RU2262074C2 - Method of suppressing trend in modulation gyroscope - Google Patents
Method of suppressing trend in modulation gyroscope Download PDFInfo
- Publication number
- RU2262074C2 RU2262074C2 RU2003116003/28A RU2003116003A RU2262074C2 RU 2262074 C2 RU2262074 C2 RU 2262074C2 RU 2003116003/28 A RU2003116003/28 A RU 2003116003/28A RU 2003116003 A RU2003116003 A RU 2003116003A RU 2262074 C2 RU2262074 C2 RU 2262074C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- gyroscope
- temperature
- vacuum
- ampoule
- rotor
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 3
- 239000003708 ampul Substances 0.000 claims abstract description 21
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 8
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 229910000942 Elinvar Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 5
- 238000004881 precipitation hardening Methods 0.000 claims description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 5
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 4
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000009849 vacuum degassing Methods 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 238000007669 thermal treatment Methods 0.000 abstract 1
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 6
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N Trichloroethylene Chemical group ClC=C(Cl)Cl XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000003534 oscillatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 238000005496 tempering Methods 0.000 description 1
- 238000003878 thermal aging Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относятся к гироскопии и может быть использовано в системах инициального управления наземными, подземными, подводными, надводными и воздушными объектами.The invention relates to gyroscopy and can be used in initial control systems for ground, underground, underwater, surface and air objects.
Известен динамически настраиваемый гироскоп (ДНГ), содержащий корпус, ротор и датчик угла закрепленные во вращающейся герметичной ампуле, электропривод, высокоскоростные газодинамические опоры, опорные поверхности которых выполнены в корпусе полусферическими, устройство передачи информации от датчика к корпусу и устройства передачи энергии от корпуса [Патент на изобретение RU 2101679, G 01 C 19/56]. Во внутренней полости первого фланца установлены герметичная ампула и преобразователь сигнала датчика угла в код, а во внутреннюю полость второго фланца установлены элементы электропривода и генератора опорных импульсов. В указанном ДНГ реализован ампульный вариант герметизации ротора, съем сигнала с ротора и управление ротором во вращающейся системе координат, а также применение газодинамических сферических опор, которое стало возможным вследствие разделения полостей, содержащих ротор и газодинамическую опору (опора работает на воздухе, а ротор - в вакууме или сильно разреженной среде), и модуляционный (колебательный) принцип работы ротора гироскопа.Known dynamically tuned gyroscope (DNG), comprising a housing, a rotor and an angle sensor fixed in a rotating sealed ampoule, an electric drive, high-speed gas-dynamic bearings, the supporting surfaces of which are made hemispherical in the housing, a device for transmitting information from the sensor to the case and energy transfer device from the case [Patent to the invention RU 2101679, G 01 C 19/56]. In the inner cavity of the first flange, a sealed ampoule and a signal transducer of the angle sensor into a code are installed, and elements of an electric drive and a reference pulse generator are installed in the inner cavity of the second flange. The indicated DNG implements an ampoule variant of sealing the rotor, picking up the signal from the rotor and controlling the rotor in a rotating coordinate system, as well as the use of gas-dynamic spherical bearings, which became possible due to the separation of cavities containing the rotor and gas-dynamic support (the support works in air, and the rotor works in vacuum or a very rarefied medium), and the modulation (oscillatory) principle of operation of the gyro rotor.
Со временем в гироскопе происходит нарушение состояния вакуума в полости, содержащей ротор, что приводит к нарушению режима работы ДНГ. Для устранения этого недостатка были применены геттеры (газопоглотители), лазерная сварка крышки и корпуса ампулы лазерным швом на материале 12Х18Н10Т, а также лазерная герметизация ампулы, сварка внутри ампулы в сочетании с ультразвуковой промывкой в среде трихлорэтилена. Но все эти меры не позволили преодолеть данный недостаток.Over time, a violation of the state of vacuum in the cavity containing the rotor occurs in the gyroscope, which leads to disruption of the DNG operating mode. To eliminate this drawback, getters (getters) were used, laser welding of the lid and body of the ampoule with a laser seam on 12X18H10T material, as well as laser sealing of the ampoule, welding inside the ampoule in combination with ultrasonic washing in trichlorethylene medium. But all these measures did not allow to overcome this drawback.
Кроме того, указанному ДНГ свойственна сильная зависимость его точностных параметров от температуры, не смотря на то, что ротор гироскопа сделан из дисперсионно-твердеющего элинвара, причем торсионы и сам ротор сделаны из одного и того же материала за одно целое.In addition, the indicated DNG is characterized by a strong dependence of its accuracy parameters on temperature, despite the fact that the gyro rotor is made of dispersion hardening elinvar, and the torsion bars and the rotor itself are made of the same material in one piece.
Перечисленные недостатки снижают точность гироскопа за счет возникновения тренда (накапливающего дрейфа), который присущ всем без исключения гироскопам.These shortcomings reduce the accuracy of the gyroscope due to the occurrence of a trend (accumulating drift), which is inherent in all gyroscopes without exception.
Техническим результатом изобретения является повышение точности гироскопа за счет устранения тренда (медленного изменения точностного параметра со временем) путем обеспечения стабильности вакуума в рабочей ампуле гироскопа и термообработки ротора гироскопа.The technical result of the invention is to increase the accuracy of the gyroscope by eliminating the trend (a slow change in the accuracy parameter with time) by ensuring the stability of the vacuum in the working ampoule of the gyroscope and heat treatment of the gyroscope rotor.
Указанный результат достигается за счет термообработки ротора модуляционного гироскопа, изготовленного из материала 45НХТЮ (дисперсионно-твердеющего элинвара), осуществляемой путем закалки, выдержки и отжига, при которой с целью устранения температурного дрейфа осуществляют закалку при температуре 950°С и выдержке 25 минут, выдержку при температуре 700°С в течение 4 часов и стабилизирующий отжиг в вакууме 10-3 мм рт.столба при температуре 300°С с последующей выдержкой в течение 4 часов, охлаждением с печью до 150°С, далее на воздухе.The specified result is achieved by heat treatment of the rotor of a modulation gyroscope made of 45NHTU (dispersion hardening elinvar) material, carried out by quenching, holding, and annealing, in which, in order to eliminate temperature drift, quenching is performed at a temperature of 950 ° C and holding for 25 minutes, holding at temperature of 700 ° C for 4 hours and stabilizing annealing in vacuum of 10 -3 mm Hg column at a temperature of 300 ° C, followed by exposure for 4 hours, cooling with an oven to 150 ° C, then in air.
Указанный результат достигается тем, что обеспечивают стабильность вакуума в рабочей ампуле гироскопа за счет исключения органических веществ из полости, содержащей ротор, откачки воздуха из ампулы до остаточного давления (1÷2)·10-4 мм рт.столба, лазерной герметизации ампулы в момент откачки и вакуумного оксидирования внутренней поверхности титановых стенок ампулы по следующему режиму: промывка в нефрасе, вакуумное обезгаживание в вакууме (1÷2)·10-2 мм. рт.столба при температуре 600÷650°С в течение 2 часов, остывание с печью до 100°С, далее на воздухе.The specified result is achieved by ensuring the stability of the vacuum in the working ampoule of the gyroscope due to the exclusion of organic substances from the cavity containing the rotor, pumping air from the ampoule to a residual pressure of (1 ÷ 2) · 10 -4 mm Hg, laser sealing of the ampoule at the time pumping and vacuum oxidation of the inner surface of the titanium walls of the ampoule according to the following regime: washing in nefras, vacuum degassing in vacuum (1 ÷ 2) · 10 -2 mm. Hg column at a temperature of 600 ÷ 650 ° C for 2 hours, cooling with a furnace to 100 ° C, then in air.
На чертеже представлена конструкция модуляционного гироскопа. Ротор 1, имеющий неравные экваториальные моменты инерции и равножесткий упругий подвес крестообразного профиля сечения торсионов с вырожденным промежуточным кольцом, помещен в вакуумированную вращающуюся вместе с ротором ампулу 2, приводимую во вращение с помощью торцевого электрического вентильного двигателя 3 с резонансной угловой скоростью Ω. Устройство съема информации с ротора выполнено во вращающейся вместе с ротором системе координат в виде емкостного датчика угла 4, емкостно-частотного преобразователя (ЕЧП) 5, токоподвода-токосъема 6, служащего для запитки ЕЧП и съема информации с ротора. Генератор с внешним возбуждением (ГВВ) 7 вместе с двумя электронными диодами, конструктивно входящими в ЕЧП, и двумя электромагнитами 8 служит для управления ротором во вращающейся системе координат. Электромагнитные датчики момента гироскопа не чувствительны к знаку управления, поэтому на их входе стоят электронные диоды, которые одну половину синусоиды подают на один электромагнит, а другую половину синусоиды - на другой. Генераторы опорных импульсов (ГОИ) 9, формируют опорное напряжение для разложения сигнала на две составляющие. Такой гироскоп имеет две оси чувствительности и может заменить собой два классических гироблока.The drawing shows the design of a modulation gyroscope. Rotor 1, which has unequal equatorial moments of inertia and an equally rigid elastic suspension of a cruciform cross-sectional profile of torsion bars with a degenerate intermediate ring, is placed in an evacuated ampoule 2 rotating together with the rotor, driven into rotation by a face electric valve motor 3 with a resonant angular velocity Ω. The information retrieval device from the rotor is made in a coordinate system rotating together with the rotor in the form of a capacitive angle sensor 4, a capacitance-frequency converter (ECH) 5, a current supply-current collector 6, which serves to power the ECHP and collect information from the rotor. The generator with external excitation (GVV) 7 together with two electronic diodes, structurally included in the ECH, and two electromagnets 8 serves to control the rotor in a rotating coordinate system. The electromagnetic moment sensors of the gyroscope are not sensitive to the control sign, therefore, electronic diodes are placed at their input, which feed one half of the sinusoid to one electromagnet and the other half of the sinusoid to the other. The reference pulse generators (GOI) 9, form the reference voltage to decompose the signal into two components. Such a gyroscope has two axes of sensitivity and can replace two classical gyro blocks.
Модуляционный гироскоп основан на модуляционном принципе действия, который заключается в формировании прикладываемых к ротору модуляционного гироскопа модулированных внешних моментов с помощью неравенства экваториальных моментов инерции ротора. Точность гироскопа зависит от температуры окружающей среды, которая для гироскопа установлена в пределах от минус 50 до плюс 80°С. Ротор гироскопа сделан из дисперсионно-твердеющего элинвара (45НХТЮ), жесткость которого при нагревании увеличивается, в отличие от обычных металлов, жесткость которых падает с увеличением температуры. Исследования показали, что, несмотря на это, температурный дрейф при изменении температуры имеет место. При нагревании моменты инерции ротора увеличиваются. Это увеличение можно скомпенсировать следующим образом.The modulation gyroscope is based on the modulation principle of action, which consists in the formation of modulated external moments applied to the rotor of the modulation gyroscope using the inequality of the equatorial moments of inertia of the rotor. The accuracy of the gyroscope depends on the ambient temperature, which is set for the gyroscope in the range from minus 50 to plus 80 ° C. The gyroscope rotor is made of dispersion hardening elinvar (45NKhTYu), the rigidity of which increases when heated, unlike conventional metals, whose rigidity decreases with increasing temperature. Studies have shown that, despite this, temperature drift occurs when the temperature changes. When heated, the moments of inertia of the rotor increase. This increase can be offset as follows.
Условие резонансной настройки гироскопа (обозначим его символом Δ) без учета промежуточного кольца имеет видThe condition for the resonance tuning of the gyroscope (denoted by the symbol Δ) without taking into account the intermediate ring has the form
где К - крутильная жесткость пары соосных торсионов;where K is the torsional stiffness of a pair of coaxial torsions;
Jx, Jy, Jz - осевой и экваториальные моменты инерции ротора соответственно;J x , J y , J z - axial and equatorial moments of inertia of the rotor, respectively;
Ω - угловая скорость собственного вращения ротора. Ω is the angular velocity of the own rotation of the rotor.
Найдем частную производную от этого выражения при изменении температуры окружающей среды:Find the partial derivative of this expression when the ambient temperature changes:
где γЕ - температурный коэффициент модуля упругости;where γ E is the temperature coefficient of elastic modulus;
αt - коэффициент линейного расширения материала торсионов. Знак "+", стоящий перед членом К·γЕ в уравнении (2), указывает на то, что с ростом температуры частота растет. Для того, чтобы модуляционный гироскоп был инвариантен (невосприимчив) к изменению температуры, необходимо чтобыα t is the coefficient of linear expansion of the torsion material. The + sign in front of the term K · γ E in equation (2) indicates that the frequency increases with increasing temperature. In order for the modulation gyroscope to be invariant (immune) to temperature changes, it is necessary that
Подставляя формулу (2) в (3) с учетом (1), получаемSubstituting formula (2) into (3), taking into account (1), we obtain
откудаwhere from
Условие (4) можно выполнить при использовании сплава типа элинвар и подборе специального режима термообработки. Сплав 45НХТЮ, из которого изготовлены роторы, относится к категории дисперсионно-твердеющих элинваров, упрочняющихся при термостарении. Он отличается сложным комплексом физических и механических свойств, главные из которых:Condition (4) can be fulfilled when using an alloy of the elinvar type and selecting a special heat treatment mode. Alloy 45НХТЮ, from which the rotors are made, belongs to the category of precipitation hardening elinvars, hardened by thermal aging. It is distinguished by a complex set of physical and mechanical properties, the main of which are:
- низкий коэффициент линейного расширения;- low coefficient of linear expansion;
- стабильность геометрических размеров;- stability of geometric dimensions;
- высокая прочность, малый температурный коэффициент модуля- high strength, low temperature coefficient of the module
упругости (γЕ) и т.д.elasticity (γ E ), etc.
Путем подбора режима термообработки была установлена возможность получения соотношения температурного коэффициента модуля упругости и коэффициента линейного расширения, близкого к единице. При закалке при температуре 950°С и отпуске при температуре около 700°С значение температурного коэффициента модуля упругости находится в интервале минус (2÷6)·10-6 1/град, а значение коэффициента линейного расширения при указанных режимах составляет порядка плюс (4-6)·10-6 1/град. Отношение температурного коэффициента модуля упругости к коэффициенту линейного расширения, равное минус единице, было получено на сплаве 45НХТЮ на специальных образцах. Закалка осуществлялась при температуре 950°С, среда нагрева образцов при закалке - окислительная, время выдержки при закалке 25 минут, среда охлаждения - подсоленная вода. Выдержка осуществлялась при температуре 700°С в течение 4 часов. Твердость HRC 35-37 единиц. После окончания механической обработки производился стабилизирующий отжиг в вакууме 10-3 мм. рт.столба при температуре 300°С, далее выдержка 4 часа, охлаждение с печью до 150°С, далее на воздухе.By selecting the heat treatment mode, it was established that it is possible to obtain a ratio of the temperature coefficient of the elastic modulus and the linear expansion coefficient close to unity. When quenching at a temperature of 950 ° С and tempering at a temperature of about 700 ° С, the value of the temperature coefficient of elasticity modulus is in the range minus (2 ÷ 6) · 10 -6 1 / deg, and the value of the coefficient of linear expansion under these conditions is about plus (4 -6) · 10 -6 1 / deg. The ratio of the temperature coefficient of the elastic modulus to the coefficient of linear expansion, equal to minus unity, was obtained on the 45NHTU alloy on special samples. Quenching was carried out at a temperature of 950 ° C, the heating medium of the samples during quenching was oxidizing, the exposure time for quenching was 25 minutes, and the cooling medium was salted water. The exposure was carried out at a temperature of 700 ° C for 4 hours. Hardness HRC 35-37 units. After the end of the machining, a stabilizing annealing in a vacuum of 10 -3 mm was performed. Hg column at a temperature of 300 ° C, then exposure 4 hours, cooling with an oven to 150 ° C, then in air.
Полученные результаты были проверены экспериментально. Испытания показали отсутствие зависимости изменений параметров в роторе от температуры на уровне уходов 0,005°/час.The results were verified experimentally. Tests have shown that there is no dependence of parameter changes in the rotor on temperature at a level of withdrawal of 0.005 ° / hour.
Для решения проблемы сохранения вакуума в полости, содержащей ротор, применялось изготовление ампулы и всего модуляционного гироскопа из титана типа ВТ-5, поскольку известно, что титан является пассивным геттером (газопоглотителем). Технология изготовления гермовыводов из титана позволила частично решить проблему вакуума на срок 2-3 месяца, после чего постоянная времени гироскопа "τ" снова падала. Постоянная времени "τ" является одним из параметров, определяющих точность гироскопа:To solve the problem of maintaining vacuum in the cavity containing the rotor, we used the manufacture of an ampoule and the entire modulation gyroscope from VT-5 titanium, since it is known that titanium is a passive getter (getter). The manufacturing technology of titanium hermetic leads made it possible to partially solve the vacuum problem for a period of 2-3 months, after which the time constant of the gyro “τ” again fell. The time constant "τ" is one of the parameters that determine the accuracy of the gyroscope:
где ωдр - дрейф гироскопа, αст - статическая ошибка системы стабилизации или арретирования. Таким образом, постоянная времени "τ" входит в формулу, определяющую дрейф гироскопа. Исследования показали, что причиной газовыделения является сам титан, имеющий пористую структуру. Титан поглощает водород, который начинает выделяться в полость ампулы после ее герметизации из титановых стенок ампулы. Сохранение вакуума стало возможным благодаря вакуумному оксидированию поверхности ампулы путем промывки в нефрасе, вакуумного обезгаживания в вакууме (1÷2)·10-2 мм рт. столба при температуре 600-650°С в течение двух часов и остывания с печью до 100°С, далее на воздухе. В случае несоблюдения указанного режима происходит возгонка окисной пленки и ее оседание на внутренней стороне герметизированного металлического приспособления для обезгаживания, которая не дает возможности производить герметизацию.where ω dr is the gyro drift, α st is the static error of the stabilization or arresting system. Thus, the time constant "τ" is included in the formula that determines the drift of the gyroscope. Studies have shown that the cause of gas evolution is titanium itself, which has a porous structure. Titanium absorbs hydrogen, which begins to be released into the cavity of the ampoule after it is sealed from the titanium walls of the ampoule. The preservation of vacuum became possible due to vacuum oxidation of the ampoule surface by washing in nefras, vacuum degassing in vacuum (1 ÷ 2) · 10 -2 mm RT. column at a temperature of 600-650 ° C for two hours and cooling with an oven to 100 ° C, then in air. In the case of non-compliance with this regime, the oxide film is sublimated and deposited on the inner side of the sealed metal device for degassing, which does not allow sealing.
Заявляемый способ позволяет устранить тренд в модуляционном гироскопе, повысить точность и сохранить ее на весь срок эксплуатации прибора (10 лет), что невозможно сделать в других гироскопах без частых калибровок и тарировок вследствие "сползания" точностного параметра во времени (так называемого накапливающего дрейфа). Изобретение позволяет решить проблему температурного дрейфа, проблему постоянной времени и, как следствие, проблему тренда.The inventive method allows to eliminate the trend in a modulation gyroscope, improve accuracy and maintain it for the entire life of the device (10 years), which cannot be done in other gyroscopes without frequent calibrations and calibrations due to the "sliding" of the accuracy parameter in time (the so-called accumulating drift). The invention allows to solve the problem of temperature drift, the problem of time constant and, as a consequence, the problem of trend.
Проведенные испытания показали, что изобретение позволило выйти на уровень точностей 0,005°/час (3σ) без тарировок и калибровок, перегрузочной способности 40 g и ресурса работы 100 тыс.часов.The tests showed that the invention allowed to reach the accuracy level of 0.005 ° / hour (3σ) without calibration and calibration, overload capacity of 40 g and a working life of 100 thousand hours.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2003116003/28A RU2262074C2 (en) | 2003-05-28 | 2003-05-28 | Method of suppressing trend in modulation gyroscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2003116003/28A RU2262074C2 (en) | 2003-05-28 | 2003-05-28 | Method of suppressing trend in modulation gyroscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2003116003A RU2003116003A (en) | 2004-11-27 |
| RU2262074C2 true RU2262074C2 (en) | 2005-10-10 |
Family
ID=35851419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2003116003/28A RU2262074C2 (en) | 2003-05-28 | 2003-05-28 | Method of suppressing trend in modulation gyroscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2262074C2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2492422C2 (en) * | 2011-11-15 | 2013-09-10 | Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "ТЕМП-АВИА" (ОАО АНПП "ТЕМП-АВИА") | Method of production of elastic suspension of dynamically tuned gyroscope |
| RU2548377C1 (en) * | 2013-11-25 | 2015-04-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственный центр автоматики и приборостроения имени академика Н.А. Пилюгина" (ФГУП "НПЦАП") | Heating-free heat-invarient electromechanic float meter of angular speed |
-
2003
- 2003-05-28 RU RU2003116003/28A patent/RU2262074C2/en active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2492422C2 (en) * | 2011-11-15 | 2013-09-10 | Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "ТЕМП-АВИА" (ОАО АНПП "ТЕМП-АВИА") | Method of production of elastic suspension of dynamically tuned gyroscope |
| RU2548377C1 (en) * | 2013-11-25 | 2015-04-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственный центр автоматики и приборостроения имени академика Н.А. Пилюгина" (ФГУП "НПЦАП") | Heating-free heat-invarient electromechanic float meter of angular speed |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Sharma et al. | A Sub-0.2$^{\circ}/$ hr Bias Drift Micromechanical Silicon Gyroscope With Automatic CMOS Mode-Matching | |
| AU2002334586B2 (en) | Micromechanical inertial sensor having increased pickoff resonance damping | |
| Shcheglov et al. | Temperature dependent characteristics of the JPL silicon MEMS gyroscope | |
| CN114964195A (en) | Hemispherical resonant gyroscope angular velocity signal temperature compensation method | |
| EP2264737B1 (en) | X-ray tube having bearing assembly | |
| Chikovani et al. | A set of high accuracy low cost metallic resonator CVG | |
| CN102401653A (en) | Angular velocity detection apparatus and electronic instrument | |
| RU2262074C2 (en) | Method of suppressing trend in modulation gyroscope | |
| JP2004531732A (en) | Dither system for motion sensor | |
| Ortiz et al. | Low-power dual mode MEMS resonators with PPB stability over temperature | |
| KR20040020852A (en) | Magnetic bearing device with vibration damping function and pump device equipped with the same | |
| Kwon et al. | An oven-controlled MEMS oscillator (OCMO) with sub 10mw,±1.5 PPB stability over temperature | |
| JPWO2018193528A1 (en) | Gas laser device and magnetic bearing control method | |
| US5465620A (en) | Micromechanical vibratory gyroscope sensor array | |
| Yin et al. | A phase self-correction method for bias temperature drift suppression of MEMS gyroscopes | |
| CN117490669B (en) | A device and method for adjusting the quality factor of a resonant gyroscope resonator | |
| Moussa et al. | Theory of direct frequency output vibrating gyroscopes | |
| CN111670338A (en) | Silicon Multimode Coriolis Vibration Gyroscope with Higher-Order Rotationally Symmetric Mechanism and 32 Electrodes | |
| Zotov et al. | Investigation of energy dissipation in low frequency vibratory MEMS demonstrating a resonator with 25 minutes time constant | |
| EP0021419A2 (en) | Dithered laser gyro | |
| RU2282838C2 (en) | Method of pressurization of ampoule of modulation gyroscope | |
| JP2005016965A (en) | Package and manufacturing method thereof, vibrating gyroscope and manufacturing method thereof | |
| RU2003116003A (en) | MODULAR GYROSCOPE AND METHOD FOR ELIMINATING A TREND (OPTIONS) | |
| Li et al. | Velocity random walk modelling of a silicon MEMS resonant accelerometer based on non-AGC control loop | |
| Zhang et al. | A MEMS gyroscope readout circuit with temperature compensation |