[go: up one dir, main page]

RU2383043C2 - System and method of protecting microstructure of display matrix using pads in gap inside display device - Google Patents

System and method of protecting microstructure of display matrix using pads in gap inside display device Download PDF

Info

Publication number
RU2383043C2
RU2383043C2 RU2005129863/28A RU2005129863A RU2383043C2 RU 2383043 C2 RU2383043 C2 RU 2383043C2 RU 2005129863/28 A RU2005129863/28 A RU 2005129863/28A RU 2005129863 A RU2005129863 A RU 2005129863A RU 2383043 C2 RU2383043 C2 RU 2383043C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
display device
matrix
gaskets
back plate
substrate
Prior art date
Application number
RU2005129863/28A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2005129863A (en
Inventor
Лорен ПАЛМАТИР (US)
Лорен ПАЛМАТИР
Уилльям Дж. КАММИНГЗ (US)
Уилльям Дж. КАММИНГЗ
Брайан Дж. ГАЛЛИ (US)
Брайан Дж. ГАЛЛИ
Клэренс ЧУЙ (US)
Клэренс ЧУЙ
Original Assignee
АйДиСи, ЭлЭлСи
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by АйДиСи, ЭлЭлСи filed Critical АйДиСи, ЭлЭлСи
Publication of RU2005129863A publication Critical patent/RU2005129863A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2383043C2 publication Critical patent/RU2383043C2/en

Links

Images

Landscapes

  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

FIELD: physics; optics.
SUBSTANCE: display device has a matrix of interferometric modulators formed on a substrate, a rear plate, a seal and one or more pads. The seal is placed between the substrate and the rear plate together for mounting the matrix of modulators into the housing. The pads are placed between the matrix and the plate. The pads prevent contact of the rear plate with the matrix. The pads are not in contact with the rear plate or the matrix. The method of making a display device provides a matrix of interferometric modulators on a substrate. Pads are placed between the matrix and the rear plate and the rear plate and the substrate are sealed together.
EFFECT: prevention or reduced damages due to fitting the device into a housing and using pads.
39 cl, 76 dwg, 1 ex

Description

Область техники, к которой относится изобретениеFIELD OF THE INVENTION

Это изобретение относится к электронным устройствам. Более конкретно это изобретение относится к системе монтажа в корпус и способу защиты микроэлектромеханического устройства от физического повреждения.This invention relates to electronic devices. More specifically, this invention relates to a housing installation system and a method for protecting a microelectromechanical device from physical damage.

Уровень техникиState of the art

Микроэлектромеханические системы (МЭМС) включают в себя микромеханические элементы, исполнительные механизмы и электронику. Микромеханические элементы могут быть созданы с использованием осаждения, травления и/или других процессов микрообработки, которые вытравливают части подложек и/или осажденных слоев материалов или которые добавляют слои для формирования электрических и электромеханических устройств. Один тип МЭМС-устройства называют интерферометрическим модулятором. Интерферометрический модулятор может содержать пару проводящих пластин, одна или обе из которых могут быть прозрачными и/или отражающими полностью или частично и способными к относительному перемещению при приложении соответствующего электрического сигнала. Одна пластина может содержать стационарный слой, осажденный на подложке, другая пластина может содержать металлическую мембрану, отделенную от стационарного слоя посредством воздушного зазора. Такие устройства имеют широкий диапазон применений, и было бы выгодно в данной области техники использовать и/или модифицировать характеристики устройств этих типов так, чтобы их признаки могли быть использованы для улучшения существующих изделий (продуктов) и создания новых изделий, которые еще не были разработаны.Microelectromechanical systems (MEMS) include micromechanical elements, actuators and electronics. Micromechanical elements can be created using deposition, etching and / or other microprocessing processes that etch parts of the substrates and / or deposited layers of materials or which add layers to form electrical and electromechanical devices. One type of MEMS device is called an interferometric modulator. The interferometric modulator may comprise a pair of conductive plates, one or both of which can be transparent and / or reflecting in whole or in part and capable of relative movement when a corresponding electrical signal is applied. One plate may contain a stationary layer deposited on the substrate, the other plate may contain a metal membrane separated from the stationary layer by an air gap. Such devices have a wide range of applications, and it would be advantageous in the art to use and / or modify the characteristics of devices of these types so that their features can be used to improve existing products (products) and create new products that have not yet been developed.

Раскрытие изобретенияDisclosure of invention

Одним вариантом воплощения этого изобретения является устройство отображения (дисплей), содержащее матрицу интерферометрических модуляторов, сформированных на подложке. Этот вариант воплощения включает в себя объединительную пластину и уплотнение, размещенное между подложкой и объединительной пластиной, причем подложка и объединительная пластина плотно скреплены вместе для монтажа матрицы интерферометрических модуляторов в корпус. Между матрицей и объединительной пластиной размещены одна или более прокладок (распорок или разделителей), причем эти одна или более прокладок предохраняют объединительную пластину от контакта с матрицей.One embodiment of this invention is a display device (display) comprising an array of interferometric modulators formed on a substrate. This embodiment includes a backplane and a seal sandwiched between the substrate and the backplane, the backing and backplane being tightly fastened together to mount the matrix of interferometric modulators in the housing. Between the matrix and the backplane, one or more spacers (spacers or dividers) are disposed, these one or more spacers protecting the backplane from contact with the matrix.

Другим вариантом воплощения этого изобретения является способ изготовления устройства отображения. Этот вариант воплощения включает в себя обеспечение наличия матрицы интерферометрических модуляторов на подложке и размещение на этой подложке одной или более прокладок. Этот способ также включает в себя плотное прикрепление объединительной пластины к подложке для формирования устройства отображения, причем эти одна или более прокладок предохраняют объединительную пластину от контакта с матрицей.Another embodiment of this invention is a method of manufacturing a display device. This embodiment includes providing an array of interferometric modulators on the substrate and placing one or more spacers on this substrate. This method also includes tightly attaching the backing plate to the substrate to form the display device, these one or more spacers protecting the backing plate from contact with the matrix.

Еще одним вариантом воплощения этого изобретения является устройство отображения, изготовленное с помощью способа, включающего в себя обеспечение наличия матрицы интерферометрических модуляторов на подложке и размещения одной или более прокладок на этой подложке. Способ изготовления устройства отображения также включает в себя плотное прикрепление объединительной пластины к подложке для формирования устройства отображения, причем одна или более прокладок предохраняют объединительную пластину от контакта с матрицей.Another embodiment of this invention is a display device manufactured using a method including providing an array of interferometric modulators on a substrate and placing one or more spacers on this substrate. The manufacturing method of the display device also includes tightly attaching the backing plate to the substrate to form the display device, wherein one or more spacers protect the backing plate from contact with the matrix.

Еще одним вариантом воплощения этого изобретения является устройство отображения. В этом варианте воплощения устройство отображения включает в себя работающее на пропускание средство для пропускания через него света и модулирующее средство для модулирования света, прошедшего через работающее на пропускание средство. Устройство отображения также содержит покрывающее средство для покрытия модулирующего средства и уплотняющее средство, размещенное между работающим на пропускание средством и покрывающим средством для формирования корпуса. Кроме того, устройство отображения включает в себя распорное средство для предохранения модулирующего средства и покрывающего средства от контакта друг с другом внутри устройства отображения.Another embodiment of this invention is a display device. In this embodiment, the display device includes transmitting means for transmitting light therethrough and modulating means for modulating light transmitted through the transmitting means. The display device also comprises coating means for coating the modulating means and sealing means arranged between the transmission means and the covering means for forming the housing. In addition, the display device includes spacer means for preventing the modulating means and the coating means from contacting each other within the display device.

Краткое описание чертежейBrief Description of the Drawings

Эти и другие аспекты данного изобретения станут более очевидными из последующего описания и из прилагаемых чертежей (не в масштабе), которые предназначены иллюстрировать, а не ограничивать это изобретение.These and other aspects of the present invention will become more apparent from the following description and from the accompanying drawings (not to scale), which are intended to illustrate and not limit this invention.

Фиг.1 представляет собой изометрическую проекцию, изображающую часть дисплея на основе интерферометрических модуляторов согласно одному варианту воплощения, в котором подвижный отражающий слой первого интерферометрического модулятора находится в неактивизированном положении, а подвижный отражающий слой второго интерферометрического модулятора находится в активизированном положении.1 is an isometric view showing a portion of a display based on interferometric modulators according to one embodiment in which the movable reflective layer of the first interferometric modulator is in the inactive position and the movable reflective layer of the second interferometric modulator is in the activated position.

Фиг.2 представляет собой блок-схему системы, показывающую один вариант воплощения электронного устройства, включающего в себя имеющий матрицу 3×3 дисплей на основе интерферометрических модуляторов.FIG. 2 is a block diagram of a system showing one embodiment of an electronic device including an interferometric modulator-based 3 × 3 matrix display.

Фиг.3 представляет собой диаграмму зависимости положений подвижного зеркала от приложенного напряжения для одного примерного варианта воплощения интерферометрического модулятора по Фиг.1.Figure 3 is a diagram of the dependence of the positions of the movable mirror on the applied voltage for one exemplary embodiment of the interferometric modulator of Figure 1.

Фиг.4 представляет собой иллюстрацию набора напряжений строк и столбцов, которые могут использоваться для возбуждения дисплея на основе интерферометрических модуляторов.Figure 4 is an illustration of a set of row and column voltages that can be used to drive a display based on interferometric modulators.

Фиг.5A показывает один примерный кадр отображаемых данных в имеющем матрицу 3×3 дисплее на основе интерферометрических модуляторов по Фиг.2.FIG. 5A shows one exemplary frame of displayed data in a 3 × 3 matrix display based on interferometric modulators of FIG. 2.

Фиг.5B показывает одну примерную временную диаграмму для сигналов строк и столбцов, которые могут использоваться для записи кадра по Фиг.5A.FIG. 5B shows one exemplary timing diagram for row and column signals that can be used to record the frame of FIG. 5A.

Фиг.6A представляет собой поперечное сечение устройства по Фиг.1. Фиг.6B представляет собой поперечное сечение альтернативного варианта воплощения интерферометрического модулятора. Фиг.6C представляет собой поперечное сечение альтернативного варианта воплощения интерферометрического модулятора.6A is a cross section of the device of FIG. 1. 6B is a cross-sectional view of an alternative embodiment of an interferometric modulator. 6C is a cross section of an alternative embodiment of an interferometric modulator.

Фиг.7A и Фиг.7B показывают изображение с пространственным разделением деталей и поперечное сечение одного варианта воплощения корпуса дисплея, содержащего прокладку. Фиг.7C показывает вариант воплощения корпуса дисплея, содержащего утопленную крышку. Фиг.7D показывает вариант воплощения корпуса дисплея, который содержит изогнутую объединительную пластину.FIGS. 7A and 7B show an exploded view and cross section of one embodiment of a display housing comprising a gasket. Fig. 7C shows an embodiment of a display case comprising a recessed cover. Fig. 7D shows an embodiment of a display case that comprises a curved back plate.

Фиг.8A показывает поперечное сечение варианта воплощения утопленной крышки. Фиг.8B показывает поперечное сечение варианта воплощения объединительной пластины, содержащей усиливающие ребра. Фиг.8C показывает поперечное сечение варианта воплощения утопленной крышки, содержащей усиливающие ребра. Фиг.8D и Фиг.8E показывают в поперечном сечении объединительные пластины, содержащие полости, в которых размещается влагопоглотитель.Fig. 8A shows a cross-section of an embodiment of a recessed cover. Fig. 8B shows a cross-section of an embodiment of a back plate containing reinforcing ribs. Fig. 8C shows a cross-section of an embodiment of a recessed cover comprising reinforcing ribs. Fig. 8D and Fig. 8E show, in cross section, back plates containing cavities in which the desiccant is housed.

Фиг.9 показывает поперечное сечение устройства с двойной матрицей, которое содержит две матрицы интерферометрических модуляторов.9 shows a cross section of a dual matrix device that contains two arrays of interferometric modulators.

Фиг.10 показывает поперечное сечение варианта воплощения корпуса дисплея, содержащего влагопоглотитель.10 shows a cross-section of an embodiment of a display case containing a desiccant.

Фиг.11A показывает вид сверху варианта воплощения устройства, в котором прокладки располагаются, по существу, упорядоченным образом (с регулярной структурой или рисунком). Фиг.11B показывает вид сверху варианта воплощения устройства, в котором прокладки располагаются случайным образом (с произвольным рисунком). Фиг.11C показывает вид сверху варианта воплощения устройства, в котором прокладки располагаются около центра матрицы. Фиг.11D показывает вид сверху варианта воплощения устройства, в котором прокладки являются более плотными около центра матрицы и менее плотными около периферии. Фиг.11E показывает вид сверху варианта воплощения устройства, содержащего три концентрические зоны прокладок.11A shows a top view of an embodiment of a device in which the gaskets are arranged in a substantially ordered manner (with a regular structure or pattern). 11B shows a top view of an embodiment of a device in which the gaskets are arranged randomly (with an arbitrary pattern). 11C shows a top view of an embodiment of a device in which gaskets are located near the center of the matrix. 11D shows a top view of an embodiment of a device in which the gaskets are denser near the center of the matrix and less dense near the periphery. 11E shows a top view of an embodiment of a device comprising three concentric zones of gaskets.

Фиг.12A-Фиг.12T показывают варианты воплощения прокладок.12A to 12T show gasket embodiments.

Фиг.13A показывает вид сверху варианта воплощения устройства, содержащего прокладки, которые простираются на по меньшей мере два столбика в матрице. Фиг.13B показывает вид сверху варианта воплощения устройства, содержащего прокладки в форме диска, которые простираются на по меньшей мере два столбика в матрице.13A shows a top view of an embodiment of a device comprising gaskets that extend over at least two columns in a matrix. 13B shows a top view of an embodiment of a device comprising disk-shaped gaskets that extend over at least two columns in a matrix.

Фиг.14 показывает вид сверху варианта воплощения устройства, содержащего прокладки, по меньшей мере, столь же большие по размеру, как и один интерферометрический модуляторный элемент в матрице.FIG. 14 shows a top view of an embodiment of a device comprising gaskets at least as large as one interferometric modulator element in a matrix.

Фиг.15A показывает вид сверху варианта воплощения устройства, содержащего прокладки, по существу, центрированные над столбиками. Фиг.15B показывает вид сверху варианта воплощения устройства, в котором некоторая часть каждой прокладки располагается над столбиком. Фиг.15C показывает вид сверху варианта воплощения устройства, в котором никакая часть никакой прокладки не располагается над каким-либо столбиком.Figa shows a top view of a variant embodiment of a device containing gaskets, essentially centered above the columns. Figv shows a top view of a variant embodiment of the device in which some part of each gasket is located above the column. Fig. 15C shows a top view of an embodiment of a device in which no part of any gasket is located above any column.

Фиг.16 показывает вид сверху варианта воплощения устройства, содержащего прокладки различных размеров.16 shows a top view of an embodiment of a device comprising gaskets of various sizes.

Фиг.17A показывает вид сверху варианта воплощения устройства, содержащего сеточную прокладку. Фиг.17B показывает вид сверху варианта воплощения устройства, содержащего сеточную прокладку, которая является более плотной в центре, чем на периферии. Фиг.17C показывает вид сверху цельной прямоугольной прокладки. Фиг.17D показывает вид сверху цельной диагональной прокладки.17A shows a top view of an embodiment of a device comprising a grid spacer. FIG. 17B shows a top view of an embodiment of a device comprising a grid spacer that is denser in the center than in the periphery. Fig.17C shows a top view of a solid rectangular strip. Fig.17D shows a top view of a solid diagonal strip.

Фиг.18A показывает поперечное сечение варианта воплощения устройства, содержащего пленочную прокладку. Фиг.18B показывает поперечное сечение варианта воплощения устройства, содержащего пленочную прокладку с неплоским поперечным сечением. Фиг.18C показывает поперечное сечение варианта воплощения устройства, содержащего пленочную прокладку в виде мешка.Fig. 18A shows a cross section of an embodiment of a device comprising a film spacer. FIG. 18B shows a cross section of an embodiment of a device comprising a film pad with a non-planar cross section. Fig. 18C shows a cross-section of an embodiment of a device comprising a bag-shaped film pad.

Фиг.19 показывает поперечное сечение варианта воплощения устройства, содержащего множество пленочных прокладок.19 shows a cross section of an embodiment of a device comprising a plurality of film gaskets.

Фиг.20A-Фиг.20D показывают в поперечном сечении реакцию прокладки с треугольным поперечным сечением согласно одному варианту воплощения на приложенное усилие. Фиг.20E показывает вариант воплощения прокладки с более тонкой верхней частью и более толстой нижней частью. Фиг.20F показывает поперечное сечение варианта воплощения прокладки с двумя областями, которые различным образом реагируют на приложенное усилие.Figa-Fig.20D show in cross section the reaction of the gasket with a triangular cross section according to one variant embodiment of the applied force. Fig. 20E shows an embodiment of a gasket with a thinner upper part and a thicker lower part. Fig. 20F shows a cross-section of an embodiment of a gasket with two regions that respond differently to the applied force.

Фиг.21A показывает поперечное сечение варианта воплощения устройства, в котором прокладка простирается между матрицей и объединительной пластиной. Фиг.21B показывает поперечное сечение варианта воплощения устройства, в котором прокладка контактирует с матрицей, но не с объединительной пластиной. Фиг.21C показывает поперечное сечение варианта воплощения устройства, в котором прокладка контактирует с объединительной пластиной, но не с матрицей.21A shows a cross-section of an embodiment of a device in which a spacer extends between a matrix and a backplate. FIG. 21B shows a cross section of an embodiment of a device in which the gasket is in contact with the matrix, but not with the backplane. Fig. 21C shows a cross section of an embodiment of a device in which the gasket is in contact with the backplate, but not with the matrix.

Фиг.22A показывает поперечное сечение варианта воплощения устройства, содержащего цельные прокладки, сформированные поверх столбиков интерферометрических модуляторов. Фиг.22B показывает поперечное сечение варианта воплощения устройства, содержащего цельные прокладки, сформированные поверх столбиков интерферометрических модуляторов различных высот, и вторую прокладку, размещенную на этих цельных прокладках. Фиг.22C показывает поперечное сечение варианта воплощения устройства, содержащего цельные прокладки, сформированные поверх столбиков интерферометрических модуляторов, и вторую прокладку, которая захватывает цельные прокладки.22A shows a cross section of an embodiment of a device comprising integral gaskets formed over columns of interferometric modulators. Fig. 22B shows a cross-section of an embodiment of a device comprising integral gaskets formed over columns of interferometric modulators of various heights and a second gasket placed on these integral gaskets. Fig. 22C shows a cross-section of an embodiment of a device comprising integral gaskets formed over columns of interferometric modulators and a second gasket that grips the integral gaskets.

Фиг.23 представляет собой блок-схему технологических операций, показывающую вариант воплощения способа изготовления смонтированного в корпусе электронного устройства, которое устойчиво к физическому повреждению.23 is a flowchart showing an embodiment of a method of manufacturing an electronic device mounted in a housing that is resistant to physical damage.

Фиг.24 представляет собой блок-схему технологических операций, показывающую вариант воплощения способа защиты электронного устройства от физического повреждения.24 is a flowchart showing an embodiment of a method for protecting an electronic device from physical damage.

Фиг.25A и 25B представляют собой блок-схемы системы, показывающие вариант воплощения устройства визуального отображения, содержащего множество интерферометрических модуляторов.25A and 25B are system block diagrams showing an embodiment of a visual display device comprising a plurality of interferometric modulators.

Подробное описание конкретных вариантов воплощенияDetailed Description of Specific Embodiments

Электронные устройства являются восприимчивыми к повреждению в результате физических воздействий, например падений, скручивания, ударов, сжатия и тому подобного. Некоторые устройства являются более чувствительными к повреждению, чем другие. Например, устройства с движущимися частями являются восприимчивыми к смещению или поломке одной или более из движущихся частей. Некоторые устройства на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) являются особенно чувствительными к физическим воздействиям из-за точных размеров составляющих их деталей. Следовательно, такие устройства обычно монтируют в корпусе для уменьшения или предотвращения нежелательных контактов, которые могут нанести повреждения устройству.Electronic devices are susceptible to damage due to physical influences, such as falls, twisting, shock, compression, and the like. Some devices are more susceptible to damage than others. For example, devices with moving parts are susceptible to displacement or breakage of one or more of the moving parts. Some devices based on microelectromechanical systems (MEMS) are especially sensitive to physical influences due to the exact dimensions of their component parts. Therefore, such devices are typically mounted in a housing to reduce or prevent unwanted contacts that may cause damage to the device.

В некоторых случаях сам корпус искажается или деформируется внешними силами, которые служат причиной того, что детали корпуса контактируют и в некоторых случаях повреждают или ухудшают работу смонтированного в корпусе устройства. Соответственно, предлагается система монтажа в корпус для электронных устройств, включая МЭМС-устройства, которая включает в себя прокладки, выполненные с возможностью предотвращения или уменьшения контактов деталей в смонтированном в корпусе устройстве, которые имеют вероятность повредить это электронное устройство. В некоторых вариантах воплощения прокладки выполнены с возможностью предотвращения или уменьшения повреждений, возникающих в результате контактов между матрицей интерферометрических модуляторов и объединительной пластиной системы монтажа в корпус для этого устройства. Следовательно, в некоторых вариантах воплощения смонтированный в корпусе дисплей, содержащий одну или более прокладок, является более тонким, чем эквивалентный смонтированный в корпусе дисплей, изготовленный без прокладок, так как прокладки позволяют размещать объединительную пластину ближе к матрице интерферометрических модуляторов, как обсуждается ниже.In some cases, the case itself is distorted or deformed by external forces, which cause the case parts to come into contact and in some cases damage or impair the operation of the device mounted in the case. Accordingly, there is provided a mounting system in a housing for electronic devices, including MEMS devices, which includes gaskets configured to prevent or reduce the contacts of parts in a device mounted in the housing that are likely to damage this electronic device. In some embodiments, the gaskets are configured to prevent or reduce damage resulting from contacts between the matrix of interferometric modulators and the backplane of the housing mounting system for this device. Therefore, in some embodiments, a housing-mounted display comprising one or more gaskets is thinner than an equivalent housing-mounted display made without gaskets, since the gaskets allow the backplane to be placed closer to the matrix of interferometric modulators, as discussed below.

МЭМС-устройства на основе интерферометрических модуляторов, раскрываемые здесь, являются применимыми в производстве устройств отображения (дисплеев). В некоторых вариантах воплощения дисплей содержит матрицу интерферометрических модуляторов, сформированных на подложке, тем самым давая устройство, которое является относительно тонким по сравнению с его длиной и/или шириной. Некоторые варианты воплощения таких конструкций восприимчивы к отклонению или деформации усилием, имеющим составляющую, нормальную к поверхности этого устройства. Некоторые варианты воплощения таких конструкций являются восприимчивыми к деформации при скручивании. Специалистам в данной области должно быть понятно, что при прочих равных условиях отклонение или деформация будут увеличиваться с увеличением длины и/или ширины этого устройства.MEMS devices based on interferometric modulators disclosed herein are applicable in the manufacture of display devices (displays). In some embodiments, the display comprises an array of interferometric modulators formed on the substrate, thereby providing a device that is relatively thin compared to its length and / or width. Some embodiments of such structures are susceptible to deflection or deformation by a force having a component normal to the surface of this device. Some embodiments of such structures are susceptible to torsional deformation. Specialists in this field should be clear that, ceteris paribus, the deviation or deformation will increase with increasing length and / or width of this device.

Усилия, которые имеют вероятность вызвать такие отклонения и/или деформации, не являются необычными в портативных электронных устройствах. Такие усилия возникают, например, в вариантах применения, связанных с сенсорным экраном, или в интерфейсах, основанных на использовании пера. Более того, для пользователей является обычным касаться или нажимать на поверхность дисплея, например, при указании какого-либо изображения на дисплее компьютера. Непреднамеренный контакт с дисплеем также происходит, например, на дисплее мобильного телефона в кармане или кошельке пользователя.Efforts that are likely to cause such deviations and / or deformations are not unusual in portable electronic devices. Such efforts arise, for example, in applications related to the touch screen, or in interfaces based on the use of a pen. Moreover, it is common for users to touch or press on the surface of a display, for example, when specifying any image on a computer display. Inadvertent contact with the display also occurs, for example, on the display of a mobile phone in a user's pocket or wallet.

Последующее подробное описание направлено на определенные конкретные варианты воплощения этого изобретения. Однако настоящее изобретение может быть воплощено множеством различных способов. В этом описании делается ссылка на чертежи, причем сходные части всюду обозначаются с помощью сходных ссылочных позиций. Как будет видно из последующего описания, это изобретение может быть реализовано в любом устройстве, которое выполнено с возможностью отображения изображения, в движении ли (например, видео), или в статике (например, неподвижное изображение, фотография), будь то текст или картинка. Более конкретно, предполагается, что это изобретение может быть реализовано в или связано с самыми разнообразными электронными устройствами, такими как, но не ограничиваясь этими, мобильные телефоны, беспроводные устройства (радиоустройства), персональные цифровые секретари (ПЦС или PDA), ручные или портативные компьютеры, приемники/навигаторы Глобальной системы позиционирования (ГСП или GPS), съемочные камеры, MP3-плееры, видеокамеры, игровые консоли (пульты), наручные часы, настенные или напольные часы, будильники, калькуляторы, телевизионные мониторы, дисплеи с плоским экраном, компьютерные мониторы, автомобильные дисплеи (например, дисплей одометра (т.е. счетчика пройденного пути) и т.д.), органы управления и/или дисплеи кабин пилотов, дисплей съемочной камеры (например, дисплей камеры заднего вида в транспортном средстве), электронные фотоаппараты, электронные доски объявлений, рекламные щиты или вывески, дорожные знаки, проекторы, архитектурные конструкции, средства монтажа в корпус и эстетические конструкции (например, дисплеи для отображения изображений на ювелирных изделиях). МЭМС-устройства с конструкцией, аналогичной описываемым здесь, также могут быть использованы в приложениях, не использующих дисплеи, таких как, например, в электронных коммутирующих устройствах.The following detailed description is directed to certain specific embodiments of this invention. However, the present invention can be embodied in many different ways. In this description, reference is made to the drawings, wherein like parts are denoted everywhere by like reference numerals. As will be seen from the following description, this invention can be implemented in any device that is capable of displaying an image whether in motion (e.g., video), or in static (e.g., still image, photograph), whether it is text or a picture. More specifically, it is contemplated that this invention may be practiced in or associated with a wide variety of electronic devices, such as, but not limited to, mobile phones, wireless devices (radio devices), personal digital assistants (PDAs or PDAs), handheld or laptop computers , receivers / navigators of the Global Positioning System (GPS or GPS), filming cameras, MP3 players, video cameras, game consoles (consoles), watches, wall or floor clocks, alarm clocks, calculators, television e monitors, flat-screen displays, computer monitors, car displays (e.g., odometer display (i.e. trip meter), etc.), cockpit controls and / or displays, camera display (e.g. display rear view cameras in a vehicle), electronic cameras, electronic bulletin boards, billboards or signs, road signs, projectors, architectural structures, mounting means in a case and aesthetic structures (for example, displays for displaying images on jewelry spruce). MEMS devices with a design similar to those described here can also be used in applications that do not use displays, such as, for example, in electronic switching devices.

Один вариант воплощения дисплея на основе интерферометрических модуляторов, содержащего интерферометрический МЭМС-элемент дисплея, показан на Фиг.1. В этих устройствах пиксели находятся либо в ярком, либо в темном состоянии. В ярком («включенном» или «открытом») состоянии элемент дисплея отражает большую часть падающего видимого света к пользователю. Находясь в темном («выключенном» или «закрытом») состоянии, элемент дисплея отражает мало падающего видимого света к пользователю. В зависимости от варианта воплощения свойства отражения света «включенного» и «выключенного» состояний могут меняться на противоположные. МЭМС-пиксели могут быть выполнены с возможностью отражения преимущественно на выбранных цветах, делая возможным создание цветного дисплея в дополнение к черно-белому.One embodiment of a display based on interferometric modulators comprising an interferometric MEMS display element is shown in FIG. In these devices, the pixels are either in bright or dark state. In a bright (“on” or “open”) state, the display element reflects most of the incident visible light to the user. Being in a dark (“off” or “closed”) state, the display element reflects little incident light visible to the user. Depending on the embodiment, the light reflection properties of the “on” and “off” states can be reversed. MEMS pixels can be configured to reflect primarily on selected colors, making it possible to create a color display in addition to black and white.

Фиг.1 представляет собой изометрическую проекцию, изображающую два соседних пикселя в ряду пикселей визуального дисплея, причем каждый пиксель содержит интерферометрический МЭМС-модулятор. В некоторых вариантах воплощения дисплей на основе интерферометрических модуляторов содержит матрицу-строк/столбцов из этих интерферометрических модуляторов. Каждый интерферометрический модулятор включает в себя пару отражающих слоев, располагающихся на изменяемом и управляемом расстоянии друг от друга с образованием резонансной оптической полости с по меньшей мере одним изменяемым линейным размером. В одном варианте воплощения один из отражающих слоев может перемещаться между двумя положениями. В первом положении, указываемом здесь как неактивизированное состояние, подвижный слой располагается на относительно большом расстоянии от зафиксированного (неподвижного) частично отражающего слоя. Во втором положении подвижный слой располагается более близко к частично отражающему слою. Падающий свет, который отражается от этих двух слоев, интерферирует конструктивно или деструктивно в зависимости от положения подвижного отражающего слоя, давая либо полностью отражающее или неотражающее состояние для каждого пикселя.Figure 1 is an isometric view depicting two adjacent pixels in a row of pixels of a visual display, each pixel containing an interferometric MEMS modulator. In some embodiments, the interferometric modulator display comprises a row / column matrix of these interferometric modulators. Each interferometric modulator includes a pair of reflective layers located at a variable and controlled distance from each other with the formation of a resonant optical cavity with at least one variable linear size. In one embodiment, one of the reflective layers can move between two positions. In the first position, indicated here as an inactive state, the movable layer is located at a relatively large distance from the fixed (fixed) partially reflective layer. In the second position, the movable layer is located closer to the partially reflective layer. The incident light that is reflected from these two layers interferes constructively or destructively depending on the position of the moving reflective layer, giving either a fully reflective or non-reflective state for each pixel.

Изображенная часть матрицы пикселей на Фиг.1 включает в себя два соседних интерферометрических модулятора 12a и 12b. В интерферометрическом модуляторе 12a с левой стороны подвижный и сильно отражающий слой 14a показан в неактивизированном положении на заданном расстоянии от зафиксированного частично отражающего слоя 16a. В интерферометрическом модуляторе 12b с правой стороны подвижный сильно отражающий слой 14b показан в активизированном положении рядом с зафиксированным частично отражающим слоем 16b.The illustrated pixel matrix portion of FIG. 1 includes two adjacent interferometric modulators 12a and 12b. In the interferometric modulator 12a, on the left side, the movable and highly reflective layer 14a is shown in an inactive position at a predetermined distance from the fixed partially reflective layer 16a. In the interferometric modulator 12b on the right side, the movable highly reflective layer 14b is shown in the activated position next to the fixed partially reflective layer 16b.

Фиксированные слои 16a, 16b являются электрически проводящими, частично прозрачными и частично отражающими и могут быть изготовлены, например, посредством осаждения одного или более слоев, каждый из хрома и оксида индия-олова, на прозрачную подложку 20. Слои наносятся с рисунком в виде параллельных полос и могут формировать электроды строк в устройстве отображения, как дополнительно описывается ниже. Подвижные слои 14a, 14b могут быть сформированы в виде последовательности параллельных полос осажденного металлического слоя или слоев (ортогональных к электродам 16a, 16b строк), осажденного(ых) поверх столбиков 18 и промежуточного удаляемого материала, осажденного между столбиками 18. Когда удаляемый материал вытравливается, деформируемые металлические слои отделены от зафиксированных металлических слоев некоторым определенным воздушным зазором 19. Для деформируемых слоев может использоваться высоко проводящий и отражающий материал, такой как алюминий, и эти полосы могут формировать электроды столбцов в устройстве отображения.The fixed layers 16a, 16b are electrically conductive, partially transparent and partially reflective and can be made, for example, by depositing one or more layers, each of chromium and indium tin oxide, on a transparent substrate 20. The layers are applied with a parallel strip pattern and can form row electrodes in a display device, as further described below. The movable layers 14a, 14b may be formed as a sequence of parallel strips of the deposited metal layer or layers (orthogonal to the electrodes 16a, 16b of the rows) deposited (s) on top of the columns 18 and an intermediate removable material deposited between the columns 18. When the material to be removed is etched, deformable metal layers are separated from the fixed metal layers by a certain defined air gap 19. For deformable layers, a highly conductive and reflective material such as like aluminum, and these strips can form column electrodes in the display device.

В отсутствие приложенного напряжения между слоями 14a, 16a остается полость 19, и деформируемый слой находится в механически ненапряженном («расслабленном») состоянии, как показано с помощью пикселя 12a на Фиг.1. Однако, когда к выбранным строке и столбцу прилагается разность потенциалов, конденсатор, образовавшийся на пересечении электродов строки и столбца в соответствующем пикселе, становится заряженным, и электростатические силы стягивают электроды вместе. Если напряжение является достаточно высоким, подвижный слой деформируется и принудительно придвигается к зафиксированному слою (на зафиксированный слой может быть осажден диэлектрический материал, который на этой фигуре не показан, чтобы предотвращать замыкание и управлять отделяющим их расстоянием), как показано с помощью пикселя 12b с правой стороны на Фиг.1. Поведение является одним и тем же независимо от полярности прилагаемой разности потенциалов. Таким образом, активация строк/столбцов, которая может управлять отражающим и неотражающим состояниями пикселя, во многих отношениях является аналогичной активации, используемой в стандартных жидкокристаллических дисплеев (ЖКД или LCD) и дисплеев на основе других технологий.In the absence of an applied voltage, a cavity 19 remains between the layers 14a, 16a, and the deformable layer is in a mechanically unstressed (“relaxed”) state, as shown by the pixel 12a in FIG. 1. However, when a potential difference is applied to the selected row and column, the capacitor formed at the intersection of the row and column electrodes in the corresponding pixel becomes charged, and electrostatic forces pull the electrodes together. If the voltage is high enough, the movable layer is deformed and forcibly moved to the fixed layer (dielectric material may be deposited on the fixed layer, which is not shown in this figure to prevent shorting and control their distance separating them), as shown by the pixel 12b on the right side in figure 1. The behavior is the same regardless of the polarity of the applied potential difference. Thus, row / column activation, which can control the reflective and non-reflective states of a pixel, is in many respects similar to the activation used in standard liquid crystal displays (LCDs or LCDs) and displays based on other technologies.

На фигурах с Фиг.2 по Фиг.5B показан один примерный процесс и система для использования матрицы интерферометрических модуляторов в применении к дисплею. Фиг.2 представляет собой блок-схему системы, показывающую один вариант воплощения электронного устройства, которое может включать в себя аспекты этого изобретения. В примерном варианте воплощения электронное устройство включает в себя процессор 21, который может быть любым однокристальным или многокристальным микропроцессором общего назначения, таким как ARM, Pentium®, Pentium II®, Pentium III®, Pentium IV®, Pentium® Pro, 8051-ым, MIPS®, Power PC®, ALPHA®, или любым микропроцессором специального назначения, таким как процессор цифровых сигналов, микроконтроллер или матрица программируемых логических элементов. Как является стандартным в данной области техники, процессор 21 может быть выполнен с возможностью исполнения одного или более программных модулей. В дополнение к исполнению операционной системы, процессор может быть выполнен с возможностью исполнения одного или более программных приложений, включая Web-браузер, телефонное приложение, программу электронной почты или любое другое программное приложение.In the figures of FIG. 2 to FIG. 5B, one exemplary process and system for using an array of interferometric modulators as applied to a display is shown. FIG. 2 is a block diagram of a system showing one embodiment of an electronic device, which may include aspects of this invention. In an exemplary embodiment, the electronic device includes a processor 21, which may be any general purpose single-chip or multi-chip microprocessor, such as ARM, Pentium ® , Pentium II ® , Pentium III ® , Pentium IV ® , Pentium ® Pro, 8051st, MIPS ® , Power PC ® , ALPHA ® , or any special purpose microprocessor, such as a digital signal processor, microcontroller or matrix of programmable logic elements. As is standard in the art, processor 21 may be configured to execute one or more software modules. In addition to executing the operating system, the processor may be configured to execute one or more software applications, including a Web browser, a telephone application, an email program, or any other software application.

В одном варианте воплощения процессор 21 также выполнен с возможностью связывания с контроллером 22 матрицы. В одном варианте воплощения контроллер 22 матрицы включает в себя схему 24 возбуждения строк и схему 26 возбуждения столбцов, которые подают сигналы на матрицу 30 пикселей. Поперечное сечение матрицы, проиллюстрированной на Фиг.1, показано линиями 1-1 на Фиг.2. Для интерферометрических МЭМС-модуляторов протокол активации строк/столбцов может использовать преимущество наличия свойства гистерезиса у этих устройств, показанного на Фиг.3. Может требоваться, например, разность потенциалов в 10 вольт для того, чтобы заставить подвижный слой деформироваться из неактивизированного состояния в активизированное состояние. Однако, когда от этой величины напряжение уменьшается, подвижный слой сохраняет свое состояние по мере того, как напряжение падает назад ниже 10 вольт. В иллюстративном варианте воплощения по Фиг.3 подвижный слой не «освобождается» полностью до тех пор, пока напряжение не упадет ниже 2 вольт. Таким образом, имеется некоторый диапазон напряжения, примерно 3 до 7 В в примере, показанном на Фиг.3, где существует диапазон («окно») прилагаемого напряжения, внутри которого устройство является устойчивым либо в неактивизированном, либо в активизированном состоянии. Оно называется здесь как «окно гистерезиса» или «окно устойчивости». Для матрицы дисплея, имеющей характеристики гистерезиса согласно Фиг.3, протокол активации строк/столбцов может быть разработан так, что во время стробирования строки пиксели в стробируемой строке, которые должны активизироваться, подвергаются воздействию разности напряжения в примерно 10 вольт, а пиксели, которые должны остаться невозбужденными, подвергаются воздействию разности напряжения, близкой к нулю вольт. После строб-импульса пиксели подвергаются воздействию разности потенциалов устойчивого состояния в примерно 5 вольт, так что они остаются в том состоянии, в которое строковый строб-импульс их поместил. После записи каждый пиксель находится при разности потенциалов внутри «окна устойчивости», составляющего 3-7 вольт в этом примере. Этот признак делает конструкцию пикселей, показанную на Фиг.1, устойчивой при одних и тех же условиях прилагаемого напряжения либо в активизированном, либо в неактивизированном предварительно существующем состоянии. Так как каждый пиксель интерферометрического модулятора, в активизированном или неактивизированном состоянии, является, по существу, конденсатором, образованным зафиксированным и подвижным отражающими слоями, это устойчивое состояние может поддерживаться при напряжении внутри окна гистерезиса при почти полном отсутствии рассеяния энергии. Если прилагаемый потенциал является фиксированным, то в пиксель, по существу, не течет никакой ток.In one embodiment, processor 21 is also configured to couple to matrix controller 22. In one embodiment, the matrix controller 22 includes a row drive circuit 24 and a column drive circuit 26 that provide signals to the pixel matrix 30. The cross section of the matrix illustrated in FIG. 1 is shown by lines 1-1 in FIG. 2. For interferometric MEMS modulators, the row / column activation protocol may take advantage of the hysteresis property of these devices shown in FIG. 3. A potential difference of 10 volts may be required, for example, in order to cause the moving layer to deform from an inactive state to an activated state. However, when the voltage decreases from this value, the movable layer retains its state as the voltage drops back below 10 volts. In the illustrative embodiment of FIG. 3, the movable layer is not completely “released” until the voltage drops below 2 volts. Thus, there is a certain voltage range of about 3 to 7 V in the example shown in FIG. 3, where there is a range (“window”) of the applied voltage, inside which the device is stable either in an inactive state or in an activated state. It is referred to herein as a “hysteresis window” or “stability window”. For a display matrix having the hysteresis characteristics of FIG. 3, a row / column activation protocol can be designed so that during gating of the row, the pixels in the gated row to be activated are exposed to a voltage difference of about 10 volts, and the pixels that should remain unexcited, are exposed to a voltage difference close to zero volts. After the strobe pulse, the pixels are exposed to the potential difference of the steady state of about 5 volts, so that they remain in the state in which the string strobe pulse placed them. After recording, each pixel is located at a potential difference inside the “stability window” of 3-7 volts in this example. This feature makes the pixel construction shown in FIG. 1 stable under the same applied voltage conditions in either an activated or non-activated pre-existing state. Since each pixel of the interferometric modulator, in the activated or non-activated state, is essentially a capacitor formed by fixed and movable reflective layers, this stable state can be maintained at a voltage inside the hysteresis window with almost complete absence of energy dissipation. If the applied potential is fixed, then essentially no current flows into the pixel.

В обычных приложениях кадр дисплея может быть создан посредством назначения набора электродов столбцов в соответствии с желаемым набором активизированных пикселей в первой строке. Затем к электроду строки 1 прилагается строковый импульс, активизируя пиксели, соответствующие назначенным шинам столбцов. Назначенный набор электродов столбцов затем изменяется, чтобы соответствовать желаемому набору активизированных пикселей во второй строке. Затем импульс прилагается к электроду строки 2, активизируя соответствующие пиксели в строке 2 в соответствии с назначенными электродами столбцов. Пиксели строки 1 импульсом строки 2 не затрагиваются, и остаются в том состоянии, в которое они были установлены в течение импульса строки 1. Это может повторяться для всей последовательности строк последовательным образом с тем, чтобы произвести кадр. В общем, кадры обновляются и/или корректируются новыми отображаемыми данными путем непрерывного повторения этого процесса при некотором желаемом количестве кадров в секунду. Широкое многообразие протоколов для управления электродами строк и столбцов матриц пикселей для воспроизведения кадров изображения в дисплее также хорошо известно и может быть использовано в сочетании с настоящим изобретением.In conventional applications, a display frame can be created by assigning a set of column electrodes in accordance with the desired set of activated pixels in the first row. Then, a line pulse is applied to the row 1 electrode, activating the pixels corresponding to the assigned column buses. The assigned set of column electrodes is then changed to match the desired set of activated pixels in the second row. Then a pulse is applied to the electrode of row 2, activating the corresponding pixels in row 2 in accordance with the designated column electrodes. The pixels of line 1 are not affected by the pulse of line 2, and remain in the state in which they were set during the pulse of line 1. This can be repeated for the entire sequence of lines in a sequential manner so as to produce a frame. In general, frames are updated and / or adjusted by new displayed data by continuously repeating this process at a desired number of frames per second. A wide variety of protocols for controlling the electrodes of rows and columns of pixel arrays to reproduce image frames in a display are also well known and can be used in conjunction with the present invention.

Фиг.4, Фиг.5A и Фиг.5B показывают один возможный протокол активации для создания кадра изображения в дисплее на основе матрицы 3×3 по Фиг.2. Фиг.4 показывает возможный набор уровней напряжения столбцов и строк, которые могут использоваться для пикселей, демонстрирующих гистерезисные кривые по Фиг.3. В варианте воплощения по Фиг.4 активизация пикселя включает в себя установку соответствующего столбца на -Vсмещения и соответствующей строки на +∆V, что может соответствовать -5 вольтам и +5 вольтам соответственно. Снятие возбуждения пикселя выполняется посредством установки соответствующего столбца на FIG. 4, FIG. 5A and FIG. 5B show one possible activation protocol for creating an image frame in a display based on the 3 × 3 matrix of FIG. 2. Figure 4 shows a possible set of voltage levels of columns and rows that can be used for pixels showing hysteresis curves of Figure 3. In the embodiment of FIG. 4, activating a pixel includes setting the corresponding column to -V offsets and the corresponding row to + ∆V, which may correspond to -5 volts and +5 volts, respectively. Pixel excitation is performed by setting the corresponding column to

+Vсмещения и соответствующей строки на то же +∆V, производя разность потенциалов на пикселе в ноль вольт. В тех строках, где напряжение строки поддерживается на нуле вольт, пиксели являются устойчивыми в том состоянии, в котором они были исходно, независимо от того, находится ли столбец при +Vсмещения или -Vсмещения.+ V bias and the corresponding row by the same + ∆V, producing a potential difference per pixel of zero volts. In those rows where the voltage of the string is maintained at zero volts, the pixels are stable in the state in which they were originally, regardless of whether the column is at + V bias or -V bias .

Фиг.5B представляет собой временную диаграмму, показывающую последовательность сигналов строк и столбцов, прилагаемых к матрице 3×3 по Фиг.2, которые дают в результате конфигурацию дисплея, показанную на Фиг.5A, где активизированные пиксели являются неотражающими. До записи кадра, показанного на Фиг.5A, пиксели могут быть в любом состоянии, и в этом примере все строки находятся при 0 вольт, а все столбцы находятся при +5 вольт. При этих прилагаемых напряжениях все пиксели являются устойчивыми в их существующих активизированных или неактивизированных состояниях.FIG. 5B is a timing chart showing a sequence of row and column signals applied to the 3 × 3 matrix of FIG. 2, which result in the display configuration shown in FIG. 5A, where the activated pixels are non-reflective. Before recording the frame shown in FIG. 5A, the pixels can be in any state, and in this example, all rows are at 0 volts, and all columns are at +5 volts. With these applied voltages, all pixels are stable in their existing activated or non-activated states.

В кадре по Фиг.5A пиксели (1,1), (1,2), (2,2), (3,2) и (3,3) являются активизированными. Чтобы достичь этого, в течение «времени включения шины» для строки 1 столбцы 1 и 2 устанавливаются на -5 вольт, а столбец 3 устанавливается на +5 вольт. Это не изменяет состояние каких-либо пикселей, так как все пиксели остаются в 3-7-вольтном окне устойчивости. Строка 1 затем стробируется посредством импульса, который идет от 0 вверх к 5 вольт и назад к нулю. Это активизирует пиксели (1,1) и (1,2) и снимает возбуждение с пикселя (1,3). Никакие другие пиксели в матрице не затрагиваются. Чтобы задать желательным образом строку 2, столбец 2 устанавливается на -5 вольт, а столбцы 1 и 3 устанавливаются на +5 вольт. Тот же строб-импульс, прилагаемый к строке 2, затем активизирует пиксель (2,2) и снимает возбуждение с пикселей (2,1) и (2,3). Опять, никакие другие пиксели матрицы не затрагиваются. Строка 3 задается аналогично посредством установки столбцов 2 и 3 на -5 вольт и столбца 1 - на +5 вольт. Строб строки 3 устанавливает пиксели строки 3, как показано на Фиг.5A. После записи кадра потенциалы строк равны нулю, а потенциалы столбцов могут оставаться либо на +5, либо на -5 вольтах, и тогда дисплей является устойчивым в конфигурации по Фиг.5A. Следует принять во внимание, что та же процедура может применяться для матриц из десятков или сотен строк и столбцов. Следует также принять во внимание, что синхронизация, последовательность и уровни напряжений, используемые для выполнения активации строк и столбцов, могут широко варьироваться в рамках общих принципов, очерченных выше, и вышеописанный пример является только иллюстративным, и с настоящим изобретением может использоваться любой способ активации, основанный на напряжении.In the frame of FIG. 5A, pixels (1,1), (1,2), (2,2), (3,2), and (3,3) are activated. To achieve this, during “bus turn-on time” for row 1, columns 1 and 2 are set to -5 volts, and column 3 is set to +5 volts. This does not change the state of any pixels, since all pixels remain in the 3-7-volt stability window. Line 1 is then gated by a pulse that goes from 0 up to 5 volts and back to zero. This activates the pixels (1,1) and (1,2) and removes the excitation from the pixel (1,3). No other pixels in the matrix are affected. To set row 2 in the desired way, column 2 is set to -5 volts, and columns 1 and 3 are set to +5 volts. The same strobe pulse applied to line 2 then activates the pixel (2,2) and removes the excitation from the pixels (2,1) and (2,3). Again, no other matrix pixels are affected. Row 3 is set similarly by setting columns 2 and 3 to -5 volts and column 1 to +5 volts. The strobe of line 3 sets the pixels of line 3, as shown in FIG. 5A. After recording the frame, the row potentials are zero, and the column potentials can remain either at +5 or -5 volts, and then the display is stable in the configuration of FIG. 5A. It should be noted that the same procedure can be applied to matrices of tens or hundreds of rows and columns. You should also take into account that the synchronization, sequence and voltage levels used to perform the activation of rows and columns can vary widely within the general principles outlined above, and the above example is only illustrative, and any activation method can be used with the present invention. based on stress.

Подробности конструкции интерферометрических модуляторов, которые работают в соответствии с принципами, изложенными выше, могут широко варьироваться. Например, Фиг.6A-Фиг.6C показывают три различных варианта воплощения конструкции подвижных зеркал. Фиг.6A представляет собой поперечное сечение варианта воплощения по Фиг.1, где полоса металлического материала 14 осаждена на ортогонально простирающиеся опоры 18. На Фиг.6B подвижный отражающий материал 14 прикреплен к опорам только в углах, на привязях 32. На Фиг.6C подвижный отражающий материал 14 свешивается с деформируемого слоя 34. Этот вариант воплощения имеет преимущества, так как конструктивная компоновка и материалы, используемые для отражающего материала 14, могут быть оптимизированы по оптическим свойствам, а конструктивная компоновка и материалы, используемые для деформируемого слоя 34, могут быть оптимизированы по желаемым механическим свойствам. Производство различных типов интерферометрических устройств описывается в многообразных опубликованных документах, включая, например, опубликованную заявку на патент США 2004/0051929. Для производства вышеописанных конструкций может использоваться широкое многообразие хорошо известных технологий, включая последовательность из этапов осаждения материала, шаблонирования и травления.The design details of interferometric modulators that operate in accordance with the principles set forth above can vary widely. For example, FIGS. 6A-6C show three different embodiments of the design of movable mirrors. Fig. 6A is a cross-sectional view of the embodiment of Fig. 1, where the strip of metal material 14 is deposited on orthogonally extending supports 18. In Fig. 6B, the movable reflective material 14 is attached to the supports only in the corners, on ties 32. In Fig. 6C, the reflective material 14 hangs from the deformable layer 34. This embodiment has advantages since the structural arrangement and the materials used for the reflective material 14 can be optimized for optical properties, and the structural arrangement and the materials used for the deformable layer 34 can be optimized for the desired mechanical properties. The manufacture of various types of interferometric devices is described in a variety of published documents, including, for example, published patent application US 2004/0051929. A wide variety of well-known technologies can be used to produce the above structures, including a sequence of material deposition, patterning, and etching steps.

Фиг.7A и Фиг.7B показывают изображение с пространственным разделением деталей и поперечное сечение одного варианта воплощения смонтированного в корпусе электронного устройства 700, содержащего подложку 710, матрицу 720 интерферометрических модуляторов 722, одну или более прокладок 730, уплотнение 740 и объединительную пластину 750. Как лучше всего видно на Фиг.7B, устройство 700 имеет первую сторону 702 и вторую сторону 704. Подложка 710 имеет первую поверхность 712 и вторую поверхность 714. На второй поверхности 714 подложки сформирована матрица 720 интерферометрических модуляторов. В показанном варианте воплощения объединительная пластина 750 прикреплена к подложке 710 с помощью уплотнения 740. Между матрицей 720 и объединительной пластиной 750 размещаются одна или более прокладок 730. Также в этом описании на Фиг.7A показаны оси x, y и z, и на Фиг.7B оси y и z.FIGS. 7A and 7B show an exploded view and cross-section of one embodiment of an electronic device 700 mounted in a housing comprising a substrate 710, an interferometric modulator array 720 720, one or more spacers 730, a seal 740, and a backplane 750. How 7B, the device 700 has a first side 702 and a second side 704. The substrate 710 has a first surface 712 and a second surface 714. On the second surface 714 of the substrate, an interference matrix 720 is formed tric modulators. In the shown embodiment, the backplane 750 is attached to the substrate 710 by a seal 740. One or more spacers 730 are placed between the matrix 720 and the backplane 750. Also, the x, y, and z axes are shown in FIG. 7A, and FIG. 7B are the y and z axes.

Подложка 710 и интерферометрические модуляторы 722 описаны более детально выше. Кратко, подложка 710 является любой подложкой, на которой может быть сформирован интерферометрический модулятор 722. В некоторых вариантах воплощения устройство 700 отображает изображение, видимое с первой стороны 702, и, соответственно, подложка 710 является, по существу, прозрачной и/или полупрозрачной. Например, в некоторых вариантах воплощения подложка выполнена из стекла, диоксида кремния (кварца) и/или оксида алюминия. В других вариантах воплощения подложка 710, по существу, не является прозрачной и/или полупрозрачной, например, в устройстве 700, которое отображает изображение, видимое со второй стороны 704, или в устройстве 700, которое не отображает видимого изображения. В некоторых вариантах воплощения первая поверхность 712 подложки дополнительно содержит одну или более дополнительных структур, например, одну или более структурных, защитных и/или оптических пленок.Substrate 710 and interferometric modulators 722 are described in more detail above. Briefly, the substrate 710 is any substrate on which an interferometric modulator 722 can be formed. In some embodiments, the device 700 displays an image visible from the first side 702, and accordingly, the substrate 710 is substantially transparent and / or translucent. For example, in some embodiments, the substrate is made of glass, silica (quartz) and / or alumina. In other embodiments, the substrate 710 is substantially not transparent and / or translucent, for example, in a device 700 that displays an image visible from the second side 704, or in a device 700 that does not display a visible image. In some embodiments, the first substrate surface 712 further comprises one or more additional structures, for example, one or more structural, protective, and / or optical films.

Интерферометрические модуляторы 722 относятся к любому типу. В некоторых вариантах воплощения интерферометрический модулятор 722 содержит механический слой 724, отдаленный от подложки 710 и расположенный близко к объединительной пластине 750. Как обсуждается более детально ниже, в некоторых вариантах воплощения механический слой 724 является восприимчивым к физическому повреждению.Interferometric modulators 722 are of any type. In some embodiments, the interferometric modulator 722 comprises a mechanical layer 724 that is remote from the substrate 710 and located close to the backplane 750. As discussed in more detail below, in some embodiments, the mechanical layer 724 is susceptible to physical damage.

В показанных вариантах воплощения уплотнение 740 прикрепляет объединительную пластину 750 к подложке 710. Для обозначения уплотнения 740 здесь также используется термин «проходящая по периметру опора». В варианте воплощения, показанном на Фиг.7B, уплотнение 740 также служит для того, чтобы поддерживать заданное расстояние между объединительной пластиной 750 и подложкой 710. В варианте воплощения, показанном на Фиг.7C, уплотнение 740' не имеет дистанцирующей функции. В некоторых вариантах воплощения уплотнение не дает или не выделяет в виде газа какого-либо летучего соединения, например углеводородов, кислот, аминов и тому подобного. В некоторых вариантах воплощения уплотнение является частично или, по существу, полностью непроницаемым для воды в жидком состоянии и/или водяного пара. В некоторых вариантах воплощения уплотнение является частично или, по существу, полностью непроницаемым для воздуха и/или других газов. В некоторых вариантах воплощения уплотнение является жестким. В других вариантах воплощения уплотнение является эластичным или упругим. В других вариантах воплощения уплотнение содержит как жесткие, так и эластичные или упругие детали. В некоторых вариантах воплощения уплотнение содержит один или более клеев, совместимых с подложкой и/или объединительной пластиной. Клей или клеи относятся к любому подходящему типу, известному в данной области техники. В некоторых вариантах воплощения один или более клеев являются чувствительными к давлению. В некоторых вариантах воплощения один или более клеев являются термически отверждаемыми. В некоторых вариантах воплощения один или более клеев являются отверждаемыми ультрафиолетовым (УФ) излучением. В некоторых вариантах воплощения уплотнение термически соединено с подложкой и/или объединительной пластиной. В некоторых вариантах воплощения уплотнение прикреплено к подложке и/или объединительной пластине механически. В некоторых вариантах воплощения используется комбинация способов прикрепления уплотнения к подложке и/или объединительной пластине. В некоторых вариантах воплощения уплотнения нет, например там, где подложка напрямую прикрепляется к объединительной пластине, например, с помощью термической сварки.In the shown embodiments, the seal 740 attaches the backplate 750 to the substrate 710. The term “perimeter bearing” is also used to refer to the seal 740. In the embodiment shown in FIG. 7B, the seal 740 also serves to maintain a predetermined distance between the backplate 750 and the substrate 710. In the embodiment shown in FIG. 7C, the seal 740 'does not have a spacing function. In some embodiments, the seal does not or does not release any volatile compound, such as hydrocarbons, acids, amines, and the like, in the form of gas. In some embodiments, the seal is partially or substantially completely impervious to liquid water and / or water vapor. In some embodiments, the seal is partially or substantially completely impervious to air and / or other gases. In some embodiments, the seal is rigid. In other embodiments, the seal is resilient or resilient. In other embodiments, the seal comprises both rigid and elastic or resilient parts. In some embodiments, the seal comprises one or more adhesives compatible with the substrate and / or backplane. Adhesive or adhesives are any suitable type known in the art. In some embodiments, one or more adhesives are pressure sensitive. In some embodiments, one or more adhesives are thermally curable. In some embodiments, one or more adhesives are UV curable. In some embodiments, the seal is thermally coupled to the substrate and / or backplane. In some embodiments, the seal is mechanically attached to the substrate and / or backplane. In some embodiments, a combination of methods is used to attach the seal to the substrate and / or backplane. In some embodiments, there is no seal, for example, where the substrate is directly attached to the backplate, for example, by heat welding.

Уплотнение содержит любой подходящий материал например, металлы, сталь, нержавеющую сталь, латунь, титан, магний, алюминий, медь, олово, свинец, цинк, припой, полимерные смолы, эпоксидные смолы, полиамиды, полиалкены, сложные полиэфиры, полисульфоны, полистирол, полиуретаны, полиакрилаты, цианакрилаты, акриловые эпоксидные смолы, силиконы, резины, полиизобутилен, неопрен, полиизопрен, сополимер бутадиена и стирола, парилен, отверждаемые УФ-излучением клеи, керамики, стекло, диоксид кремния (кварц), оксид алюминия и их смеси, сополимеры, сплавы и/или композиты. В некоторых вариантах воплощения уплотнение дополнительно содержит армирование, например, волокна, сетку и/или полотно, например, стекло, металл, углерод, бор, углеродные нанотрубки и подобное. В некоторых вариантах воплощения выбранный материал уплотнения является частично или, по существу, полностью водонепроницаемым. Соответственно, в некоторых вариантах воплощения уплотнение является полугерметичным или герметичным уплотнением. В некоторых вариантах воплощения уплотнение имеет толщину менее примерно 50 мкм, например, от примерно 10 мкм до примерно 30 мкм. В некоторых вариантах воплощения уплотнение имеет ширину от примерно 0,5 мм до примерно 5 мм, например, от примерно 1 мм до примерно 2 мм.The seal contains any suitable material such as metals, steel, stainless steel, brass, titanium, magnesium, aluminum, copper, tin, lead, zinc, solder, polymer resins, epoxies, polyamides, polyalkenes, polyesters, polysulfones, polystyrene, polyurethanes , polyacrylates, cyanoacrylates, acrylic epoxies, silicones, rubbers, polyisobutylene, neoprene, polyisoprene, butadiene-styrene copolymer, parylene, UV curable adhesives, ceramics, glass, silicon dioxide (quartz), alumina and mixtures thereof, copolymers, alloys and / or composites. In some embodiments, the seal further comprises reinforcing, for example, fibers, a mesh and / or web, for example, glass, metal, carbon, boron, carbon nanotubes, and the like. In some embodiments, the selected seal material is partially or substantially completely waterproof. Accordingly, in some embodiments, the seal is a semi-hermetic or hermetic seal. In some embodiments, the seal has a thickness of less than about 50 microns, for example, from about 10 microns to about 30 microns. In some embodiments, the seal has a width of from about 0.5 mm to about 5 mm, for example, from about 1 mm to about 2 mm.

Возвращаясь к Фиг.7A и Фиг.7B, ниже описывается вариант воплощения способа изготовления показанного уплотнения 740 с использованием отверждаемой УФ-излучением эпоксидной смолы. Эпоксидную смолу наносят на объединительную пластину 750 и/или подложку 710 с использованием средств, известных в данной области техники, например посредством печати. Тип и количество эпоксидной смолы выбирают заранее для обеспечения уплотнения 740 с желаемой шириной, толщиной и свойствами влагопроницаемости. Объединительную пластину 750 и подложку 710 сводят вместе, и отверждают эпоксидную смолу посредством облучения с помощью подходящего источника УФ-излучения. Обычная эпоксидная смола отверждается при использовании мощности УФ-излучения в примерно 6000 мДж/см2. Некоторые варианты воплощения также включают в себя прокаливание после отверждения при температуре примерно 80°C.Returning to FIG. 7A and FIG. 7B, an embodiment of a method for manufacturing the shown seal 740 using UV curable epoxy is described below. The epoxy resin is applied to the backing plate 750 and / or the substrate 710 using means known in the art, for example by printing. The type and amount of epoxy is pre-selected to provide a seal 740 with the desired width, thickness, and moisture permeability. The backplate 750 and the substrate 710 are brought together and the epoxy resin is cured by irradiation with a suitable UV source. Conventional epoxy cures using a UV power of approximately 6,000 mJ / cm 2 . Some embodiments also include calcination after curing at a temperature of about 80 ° C.

Объединительная пластина 750 также называется здесь «крышкой» или «объединительной платой». Эти термины не предназначены ограничивать положение объединительной пластины 750 внутри устройства 700 или ориентацию самого устройства 700. В некоторых вариантах воплощения объединительная пластина 750 защищает матрицу 720 от повреждения. Как обсуждалось выше, некоторые варианты воплощения интерферометрического модулятора 722 имеют потенциальную возможность быть поврежденными в результате физических воздействий. Следовательно, в некоторых вариантах воплощения объединительная пластина 750 защищает матрицу 720 от контакта с инородными объектами и/или другими деталями в аппарате, содержащем матрицу 720, например. Более того, в некоторых вариантах воплощения объединительная пластина 750 защищает матрицу 720 от других воздействий окружающей среды, например влажности, влаги, пыли, изменений в давлении окружающей атмосферы и тому подобного.The backplane 750 is also referred to herein as a “cover” or “backplane”. These terms are not intended to limit the position of the backplane 750 within the device 700 or the orientation of the device 700 itself. In some embodiments, the backplane 750 protects the matrix 720 from damage. As discussed above, some embodiments of the interferometric modulator 722 have the potential to be damaged by physical exposures. Therefore, in some embodiments, the backplane 750 protects the matrix 720 from contact with foreign objects and / or other parts in an apparatus containing the matrix 720, for example. Moreover, in some embodiments, the backplate 750 protects the matrix 720 from other environmental influences, such as humidity, moisture, dust, changes in atmospheric pressure, and the like.

В тех вариантах воплощения, в которых устройство 700 отображает изображение, видимое со второй стороны 704, объединительная пластина 750 является, по существу, прозрачной и/или полупрозрачной. В других вариантах воплощения объединительная пластина 750 является, по существу, непрозрачной и/или полупрозрачной. В некоторых вариантах воплощения объединительная пластина 750 выполнена из материала, который не дает или не выделяет в виде газа какого-либо летучего соединения, например углеводородов, кислот, аминов и тому подобного. В некоторых вариантах воплощения объединительная пластина 750 является, по существу, непроницаемой для воды в жидком состоянии и/или водяного пара. В некоторых вариантах воплощения объединительная пластина 750 является, по существу, непроницаемой для воздуха и/или других газов. Подходящие материалы для объединительной пластины 750 включают в себя, например, металлы, сталь, нержавеющую сталь, латунь, титан, магний, алюминий, полимерные смолы, эпоксидные смолы, полиамиды, полиалкены, сложные полиэфиры, полисульфоны, полистирол, полиуретаны, полиакрилаты, парилен, керамики, стекло, диоксид кремния (кварц), оксид алюминия, а также их смеси, сополимеры, сплавы, композиты и/или комбинации. Примеры подходящих композиционных материалов включают в себя композитные пленки, доступные для приобретения от компании Vitex Systems (г. Сан-Хосе (San Jose), шт. Калифорния, США). В некоторых вариантах воплощения объединительная пластина 750 дополнительно содержит армирование, например, волокна и/или полотно, например, стекло, металл, углерод, бор, углеродные нанотрубки и тому подобное.In those embodiments in which the device 700 displays an image visible from the second side 704, the backplane 750 is substantially transparent and / or translucent. In other embodiments, the backplane 750 is substantially opaque and / or translucent. In some embodiments, the backplate 750 is made of a material that does not or does not release any volatile compound, such as hydrocarbons, acids, amines, and the like, in the form of gas. In some embodiments, the backplate 750 is substantially impervious to liquid water and / or water vapor. In some embodiments, the backplate 750 is substantially impervious to air and / or other gases. Suitable materials for the backplate 750 include, for example, metals, steel, stainless steel, brass, titanium, magnesium, aluminum, polymer resins, epoxies, polyamides, polyalkenes, polyesters, polysulfones, polystyrene, polyurethanes, polyacrylates, parylene, ceramics, glass, silicon dioxide (quartz), alumina, and also mixtures thereof, copolymers, alloys, composites and / or combinations. Examples of suitable composite materials include commercially available composite films from Vitex Systems (San Jose, CA, USA). In some embodiments, the backplate 750 further comprises reinforcing, for example, fibers and / or a web, for example, glass, metal, carbon, boron, carbon nanotubes and the like.

В некоторых вариантах воплощения объединительная пластина 750 является, по существу, жесткой (несгибаемой). В других вариантах воплощения объединительная пластина 750 является гибкой, например, имеет вид фольги или пленки. В некоторых вариантах воплощения объединительная пластина 750 деформируется в заданную конфигурацию до и/или во время сборки смонтированной в корпусе структуры 700. Как будет обсуждаться более детально ниже, в некоторых вариантах воплощения объединительная пластина 750 является элементом в системе, предназначенным для предотвращения повреждения матрицы 710.In some embodiments, the backplane 750 is substantially rigid (inflexible). In other embodiments, the backplane 750 is flexible, for example in the form of a foil or film. In some embodiments, the backplane 750 is deformed into the predetermined configuration before and / or during assembly of the structure 700 mounted in the housing. As will be discussed in more detail below, in some embodiments, the backplane 750 is an element in the system designed to prevent damage to the matrix 710.

Объединительная пластина 750 имеет внутреннюю поверхность 752 и внешнюю поверхность 753. В некоторых вариантах воплощения внутренняя поверхность и/или внешняя поверхность объединительной пластины дополнительно содержат одну или более дополнительных структур, например структурную, защитную, механическую и/или оптическую пленку или пленки.The backplane 750 has an inner surface 752 and an outer surface 753. In some embodiments, the inner surface and / or outer surface of the backplane further comprises one or more additional structures, for example, structural, protective, mechanical, and / or optical film or films.

В варианте воплощения, показанном на Фиг.7B, объединительная пластина 750 является, по существу, плоской. Фиг.7C показывает вариант воплощения устройства 700', в котором внутренняя поверхность 752' объединительной пластины является утопленной, тем самым формируя фланец 754' по периметру объединительной пластины 750'. Объединительная пластина с этой конфигурацией называется здесь «утопленной крышкой».In the embodiment shown in FIG. 7B, the backplate 750 is substantially flat. Fig. 7C shows an embodiment of a device 700 'in which the inner surface 752' of the backplate is recessed, thereby forming a flange 754 'around the perimeter of the backplane 750'. A backplane with this configuration is referred to herein as a “recessed cover”.

Фиг.7D показывает в поперечном сечении вариант воплощения смонтированного в корпусе устройства 700", содержащего изогнутую или прогнутую объединительную пластину 750". В показанном варианте воплощения прокладки 730" размещены рядом c периферией матрицы 720", которая находится относительно ближе к объединительной пластине 750", и, следовательно, с большей вероятностью будут контактировать с объединительной пластиной 750" и выдерживать повреждение. Другие варианты воплощения содержат другую конфигурацию одной или более прокладок. Прокладки обсуждаются более детально ниже. В некоторых вариантах воплощения объединительная пластина 750" заранее формуется в изогнутую конфигурацию. В других вариантах воплощения изогнутая форма объединительной пластины 750" формируется с помощью изгибания или деформирования, по существу, плоского исходного материала во время сборки монтируемого в корпус устройства 700". Например, в некоторых вариантах воплощения на подложке 710" формируют матрицу 720" интерферометрических модуляторов, как описано выше. Материал уплотнения, например отверждаемую УФ-излучением эпоксидную смолу, наносят на периферию, по существу, плоской объединительной пластины 750", которая является более широкой и/или более длинной, чем подложка 710". Объединительную пластину 750" деформируют, например с помощью сжатия, до желаемого размера и размещают на подложке 710". Эпоксидную смолу отверждают, например, с использованием УФ-излучения для формирования уплотнения 740".Fig. 7D shows in cross section an embodiment of a device 700 "mounted in the housing, comprising a curved or bent backplane 750". In the shown embodiment, the spacers 730 "are located adjacent to the periphery of the matrix 720", which is relatively closer to the backplane 750 ", and therefore are more likely to come into contact with the backplane 750" and withstand damage. Other embodiments comprise a different configuration of one or more gaskets. Gaskets are discussed in more detail below. In some embodiments, the backplate 750 "is preformed into a curved configuration. In other embodiments, the curved backplate 750" is formed by bending or deforming a substantially flat starting material during assembly of the enclosure 700 ". For example, in in some embodiments, an interferometric modulator matrix 720 "is formed on a substrate 710 as described above. Sealing material, such as UV curable epoxy, nano it is at the periphery of a substantially flat backplane 750 ", which is wider and / or longer than the substrate 710". The backplane 750 "is deformed, for example by compression, to the desired size and placed on the substrate 710". Epoxy the resin is cured, for example, using UV radiation to form a 740 "seal.

Другие варианты воплощения объединительной пластины показаны на Фиг.8A-Фиг.8C. Фиг.8A показывает утопленную крышку 850, в которой внутренняя поверхность 852 является вогнутой. В показанном варианте воплощения внутренняя поверхность 852 и внешняя поверхность 853 не параллельны. Следовательно, утопленная крышка 850 является более тонкой в центре 858, чем по краю 859. Специалисты в данной области должны понимать, что возможны другие варианты ее выполнения. Показанный вариант воплощения содержит периферийный фланец 854, который задает минимальное расстояние между подложкой и внутренней поверхностью 852 объединительной пластины в виде утопленной крышки. В некоторых вариантах воплощения периферийный фланец 854 образует, по существу, непрерывную структуру вокруг периферии утопленной крышки 850. В других вариантах воплощения периферийный фланец 854 не является непрерывным. Другие варианты воплощения не содержат периферийного фланца. На Фиг.8B объединительная пластина 850 содержит усиливающие ребра 856 на своей внешней поверхности 853. В других вариантах воплощения усиливающие ребра находятся на внутренней поверхности 852 или на обеих поверхностях объединительной пластины. В некоторых вариантах воплощения усиливающая структура имеет другую форму, например решетки или сот. Некоторые варианты воплощения содержат комбинацию этих признаков. Например, Фиг.8C показывает вариант воплощения утопленной крышки 850 с вогнутой внутренней поверхностью 852 и усиливающими ребрами 856 на внешней поверхности 853. Некоторые варианты воплощения раскрытых объединительных пластин демонстрируют улучшенные свойства, например прочность, массу, стоимость, жесткость, прозрачность, легкость производства и тому подобное.Other embodiments of the backplane are shown in FIGS. 8A-8C. 8A shows a recessed cover 850 in which the inner surface 852 is concave. In the shown embodiment, the inner surface 852 and the outer surface 853 are not parallel. Consequently, the recessed cover 850 is thinner in the center 858 than along the edge 859. Those skilled in the art should understand that other variations are possible. The shown embodiment includes a peripheral flange 854 that defines the minimum distance between the substrate and the inner surface 852 of the backplate in the form of a recessed cover. In some embodiments, the peripheral flange 854 forms a substantially continuous structure around the periphery of the recessed cover 850. In other embodiments, the peripheral flange 854 is not continuous. Other embodiments do not contain a peripheral flange. In FIG. 8B, the backplate 850 includes reinforcing ribs 856 on its outer surface 853. In other embodiments, reinforcing ribs are located on the inner surface 852 or on both surfaces of the backplane. In some embodiments, the reinforcing structure has a different shape, such as a lattice or honeycomb. Some embodiments contain a combination of these features. For example, FIG. 8C shows an embodiment of a recessed cover 850 with a concave inner surface 852 and reinforcing ribs 856 on the outer surface 853. Some embodiments of the disclosed back plates exhibit improved properties, such as strength, weight, cost, stiffness, transparency, ease of manufacture, and the like. like that.

Фиг.8D и Фиг.8E показывают в поперечном сечении объединительные пластины, содержащие одну или более полостей, выполненных с возможностью содержания влагопоглотителя. Фиг.8D показывает вариант воплощения объединительной пластины 850, содержащей полость 857, сформированную на внутренней поверхности 852 объединительной пластины, т.е. между объединительной пластиной и матрицей. Влагопоглотитель 855 размещается в полости 857. Фиг.8E показывает вариант воплощения объединительной пластины 850 в виде утопленной крышки, содержащей две полости 857, в которых размещается влагопоглотитель 855. В вариантах воплощения, показанных на Фиг.8D и Фиг.8E, влагопоглотитель 855, по существу, не выступает за пределы внутренней поверхности 852 объединительной пластины. Соответственно, те же прокладки, обсуждаемые ниже, могут использоваться где угодно между матрицей и объединительной пластиной. Линейные размеры полостей 857 выбираются в соответствии с факторами, известными в данной области техники, например, свойствами влагопоглотителя, количеством влагопоглотителя, которое должно использоваться, количеством влаги, которая должна поглощаться, объемом устройства, механическими свойствами объединительной пластины и тому подобным. Подходящие влагопоглотители и способы прикрепления влагопоглотителя к объединительной пластине обсуждаются ниже. Специалистам в данной области должно быть понятно, что в других вариантах воплощения полости 857 имеют другую конфигурацию, например, длину, ширину, толщину и/или форму. Полости 857 изготовляют посредством любого способа, известного в данной области техники, например травления, чеканки (тиснения), штамповки, гравировки, механической обработки, шлифования, фрезерования, пескоструйной обработки, формования под давлением, усадки и тому подобного. В некоторых вариантах воплощения углубления создают посредством выполнения неутопленных частей объединительной пластины 859, например, с использованием клея, сварки, плавки, спекания и тому подобного. Например, в некоторых вариантах воплощения суспензию стекла разбрызгивают на или формуют на объединительной пластине, и эту суспензию плавят или спекают для формирования полости. Специалисты в данной области должны понимать, что комбинации этих способов также подходят для изготовления объединительных пластин с любыми из здесь описываемых признаков, например объединительных пластин, показанных на Фиг.7A-Фиг.7D и Фиг.8A-Фиг.8E.Fig.8D and Fig.8E show in cross section of the back plate containing one or more cavities configured to contain a desiccant. Fig. 8D shows an embodiment of a backplane 850 comprising a cavity 857 formed on the inner surface 852 of the backplane, i.e. between backplane and matrix. The desiccant 855 is housed in the cavity 857. FIG. 8E shows an embodiment of the backplate 850 in the form of a recessed cover containing two cavities 857 in which the desiccant 855 is housed. In the embodiments shown in FIGS. 8D and 8E, the desiccant 855, essentially does not protrude beyond the inner surface 852 of the backplane. Accordingly, the same gaskets discussed below can be used anywhere between the matrix and the backplane. The linear dimensions of the cavities 857 are selected in accordance with factors known in the art, for example, the properties of the desiccant, the amount of desiccant to be used, the amount of moisture to be absorbed, the volume of the device, the mechanical properties of the backplate, and the like. Suitable desiccants and methods for attaching the desiccant to the backplate are discussed below. Specialists in this field should be clear that in other embodiments, the cavity 857 have a different configuration, for example, length, width, thickness and / or shape. Cavities 857 are manufactured by any method known in the art, for example, etching, embossing, stamping, engraving, machining, grinding, milling, sandblasting, injection molding, shrinkage and the like. In some embodiments, depressions are created by making the submerged parts of the backplate 859, for example, using glue, welding, smelting, sintering, and the like. For example, in some embodiments, a glass suspension is sprayed onto or formed on a backplate, and the suspension is melted or sintered to form a cavity. Specialists in this field should understand that combinations of these methods are also suitable for the manufacture of back plates with any of the features described here, for example back plates shown in FIGS. 7A-FIG. 7D and FIG. 8A-FIG. 8E.

Обращаясь снова к Фиг.7B, уплотнение 740 простирается между подложкой 710 и объединительной пластиной 750. В некоторых вариантах воплощения подложка 710, объединительная пластина 750 и уплотнение 740 вместе, по существу, полностью окружают (т.е. заключают в оболочку или корпус) матрицу 720. В некоторых вариантах воплощения образованный ими корпус 706 является, по существу, непроницаемым для воды в жидком состоянии, водяного пара и/или частиц, например, грязи или пыли. В некоторых вариантах воплощения корпус 706 является, по существу, герметично и/или полугерметично уплотненным.Referring again to FIG. 7B, a seal 740 extends between the substrate 710 and the backplane 750. In some embodiments, the substrate 710, the backplane 750 and the seal 740 together substantially completely surround (i.e. enclose in the shell or housing) the matrix 720. In some embodiments, the housing 706 formed by them is substantially impervious to liquid water, water vapor and / or particles, such as dirt or dust. In some embodiments, the housing 706 is substantially hermetically and / or semi-hermetically sealed.

В некоторых вариантах воплощения внутренняя поверхность 752 объединительной пластины контактирует с матрицей 720. В некоторых вариантах воплощения внутренняя поверхность 752 не контактирует с матрицей 720. В некоторых вариантах воплощения зазор или свободное пространство между внутренней поверхностью 752 объединительной пластины и матрицей 720 составляет, по меньшей мере, примерно 10 мкм. В некоторых предпочтительных вариантах воплощения зазор составляет от примерно 30 мкм до примерно 100 мкм, например, примерно 40 мкм, 50 мкм, 60 мкм, 70 мкм, 80 мкм или 90 мкм. В некоторых вариантах воплощения зазор составляет более 100 мкм, например, 0,5 мм, 1 мм или более. В некоторых вариантах воплощения зазор или свободное пространство между внутренней поверхностью 752 объединительной пластины и матрицей 720 не является постоянным.In some embodiments, the inner surface 752 of the backing plate is in contact with the matrix 720. In some embodiments, the inner surface 752 is not in contact with the matrix 720. In some embodiments, the gap or free space between the inner surface 752 of the backing plate and the matrix 720 is at least approximately 10 microns. In some preferred embodiments, the gap is from about 30 microns to about 100 microns, for example, about 40 microns, 50 microns, 60 microns, 70 microns, 80 microns or 90 microns. In some embodiments, the gap is more than 100 μm, for example, 0.5 mm, 1 mm or more. In some embodiments, the gap or free space between the inner surface 752 of the backplane and the matrix 720 is not constant.

Фиг.9 показывает вариант воплощения смонтированного в корпусе устройства 900, содержащего первую подложку 910a, на которой сформирована первая матрица 920a интерферометрических модуляторов 922a, и вторую подложку 910b, на которой сформирована вторая матрица 920b интерферометрических модуляторов 922b. Устройство с этой конфигурацией также называют здесь «устройством c двойной матрицей». Такое устройство может рассматриваться как устройство, в котором объединительная пластина заменена на вторую матрицу интерферометрических модуляторов. Соответственно, смонтированное в корпусе устройство 900 способно одновременно отображать первое изображение на первой матрице 920a и второе изображение - на второй матрице 920b. Смонтированное в корпусе устройство 900 также содержит уплотнение 940, как описано выше. Между первой матрицей 920a и второй матрицей 920b размещены одна или более прокладок 930 любого подходящего типа, раскрываемого здесь.Fig. 9 shows an embodiment of a housing-mounted device 900 comprising a first substrate 910a on which a first matrix 920a of interferometric modulators 922a is formed, and a second substrate 910b on which a second matrix 920b of interferometric modulators 922b is formed. A device with this configuration is also referred to herein as a “dual matrix device”. Such a device can be considered as a device in which the backplane is replaced with a second matrix of interferometric modulators. Accordingly, the device 900 mounted in the housing is capable of simultaneously displaying a first image on a first matrix 920a and a second image on a second matrix 920b. The device 900 mounted in the housing also includes a seal 940, as described above. Between the first matrix 920a and the second matrix 920b are one or more gaskets 930 of any suitable type disclosed herein.

Вариант воплощения 1000, показанный на Фиг.10, содержит матрицу 1020 интерферометрических модуляторов, сформированных на подложке 1010. Объединительная пластина 1050 в виде утопленной крышки и уплотнение 1040 вместе с подложкой 1010 формируют полость или замкнутое пространство 1006, в котором размещаются одна или более прокладок 1030. В показанном варианте воплощения объединительная пластина 1050 содержит одну или более отдельных блоков влагопоглотителя 1055. Влагопоглотитель поддерживает уменьшенную влажность внутри замкнутого пространства 1006. В некоторых вариантах воплощения упаковка с влагопоглотителем 1055 прикрепляется к внутренней поверхности 1052 объединительной пластины, например, с использованием клея, термически и/или механически. Подходящие упаковки, в которых влагопоглотитель содержится подходящим образом, известны в данной области техники, включая, например, контейнер с сеточной поверхностью, перфорированный контейнер, мешочек, выполненный из проницаемого полотна или переплетного материала, и тому подобное. В других вариантах воплощения упаковка является листом из подходящего материала, прикрепленного к объединительной пластине, например, с использованием чувствительного к давлению клея. В некоторых вариантах воплощения упаковка является непылеобразующей, т.е. устойчивой к выделению пыли. В некоторых вариантах воплощения влагопоглотитель внедрен (заделан) в инертный носитель, например полимерную смолу, и эта сборка прикрепляется к внутренней поверхности 1052. В некоторых вариантах воплощения влагопоглотитель 1055 напрямую прикрепляется к внутренней поверхности 1052 объединительной пластины. В некоторых вариантах воплощения материал, из которого изготовлена объединительная пластина 1050, содержит влагопоглотитель. В некоторых вариантах воплощения объединительная пластина содержит слой нанесенного влагопоглотителя. Например, в некоторых вариантах воплощения на объединительную пластину 1050 наносят жидкий влагопоглотитель или влагопоглотитель, растворенный или находящийся во взвешенном состоянии в подходящей жидкости, и затем прокаливают его, тем самым формируя слой влагопоглотителя на объединительной пластине 1050. В других вариантах воплощения влагопоглотитель смешивают с неотвержденной полимерной смолой, и эту смесь наносят на объединительную пластину 1050 и отверждают.The embodiment 1000 shown in FIG. 10 comprises an array 1020 of interferometric modulators formed on a substrate 1010. A backplate 1050 in the form of a recessed cover and a seal 1040 together with the substrate 1010 form a cavity or enclosed space 1006 in which one or more spacers 1030 are housed In the embodiment shown, the backplate 1050 comprises one or more separate desiccant blocks 1055. The desiccant maintains reduced moisture within the enclosed space 1006. In some In other embodiments, the desiccant package 1055 is attached to the inner surface 1052 of the backplate, for example using glue, thermally and / or mechanically. Suitable packages in which the desiccant is suitably contained are known in the art, including, for example, a container with a mesh surface, a perforated container, a pouch made of a permeable web or binding material, and the like. In other embodiments, the package is a sheet of suitable material attached to a backing plate, for example using pressure-sensitive adhesive. In some embodiments, the packaging is non-dust generating, i.e. dust resistant. In some embodiments, the desiccant is embedded in an inert carrier, such as a polymer resin, and this assembly is attached to the inner surface 1052. In some embodiments, the desiccant 1055 is directly attached to the inner surface 1052 of the backing plate. In some embodiments, the material of which the backplane 1050 is made comprises a desiccant. In some embodiments, the backplane comprises a layer of applied desiccant. For example, in some embodiments, a liquid desiccant or desiccant is applied to the backplate 1050, dissolved or suspended in a suitable liquid, and then calcined, thereby forming a desiccant layer on the backplane 1050. In other embodiments, the desiccant is mixed with an uncured polymer resin, and this mixture is applied to the backplane 1050 and cured.

Влагопоглотитель представляет собой любой подходящий влагопоглотитель, известный в данной области техники, например оксиды металлов, оксид кальция, оксид бария, ангидрид борной кислоты, пентаоксид фосфора, сульфаты металлов, сульфат кальция, сульфат магния, сульфат натрия, металлы, натрий, сплав свинца/натрия, гидриды металлов, борогидрид натрия, гидрид натрия, гидрид лития-алюминия, силикагель, активированный оксид алюминия, цеолиты, молекулярные сита, фосфор, соли металлов, перхлорат магния, хлорид цинка, углеродные нанотрубки, а также их комбинации.A desiccant is any suitable desiccant known in the art, for example, metal oxides, calcium oxide, barium oxide, boric acid anhydride, phosphorus pentoxide, metal sulfates, calcium sulfate, magnesium sulfate, sodium sulfate, metals, sodium, lead / sodium alloy , metal hydrides, sodium borohydride, sodium hydride, lithium aluminum hydride, silica gel, activated alumina, zeolites, molecular sieves, phosphorus, metal salts, magnesium perchlorate, zinc chloride, carbon nanotubes, as well as x combinations.

Возвращаясь к Фиг.7A и Фиг.7B, как обсуждалось выше, в некоторых вариантах воплощения устройство 700 деформируется при приложении внешнего усилия. Специалисты в данной области должны понимать, что в некоторых вариантах воплощения деформация приведет в результате к относительному или различному перемещению матрицы 720 и объединительной пластины 750. В некоторых вариантах воплощения усилия, которые, вероятно, будут встречаться при нормальном использовании устройства 700, например, при производстве устройства 700, при установке устройства 700 в какой-либо аппарат или при нормальном применении устройства 700, являются недостаточными для того, чтобы вызвать контактирование матрицы 720 с объединительной пластиной 750. Как обсуждалось выше, некоторые детали интерферометрического модулятора 722, например механический слой 724, являются восприимчивыми к повреждению при физическом контакте. Следовательно, в этих вариантах воплощения объединительная пластина 750 вряд ли повредит матрицу 720 и/или интерферометрические модуляторы 722 в этой матрице при нормальном применении.Returning to FIG. 7A and FIG. 7B, as discussed above, in some embodiments, device 700 is deformed by external force. Specialists in this field should understand that in some embodiments, deformation will result in relative or different movements of the matrix 720 and the backplate 750. In some embodiments, the forces that are likely to occur during normal use of the device 700, for example, in manufacturing devices 700, when installing the device 700 in any device or in the normal use of the device 700, are insufficient to cause the matrix 720 to come into contact with body plate 750. As discussed above, some details of the interferometric modulator 722, such as the mechanical layer 724, are susceptible to damage by physical contact. Therefore, in these embodiments, the backplane 750 is unlikely to damage the matrix 720 and / or interferometric modulators 722 in this matrix under normal use.

В других вариантах воплощения усилия, которые, вероятно, будут встречаться при нормальном применении устройства 700, являются достаточными для того, чтобы вызвать контактирование матрицы 720 с объединительной пластиной 750, обычно - в центре или рядом с центром объединительной пластины 750 и матрицы 720. Например, специалистам в данной области должно быть понятно, что при всех других остающихся равными условиях, по мере того, как длина и/или ширина устройства 700 увеличиваются (вдоль осей x и/или y, как показано на Фиг.7A), относительное перемещение матрицы 720 и объединительной пластины 750 также будет увеличиваться. Длина и/или ширина устройства 700 будут увеличиваться, например, с увеличением размера и/или количества интерферометрических модуляторов 722 в матрице 720. В некоторый момент усилие, которое, вероятно, будет встречаться при нормальном применении устройства 700, вызовет относительное перемещение, которое заставит некоторую часть матрицы 720 контактировать с объединительной пластиной 750, тем самым потенциально повреждая один или более интерферометрических модуляторов 722 в данном устройстве. В некоторых вариантах воплощения увеличенной вероятности контакта между матрицей 720 и объединительной пластиной 750 противодействуют с помощью увеличения расстояния между матрицей 720 и объединительной пластиной 750. В некоторых вариантах воплощения увеличенной вероятности контакта между матрицей 720 и объединительной пластиной 750 противодействуют с помощью увеличения жесткости устройства 700, например, подложки 710, объединительной пластины 750 и/или уплотнения 740. Способы увеличения жесткости известны в данной области техники и включают в себя, например, увеличение жесткости какой-либо детали, модификацию линейных размеров какой-либо детали, изменение формы или профиля какой-либо детали, введение армирования и тому подобное.In other embodiments, the forces that are likely to occur with the normal use of device 700 are sufficient to cause the matrix 720 to come into contact with the backplane 750, typically in the center or near the center of the backplane 750 and the matrix 720. For example, it will be understood by those skilled in the art that, under all other remaining equal conditions, as the length and / or width of the device 700 increases (along the x and / or y axes, as shown in FIG. 7A), the relative displacement of the mat Ritsa 720 and backplane 750 will also increase. The length and / or width of the device 700 will increase, for example, with an increase in the size and / or number of interferometric modulators 722 in the matrix 720. At some point, the force that is likely to occur during normal use of the device 700 will cause relative movement, which will cause some a portion of the matrix 720 is in contact with the backplane 750, thereby potentially damaging one or more interferometric modulators 722 in this device. In some embodiments, the increased likelihood of contact between the matrix 720 and the backplane 750 is counteracted by increasing the distance between the matrix 720 and the backplane 750. In some embodiments, the increased likelihood of contact between the matrix 720 and the backplane 750 is counteracted by increasing the stiffness of the device 700, for example substrates 710, backplate 750 and / or seals 740. Methods for increasing stiffness are known in the art and include os, e.g., increasing the rigidity of a component, modifying the linear dimensions of a component, changing the shape or profile of a component, the introduction of the reinforcement and the like.

В некоторых вариантах воплощения увеличенной вероятности контакта между матрицей 720 и объединительной пластиной 750 противодействуют с помощью увеличения расстояния между матрицей 720 и внутренней поверхностью 752 объединительной пластины. В некоторых вариантах воплощения устройства используется объединительная пластина 850, как показано на Фиг.8A, внутренняя поверхность 852 которой является вогнутой, тем самым увеличивая расстояние между центром 858 объединительной пластины и матрицей 820. Обращаясь к Фиг.7B, увеличение расстояния между внутренней поверхностью объединительной пластины 752 и матрицей 720 имеет тенденцию увеличивать толщину устройства 700, особенно в том случае, если детали в устройстве также выполняются более толстыми, чтобы увеличить жесткость. В некоторых вариантах применения более толстое устройство 700 является нежелательным.In some embodiments, the increased likelihood of contact between the matrix 720 and the backplane 750 is counteracted by increasing the distance between the matrix 720 and the inner surface 752 of the backplane. In some embodiments of the device, a backplane 850 is used, as shown in FIG. 8A, the inner surface 852 of which is concave, thereby increasing the distance between the center 858 of the backing plate and the matrix 820. Referring to FIG. 7B, increasing the distance between the inner surface of the backing plate 752 and a matrix 720 tends to increase the thickness of the device 700, especially if the parts in the device are also thicker to increase rigidity. In some applications, a thicker device 700 is undesirable.

Соответственно, некоторые варианты воплощения устройства 700 содержат одну или более прокладок 730, размещенных между матрицей 720 и объединительной пластиной 750. Прокладка(и) 730 выполнена(ы) с возможностью предотвращения и/или уменьшения контакта между матрицей 720 и объединительной пластиной 750, когда устройство 700 подвергается воздействию деформирующего усилия, тем самым предотвращая и/или уменьшая повреждение интерферометрических модуляторов 722. В некоторых вариантах воплощения объединительная пластина 750 содержит неровности или рельефные элементы, например, усиливающие ребра и/или упаковки влагопоглотителя, как описано выше. Прокладки 730 предотвращают контакт неровности или рельефного элемента с механическим слоем 724 матрицы, либо непосредственно (например, контакт рельефного элемента с прокладкой), либо опосредованно (например, некоторая другая часть объединительной пластины контактирует с прокладкой, предотвращая контакт рельефного элемента с механическим слоем 724). В некоторых из этих вариантов воплощения поверхность прокладки 720, ближайшая к матрице 720, является, по существу, гладкой. В некоторых вариантах воплощения прокладки 730 распределяют приложенное усилие, тем самым уменьшая вероятность того, что это усилие повредит какой-либо конкретный интерферометрический модулятор 722. Например, в некоторых вариантах воплощения прокладка 730 распределяет приложенное усилие на столбики 726 интерферометрических модуляторов, тем самым защищая механический слой 724. В некоторых вариантах воплощения прокладка 730 уменьшает или предотвращает повреждение, возникающее в результате относительного поперечного или касательного движения матрицы 720 и объединительной пластины 750, например, посредством скольжения и/или качения. Например, в некоторых из этих вариантов воплощения прокладка 730 содержит одну или более поверхностей с низким трением. В некоторых вариантах воплощения прокладка имеет круглое поперечное сечение, например, представляет собой сферу или стержень. Как обсуждается более детально ниже, в некоторых вариантах воплощения прокладка или прокладки 730 являются упругими, тем самым поглощающими и/или распределяющими приложенное усилие. Более того, даже если усилие было таким, что должно повредить некоторое множество интерферометрических модуляторов 722 в матрице 720, в некоторых вариантах воплощения повреждение, распределенное по матрице 720, является менее заметным для пользователя, чем повреждение, сконцентрированное в некоторой конкретной области матрицы 720. В других вариантах воплощения прокладка 730 спроектирована так, чтобы сконцентрировать повреждение на малом количестве интерферометрических модуляторов, например, посредством использования одной или более прокладок 730 некоторого конкретного размера и/или формы. Например, в некоторых вариантах воплощения матрица 720 содержит избыточные пиксели, так что выведение из строя какого-либо отдельного пикселя является незаметным для конечного пользователя. Соответственно, в этих вариантах воплощения прокладка 730 концентрирует повреждение на одиночном пикселе, нежели на группе близлежащих пикселей, которые были бы заметны конечному пользователю.Accordingly, some embodiments of the device 700 comprise one or more gaskets 730 located between the matrix 720 and the backplane 750. The gasket (s) 730 are configured (s) to prevent and / or reduce contact between the matrix 720 and the backplane 750 when the device 700 is subjected to a deforming force, thereby preventing and / or reducing damage to interferometric modulators 722. In some embodiments, the backplane 750 contains irregularities or relief elements such as reinforcing ribs and / or desiccant packaging, as described above. Gaskets 730 prevent contact of irregularities or a relief element with the mechanical layer 724 of the matrix, either directly (e.g., contact of the relief element with the gasket) or indirectly (e.g., some other part of the backplane contacts the gasket, preventing contact of the relief element with the mechanical layer 724). In some of these embodiments, the surface of the gasket 720 closest to the matrix 720 is substantially smooth. In some embodiments, the spacers 730 distribute the applied force, thereby reducing the likelihood that this force will damage any particular interferometric modulator 722. For example, in some embodiments, the spacer 730 distributes the applied force to the interferometric modulator posts 726, thereby protecting the mechanical layer 724. In some embodiments, the gasket 730 reduces or prevents damage resulting from relative lateral or tangential movement matrix 720 and backplate 750, for example, by sliding and / or rolling. For example, in some of these embodiments, the gasket 730 comprises one or more low friction surfaces. In some embodiments, the spacer has a circular cross section, for example, a sphere or a rod. As discussed in more detail below, in some embodiments, the spacer or spacers 730 are resilient, thereby absorbing and / or distributing the applied force. Moreover, even if the force was such that it would damage a plurality of interferometric modulators 722 in the matrix 720, in some embodiments, the damage distributed across the matrix 720 is less noticeable to the user than the damage concentrated in a specific area of the matrix 720. B in other embodiments, spacer 730 is designed to concentrate damage on a small number of interferometric modulators, for example, by using one or more punctures ca. 730 of a particular size and / or shape. For example, in some embodiments, the matrix 720 contains redundant pixels, so that disabling a particular pixel is invisible to the end user. Accordingly, in these embodiments, the spacer 730 concentrates damage on a single pixel rather than on a group of nearby pixels that would be visible to the end user.

Фиг.11A представляет собой вид сверху устройства 1100, показывающий относительное размещение прокладок и матрицы. Как обсуждалось выше, в некоторых вариантах воплощения прокладки контактируют с матрицей, в других вариантах воплощения прокладки контактируют с объединительной пластиной, и в других вариантах воплощения прокладки контактируют и с матрицей, и с объединительной пластиной. Устройство 1100 содержит множество прокладок 1130, расположенных по существу упорядоченным образом поверх матрицы 1120 интерферометрических модуляторов, сформированных на подложке 1110. В показанном варианте воплощения прокладки 1130 располагаются, по существу, над столбиками 1126 интерферометрических модуляторов. Как показано на Фиг.11A, на которой столбики 1126 показаны штриховой линией как невидимые, в показанном варианте воплощения прокладка 1130 размещена не над каждым столбиком 1126. В некоторых вариантах воплощения прокладки 1130 размещаются поверх матрицы 1120. В некоторых вариантах воплощения прокладки 1130 размещаются в пространстве 110 между матрицей 1120 и уплотнением 1140. В некоторых вариантах воплощения прокладки 1130 размещаются как поверх матрицы 1120, так и в пространстве 1110 между матрицей 1120 и уплотнением 1140. Специалистам в данной области должно быть понятно, что возможны другие расстановки и/или рисунки размещения прокладок 1130.11A is a plan view of an apparatus 1100 showing the relative placement of gaskets and matrix. As discussed above, in some embodiments, the gaskets are in contact with the matrix, in other embodiments, the gaskets are in contact with the back plate, and in other embodiments, the gaskets are in contact with both the matrix and the back plate. Apparatus 1100 comprises a plurality of spacers 1130 arranged in a substantially ordered manner on top of an interferometric modulator matrix 1120 formed on a substrate 1110. In the illustrated embodiment, spacers 1130 are arranged substantially above the interferometric modulator columns 1126. As shown in FIG. 11A, in which the bars 1126 are shown by the dashed line as invisible, in the shown embodiment, the gasket 1130 is not placed above each column 1126. In some embodiments, the gaskets 1130 are placed over the matrix 1120. In some embodiments, the gaskets 1130 are placed in space 110 between the matrix 1120 and the seal 1140. In some embodiments, the gaskets 1130 are placed both over the matrix 1120 and in the space 1110 between the matrix 1120 and the seal 1140. Those skilled in the art should have onyatno that other placement and / or placement of spacers 1130 drawings.

Фиг.11B показывает вид сверху другого варианта воплощения устройства 1100, в котором прокладки 1130 размещаются, по существу, случайным образом поверх матрицы 1120. В варианте воплощения устройства 1100, показанного на Фиг.11C, прокладки 1130 предусмотрены около центра матрицы 1120, но не возле периферии. Вариант воплощения устройства 1100, показанного на Фиг.11D, содержит более плотное размещение прокладок 1130 около центра матрицы 1120 и более редкое размещение около периферии. Вариант воплощения устройства 1100, показанного на Фиг.11E, содержит три концентрические зоны прокладок 1130 с возрастающей плотностью в направлении к центру матрицы 1120. Специалистам в данной области должно быть понятно, что возможны другие варианты размещения.11B shows a top view of another embodiment of a device 1100 in which the spacers 1130 are arranged substantially randomly on top of the matrix 1120. In the embodiment of the device 1100 shown in FIG. 11C, the spacers 1130 are provided near the center of the matrix 1120, but not near the periphery. An embodiment of the device 1100 shown in FIG. 11D comprises a denser arrangement of spacers 1130 near the center of the matrix 1120 and a rarer arrangement near the periphery. An embodiment of the device 1100 shown in FIG. 11E comprises three concentric zones of gaskets 1130 with increasing density toward the center of the matrix 1120. Those skilled in the art will appreciate that other arrangements are possible.

Прокладки имеют любые подходящие размер и форму и выполнены из любого подходящего материала. В некоторых вариантах воплощения все прокладки относятся к одному и тому же типу. Другие варианты воплощения содержат прокладки различных типов, например, различных размеров, форм и/или из разных материалов. Конкретные линейные размеры для некоторой прокладки будут зависеть от факторов, известных в данной области техники, включая материал, из которого сделана прокладка, свободное пространство между матрицей и объединительной пластиной, предполагаемое применение дисплея в корпусе и тому подобное. В некоторых вариантах воплощения толщина прокладки является сходной со свободным пространством между матрицей и объединительной пластиной. В других вариантах воплощения толщина прокладки меньше, чем свободное пространство между матрицей и объединительной пластиной. Линейные размеры свободного пространства обсуждались выше.Gaskets have any suitable size and shape and are made of any suitable material. In some embodiments, all gaskets are of the same type. Other embodiments include gaskets of various types, for example, various sizes, shapes and / or from different materials. The specific linear dimensions for some gasket will depend on factors known in the art, including the material from which the gasket is made, the free space between the matrix and the backplate, the intended use of the display in the housing, and the like. In some embodiments, the thickness of the gasket is similar to the free space between the matrix and the backplate. In other embodiments, the thickness of the gasket is less than the free space between the matrix and the backplate. The linear dimensions of free space are discussed above.

Подходящие материалы для прокладок включают в себя жесткие материалы и/или эластомерные материалы. В некоторых вариантах воплощения прокладки содержат материал, способный поглощать по меньшей мере часть приложенного к ней усилия, например, посредством деформации. В некоторых вариантах воплощения прокладка является упругой и, по существу, возвращается к своей исходной форме после того, как снято деформирующее усилие. В других вариантах воплощения прокладка навсегда деформируется при поглощении приложенного к ней усилия. Примеры подходящих материалов включают в себя металлы, сталь, нержавеющую сталь, латунь, титан, магний, алюминий, полимерные смолы, эпоксидные смолы, полиамиды, полиалкены, полифторалкены, сложные полиэфиры, полисульфоны, полистирол, полиуретаны, полиакрилаты, керамики, стекло, диоксид кремния (кварц), оксид алюминия, а также их смеси, сополимеры, сплавы и/или композиты. В некоторых вариантах воплощения прокладка является композитом, например, содержащим сердцевину из одного материала и покрытие из другого. В некоторых вариантах воплощения прокладка содержит сердцевину из жесткого материала, например металла, и покрытие из эластомерного материала, например полимерной смолы. В некоторых вариантах воплощения, в которых изображение является видимым через объединительную пластину, прокладки являются прозрачными или полупрозрачными. В некоторых вариантах воплощения прокладки являются электрически проводящими.Suitable gasket materials include rigid materials and / or elastomeric materials. In some embodiments, the gaskets comprise a material capable of absorbing at least a portion of the force exerted thereon, for example, by deformation. In some embodiments, the spacer is resilient and substantially reverts to its original shape after the deforming force is removed. In other embodiments, the gasket is permanently deformed upon absorption of the force applied thereto. Examples of suitable materials include metals, steel, stainless steel, brass, titanium, magnesium, aluminum, polymer resins, epoxies, polyamides, polyalkenes, polyfluoroalkenes, polyesters, polysulfones, polystyrene, polyurethanes, polyacrylates, ceramics, glass, silicon dioxide (quartz), alumina, and also mixtures thereof, copolymers, alloys and / or composites. In some embodiments, the spacer is a composite, for example, comprising a core of one material and a coating of another. In some embodiments, the gasket comprises a core of rigid material, such as metal, and a coating of elastomeric material, such as polymer resin. In some embodiments, in which the image is visible through the backplane, the spacers are transparent or translucent. In some embodiments, the gaskets are electrically conductive.

В некоторых вариантах воплощения прокладки содержат влагопоглотитель любого типа, известного в данной области техники, например оксиды металлов, оксид кальция, оксид бария, ангидрид борной кислоты, пентаоксид фосфора, сульфаты металлов, сульфат кальция, сульфат магния, сульфат натрия, металлы, натрий, сплав свинца/натрия, гидриды металлов, борогидрид натрия, гидрид натрия, гидрид лития-алюминия, силикагель, активированный оксид алюминия, цеолиты, молекулярные сита, фосфор, соли металлов, перхлорат магния, хлорид цинка, углеродные нанотрубки, а также их комбинации. В некоторых вариантах воплощения прокладка, по существу, содержит влагопоглотитель. В других вариантах воплощения прокладка содержит композит, в котором влагопоглотитель является компонентом. В некоторых вариантах воплощения влагопоглотитель распределен по всему композиту. В других вариантах воплощения влагопоглотитель концентрируется в одной части прокладки, например в сердцевине. Другой компонент или компоненты в этом композите являются любым подходящим материалом, например материалами, раскрытыми выше в качестве подходящих для прокладки. В некоторых вариантах воплощения, например в вариантах воплощения, в которых прокладка содержит сердцевину из влагопоглотителя, другой материал, например покрытие над влагопоглотителем, является материалом, который является проницаемым для воды и/или водяного пара, тем самым облегчая поглощение воды влагопоглотителем. В некоторых вариантах воплощения покрытие содержит одно или более отверстий, например, выполненных посредством истирания покрытия или в ходе процесса производства прокладки, чтобы сделать возможным контакт между влагопоглотителем в сердцевине и окружающей атмосферой.In some embodiments, the gaskets comprise a desiccant of any type known in the art, for example, metal oxides, calcium oxide, barium oxide, boric acid anhydride, phosphorus pentoxide, metal sulfates, calcium sulfate, magnesium sulfate, sodium sulfate, metals, sodium, alloy lead / sodium, metal hydrides, sodium borohydride, sodium hydride, lithium aluminum hydride, silica gel, activated alumina, zeolites, molecular sieves, phosphorus, metal salts, magnesium perchlorate, zinc chloride, carbon nanotubes and as well as combinations thereof. In some embodiments, the pad substantially comprises a desiccant. In other embodiments, the pad comprises a composite in which the desiccant is a component. In some embodiments, the desiccant is distributed throughout the composite. In other embodiments, the desiccant is concentrated in one part of the pad, for example, in the core. The other component or components in this composite are any suitable material, for example materials disclosed above as being suitable for laying. In some embodiments, for example in embodiments in which the pad comprises a desiccant core, another material, for example a coating over the desiccant, is a material that is permeable to water and / or water vapor, thereby facilitating the absorption of water by the desiccant. In some embodiments, the coating comprises one or more holes, for example, made by abrading the coating or during the gasket manufacturing process, to allow contact between the desiccant in the core and the surrounding atmosphere.

Прокладки изготавливают с использованием способов, известных в данной области техники, которые будут зависеть от факторов, известных в данной области техники, включая материал или материалы, из которых сделаны прокладки, размер и форму прокладок, допустимые отклонения на размеры прокладок. В некоторых вариантах воплощения прокладки наносят в виде текучей среды, например жидкости, геля и/или пасты, которые затем отверждают с образованием прокладок. Примеры подходящих материалов текучих сред включают в себя, например, клеи и фоторезисты. Специалистам в данной области должно быть понятно, что условия отверждения зависят от конкретного материала и включают в себя термическое отверждение, светоотверждение, отверждение УФ-излучением и/или радиационное отверждение.Gaskets are made using methods known in the art that will depend on factors known in the art, including the material or materials from which the gaskets are made, the size and shape of the gaskets, tolerances for the size of the gaskets. In some embodiments, the pads are applied in the form of a fluid, such as a liquid, gel and / or paste, which are then cured to form pads. Examples of suitable fluid materials include, for example, adhesives and photoresists. Specialists in this field should be clear that the curing conditions depend on the specific material and include thermal curing, light curing, curing by UV radiation and / or radiation curing.

В других вариантах воплощения прокладки изготовляют заранее. Варианты воплощения заранее изготовленных прокладок показаны на Фиг.12E-Фиг.12T. Специалистам в данной области должно быть понятно, что показанные формы являются иллюстративными и что возможны другие формы. Например, в некоторых вариантах воплощения прокладки имеют неправильную форму. В некоторых вариантах воплощения прокладки являются, по существу, сплошными. В других вариантах воплощения прокладки содержат одну или более пустот. Например, в некоторых вариантах воплощения прокладка содержит одну или более полых областей. В некоторых вариантах воплощения прокладка содержит множество пустот, например пенопласт с открытыми порами или закрытыми порами. Сферические и в форме стержня прокладки, показанные на Фиг.12D и Фиг.12I соответственно, являются доступными для приобретения в стекле, кварце и/или полистироле. Например, стеклянные прокладки в форме стержня являются доступными для приобретения от Nippon Electric Glass Co. (Otsu, Shiga, Japan) в диаметрах от примерно 1,5 мкм до примерно 60 мкм. Пластиковые сферические прокладки являются доступными для приобретения, например, от Sekisui Chemical Co. (Osaka, Japan) в диаметрах от примерно 5 мкм до примерно 350 мкм. В некоторых вариантах воплощения используются такие прокладки по причинам доступности для приобретения, единообразия и/или стоимости. Другие формы, например квадраты и круги, также легко изготовляются и используются в других вариантах воплощения.In other embodiments, the pads are made in advance. Embodiments of prefabricated gaskets are shown in FIG. 12E-FIG. 12T. Specialists in this field should be clear that the forms shown are illustrative and that other forms are possible. For example, in some embodiments, the gaskets are irregular in shape. In some embodiments, the gaskets are substantially continuous. In other embodiments, the gaskets comprise one or more voids. For example, in some embodiments, the gasket comprises one or more hollow regions. In some embodiments, the spacer comprises a plurality of voids, such as open cell or closed cell foam. Spherical and rod-shaped gaskets shown in Fig. 12D and Fig. 12I, respectively, are commercially available in glass, quartz and / or polystyrene. For example, rod-shaped glass pads are commercially available from Nippon Electric Glass Co. (Otsu, Shiga, Japan) in diameters from about 1.5 microns to about 60 microns. Plastic spherical gaskets are commercially available, for example, from Sekisui Chemical Co. (Osaka, Japan) in diameters from about 5 microns to about 350 microns. In some embodiments, such gaskets are used for reasons of affordability, uniformity and / or value. Other shapes, such as squares and circles, are also easily manufactured and used in other embodiments.

В некоторых вариантах воплощения прокладка содержит один или более выступов и/или углублений, например, как показано на Фиг.12N-Фиг.12T. В некоторых вариантах воплощения выступы и/или углубления захватывают структуру или рельефный элемент на матрице и/или объединительной пластине, как обсуждается более детально ниже. В некоторых вариантах воплощения выступы и/или углубления конструируют таким образом, чтобы поглощать, по меньшей мере, некоторую часть приложенного к устройству усилия. Например, некоторые варианты воплощения содержат пружины, как показано на Фиг.12P-Фиг.12S. Некоторые варианты воплощения содержат выступы, как показано на Фиг.12N, Фиг.12O и Фиг.12T, которые обсуждаются более детально ниже. Вариант воплощения, показанный на Фиг.12T, содержит как выступы 1232, так и углубления 1234.In some embodiments, the gasket comprises one or more protrusions and / or recesses, for example, as shown in FIG. 12N-FIG. 12T. In some embodiments, the protrusions and / or recesses capture a structure or a relief element on the matrix and / or backplane, as discussed in more detail below. In some embodiments, the protrusions and / or recesses are designed to absorb at least some of the force exerted on the device. For example, some embodiments include springs, as shown in FIG. 12P-FIG. 12S. Some embodiments include protrusions, as shown in FIG. 12N, FIG. 12O, and FIG. 12T, which are discussed in more detail below. The embodiment shown in FIG. 12T includes both protrusions 1232 and recesses 1234.

В варианте воплощения, показанном в виде сверху на Фиг.13A, прокладка 1330 простирается на по меньшей мере два столбика 1326 матрицы 1320 интерферометрических модуляторов. В показанном варианте воплощения самый короткий диаметр D прокладки 1330 равен, по меньшей мере, примерно двум расстояниям d между столбиками 1326, и это гарантирует, что прокладка всегда простирается на по меньшей мере два столбика 1326. В некоторых вариантах воплощения расстояние d составляет от примерно 30 мкм до примерно 80 мкм, например, примерно 30 мкм, 40 мкм, 50 мкм, 60 мкм или 80 мкм. В других вариантах воплощения расстояние d является большим, например, вплоть до 1 мм или вплоть до 5 мм. Как обсуждалось выше, в некоторых вариантах воплощения матрица 1320 содержит интерферометрические модуляторы 1322 с различными линейными размерами, например, величинами по ширине, и, следовательно, расстояние между столбиками 1326 для соседних интерферометрических модуляторов 1322 не является равномерным. Следовательно, в некоторых вариантах воплощения линейный размер D равен, по меньшей мере, самому большому расстоянию между внешними столбиками 1326 соседних интерферометрических модуляторов 1322. Один вариант воплощения такого размещения показан на Фиг.13B, в котором столбики 1326' имеют иную конструкцию, чем столбики, показанные на Фиг.13A, и прокладки 1330' имеют форму диска.In the embodiment shown in a plan view in FIG. 13A, the spacer 1330 extends over at least two columns 1326 of the interferometric modulator array 1320. In the shown embodiment, the shortest diameter D of the gasket 1330 is equal to at least about two distances d between the columns 1326, and this ensures that the gasket always extends to at least two columns 1326. In some embodiments, the distance d is from about 30 microns to about 80 microns, for example, about 30 microns, 40 microns, 50 microns, 60 microns or 80 microns. In other embodiments, the distance d is large, for example, up to 1 mm or up to 5 mm. As discussed above, in some embodiments, the matrix 1320 contains interferometric modulators 1322 with different linear dimensions, for example, widths, and therefore, the distance between the columns 1326 for adjacent interferometric modulators 1322 is not uniform. Therefore, in some embodiments, the linear dimension D is equal to at least the largest distance between the outer posts 1326 of adjacent interferometric modulators 1322. One embodiment of such an arrangement is shown in FIG. 13B, in which the posts 1326 'have a different design than the posts, shown in Fig. 13A, and the gaskets 1330 'are disk-shaped.

В варианте воплощения, показанном на Фиг.14, прокладка 1430 является, по меньшей мере, столь же большой по размеру, как интерферометрический модулятор 1422 и, следовательно, размещается, по меньшей мере, поверх одного столбика 1426. В показанном варианте воплощения прокладка 1430 является перфорированным квадратом. Размеры интерферометрических модуляторов обсуждались выше.In the embodiment shown in FIG. 14, the spacer 1430 is at least as large as the interferometric modulator 1422 and therefore is placed at least on top of one column 1426. In the shown embodiment, the spacer 1430 is perforated square. The sizes of interferometric modulators are discussed above.

В варианте воплощения, показанном на Фиг.15A, каждая прокладка 1530, по существу, центрирована поверх столбика 1526. В варианте воплощения, показанном на Фиг.15B, по меньшей мере часть каждой прокладки 1530 располагается поверх столбика 1526. В вариантах воплощения, показанных на Фиг.15C, никакая часть каждой прокладки 1530 не располагается над каким-либо столбиком 1526. Другие не показанные варианты воплощения включают в себя любую комбинацию этих вариантов размещения.In the embodiment shown in FIG. 15A, each spacer 1530 is essentially centered on top of the column 1526. In the embodiment shown in FIG. 15B, at least a portion of each gasket 1530 is located on top of the column 1526. In the embodiments shown in FIG. 15C, no portion of each gasket 1530 is located above any column 1526. Other embodiments not shown are any combination of these arrangements.

Вариант воплощения устройства 1600, показанного на Фиг.16, содержит прокладки 1630 различных размеров, размещенные, по существу, поверх всей матрицы 1620.An embodiment of the device 1600 shown in FIG. 16 comprises gaskets 1630 of various sizes placed substantially over the entire matrix 1620.

Некоторые варианты воплощения содержат одну или более цельных прокладок, либо используемых отдельно, либо в комбинации с другими прокладками, раскрываемыми здесь. Фиг.17A показывает вариант воплощения устройства 1700, которое содержит прокладку 1730 в виде сетки, размещенной над центральной частью матрицы 1720. Фиг.17B показывает вариант воплощения устройства 1700, которое содержит сеточную прокладку 1730, которая является более плотной около центра, чем около периферийной части. Фиг.17C показывает вариант воплощения устройства 1700, в котором прокладка 1730 является, грубо говоря, открытым прямоугольником, по существу, центрированным поверх матрицы 1720. Фиг.17D показывает вариант воплощения устройства 1700, в котором прокладка 1730, по существу, определяется диагоналями матрицы 1720. В некоторых вариантах воплощения прокладка является более толстой в одной или более областях и более тонкой в одной или более областях. Например, в некоторых вариантах воплощения прокладка является более толстой в центральной области и более тонкой по периферии. В некоторых вариантах воплощения прокладка 1730 содержит влагопоглотитель, как обсуждалось выше. Например, в некоторых вариантах воплощения прокладка 1730 содержит сердцевину из влагопоглотителя, окруженную внешним слоем, например, полимерной смолой. В других вариантах воплощения влагопоглотитель внедрен в материал прокладки.Some embodiments comprise one or more integral gaskets, either used alone or in combination with other gaskets disclosed herein. FIG. 17A shows an embodiment of a device 1700 that includes a spacer 1730 in the form of a grid placed above the central portion of the matrix 1720. FIG. 17B shows an embodiment of a device 1700 that contains a spacer 1730 that is denser near the center than near the peripheral portion . FIG. 17C shows an embodiment of a device 1700 in which the gasket 1730 is roughly an open rectangle substantially centered on top of the matrix 1720. FIG. 17D shows an embodiment of the device 1700 in which the gasket 1730 is substantially defined by the diagonals of the matrix 1720 In some embodiments, the pad is thicker in one or more regions and thinner in one or more regions. For example, in some embodiments, the pad is thicker in the central region and thinner on the periphery. In some embodiments, the pad 1730 comprises a desiccant, as discussed above. For example, in some embodiments, the gasket 1730 comprises a desiccant core surrounded by an outer layer, for example, a polymer resin. In other embodiments, a desiccant is incorporated into the liner material.

Вариант воплощения 1800, показанный на Фиг.18A, содержит прокладку 1830 в виде пленки, размещенной между матрицей 1820 и объединительной пластиной 1850. В показанном варианте воплощения прокладка 1830 выходит за пределы матрицы 1820. В других вариантах воплощения прокладка 1830 не выходит за пределы матрицы 1820. В некоторых вариантах воплощения прокладка 1830 имеет, по существу, одинаковую протяженность с матрицей 1820. В других вариантах воплощения прокладка 1830 не покрывает всю матрицу 1820.The embodiment 1800 shown in FIG. 18A includes a spacer 1830 in the form of a film placed between the matrix 1820 and the backplate 1850. In the shown embodiment, the spacer 1830 extends beyond the matrix 1820. In other embodiments, the spacer 1830 does not extend beyond the matrix 1820 In some embodiments, the spacer 1830 has substantially the same extent with the matrix 1820. In other embodiments, the spacer 1830 does not cover the entire matrix 1820.

В некоторых вариантах воплощения пленка является, по существу, плоской пленкой. В некоторых вариантах воплощения пленка имеет толщину от примерно 5 мкм до примерно 50 мкм, например, от примерно 10 мкм до примерно 20 мкм. В других вариантах воплощения пленка является более толстой. В некоторых вариантах воплощения пленка является достаточно толстой для того, чтобы, по существу, заполнять пространство между матрицей и объединительной пластиной. В некоторых вариантах воплощения пленка содержит упругий материал, например пенопласт. В некоторых вариантах воплощения пенопласт имеет покрытие, например непроницаемый полимер, которое в некоторых вариантах воплощения содержит перфорированные отверстия. В других вариантах воплощения пленка имеет другую форму. Фиг.18B показывает прокладку 1830' в виде пленки с неплоским поперечным сечением, например, волнистым или в форме «контейнера с ячейками для яиц», которая при сжатии поглощает по меньшей мере некоторую часть деформирующего усилия между матрицей 1820' и объединительной пластиной 1850'. Специалистам в данной области должно быть понятно, что неплоская пленка является более толстой, чем соответствующая плоская пленка. В некоторых вариантах воплощения пленочная прокладка содержит области с изменяющимися свойствами, например толщиной, составом (например, композиты), выступами, углублениями и тому подобным. В других вариантах воплощения одна или обе лицевые стороны пленки дополнительно содержит дополнительные прокладки, как описано выше, например, прокладки, показанные на Фиг.12A-Фиг.12T. В некоторых вариантах воплощения пленка и прокладки сформированы как единое целое (заодно). В других вариантах воплощения прокладки и пленка изготавливают отдельно и соединяют на отдельном этапе. В некоторых вариантах воплощения пленку перфорируют. Например, некоторые варианты воплощения прокладок, показанные на Фиг.17A и Фиг.17B, являются перфорированными пленками. Фиг.18C показывает вариант воплощения, в котором прокладка 1830" является запечатанным мешочком, заключающим в себе некоторый объем газа и размещенным между матрицей 1820" и объединительной пластиной 1850". Специалистам в данной области должно быть понятно, что конкретная пленка, выбранная для какого-либо применения, будет зависеть от факторов, включающих в себя толщину этой пленки, ее механические свойства, ее форму и конфигурацию, свободное пространство между матрицей и объединительной пластиной и ожидаемое применение дисплея в таком корпусе.In some embodiments, the film is a substantially flat film. In some embodiments, the film has a thickness of from about 5 microns to about 50 microns, for example, from about 10 microns to about 20 microns. In other embodiments, the film is thicker. In some embodiments, the film is thick enough to substantially fill the space between the matrix and the backing plate. In some embodiments, the film comprises an elastic material, such as foam. In some embodiments, the foam has a coating, for example an impermeable polymer, which in some embodiments contains perforated holes. In other embodiments, the film has a different shape. Fig. 18B shows a gasket 1830 'in the form of a film with a non-planar cross section, for example, wavy or in the form of a "container with egg cells", which when compressed absorbs at least some of the deforming force between the matrix 1820' and the backplate 1850 '. Specialists in this field should be clear that the non-planar film is thicker than the corresponding flat film. In some embodiments, the film pad comprises regions with varying properties, such as thickness, composition (e.g., composites), protrusions, recesses, and the like. In other embodiments, one or both of the faces of the film further comprises additional spacers, as described above, for example, the spacers shown in FIGS. 12A-12T. In some embodiments, the film and gaskets are formed as a single unit (at the same time). In other embodiments, the spacers and film are manufactured separately and combined in a separate step. In some embodiments, the film is perforated. For example, some of the gasket embodiments shown in FIG. 17A and FIG. 17B are perforated films. Fig. 18C shows an embodiment in which the gasket 1830 "is a sealed bag containing a certain amount of gas and placed between the matrix 1820" and the backplate 1850 ". Those skilled in the art will understand that a particular film selected for application, it will depend on factors including the thickness of this film, its mechanical properties, its shape and configuration, the free space between the matrix and the backplane, and the expected use of the display in such a case.

В некоторых вариантах воплощения пленка содержит влагопоглотитель. В некоторых вариантах воплощения пленка является влагопоглотителем. В других вариантах воплощения пленка, например пленка полимерной смолы, пропитана влагопоглотителем. В еще других вариантах воплощения пленка содержит тонкий слой влагопоглотителя, который инкапсулируется, например, с использованием полимерной смолы.In some embodiments, the film comprises a desiccant. In some embodiments, the film is a desiccant. In other embodiments, a film, for example a polymer resin film, is impregnated with a desiccant. In still other embodiments, the film comprises a thin layer of desiccant that is encapsulated, for example, using a polymer resin.

Некоторые варианты воплощения содержат плоскую пленочную прокладку в контакте с матрицей или ее частью для распределения усилий по большей площади. В некоторых вариантах воплощения одну или более других прокладок, как раскрывается здесь, размещают между пленкой и объединительной пластиной и/или между пленкой и матрицей, например, любые из прокладок, описанные выше.Some embodiments comprise a flat film pad in contact with the matrix or part thereof to distribute forces over a larger area. In some embodiments, one or more other spacers, as disclosed herein, is placed between the film and the backing plate and / or between the film and the matrix, for example, any of the spacers described above.

Фиг.19 показывает вариант воплощения 1900, содержащий множество пленочных прокладок 1930, размещенных между матрицей 1920 и объединительной пластиной 1950. Пленочные прокладки таковы, как описано выше. Некоторые варианты воплощения содержат комбинацию плоской пленочной прокладки и неплоской пленочной прокладки, например, с плоской пленочной прокладкой, контактирующей с матрицей 1920, как описано выше. Некоторые варианты воплощения содержат по меньшей мере две неплоские пленочные прокладки, размещенные так, что прокладки не вкладываются друг в друга, например, пару волнистых пленок, размещенных с волнистостями под прямыми углами. Некоторые варианты воплощения содержат по меньшей мере две неплоские пленочные прокладки с размещенной между ними плоской пленочной прокладкой, тем самым предохраняя неплоские прокладки от вкладывания друг в друга.FIG. 19 shows an embodiment 1900 comprising a plurality of film spacers 1930 disposed between the die 1920 and the back plate 1950. The film spacers are as described above. Some embodiments comprise a combination of a flat film pad and a non-flat film pad, for example, with a flat film pad in contact with the die 1920, as described above. Some embodiments include at least two non-planar film gaskets arranged so that the gaskets do not fit into each other, for example, a pair of wavy films placed with corrugations at right angles. Some embodiments include at least two non-planar film gaskets with a flat film gasket placed between them, thereby preventing non-planar gaskets from being inserted into each other.

В некоторых вариантах воплощения прокладка или некоторая ее часть имеет форму, сконструированную для обеспечения дифференцированной реакции на прилагаемое усилие, например прокладка или ее часть с треугольным поперечным сечением. Пример части прокладки показан на Фиг.12T как выступ 1232. Треугольная часть прокладки показана на Фиг.20A. Треугольная часть относительно восприимчива к малым деформациям, как показано на Фиг.20B, но становится все более трудной для деформирования, как показано на Фиг.20C и Фиг.20D. Фиг.20E показывает другой вариант воплощения, в котором прокладка 2032 имеет две области, каждая из которых имеет различную реакцию на прилагаемое усилие: более тонкую верхнюю часть 2032a и более толстую нижнюю часть 2034b. В варианте воплощения, показанном на Фиг.20F, прокладка 2030' также имеет две области реакции: верхнюю область 2032', которая имеет относительно больший объем пор, и нижнюю область 2034', которая имеет относительно меньший объем пор. В некоторых вариантах воплощения прокладка содержит композит, который обеспечивает дифференцированную реакцию.In some embodiments, the gasket, or some portion thereof, is shaped to provide a differentiated response to the applied force, for example, the gasket or part thereof with a triangular cross section. An example of a gasket portion is shown in FIG. 12T as a protrusion 1232. A triangular gasket portion is shown in FIG. 20A. The triangular portion is relatively susceptible to small deformations, as shown in FIG. 20B, but is becoming increasingly difficult to deform, as shown in FIG. 20C and FIG. 20D. 20E shows another embodiment in which the gasket 2032 has two regions, each of which has a different response to the applied force: a thinner upper portion 2032a and a thicker lower portion 2034b. In the embodiment shown in FIG. 20F, the gasket 2030 ′ also has two reaction regions: an upper region 2032 ′ that has a relatively larger pore volume, and a lower region 2034 ′ that has a relatively smaller pore volume. In some embodiments, the gasket comprises a composite that provides a differentiated reaction.

В некоторых вариантах воплощения одна или более прокладок прикреплены к матрице. В других вариантах воплощения одна или более прокладок прикреплены к объединительной пластине. В других вариантах воплощения одна или более прокладок прикреплены как к матрице, так и к объединительной пластине. В других вариантах воплощения первое множество из одной или более прокладок прикреплено к матрице, и второе множество из одной или более прокладок прикреплено к объединительной пластине. В других вариантах воплощения одна или более прокладок не прикреплены ни к матрице, ни к объединительной пластине. В вариантах воплощения, в которых прокладка прикреплена к матрице и/или объединительной пластине, эту прокладку прикрепляют с использованием любого способа, известного в данной области техники, например, с использованием клея, механически и/или с помощью сварки.In some embodiments, one or more shims are attached to the matrix. In other embodiments, one or more shims are attached to the backplate. In other embodiments, one or more spacers are attached to both the matrix and the backplane. In other embodiments, the first plurality of one or more spacers is attached to the matrix, and the second plurality of one or more spacers is attached to the backplane. In other embodiments, one or more spacers are not attached to either the matrix or the backplane. In embodiments in which the gasket is attached to the matrix and / or backplane, this gasket is attached using any method known in the art, for example using glue, mechanically and / or by welding.

В вариантах воплощения с использованием клея один или более клеев наносят на матрицу и/или объединительную пластину, используя любой способ, известный в данной области техники, например литографический способ, струйную печать, контактную печать и тому подобное. Затем прокладку или прокладки накладывают на этот клей. В некоторых вариантах воплощения клей наносят на прокладку, которую затем накладывают на матрицу и/или объединительную пластину, например, с помощью разбрызгивания, прокатывания, индивидуального нанесения и тому подобного. В других вариантах воплощения прокладки помещают во взвешенном состоянии в жидкость, содержащую клей. Суспензию с прокладками наносят на матрицу, и жидкость удаляют, например, с помощью выпаривания. Примеры подходящих жидкостей включают в себя низшие спирты, например, метанол, этанол и изопропанол, а также другие летучие жидкости, например, ацетон, метиловый t-бутиловый эфир и этилацетат. Как обсуждалось выше, в некоторых вариантах воплощения прокладки накладывают на пленку, которую затем накладывают на матрицу и/или объединительную пластину. В некоторых вариантах воплощения прокладка выполнена заодно с матрицей или объединительной пластиной, как описывается более детально ниже. Прокладки прикрепляют к объединительной пластине с использованием, по существу, аналогичных способов.In embodiments using glue, one or more adhesives is applied to the matrix and / or backplane using any method known in the art, for example, lithography, inkjet printing, contact printing and the like. Then a gasket or gaskets are applied to this adhesive. In some embodiments, the adhesive is applied to a gasket, which is then applied to the matrix and / or backplane, for example, by spraying, rolling, individual application, and the like. In other embodiments, the spacers are suspended in a liquid containing glue. A pad suspension is applied to the matrix, and the liquid is removed, for example, by evaporation. Examples of suitable liquids include lower alcohols, for example, methanol, ethanol and isopropanol, as well as other volatile liquids, for example, acetone, methyl t-butyl ether and ethyl acetate. As discussed above, in some embodiments, the spacers are applied to the film, which is then applied to the matrix and / or backplane. In some embodiments, the spacer is integral with the matrix or backplane, as described in more detail below. The gaskets are attached to the backplane using essentially the same methods.

В некоторых вариантах воплощения одну или более прокладок не прикрепляют к матрице или объединительной пластине. Например, в некоторых вариантах воплощения с использованием больших прокладок, например сеточных прокладок, показанных Фиг.17A и Фиг.17B, прокладок, показанных на Фиг.17C и Фиг.17D, и/или пленочных прокладок, показанных на Фиг.18A-Фиг.18C и Фиг.19, прокладки просто размещают на матрице и/или объединительной пластине при сборке монтируемого в корпус устройства.In some embodiments, one or more of the spacers is not attached to the matrix or backplane. For example, in some embodiments using large spacers, such as the grid spacers shown in FIG. 17A and FIG. 17B, the spacers shown in FIG. 17C and FIG. 17D, and / or the film spacers shown in FIG. 18A-FIG. 18C and FIG. 19, gaskets are simply placed on the matrix and / or backplane when assembling the device mounted in the housing.

В тех вариантах воплощения, в которых прокладки являются более маленькими, например, с размерами в диапазоне от микрометра до сотен микрометров, прокладки легко размещаются с помощью диспергирования их в текучем носителе и нанесения этих диспергированных прокладок на матрицу и/или объединительную пластину, например, с помощью разбрызгивания и/или покрытия методом центрифугирования. В некоторых вариантах воплощения текучий носитель представляет собой жидкость, которая легко удаляется, например, в вакууме и/или с помощью нагревания. Примеры подходящих жидкостей известны в данной области техники и включают в себя низшие спирты (например, метанол, этанол, изопропанол), углеводороды (например, пропан, бутан, пентан), галогенированные (галогенозамещенные) соединения (например, фторуглероды, хлорфторуглероды, гидрохлорфторуглероды, хлоруглероды, гидрохлоруглероды), простые эфиры (например, метиловый трет-бутиловый эфир, диэтиловый эфир, тетрагидрофуран), сложные эфиры (например, этилацетат), кетоны (например, ацетон) и их комбинации. В других вариантах воплощения текучая среда является газом, например воздухом или азотом. В некоторых вариантах воплощения прокладки имеют тенденцию оставаться на месте после того, как удален растворитель, даже при отсутствии добавленного клея.In those embodiments in which the gaskets are smaller, for example, with sizes ranging from micrometers to hundreds of micrometers, the gaskets are easily placed by dispersing them in a fluid carrier and applying these dispersed gaskets to the matrix and / or backplane, for example, by spraying and / or coating by centrifugation. In some embodiments, the fluid carrier is a liquid that is easily removed, for example, in vacuum and / or by heating. Examples of suitable liquids are known in the art and include lower alcohols (e.g., methanol, ethanol, isopropanol), hydrocarbons (e.g., propane, butane, pentane), halogenated (halogen-substituted) compounds (e.g., fluorocarbons, chlorofluorocarbons, hydrochlorofluorocarbons, chlorocarbons , hydrochlorocarbons), ethers (e.g. methyl tert-butyl ether, diethyl ether, tetrahydrofuran), esters (e.g. ethyl acetate), ketones (e.g. acetone), and combinations thereof. In other embodiments, the fluid is a gas, for example, air or nitrogen. In some embodiments, the pads tend to remain in place after the solvent has been removed, even in the absence of added glue.

В некоторых вариантах воплощения прокладки накладывают, по существу, только поверх матрицы, например, с помощью маскирования (т.е. накладывания маски) той области, на которой формируется уплотнение, во время наложения прокладок. В других вариантах воплощения прокладки накладывают поверх матрицы, а также других частей устройства, например поверх той области, на которой формируется уплотнение. В некоторых из этих вариантов воплощения прокладки также определяют толщину уплотнения, тем самым обеспечивая равномерную толщину уплотнения. Например, введение прокладок размером 20 мкм внутрь уплотнения и контактирование подложки и объединительной пластины с этими прокладками обеспечивают толщину уплотнения, равную 20 мкм.In some embodiments, the pads are applied essentially only over the matrix, for example, by masking (i.e. masking) the area on which the seal is formed during the application of the pads. In other embodiments, the spacers are applied over the matrix, as well as other parts of the device, for example over the area on which the seal is formed. In some of these embodiments, the gaskets also determine the thickness of the seal, thereby ensuring a uniform thickness of the seal. For example, inserting 20 microns spacers into the seal and contacting the substrate and the backplate with these spacers provide a thickness of 20 microns.

Как показано на Фиг.21A, в некоторых вариантах воплощения одна или более прокладок 2130 простирается между матрицей 2120 и объединительной пластиной 2150. В варианте воплощения, показанном на Фиг.21B, прокладка 2130' контактирует с матрицей 2120', но не контактирует с объединительной пластиной 2150'. В варианте воплощения, показанном на Фиг.21C, прокладка 2130" контактирует с объединительной пластиной 2150", но не контактирует с матрицей 2120". Некоторые варианты воплощения содержат комбинацию этих конфигураций.As shown in FIG. 21A, in some embodiments, one or more gaskets 2130 extends between the matrix 2120 and the backplane 2150. In the embodiment shown in FIG. 21B, the gasket 2130 'is in contact with the matrix 2120' but not in contact with the backplane 2150 '. In the embodiment shown in FIG. 21C, the gasket 2130 "is in contact with the backplane 2150" but not in contact with the matrix 2120 ". Some embodiments include a combination of these configurations.

Вариант воплощения, показанный на Фиг.22A, аналогичен устройству, показанному на Фиг.6C. В варианте воплощения 2200 прокладки 2230 выполнены заодно с матрицей 2220 интерферометрических модуляторов. В показанном варианте воплощения прокладки 2230 сформированы поверх столбиков 2226 интерферометрических модуляторов 2222. В некоторых вариантах воплощения процесс формирования прокладок 2230 является тонкопленочным процессом и объединен с процессом формирования интерферометрических модуляторов 2222, например, как раскрыто выше и в патенте США №5835255. В некоторых вариантах воплощения материал прокладок осаждают на механический слой 2224 перед удалением «расходуемого» (удаляемого) материала (не показан) в процессе производства интерферометрических модуляторов 2222. Прокладки 2230 наносят с рисунком и вытравливают из материала прокладок с использованием способов, известных в данной области техники. Специалистам в данной области должно быть понятно, что конкретный способ будет зависеть от факторов, включающих в себя конкретный используемый материал прокладок, другие материалы, используемые в производстве интерферометрических модуляторов 2222, геометрии интерферометрических модуляторов 2222 и тому подобного.The embodiment shown in FIG. 22A is similar to the device shown in FIG. 6C. In an embodiment 2200, spacers 2230 are integrally formed with an interferometric modulator array 2220. In the illustrated embodiment, spacers 2230 are formed on top of columns 2226 of interferometric modulators 2222. In some embodiments, the process of forming spacers 2230 is a thin-film process and combined with the process of forming interferometric modulators 2222, for example, as disclosed above and in US Pat. No. 5,835,255. In some embodiments, the gasket material is deposited on the mechanical layer 2224 before removing the “consumable” (removed) material (not shown) during the production of interferometric modulators 2222. The gaskets 2230 are applied with a pattern and etched from the gasket material using methods known in the art . Those skilled in the art will appreciate that the particular method will depend on factors including the particular gasket material used, other materials used in the manufacture of interferometric modulators 2222, the geometry of interferometric modulators 2222, and the like.

В некоторых вариантах воплощения формирование прокладок 2230 объединено с последовательностью технологических операций процесса формирования интерферометрических модуляторов, например процесса, раскрытого в патенте США №5835255. Например, слой (не показан) материала прокладок осаждают на механический слой 2224 перед удалением удаляемого материала (не показан), занимающего полость между зеркалами. Затем слой прокладок травят для формирования индивидуальных прокладок 2230. В некоторых вариантах воплощения слой прокладок наносят с рисунком и травят так, что формируется проход, обеспечивающий сообщением по газу с каждой полостью в матрице 2220 интерферометрических модуляторов. Затем, посредством удаления через этот проход удаляемого материала, формируют полость.In some embodiments, the formation of gaskets 2230 is combined with the process flow of a process for forming interferometric modulators, for example, the process disclosed in US Pat. No. 5,835,255. For example, a layer (not shown) of gasket material is deposited on a mechanical layer 2224 before removing the material to be removed (not shown) occupying the cavity between the mirrors. The gasket layer is then etched to form individual gaskets 2230. In some embodiments, the gasket layer is applied with a pattern and etched so that a passage is formed that provides gas communication with each cavity in the matrix 2220 of interferometric modulators. Then, by removing the material to be removed through this passage, a cavity is formed.

В некоторых вариантах воплощения цельные прокладки изготавливают из твердого материала с хорошим поддержанием формы, который не легко сжать. В некоторых вариантах воплощения этот материал выбирают из группы, состоящей из металлов, оксидов, нитридов, фоторезистов, других органических материалов, нанесенного центрифугированием стекла и их комбинаций. В некоторых вариантах воплощения прокладки являются электрически проводящими. Специалистам в данной области должно быть понятно, что аналогичные процессы являются применимыми и при изготовлении цельных прокладок на внутренней поверхности объединительной пластины.In some embodiments, the integral gaskets are made from a solid material with good shape maintenance that is not easy to compress. In some embodiments, this material is selected from the group consisting of metals, oxides, nitrides, photoresists, other organic materials, applied by centrifugation of glass, and combinations thereof. In some embodiments, the gaskets are electrically conductive. Specialists in this field should be clear that similar processes are applicable in the manufacture of solid gaskets on the inner surface of the backplane.

Как показано на Фиг.22B, в некоторых вариантах воплощения матрица 2220' содержит интерферометрические модуляторы 2222' различной высоты. В показанном варианте воплощения первые прокладки 2230' компенсируют разности высот, тем самым обеспечивая равномерную платформу, поддерживающую вторые прокладки 2260' любого типа, раскрытого выше. В некоторых вариантах воплощения вторые прокладки 2260' прикрепляют к первым прокладкам. В других вариантах воплощения вторые прокладки 2260' не прикрепляют к первым прокладкам. В варианте воплощения, показанном на Фиг.22C, вторая прокладка 2260" содержит углубления 2234", которые захватывают первые прокладки 2230".As shown in FIG. 22B, in some embodiments, the array 2220 'comprises interferometric modulators 2222' of varying heights. In the shown embodiment, the first gaskets 2230 'compensate for height differences, thereby providing a uniform platform supporting the second gaskets 2260' of any type disclosed above. In some embodiments, second spacers 2260 'are attached to the first spacers. In other embodiments, the second gaskets 2260 'are not attached to the first gaskets. In the embodiment shown in FIG. 22C, the second gasket 2260 "comprises recesses 2234" that grip the first gaskets 2230 ".

Фиг.23 представляет собой блок-схему последовательности технологических операций, показывающую способ производства монтируемого в корпус электронного устройства со ссылкой на конструкцию, показанную на Фиг.7A и Фиг.7B. На этапе 2310 получают подложку 710, на которой был сформирован интерферометрический модулятор 722. В некоторых вариантах воплощения интерферометрический модулятор 722 является частью матрицы 720 интерферометрических модуляторов 722. На этапе 2220 получают объединительную пластину 750. На этапе 2230 между интерферометрическим модулятором 722 и объединительной пластиной 750 размещают одну или более прокладок 730. На этапе 2240 между подложкой 710 и объединительной пластиной 750 формируют уплотнение 740.FIG. 23 is a flowchart showing a manufacturing method of a body-mounted electronic device with reference to the structure shown in FIG. 7A and FIG. 7B. At step 2310, a substrate 710 is formed on which an interferometric modulator 722 has been formed. In some embodiments, the interferometric modulator 722 is part of the matrix 720 of interferometric modulators 722. At step 2220, a backplane 750 is obtained. At step 2230, an interferometric modulator 722 and a backplane 750 are placed one or more gaskets 730. At step 2240, a seal 740 is formed between the substrate 710 and the backplate 750.

В некоторых вариантах воплощения продуктом такого процесса производства является панель, содержащая множество смонтированных в корпусе дисплеев. Затем из этой панели вырезают индивидуальные смонтированные в корпусе дисплеи. В процессе производства множество матриц интерферометрических модуляторов формируют на единичной подложке («материнском стекле»), как обсуждалось выше. Получают лист, содержащий множество объединительных пластин (обычно равных по количеству матрицам интерферометрических модуляторов), имеющих такие размеры и так расположенных в пространстве, чтобы совпадать с интерферометрическими матрицами. Между подложкой и объединительной пластиной размещают прокладки, как обсуждалось выше. Между каждой матрицей и объединительной пластиной формируют уплотнения, как обсуждалось выше, тем самым формируя панель, содержащую множество матриц интерферометрических модуляторов. Из этой панели вырезают индивидуальные смонтированные в корпусе дисплеи с использованием любого способа, известного в данной области техники, например, с помощью скрайбирования.In some embodiments, the product of such a manufacturing process is a panel comprising a plurality of mounted displays. Then, individual displays mounted in the housing are cut from this panel. In the manufacturing process, many interferometric modulator matrices are formed on a single substrate (“mother glass”), as discussed above. A sheet is obtained containing a plurality of back plates (usually equal in number to the matrices of interferometric modulators) having such dimensions and so arranged in space to coincide with the interferometric matrices. Between the substrate and the backing plate, spacers are placed as discussed above. Seals are formed between each matrix and the backplane, as discussed above, thereby forming a panel containing a plurality of matrices of interferometric modulators. Individual displays mounted in the housing are cut from this panel using any method known in the art, for example, by scribing.

Фиг.24 представляет собой блок-схему последовательности технологических операций, показывающую способ защиты электронного устройства со ссылкой на конструкцию, показанную на Фиг.7A и Фиг.7B. На этапе 2410 получают устройство, содержащее интерферометрический модулятор 722, сформированный на подложке 710, и объединительную пластину 750. На этапе 2420 между интерферометрическим модулятором 722 и объединительной пластиной 750 размещают одну или более прокладок.Fig. 24 is a flowchart showing a method of protecting an electronic device with reference to the structure shown in Fig. 7A and Fig. 7B. At 2410, an apparatus is obtained comprising an interferometric modulator 722 formed on a substrate 710 and a backplane 750. At 2420, one or more spacers are placed between the interferometric modulator 722 and the backplane 750.

ПРИМЕР 1EXAMPLE 1

На стеклянной подложке с размерами 680 мм × 880 мм изготовляют шесть матриц интерферометрических модуляторов с размерами 250 мм × 300 мм. Очищают и сушат стеклянный лист из шести утопленных крышек, 7 мм в толщину, 252 мм × 302 мм, углубление 0,3 мм. В углубления наносят тонкую пленку с влагопоглотителем CaO (Hi Cap 2800, Cookson, London, UK), полностью отверждают и подготавливают. По объединительной пластине равномерно разбрызгивают суспензию прокладок в форме стержней из полистирола диаметром 10 мкм (Sekisui Chemical Co., Osaka, Japan) в изопропаноле с концентрацией 1% по объему, чтобы обеспечить 2%-ное покрытие прокладками поверхности. Области уплотнения между углублениями не покрывают маской. Изопропанол удаляют с помощью нагревания при 100°C в течение 5 секунд. На периферии объединительных пластин в форме утопленных крышек наносят слой отверждаемой УФ-излучением эпоксидной смолы (H5516, Nagase, Tokyo, Japan), и лист выравнивают над подложкой. К листу прикладывают давление с тем, чтобы обеспечить слой эпоксидной смолы со средней толщиной 15 мкм. Эпоксидную смолу отверждают с помощью облучения с мощностью 6000 мДж/см2 на длине волны 350 нм (примерно 2 минуты), затем прокаливают при 80°C в течение 30 минут. Из полученной в результате панели вырезают шесть корпусов с интерферометрическими модуляторами.Six matrices of interferometric modulators with dimensions of 250 mm × 300 mm are made on a glass substrate with dimensions of 680 mm × 880 mm. The glass sheet of six recessed covers is cleaned and dried, 7 mm thick, 252 mm × 302 mm, recess 0.3 mm. A thin film with a CaO desiccant (Hi Cap 2800, Cookson, London, UK) is applied to the recesses, completely cured and prepared. A suspension of gaskets in the form of rods of polystyrene with a diameter of 10 μm (Sekisui Chemical Co., Osaka, Japan) in isopropanol with a concentration of 1% by volume is uniformly sprayed over the backing plate to provide a 2% coverage of the surface gaskets. The seal areas between the recesses are not masked. Isopropanol is removed by heating at 100 ° C for 5 seconds. A recessed UV curable epoxy resin layer (H5516, Nagase, Tokyo, Japan) is applied to the periphery of the backing plates in the form of recessed covers, and the sheet is aligned over the substrate. Pressure is applied to the sheet so as to provide an epoxy layer with an average thickness of 15 μm. The epoxy resin is cured by irradiation with a power of 6000 mJ / cm 2 at a wavelength of 350 nm (approximately 2 minutes), then calcined at 80 ° C for 30 minutes. Six cases with interferometric modulators are cut from the resulting panel.

Фиг.25A и 25B представляют собой блок-схемы системы, показывающие один вариант воплощения устройства 2040 с дисплеем. Устройство 2040 с дисплеем может быть, например, сотовым или мобильным телефоном. Однако те же детали устройства 2040 с дисплеем или их незначительные изменения также иллюстрируют различные типы устройств с дисплеем, такие как телевизоры и портативные медиаплееры.25A and 25B are system block diagrams showing one embodiment of a display device 2040. The display device 2040 may be, for example, a cell or mobile phone. However, the same details of the display device 2040, or minor changes thereof, also illustrate various types of display devices, such as televisions and portable media players.

Устройство 2040 с дисплеем включает в себя корпус 2041, дисплей 2030, антенну 2043, динамик 2045, устройство 2048 ввода и микрофон 2046. Корпус 2041 обычно формируют с помощью любого из многообразных процессов производства, которые хорошо известны специалистам в данной области, включая литьевое формование и вакуумное формование. В дополнение к этому, корпус 2041 может быть выполнен из любого из многообразных материалов, включая, но не ограничиваясь этим, пластик, металл, стекло, резину и керамику, или любую их комбинацию. В одном варианте воплощения корпус 2041 включает в себя съемные части (не показаны), которые могут заменяться другими съемными частями различного цвета, или содержащими различные логотипы (фирменные знаки), изображения или символы.A display device 2040 includes a housing 2041, a display 2030, an antenna 2043, a speaker 2045, an input device 2048, and a microphone 2046. The housing 2041 is typically formed using any of a variety of manufacturing processes that are well known to those skilled in the art, including injection molding and vacuum molding. In addition to this, the housing 2041 may be made of any of a variety of materials, including, but not limited to, plastic, metal, glass, rubber and ceramics, or any combination thereof. In one embodiment, the housing 2041 includes removable parts (not shown) that can be replaced with other removable parts of a different color, or containing various logos (brand names), images or symbols.

Дисплей 2030 примерного устройства 2040 с дисплеем может быть любым из широкого многообразия дисплеев, включая бистабильный дисплей (т.е. дисплей с двумя устойчивыми состояниями), который описывается здесь. В других вариантах воплощения дисплей 2030 включает в себя дисплей с плоским экраном, такой как плазменный, электролюминесцентный (EL), на органических светодиодах (OLED), ЖКД на нематических сильно скрученных жидких кристаллах (STN LCD) или ЖКД на тонкопленочных транзисторах (TFT LCD), как описано выше, или дисплей с неплоским экраном, такой как электронно-лучевая трубка (ЭЛТ или CRT) или другое электровакуумное устройство, как хорошо известно специалистам в данной области. Однако для целей описания настоящего варианта воплощения дисплей 2030 включает в себя дисплей на основе интерферометрических модуляторов, который описывается здесь.The display 2030 of an exemplary display device 2040 may be any of a wide variety of displays, including a bistable display (i.e., a display with two stable states), which is described herein. In other embodiments, the display 2030 includes a flat screen display such as a plasma, electroluminescent (EL), organic light emitting diode (OLED), nematic strongly twisted liquid crystal (STN LCD) or thin film transistor (TFT LCD) LCD as described above, or a display with a non-flat screen, such as a cathode ray tube (CRT or CRT) or other electrovacuum device, as is well known to specialists in this field. However, for the purpose of describing the present embodiment, the display 2030 includes an interferometric modulator-based display, which is described herein.

Компоненты иллюстративного устройства 2040 с дисплеем согласно одному из вариантов воплощения схематически показаны на Фиг.25B. Показанное иллюстративное устройство 2040 с дисплеем включает в себя корпус 2041 и может включать в себя дополнительные компоненты, по меньшей мере частично заключенные в нем. Например, в одном варианте воплощения иллюстративное устройство 2040 с дисплеем включает в себя сетевой интерфейс 2027, который включает в себя антенну 2043, которая соединена с приемопередатчиком 2047. Приемопередатчик 2047 подсоединен к процессору 2021, который соединен с аппаратным средством 2052 предварительного формирования сигнала. Это аппаратное средство 2052 предварительного формирования сигнала может быть выполнено с возможностью предварительного формирования сигнала (например, фильтрации некоторого сигнала). Аппаратное средство 2052 предварительного формирования сигнала подсоединено к динамику 2045 и микрофону 2046. Процессор 2021 также подсоединен к устройству 2048 ввода и контроллеру 2029 возбуждения. Контроллер 2029 возбуждения соединен с буфером 2028 кадров и со схемой 2022 возбуждения матрицы, которая, в свою очередь, соединена с матрицей дисплея 2030. Источник 2050 питания обеспечивает электропитание всем компонентам, как это требуется конструкцией конкретного иллюстративного устройства 2040 с дисплеем.The components of an exemplary display device 2040 according to one embodiment are shown schematically in FIG. 25B. The illustrated exemplary display device 2040 includes a housing 2041 and may include additional components at least partially enclosed therein. For example, in one embodiment, the illustrative display device 2040 includes a network interface 2027 that includes an antenna 2043 that is coupled to a transceiver 2047. A transceiver 2047 is connected to a processor 2021 that is coupled to a signal conditioning instrument 2052. This pre-signal conditioning hardware 2052 may be configured to pre-generate the signal (e.g., filter some signal). Pre-signal conditioning hardware 2052 is connected to a speaker 2045 and a microphone 2046. A processor 2021 is also connected to an input device 2048 and an excitation controller 2029. The drive controller 2029 is connected to a frame buffer 2028 and to a matrix drive circuit 2022, which in turn is connected to the display matrix 2030. A power supply 2050 provides power to all components as required by the construction of a particular illustrative display device 2040.

Сетевой интерфейс 2027 включает в себя антенну 2043 и приемопередатчик 2047, так что иллюстративное устройство 2040 с дисплеем может осуществлять связь с одним или более устройствами через сеть. В одном варианте воплощения сетевой интерфейс 2027 также может иметь некоторые функциональные возможности обработки с тем, чтобы сделать менее жесткими требования к процессору 2021. Антенна 2043 является любой антенной, известной специалистам в данной области и предназначенной для передачи и приема сигналов. В одном варианте воплощения антенна передает и принимает ВЧ-сигналы согласно стандарту IEEE 802.11, включая IEEE 802.11(a), (b) или (g). В другом варианте воплощения антенна передает и принимает ВЧ-сигналы согласно стандарту BLUETOOTH. В случае сотового телефона антенна сконструирована для приема сигналов согласно стандартам множественного доступа с кодовым разделением каналов (CDMA), глобальной сотовой системы цифровой радиосвязи (GSM), усовершенствованной мобильной телефонной связи (AMPS) или других известных сигналов, которые используются для связи внутри беспроводной сотовой телефонной сети. Приемопередатчик 2047 предварительно обрабатывает сигналы, принятые от антенны 2043, так что они могут быть приняты и далее обработаны процессором 2021. Приемопередатчик 2047 также обрабатывает сигналы, принимаемые от процессора 2021, так что они могут быть переданы из примерного устройства 2040 с дисплеем через антенну 2043.The network interface 2027 includes an antenna 2043 and a transceiver 2047, so that an exemplary display device 2040 can communicate with one or more devices via a network. In one embodiment, the network interface 2027 may also have some processing functionality in order to make the requirements for processor 2021 less stringent. Antenna 2043 is any antenna known to those skilled in the art for transmitting and receiving signals. In one embodiment, the antenna transmits and receives RF signals according to the IEEE 802.11 standard, including IEEE 802.11 (a), (b) or (g). In another embodiment, the antenna transmits and receives RF signals according to the BLUETOOTH standard. In the case of a cell phone, the antenna is designed to receive signals in accordance with code division multiple access (CDMA), global cellular digital radio communication (GSM), advanced mobile telephone (AMPS), or other known signals that are used for communication within a wireless cellular telephone network. The transceiver 2047 pre-processes the signals received from the antenna 2043 so that they can be received and further processed by the processor 2021. The transceiver 2047 also processes the signals received from the processor 2021 so that they can be transmitted from the exemplary device 2040 with a display through the antenna 2043.

В альтернативном варианте воплощения приемопередатчик 2047 может быть заменен приемником. В еще одном альтернативном варианте воплощения сетевой интерфейс 2027 может быть заменен источником изображений, который может хранить или генерировать данные изображения для отправки их процессору 2021. Например, источник изображения может быть цифровым видеодиском (DVD) или дисководом на жестких дисках, который содержит данные изображения, или модулем программного обеспечения, который генерирует данные изображения.In an alternative embodiment, transceiver 2047 may be replaced by a receiver. In yet another alternative embodiment, the network interface 2027 may be replaced by an image source that can store or generate image data for sending to the processor 2021. For example, the image source may be a digital video disc (DVD) or a hard disk drive that contains image data, or a software module that generates image data.

Процессор 2021 в общем управляет всей работой примерного устройства 2040 с дисплеем. Процессор 2021 принимает данные, такие как сжатые данные изображения, от сетевого интерфейса 2027 или источника изображения и обрабатывает эти данные в исходные данные изображения или в некоторый формат, который легко обрабатывается в исходные данные изображения. Процессор 2021 затем отправляет обработанные данные контроллеру 2029 возбуждения или буферу 2028 кадров для хранения. Исходными данными обычно называют информацию, которая идентифицирует характеристики изображения в каждом месте (точке) в пределах изображения. Например, такие характеристики изображения могут включать в себя цвет, насыщенность и уровень серого.The processor 2021 generally controls the entire operation of the exemplary display device 2040. The processor 2021 receives data, such as compressed image data, from a network interface 2027 or an image source, and processes this data into the original image data or into some format that is easily processed into the original image data. Processor 2021 then sends the processed data to drive controller 2029 or frame buffer 2028 for storage. The source data is usually called information that identifies the characteristics of the image at each place (point) within the image. For example, such image characteristics may include color, saturation, and gray level.

В одном варианте воплощения процессор 2021 включает в себя микроконтроллер, центральный процессор (CPU) или логическое устройство для управления работой примерного устройства 2040 с дисплеем. Аппаратное средство 2052 предварительного формирования сигнала обычно включает в себя усилители и фильтры для передачи сигналов к динамику 2045 и для приема сигналов от микрофона 2046. Аппаратное средство 2052 предварительного формирования сигнала может быть дискретными компонентами внутри примерного устройства 2040 с дисплеем или может быть встроено внутрь процессора 2021 или других компонентов.In one embodiment, the processor 2021 includes a microcontroller, a central processing unit (CPU) or logic device to control the operation of an exemplary display device 2040. Pre-signal conditioning hardware 2052 typically includes amplifiers and filters for transmitting signals to speaker 2045 and for receiving signals from microphone 2046. Pre-signal conditioning hardware 2052 can be discrete components within an exemplary display device 2040 or can be integrated into processor 2021 or other components.

Контроллер 2029 возбуждения берет исходные данные изображения, сгенерированные процессором 2021, либо непосредственно от процессора 2021, либо из буфера 2028 кадров, и переформатирует эти исходные данные изображения подходящим образом для высокоскоростной передачи схеме 2022 возбуждения матрицы. В частности, контроллер 2029 возбуждения переформатирует исходные данные изображения в поток данных, имеющий формат, подобный растровому, так что он имеет временной порядок, подходящий для сканирования по матрице 2030 дисплея. Затем контроллер 2029 возбуждения отправляет отформатированную информацию схеме 2022 возбуждения матрицы. Хотя контроллер 2029 возбуждения, такой как контроллер ЖКД, часто связан с системным процессором 2021 как автономная интегральная схема (IC), такие контроллеры могут быть реализованы многими путями. Они могут быть встроены в процессор 2021 в виде аппаратного средства, встроены в процессор 2021 в виде программного обеспечения или полностью интегрированы в аппаратном средстве со схемой 2022 возбуждения матрицы.The excitation controller 2029 takes the original image data generated by the processor 2021, either directly from the processor 2021 or from the frame buffer 2028, and reformatts the original image data in an appropriate manner for high-speed transmission to the matrix excitation circuit 2022. In particular, the drive controller 2029 reformatts the original image data into a data stream having a raster-like format so that it has a time order suitable for scanning on the display matrix 2030. Then, the drive controller 2029 sends the formatted information to the matrix drive circuit 2022. Although an excitation controller 2029, such as an LCD controller, is often associated with the system processor 2021 as a stand-alone integrated circuit (IC), such controllers can be implemented in many ways. They can be embedded in the processor 2021 in the form of hardware, embedded in the processor 2021 in the form of software, or fully integrated in hardware with the matrix drive circuit 2022.

Обычно схема 2022 возбуждения матрицы принимает отформатированную информацию от контроллера 2029 возбуждения и переформатирует эти видеоданные в параллельный набор сигналов, которые много раз в секунду прикладываются к сотням, а иногда и тысячам проводников, идущих от реализованной в координатах «х-у» матрицы пикселей дисплея.Typically, the matrix drive circuit 2022 receives formatted information from the drive controller 2029 and reformatts this video data into a parallel set of signals that are applied many hundreds of seconds to hundreds, and sometimes thousands of conductors coming from the x-y coordinates of the display pixel matrix.

В одном варианте воплощения контроллер 2029 возбуждения, схема 2022 возбуждения матрицы и матрица дисплея 2030 являются подходящими для любого из типов дисплеев, описанных здесь. Например, в одном варианте воплощения контроллер 2029 возбуждения является контроллером стандартного дисплея или контроллером бистабильного дисплея (например, контроллером интерферометрических модуляторов). В другом варианте воплощения схема 2022 возбуждения матрицы является стандартной схемой или схемой возбуждения бистабильного дисплея (например, дисплея на основе интерферометрических модуляторов). В одном варианте воплощения контроллер 2029 возбуждения интегрирован со схемой 2022 возбуждения матрицы. Такой вариант воплощения является обычным в системах с высокой степенью интеграции, таких как сотовые телефоны, часы и другие дисплеи малой площади. В еще другом варианте воплощения матрица 2030 дисплея является матрицей обычного дисплея или матрицей бистабильного дисплея (например, дисплея, включающего в себя матрицу интерферометрических модуляторов).In one embodiment, the drive controller 2029, the matrix drive circuit 2022, and the display matrix 2030 are suitable for any of the types of displays described herein. For example, in one embodiment, the drive controller 2029 is a standard display controller or a bistable display controller (e.g., an interferometric modulator controller). In another embodiment, the matrix drive circuit 2022 is a standard circuit or drive circuit for a bistable display (e.g., an interferometric modulator display). In one embodiment, the drive controller 2029 is integrated with the matrix drive circuit 2022. Such an embodiment is common in highly integrated systems such as cell phones, watches and other small area displays. In yet another embodiment, the display matrix 2030 is a conventional display matrix or a bistable display matrix (eg, a display including an interferometric modulator matrix).

Устройство 2048 ввода позволяет пользователю управлять работой примерного устройства 2040 с дисплеем. В одном варианте воплощения устройство 2048 ввода включает в себя клавиатуру, такую как клавиатура QWERTY или телефонная клавиатура, кнопку, переключатель, сенсорный (т.е. чувствительный к прикосновениям) экран, чувствительную к давлению или теплу мембрану. В одном варианте воплощения микрофон 2046 является устройством ввода для примерного устройства 2040 с дисплеем. Когда микрофон 2046 используется для ввода данных в устройство, пользователем могут выдаваться голосовые (речевые) команды для управления операциями примерного устройства 2040 с дисплеем.An input device 2048 allows a user to control the operation of an exemplary display device 2040. In one embodiment, the input device 2048 includes a keyboard, such as a QWERTY keyboard or telephone keypad, button, switch, touch (i.e., touch-sensitive) screen, pressure or heat sensitive membrane. In one embodiment, the microphone 2046 is an input device for an exemplary display device 2040. When the microphone 2046 is used to enter data into the device, voice (speech) commands may be issued by the user to control the operations of the exemplary device 2040 with a display.

Источник 2050 питания может включать в себя множество различных устройств хранения энергии, которые хорошо известны в данной области техники. Например, в одном варианте воплощения источник 2050 питания является перезаряжаемой (аккумуляторной) батареей, такой как никель-кадмиевая батарея или литий-ионная батарея. В другом варианте воплощения источник 2050 питания является возобновляемым источником энергии, конденсатором или солнечным элементом, включающим в себя пластмассовый солнечный элемент и краску с функцией солнечного элемента. В другом варианте воплощения источник 2050 питания выполнен с возможностью получения энергии из настенной розетки.Power supply 2050 may include many different energy storage devices that are well known in the art. For example, in one embodiment, the power source 2050 is a rechargeable (rechargeable) battery, such as a nickel-cadmium battery or a lithium-ion battery. In another embodiment, the power source 2050 is a renewable energy source, a capacitor, or a solar cell, including a plastic solar cell and a paint with the function of a solar cell. In another embodiment, the power source 2050 is configured to receive energy from a wall outlet.

В некоторых вариантах воплощения функциональные возможности программируемости управления постоянно находится, как описано выше, в контроллере возбуждения, который может быть расположен в нескольких местах в системе электронного дисплея. В некоторых случаях функциональные возможности программируемости управления постоянно находится в схеме 2022 возбуждения матрицы. Специалистам в данной области должно быть понятно, что вышеописанная оптимизация может быть реализована в любом количестве аппаратных и/или программных компонентов и в различных конфигурациях.In some embodiments, the control programmability functionality is constantly located, as described above, in the drive controller, which may be located at several places in the electronic display system. In some cases, the control programmability functionality is constantly located in the matrix drive circuit 2022. Specialists in this field should be clear that the above optimization can be implemented in any number of hardware and / or software components and in various configurations.

Варианты воплощения, показанные и описанные выше, приведены только в качестве примеров. Специалистами в данной области могут быть выполнены различные изменения и модификации представленных здесь вариантов воплощения без отхода от сущности и объема настоящего изобретения.The embodiments shown and described above are provided by way of example only. Various changes and modifications of the embodiments presented herein can be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the present invention.

Claims (39)

1. Устройство отображения, содержащее: матрицу интерферометрических модуляторов, сформированных на подложке; заднюю пластину; уплотнение, размещенное между подложкой и задней пластиной, причем подложка и задняя пластина уплотнены вместе для монтажа матрицы интерферометрических модуляторов в корпус; и одну или более прокладок, размещенных между матрицей и задней пластиной, причем упомянутая одна или более прокладок предохраняют заднюю пластину от контакта с матрицей, и при этом упомянутая одна или более прокладок не контактируют с одной из задней пластины или матрицы.1. A display device comprising: a matrix of interferometric modulators formed on a substrate; back plate; a seal disposed between the substrate and the back plate, the substrate and the back plate being sealed together to mount the matrix of interferometric modulators in the housing; and one or more gaskets disposed between the matrix and the back plate, wherein said one or more gaskets protect the back plate from contact with the matrix, and wherein said one or more gaskets do not come into contact with one of the back plate or matrix. 2. Устройство отображения по п.1, в котором подложка является по меньшей мере частично прозрачной и/или полупрозрачной, а интерферометрические модуляторы выполнены с возможностью отражения света через прозрачную и/или полупрозрачную часть подложки.2. The display device according to claim 1, in which the substrate is at least partially transparent and / or translucent, and interferometric modulators are configured to reflect light through the transparent and / or translucent part of the substrate. 3. Устройство отображения по п.1, в котором задняя пластина содержит утопленную крышку.3. The display device according to claim 1, in which the back plate contains a recessed cover. 4. Устройство отображения по п.1, в котором задняя пластина содержит стеклянную заднюю пластину.4. The display device according to claim 1, in which the back plate comprises a glass back plate. 5. Устройство отображения по п.1, в котором задняя пластина содержит влагопоглотитель.5. The display device according to claim 1, in which the back plate contains a desiccant. 6. Устройство отображения по п.1, в котором уплотнение содержит герметичное уплотнение.6. The display device according to claim 1, in which the seal contains a tight seal. 7. Устройство отображения по п.1, в котором уплотнение содержит влагопоглотитель.7. The display device according to claim 1, in which the seal comprises a desiccant. 8. Устройство отображения по п.1, в котором упомянутая одна или более прокладок содержат влагопоглотитель.8. The display device according to claim 1, wherein said one or more gaskets comprise a desiccant. 9. Устройство отображения по п.1, в котором упомянутая одна или более прокладок расположены упорядоченно.9. The display device according to claim 1, wherein said one or more gaskets are arranged in an orderly manner. 10. Устройство отображения по п.1, в котором упомянутая одна или более прокладок расположены беспорядочно.10. The display device according to claim 1, wherein said one or more gaskets are randomly arranged. 11. Устройство отображения по п.1, дополнительно содержащее:
процессор, который находится в электрической связи с упомянутыми интерферометрическими модуляторами, причем упомянутый процессор выполнен с возможностью обработки данных изображения; и запоминающее устройство в электрической связи с упомянутым процессором.
11. The display device according to claim 1, additionally containing:
a processor that is in electrical communication with said interferometric modulators, said processor being configured to process image data; and a storage device in electrical communication with said processor.
12. Устройство отображения по п.11, дополнительно содержащее схему возбуждения, выполненную с возможностью отправления по меньшей мере одного сигнала упомянутым интерферометрическим модуляторам.12. The display device according to claim 11, further comprising an excitation circuit configured to send at least one signal to said interferometric modulators. 13. Устройство отображения по п.12, дополнительно содержащее контроллер, выполненный с возможностью отправления по меньшей мере части упомянутых данных изображения упомянутой схеме возбуждения.13. The display device according to item 12, further comprising a controller configured to send at least a portion of said image data to said drive circuit. 14. Устройство отображения по п.11, дополнительно содержащее модуль-источник изображения, выполненный с возможностью отправления упомянутых данных изображения упомянутому процессору.14. The display device according to claim 11, further comprising an image source module configured to send said image data to said processor. 15. Устройство отображения по п.14, в котором упомянутый модуль-источник изображения содержит по меньшей мере один из приемника, приемопередатчика и передатчика.15. The display device of claim 14, wherein said image source module comprises at least one of a receiver, a transceiver, and a transmitter. 16. Устройство отображения по п.11, дополнительно содержащее устройство ввода, выполненное с возможностью приема входных данных и передачи упомянутых входных данных упомянутому процессору.16. The display device according to claim 11, further comprising an input device configured to receive input data and transmit said input data to said processor. 17. Способ изготовления устройства отображения, включающий в себя: обеспечение наличия матрицы интерферометрических модуляторов на подложке; размещение одной или более прокладок между матрицей и задней пластиной и уплотнение задней пластины на подложке для формирования устройства отображения, причем упомянутая одна или более прокладок предохраняют заднюю пластину от контакта с матрицей, и при этом упомянутая одна или более прокладок не контактируют с одной из задней пластины или матрицы.17. A method of manufacturing a display device, including: providing a matrix of interferometric modulators on a substrate; placing one or more gaskets between the matrix and the back plate and sealing the back plate on the substrate to form a display device, wherein said one or more gaskets protect the back plate from contact with the matrix, while the one or more gaskets do not come into contact with one of the back plate or matrices. 18. Способ по п.17, в котором упомянутая подложка является по меньшей мере частично прозрачной и/или полупрозрачной, а интерферометрические модуляторы выполнены с возможностью отражения света через прозрачную и/или полупрозрачную часть подложки.18. The method according to 17, in which said substrate is at least partially transparent and / or translucent, and interferometric modulators are configured to reflect light through the transparent and / or translucent part of the substrate. 19. Способ по п.17, в котором задняя пластина содержит утопленную крышку.19. The method according to 17, in which the back plate contains a recessed cover. 20. Способ по п.17, в котором задняя пластина содержит стеклянную заднюю пластину.20. The method of claim 17, wherein the back plate comprises a glass back plate. 21. Способ по п.17, в котором задняя пластина содержит влагопоглотитель.21. The method according to 17, in which the back plate contains a desiccant. 22. Способ по п.17, в котором уплотнение задней пластины к подложке формирует герметичное уплотнение.22. The method according to 17, in which the seal of the back plate to the substrate forms a tight seal. 23. Способ по п.17, в котором по меньшей мере одна из прокладок содержит влагопоглотитель.23. The method according to 17, in which at least one of the gaskets contains a desiccant. 24. Способ по п.17, в котором упомянутая одна или более прокладок содержат множество упорядоченно расположенных прокладок.24. The method of claim 17, wherein said one or more gaskets comprise a plurality of ordered gaskets. 25. Способ по п.17, в котором упомянутая одна или более прокладок содержат множество беспорядочно расположенных прокладок.25. The method of claim 17, wherein said one or more gaskets comprise a plurality of randomly spaced gaskets. 26. Устройство отображения, изготовленное способом по п.17.26. The display device manufactured by the method according to 17. 27. Устройство отображения, содержащее: работающее на пропускание средство для пропускания через него света; модулирующее средство для модулирования света, проходящего через упомянутое работающее на пропускание средство; покрывающее средство для покрытия упомянутого модулирующего средства; уплотняющее средство, размещенное между работающим на пропускание средством и покрывающим средством с образованием корпуса; и распорное средство для предохранения модулирующего средства и покрывающего средства от контакта друг с другом внутри устройства отображения, при этом распорное средство не контактирует с одним из модулирующего средства или покрывающего средства.27. A display device comprising: a transmission means for transmitting light through it; modulating means for modulating light passing through said transmitting means; coating means for coating said modulating means; sealing means arranged between the transmission means and the coating means to form a housing; and spacer means for preventing the modulating means and the coating means from contacting each other inside the display device, while the spacing means does not come into contact with one of the modulating means or covering means. 28. Устройство отображения по п.27, в котором упомянутое работающее на пропускание средство содержит прозрачную подложку.28. The display device of claim 27, wherein said transmitting means comprises a transparent substrate. 29. Устройство отображения по п.27, в котором упомянутое модулирующее средство содержит матрицу интерферометрических модуляторов.29. The display device according to item 27, in which the said modulating means contains a matrix of interferometric modulators. 30. Устройство отображения по п.27, в котором упомянутое покрывающее средство содержит заднюю пластину.30. The display device according to item 27, in which said coating means comprises a back plate. 31. Устройство отображения по п.27, в котором упомянутое уплотняющее средство содержит клейкое уплотнение.31. The display device according to item 27, in which the said sealing means contains an adhesive seal. 32. Устройство отображения по п.27, в котором упомянутое распорное средство содержит прокладку, изготовленную на упомянутом работающем на пропускание средстве или упомянутом покрывающем средстве.32. The display device according to item 27, in which the said spacer means contains a gasket made on the aforementioned transmission means or said coating agent. 33. Устройство отображения по п.27, в котором покрывающее средство содержит утопленную крышку.33. The display device according to item 27, in which the covering means comprises a recessed cover. 34. Устройство отображения по п.27, в котором покрывающее средство содержит влагопоглотитель.34. The display device according to item 27, in which the coating means contains a desiccant. 35. Устройство отображения по п.27, в котором распорное средство содержит множество равномерно расположенных прокладок.35. The display device according to item 27, in which the spacer means contains many evenly spaced gaskets. 36. Устройство отображения по п.27, в котором распорное средство содержит множество беспорядочно расположенных прокладок.36. The display device according to item 27, in which the spacer means contains many randomly spaced gaskets. 37. Устройство отображения по п.1, в котором упомянутая одна или более прокладок содержат по меньшей мере одну прокладку, выполненную с возможностью обеспечения дифференцированной реакции на прилагаемое усилие.37. The display device according to claim 1, in which said one or more gaskets contain at least one gasket configured to provide a differentiated response to the applied force. 38. Устройство отображения по п.17, в котором упомянутая одна или более прокладок содержат по меньшей мере одну прокладку, выполненную с возможностью обеспечения дифференцированной реакции на прилагаемое усилие.38. The display device according to 17, in which the aforementioned one or more gaskets contain at least one gasket configured to provide a differentiated response to the applied force. 39. Устройство отображения по п.27, в котором распорное средство выполнено с возможностью обеспечения дифференцированной реакции на прилагаемое усилие. 39. The display device according to item 27, in which the spacer means is configured to provide a differentiated response to the applied force.
RU2005129863/28A 2004-09-27 2005-09-26 System and method of protecting microstructure of display matrix using pads in gap inside display device RU2383043C2 (en)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US61340604P 2004-09-27 2004-09-27
US61368204P 2004-09-27 2004-09-27
US60/613,406 2004-09-27
US60/613,682 2004-09-27
US11/108,026 2005-04-15

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2005129863A RU2005129863A (en) 2007-04-10
RU2383043C2 true RU2383043C2 (en) 2010-02-27

Family

ID=37999844

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005129863/28A RU2383043C2 (en) 2004-09-27 2005-09-26 System and method of protecting microstructure of display matrix using pads in gap inside display device

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2383043C2 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5939785A (en) * 1996-04-12 1999-08-17 Texas Instruments Incorporated Micromechanical device including time-release passivant
US5986796A (en) * 1993-03-17 1999-11-16 Etalon Inc. Visible spectrum modulator arrays
US6466354B1 (en) * 2000-09-19 2002-10-15 Silicon Light Machines Method and apparatus for interferometric modulation of light

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5986796A (en) * 1993-03-17 1999-11-16 Etalon Inc. Visible spectrum modulator arrays
US5939785A (en) * 1996-04-12 1999-08-17 Texas Instruments Incorporated Micromechanical device including time-release passivant
US6466354B1 (en) * 2000-09-19 2002-10-15 Silicon Light Machines Method and apparatus for interferometric modulation of light

Also Published As

Publication number Publication date
RU2005129863A (en) 2007-04-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1640322B1 (en) System and method for protecting micro-structure of display array using spacers in gap within display device
JP4563892B2 (en) System and method for protecting microelectromechanical systems using backplates with non-flat portions
RU2379227C2 (en) Method and system for erection into casing of devices on basis of mems with introduced gas absorber
KR101199903B1 (en) System and method for display device with integrated desiccant
US7826127B2 (en) MEMS device having a recessed cavity and methods therefor
KR20060092877A (en) System and Method for Protecting Microvoltaic Array Using Structurally Reinforced Backplate
KR20060092919A (en) Apparatus having a spacer for a patterned back plate and a method of manufacturing the same
KR20060092916A (en) Method and system for providing a micromechanical system device with additional sealant
US7561334B2 (en) Method and apparatus for reducing back-glass deflection in an interferometric modulator display device
RU2383043C2 (en) System and method of protecting microstructure of display matrix using pads in gap inside display device
CN1762786B (en) Systems and methods for protecting microelectromechanical system arrays using backplanes having non-planar portions
CN1758128A (en) Systems and methods for protecting microstructures of display arrays using spacers in gaps within a display device
KR20070061517A (en) Method and system for maintaining partial vacuum of display device
HK1087484A (en) System and method for protecting micro-structure of display array using spacers in gap within display device
HK1087477A (en) System and method for protecting microelectromechanical systems array using structurally reinforced back-plate
HK1087786B (en) System and method for display device with reinforcing substance
HK1087786A1 (en) System and method for display device with reinforcing substance

Legal Events

Date Code Title Description
PC4A Invention patent assignment

Effective date: 20101006

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20180927