular movement, the magnets are fixed on the base and the cover, the position sensor is made of two emitters and two photodetectors s, the optical axes of which pass through the optical slots and are fixed in the holes on the base and the lid, conductive tracks are radially sprayed on the surface of the inertial mass, the beginnings and ends of which are interconnected by sprayed conductive rings and each of the rings is connected by current conductors to the outputs of the key through elastic suspensions, to the first input of which a DC source is connected, and the output of a comparator is connected to the second input, the outputs of photodetectors are connected to its input, and the emitters are connected to the source nick DC.
Технический результат достигается за счет того, что инерционная масса совершает автоколебания вокруг оси чувствительности под действием знакопеременного сигнала постоянного тока, формируемого в цепи обратной связи. При этом наличие входного воздействия приводит к смещению центра колебаний и возникновению временной модуляции сигнала.The technical result is achieved due to the fact that the inertial mass self-oscillates around the axis of sensitivity under the action of an alternating DC signal generated in the feedback circuit. In this case, the presence of the input action leads to a shift in the center of oscillations and the appearance of temporary modulation of the signal.
Совокупность существенных признаков изобретения обеспечивает достижение технического результата, достигаемого при осуществлении изобретения в силу того, что содержащиеся в заявленном устройстве инерционная масса, упругие подвесы, постоянные магниты, оптические щели, основание, крышка, излучатели, фотоприемники, токопроводящие дорожки, ключ, источник постоянного тока, компаратор могут быть эффективно использованы для измерения углового ускорения.The set of essential features of the invention ensures the achievement of the technical result achieved by the invention due to the fact that the inertial mass, elastic suspensions, permanent magnets, optical slots, base, cover, emitters, photodetectors, conductive tracks, key, direct current source contained in the claimed device The comparator can be effectively used to measure angular acceleration.
Проведенный заявителем анализ уровня техники установил, что аналоги, характеризующиеся совокупностями признаков, тождественных всем признакам заявленного углового акселерометра, отсутствуют, следовательно, заявленное изобретение соответствует условию "новизна".The analysis of the prior art conducted by the applicant has established that there are no analogues characterized by sets of features identical to all the features of the claimed angular accelerometer, therefore, the claimed invention meets the condition of "novelty."
Результаты поиска известных технических решений в данной и смежных областях техники с целью выявления признаков, совпадающих с отличительными от прототипов признаками заявленного изобретения, показали, что они не следуют явным образом из уровня техники.Search results for known technical solutions in this and related fields of technology in order to identify features that match the distinctive features of the claimed invention from the prototypes showed that they do not follow explicitly from the prior art.
Из определенного заявителем уровня техники не выявлена известность влияния предусматриваемых существенными признаками заявленного изобретения преобразований на достижение указанного технического результата, следовательно, заявленное изобретение соответствует "изобретательскому уровню".From the prior art determined by the applicant, the influence of the transformations provided for by the essential features of the claimed invention on the achievement of the specified technical result has not been revealed, therefore, the claimed invention corresponds to the "inventive step".
Сущность изобретения поясняется чертежами, где на фиг.1 представлена Электро-кинематическая схема датчика и введены следующие обозначения:The invention is illustrated by drawings, where figure 1 shows the electro-kinematic diagram of the sensor and the following notation:
1. Инерционная масса1. Inertial mass
2. Упругие подвесы2. Elastic suspensions
3. Постоянные магниты3. Permanent magnets
4. Оптическая щель 1-я4. Optical slit 1st
5. Оптическая щель 2-я5. Optical slit 2nd
6. Основание6. The basis
7. Крышка7. Cover
8. Излучатель 1-й8. Emitter 1st
9. Излучатель 2-й9. Emitter 2nd
10. Фотоприемник 1-й10. Photodetector 1st
11. Фотоприемник 2-й11. Photodetector 2nd
12. Токопроводящие дорожки12. Current paths
13. Токопроводящие кольца13. Conductive rings
14. Токопроводы14. Conductors
15. Ключ15. The key
16. Источник постоянного тока16. DC source
17. Компаратор17. Comparator
На фиг.2а представлен сигнал на выходе ключа при отсутствии внешнего воздействия.On figa presents a signal at the output of the key in the absence of external influences.
На фиг.2б представлен сигнал на выходе ключа при наличии внешнего воздействия.On figb presents the signal at the output of the key in the presence of external influences.
В предлагаемом угловом акселерометре инерционная масса 1 размещена на упругих подвесах 2 в зазоре между постоянными магнитами 3 с возможностью углового перемещения и выполнена из монокристаллического кремния в виде диска с оптическими щелями 4, 5, магниты 3 закреплены на основании 6 и крышке 7, датчик положения выполнен из двух излучателей 8, 9 и двух фотоприемников 10, 11, оптические оси которых проходят через оптические щели 4, 5 и закреплены в отверстиях на основании 6 и крышке 7, на поверхности инерционной массы 1 радиально напылены токопроводящие дорожки 12, начала и концы которых соединены между собой напыленными токопроводящими кольцами 13 и каждое из колец токопроводами 14 через упругие подвесы 2 соединены с выходами ключа 15, к первому входу которого подключен источник постоянного тока 16, а ко второму входу подключен выход компаратора 17, ко входу которого подключены выходы фотоприемников 10, 11, а излучатели 8, 9 подключены к источнику постоянного тока 16.In the proposed angular accelerometer, the inertial mass 1 is placed on elastic suspensions 2 in the gap between the permanent magnets 3 with the possibility of angular movement and is made of single-crystal silicon in the form of a disk with optical slots 4, 5, magnets 3 are mounted on the base 6 and cover 7, the position sensor is made of two emitters 8, 9 and two photodetectors 10, 11, the optical axis of which pass through the optical slots 4, 5 and are fixed in the holes on the base 6 and cover 7, conductive radially sprayed on the surface of the inertial mass 1 track 12, the beginning and ends of which are interconnected by sprayed conductive rings 13 and each of the rings by current conductors 14 through elastic suspensions 2 are connected to the outputs of the key 15, to the first input of which a DC source 16 is connected, and the output of the comparator 17 is connected to the second input, to the input of which the outputs of the photodetectors 10, 11 are connected, and the emitters 8, 9 are connected to a direct current source 16.
Компаратор 17 может быть выполнен, например, на основе серийно выпускаемой микросхемы (компаратора) 521СА2. Ключ 15 может быть выполнен, например, на основе серийно выпускаемого транзистора ГТ108.The comparator 17 can be performed, for example, based on a commercially available microchip (comparator) 521CA2. The key 15 can be performed, for example, on the basis of a commercially available transistor GT108.
Источник постоянного тока 16 может быть представлен любой типовой схемой, удовлетворяющей заданным параметрам питания токопроводящих дорожек 12.The DC source 16 can be represented by any typical circuit that meets the specified parameters of the power supply of the conductive tracks 12.
Датчик работает следующим образом.The sensor operates as follows.
Датчик устанавливают на объект для измерения углового ускорения, с учетом того, что ось чувствительности проходит через центр диска инерционной массы 1 на упругих подвесах 2 перпендикулярно его поверхности. В исходном состоянии первый излучатель 8 закрыт первой оптической щелью 4, второй излучатель 9 открыт. В результате на выходе 2-го фотоприемника 11 появляется сигнал, который приводит к срабатыванию компаратора 17. Выходное напряжение компаратора 17 управляет ключом 15, который подключает источник постоянного тока 16 к токопроводящим дорожкам 12 через токопроводящие кольца 13 и токопроводы 14. В результате создания магнитного поля токопроводящими дорожками 12 и взаимодействия его с магнитным полем постоянных магнитов 3 возникает пара сил, создающая момент, действующий на диск инерционной массы 1, который, в свою очередь, поворачивается на некоторый угол, при этом первый излучатель 8 оказывается открыт, а второй излучатель 9 закрыт второй оптической щелью 5.The sensor is mounted on an object for measuring angular acceleration, taking into account the fact that the axis of sensitivity passes through the center of the disk of inertial mass 1 on elastic suspensions 2 perpendicular to its surface. In the initial state, the first emitter 8 is closed by the first optical slit 4, the second emitter 9 is open. As a result, a signal appears at the output of the 2nd photodetector 11, which causes the comparator 17. The output voltage of the comparator 17 controls a key 15, which connects the DC source 16 to the conductive paths 12 through the conductive rings 13 and conductors 14. As a result of the creation of a magnetic field conductive paths 12 and its interaction with the magnetic field of permanent magnets 3 there is a pair of forces that creates a moment acting on the disk of inertial mass 1, which, in turn, is rotated by some angle, while the first emitter 8 is open, and the second emitter 9 is closed by the second optical slit 5.
Вследствие этого на выходе первого фотоприемника 10 появляется сигнал, а на выходе второго фотоприемника 11 - пропадает. Т.к. сигнал первого фотоприемника 10 попадает на компаратор 17, то он срабатывает, его выходное напряжение управляет ключом 15, это приводит к переключению ключом 15 направления тока в дорожках 12 на поверхности диска инерционной массы 1. Далее процесс переключений повторяется и, следовательно, диск инерционной массы 1 совершает автоколебания. Применение ключа 15 и источника постоянного тока 16 позволяет формировать на выходе ключа 15 прямоугольные импульсы тока, постоянные по силе тока и частоте, а значит, и автоколебания, постоянные по амплитуде и частоте. Сигнал на выходе ключевой схемы представлен на фиг.2а. При воздействии на датчик углового ускорения он работает следующим образом. При наличии ускорения по оси чувствительности датчика на чувствительную массу 1 будет действовать дополнительный крутящий момент. В результате при угловом движении диска инерционной массы после переключения компаратором 17 ключа 15 время движения диска 1 до точки перекрытия второго излучателя 9 и открытии первого увеличится вследствие того, что на диск будет действовать момент:As a result, a signal appears at the output of the first photodetector 10, and disappears at the output of the second photodetector 11. Because the signal of the first photodetector 10 goes to the comparator 17, it is activated, its output voltage controls the key 15, this leads to switching the key 15 of the current direction in the tracks 12 on the surface of the disk of inertial mass 1. Next, the switching process is repeated and, therefore, the disk of inertial mass 1 makes self-oscillations. The use of the key 15 and the direct current source 16 allows you to form the output current of the key 15 rectangular current pulses, constant in current strength and frequency, and hence self-oscillations, constant in amplitude and frequency. The signal at the output of the key circuit is shown in figa. When exposed to an angular acceleration sensor, it works as follows. If there is acceleration along the axis of sensitivity of the sensor, an additional torque will act on the sensitive mass 1. As a result, with the angular movement of the disk of inertial mass after switching by the comparator 17 of the key 15, the time of movement of the disk 1 to the point of overlap of the second emitter 9 and the opening of the first will increase due to the fact that the moment will act on the disk:
М=Мкп-Мвнешн,M = Mkp-Mvneshn,
где М - суммарный крутящий момент, действующий на инерционную массу, Мкп - момент, создаваемый силой взаимодействия тока в дорожках и с полем постоянного магнита, Мвнешн - дополнительный крутящий момент, действующий на инерционную массу.where M is the total torque acting on the inertial mass, Mkp is the moment created by the interaction force of the current in the tracks and with the permanent magnet field, MV is the additional torque acting on the inertial mass.
В результате это приводит к уменьшению времени поворота. В итоге данные явления приведут к изменению длительности прямоугольных импульсов на выходе ключа 15 (фиг.2б). По изменению длительности прямоугольных импульсов судят об измеряемом ускорении. Повышение точности измерений достигается за счет введения режима автоколебаний и уменьшения вследствие этого вредных моментов, действующих на инерционную массу 1.As a result, this leads to a decrease in turn time. As a result, these phenomena will lead to a change in the duration of the rectangular pulses at the output of the key 15 (fig.2b). The change in the duration of the rectangular pulses judges the measured acceleration. Improving the accuracy of measurements is achieved by introducing a mode of self-oscillations and reducing as a result of this harmful moments acting on the inertial mass 1.
Таким образом, приведенные сведения доказывают, что при осуществлении заявленного изобретения выполняются следующие условия:Thus, the above information proves that when implementing the claimed invention, the following conditions are met:
- средство, воплощающее предлагаемое устройство при его осуществлении, предназначено для использования в измерительной технике, а именно в угловых акселерометрах для измерения углового ускорения, например в инерциальных системах навигации;- a tool embodying the proposed device in its implementation, is intended for use in measuring equipment, namely in angular accelerometers for measuring angular acceleration, for example in inertial navigation systems;
- для заявленного изобретения в том виде, как оно охарактеризовано в независимом пункте формулы изобретения, подтверждена возможность его осуществления с помощью описанных до даты подачи заявки средств;- for the claimed invention as described in the independent claim, the possibility of its implementation using the means described before the filing date of the application has been confirmed;
- средство, воплощающее заявленное изобретение при его осуществлении, способно обеспечить получение указанного технического результата.- a tool embodying the claimed invention in its implementation, is able to provide the specified technical result.
Следовательно, заявленное изобретение соответствует условию патентоспособности "промышленная применимость".Therefore, the claimed invention meets the condition of patentability "industrial applicability".
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2009116309/28A RU2399915C1 (en) | 2009-04-28 | 2009-04-28 | Angular accelerometre |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2009116309/28A RU2399915C1 (en) | 2009-04-28 | 2009-04-28 | Angular accelerometre |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2399915C1 true RU2399915C1 (en) | 2010-09-20 |
Family
ID=42939309
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2009116309/28A RU2399915C1 (en) | 2009-04-28 | 2009-04-28 | Angular accelerometre |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2399915C1 (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2468374C1 (en) * | 2011-04-27 | 2012-11-27 | Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" имени академика М.Ф. Решетнева" | High-precision space accelerometer |
RU2489722C1 (en) * | 2011-12-27 | 2013-08-10 | Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "ТЕМП-АВИА" (ОАО АНПП "ТЕМП-АВИА") | Sensitive element of angular accelerometre |
RU2509307C1 (en) * | 2012-06-19 | 2014-03-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения" | Linear accelerometer |
RU2524687C2 (en) * | 2012-11-06 | 2014-08-10 | Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" имени академика М.Ф. Решетнёва" | Space incremental velocity gauge |
-
2009
- 2009-04-28 RU RU2009116309/28A patent/RU2399915C1/en active
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2468374C1 (en) * | 2011-04-27 | 2012-11-27 | Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" имени академика М.Ф. Решетнева" | High-precision space accelerometer |
RU2489722C1 (en) * | 2011-12-27 | 2013-08-10 | Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "ТЕМП-АВИА" (ОАО АНПП "ТЕМП-АВИА") | Sensitive element of angular accelerometre |
RU2509307C1 (en) * | 2012-06-19 | 2014-03-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения" | Linear accelerometer |
RU2524687C2 (en) * | 2012-11-06 | 2014-08-10 | Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" имени академика М.Ф. Решетнёва" | Space incremental velocity gauge |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105531564B (en) | Improved gyroscope arrangement and gyroscope | |
JP5933510B2 (en) | MEMS accelerometer | |
JP5635758B2 (en) | Darssonval motion MEMS accelerometer | |
RU2399915C1 (en) | Angular accelerometre | |
ATE530918T1 (en) | MEMS ACCELEROMETER WITH FLUX CONCENTRATOR BETWEEN PARALLEL MAGNETS | |
JP2018077221A (en) | Accelerometer control | |
RU2415442C1 (en) | Compensation accelerometre | |
RU2449293C1 (en) | Compensation accelerometer | |
RU2397498C1 (en) | Compensation accelerometre | |
RU2410703C1 (en) | Linear microaccelerometre | |
RU2165088C1 (en) | Process of calibration of accelerometers and device for its realization | |
RU2526589C1 (en) | Accelerometer | |
RU2308038C1 (en) | Device for measuring acceleration | |
JP5759154B2 (en) | Out-of-plane comb drive accelerometer | |
RU2410701C1 (en) | Micromechanical sensor of angular speed | |
JP2009020057A (en) | Vibration detector | |
RU2539826C2 (en) | Compensation-type accelerometer | |
RU2509307C1 (en) | Linear accelerometer | |
RU2561303C1 (en) | Linear microaccelerometer | |
RU2602407C1 (en) | Micromechanical sensor of angular velocity with digital output | |
RU2489722C1 (en) | Sensitive element of angular accelerometre | |
RU2564810C1 (en) | Linear microaccelerometer with optical system | |
RU2584576C1 (en) | Accelerometer-tachometer generator | |
JPH06230027A (en) | Acceleration sensor | |
Chen et al. | Deflection Angle Detection of the Rotor and Signal Processing for a Novel Rotational Gyroscope |